【課題】３線テンソルを使用して、ローカル３Ｄ表面形状を再構築する。
【解決手段】システムは、３ビュー光学ヘッドと、機械式マニピュレータと、ローカル３Ｄ表面形状再構築ユニットと、表面形状スティッチユニットとを含む。３ビュー光学ヘッドは、物体の少なくとも一部分の少なくとも３つのビューを生成するように動作可能である。機械式マニピュレータは、物体の第１の部分が見える第１の相対的向きから、第１の部分とオーバラップする部分が見える第２の相対的向きまで、物体と光学ヘッドとの向きを変更するように動作可能である。ローカル３Ｄ表面形状再構築ユニットは、光学ヘッドによって生成された第１および第２の部分の３つのビューのうちの少なくとも２つに基づいて、表面形状のローカル再構築を生成するように動作可能である。表面形状スティッチユニットは、物体の第１および第２の部分の相対位置を決定するように動作可能である。 （もっと読む）

【課題】光断層画像化装置において、偏光方向の調整をすることなく良好な画質の断層画像を低コストで取得する。
【解決手段】光断層画像化装置１００は、測定光Ｌ１を測定対象Ｓに照射させて所定の走査周波数で走査させて測定対象Ｓの断層画像を取得する。光断層画像化装置１００における、光源ユニット１０内または光源ユニット１０から合波手段４までの光Ｌ、測定光Ｌ１、参照光Ｌ２、反射光Ｌ３の光路の少なくとも１つに、時間的に平均したときに出力光が無偏光となるように入力光の偏光状態を走査周波数と同等もしくはそれ以上に高い周波数で変化させる無偏光化手段７０を設ける。 （もっと読む）

１つ以上の平基板の歪及び／または寸法変化を測定する座標測定装置が開示されている。一態様において、１つ以上の平基板の歪及び／または寸法変化を測定するための座標測定装置は、平基板を受け取るための形状につくられた上面を有する定盤を含む集成ベース及び、それぞれの画像取込デバイスが、視野を有し、定盤の上面の少なくとも一部分と平行な平面に、上から位置合せされて、配置されている、画像取込デバイスの多次元アレイを備える。複数の画像取込デバイスは、それぞれの画像取込デバイスの視野が定盤の上面の少なくとも一部分を捕捉できるように、多次元アレイの平面に垂直な方位に向けられる。さらに、複数の画像取込デバイスのそれぞれは多次元アレイの平面内に定められた既定の座標に選択的に配置することができる。
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【課題】物体の地形上の特徴の仮想的に再構築するためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】物体の地形上の特徴の撮像及び仮想的に再構築するためのシステム及び方法が提供される。照射システムは物体を照らす。そして、画像は画像取得システムによって得られうる。そして、物体、照射システム及び画像取得システムを具備している少なくとも２つの部材は取付けられる。又は、さもないと、運動誘導機構にそれぞれ制御可能に連係される。特にロボットアームにおいて、少なくとも２つの部材がそれぞれ移動可能であり、画像データを得るために最適な照明及び視野状態を提供されるようにする。画像データは、物体の地形上の特徴が再構築されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】高精度の非接触三次元表面形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の第１の態様に係る表面形状測定装置１００は、第１の軸方向に移動可能な第１のステージ１０１と、第１のステージ１０１に装着され、第１の軸に直交する第２の軸方向に移動可能な第２のステージ１０２と、第２のステージ１０２に装着されたθ軸１０３と、θ軸１０３に装着され、θ軸１０３に沿って、第１の軸１０１及び第２の軸１０２により構成される平面内を回転移動可能な測定ヘッド１０５とを備え、測定ヘッド１０５は、光源と、当該光源から出射し、測定表面で反射した反射光を受光して測定ヘッド１０５から前記測定表面までの深さを検出する深さセンサーと、前記反射光を受光して前記測定表面に対する測定ヘッド１０５の角度を検出する角度センサーとを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの厚さ、平面度、ウェーハに設けたトレンチ深さを精密に測定できるようにする。
【解決手段】ウェーハの厚さ及び平面度とウェーハにエッチングされたトレンチの深さを測定する方法と装置である。測定に当たり、トレンチをウェーハ背面から見ることによりトレンチを事実上突出部として測定する。測定は非接触式光学器械によりウェーハの前面と背面とで行われ、該非接触式光学器械がウェーハ前面及び背面の波長を同時測定し、波長間の距離は厚さの測定値に変換される。シリコン・ウェーハの厚さ及びトレンチ深さの測定には、光源として近赤外ビームを用いる。厚さ、平面度、局所形状は、１対の光学針を用いた較正法によっても測定できる。 （もっと読む）

【課題】上下二層に塗布された塗布剤の塗布状態を検査する技術を提供することを目的とする。
【解決手段】上下二層に塗布された塗布剤６０の塗布状態をカメラ５５により撮影して、下層６１の塗布剤６０に対する上層６３の塗布剤６０の塗布面積、上下二層６１、６３の塗布位置、下層６１の塗布剤６０に対する上層６３の塗布剤６０の相対塗布位置ならびに上下二層６１、６３の塗布剤６０の外観性状等の塗布状態を、予め設定した塗布面積、塗布位置、相対塗布位置ならびに外観性状等と比較して塗布状態を検査し、判定する。 （もっと読む）

【課題】カメラの光軸のずれを容易に検出可能な光軸ずれ検出方法、並びに光軸ずれがある場合の部品位置検出方法および装置を提供する。
【解決手段】基板１０の部品搭載面と同じ高さに設けられたパターン２０とカメラ１７との間に屈折率ｎのクラウンガラス３０を置いたときと、置かないときでパターン２０をカメラで撮影し、該撮影画面中心からのパターン中心のずれ量を求める。このずれ量とクラウンガラスの厚さに基づいてカメラの光軸の傾きθ_０を算出する。このような構成では、カメラに光軸ずれがある場合、基板に搭載された部品あるいは搭載されるべき部品の位置検出結果を部品高さに応じて間単に補正することができ、正確な部品位置検出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】レーザ干渉追尾測長の高精度化、信頼性向上を図る。
【解決手段】測定の基準をなす基準球１４と、測定対象に配設される測定側反射体１５と、該測定側反射体１５との距離の増減に応じて測定値を出力するレーザ干渉計３２と、該レーザ干渉計３２からの出射ビームを前記基準球１４を中心として回動するための円弧運動機構とを用いて、前記基準球１４の中心座標を基準とし、前記円弧運動機構に載ったレーザ干渉計３２からの出射光と戻り光の光軸が平行となる測定側反射体１５との距離を測定するレーザ干渉追尾測長方法において、前記レーザ干渉計３２の本体部２６から分離され、前記基準球１４と接触して、その表面をなぞりつつ測定光の方向に変位するようにされた参照側反射体３３を設け、該参照側反射体３３から測定側反射体１５迄の距離を測定する。 （もっと読む）

【課題】被加工物に形成された加工孔の深さを効率よく検出する。
【解決手段】チャックテーブルに保持された被加工物に形成されている加工穴の深さを検出する加工穴の深さ検出装置であって、所定波長の第１の検査用レーザー光線を発振する第１の検査用レーザー光線発振手段を備え第１の検査用レーザー光線の反射光に基づいて被加工物における照射部の高さ位置を検出する第１の表面位置検出手段と、第１の検査用レーザー光線の波長と異なる波長の第２の検査用レーザー光線を発振する第２の検査用レーザー光線発振手段を備え第２の検査用レーザー光線の反射光に基づいて被加工物における照射部の高さ位置を検出する第２の表面位置検出手段と、第１の表面位置検出手段によって検出された検出値と第２の表面位置検出手段によって検出された検出値に基づいて被加工物に形成された加工孔の深さを求める制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】光軸偏向型レーザ干渉計の基準球に対する２軸回転機構の運動精度による光軸方向の誤差を補正するための変位計を特別な校正装置を準備すること無く、校正ができ、トレーサビリティを確保する。
【解決手段】測定の基準球３４と、測定対象１０に配設される再帰的反射手段１２と、該再帰的反射手段１２との距離を測定するレーザ干渉測長機２０と、前記基準球３４を中心として回動するための回動機構３０とを有し前記基準球３４の中心座標を基準とし前記回転機構３０に載ったレーザ干渉測長機２０からの出射光と戻り光の光軸が平行となる再帰的反射手段１２との距離を測定する光軸偏向型レーザ干渉計において、前記基準球３４とレーザ干渉測長機２０との相対運動による誤差を測定する変位計５０Ｒ、５０Ｌと前記レーザ干渉測長機２０と変位計５０Ｒ、５０Ｌの相対位置関係を保ったままで基準球３４に対して測定光軸方向に変位させる機構（５２）とを備える。 （もっと読む）

【課題】既存のプローブヘッドシステム、又は限られた数の有線接続を提供するプローブヘッドシステムとともに用いられる、より進歩した測定能力及び機能を可能にする非接触プローブ制御インタフェースを提供する。
【解決手段】構造化光を用いる非接触座標測定機プローブのためのプローブ制御インタフェースが提供される。ビデオ制御信号の、プローブの空間光変調器の選択されたピクセル行のグレイレベルを制御する部分を、非接触プローブの測定能力又は多用途性を向上するために追加されている付加的なプローブ構成要素又は機能のための制御信号に復号化することができる。このように付加的なプローブ構成要素制御信号を提供することによって、このプローブが他の標準的なプローブと自動的に交換することが可能になるとともに、既存のシステムが非接触プローブをより容易に用いることができるようになる。 （もっと読む）

【課題】積算型センサを搭載するととともに、積算型センサの累積誤差を容易に補正することを可能とする点検システム及び誤差補正プログラムを提供する。
【解決手段】閉空間内において走行面上を自走する点検ロボット１００を含む点検システムが、カメラユニット１３０を所定角度回転させる毎にカメラユニット１３０が撮像する閉空間の画像から水平線分を抽出する画像処理部２３０と、画像処理部２３０によって抽出された水平線分と、水平線分が抽出される閉空間の画像を撮像した際におけるカメラユニット１３０の回動角とに基づいて、ジャイロセンサ１５０の累積誤差を補正する制御部２４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】中子および主型の位置ズレや傾きに合わせて正確に中子を主型にセットできる中子セッティング装置を提供する。
【解決手段】多関節式ロボット１のアーム２の先端の把持爪４ａにより中子９を把持して主型内に納める中子セッティング装置であって、所定位置へ運ばれた中子９を撮像し得る把持爪４ａ付近に設けられた１台のカメラ５と、このカメラ５からの撮像情報により中子９の位置，姿勢を演算するとともに、演算結果に基づいてロボット１の作動を制御する制御装置１１を備えている。 （もっと読む）

【課題】レーザ光学系に付着した異物を、安価にかつ容易に検査できるレーザ光学系の検査装置を提供する。
【解決手段】レーザ光学系としての走査光学ユニット１００の走査するレーザビームＬＢの光エネルギを測定可能なフォトダイオードＰＤ、走査光学ユニット１００の走査するレーザビームＬＢにフォトダイオードＰＤを追従させる移動機構８０，９０と、フォトダイオードＰＤからの信号に基づいて異物の有無を検出する検出手段としての信号処理回路３０及び演算装置１０とを有する。 （もっと読む）

光学画像記録系を有し、測定対象と上記光学画像記録系の間で相対移動するようになった測定系において、上記画像記録系（３）の焦点（Ｆ）は走査方向に揺動するように設けられ、走査動作での焦点の揺れ動作の重なりによって、焦点（Ｆ）が測定対象（２）の表面にとどまるか対応してカメラチップ（７）に投影された画像がカメラチップ上に止まる画像記録インターバルを生成する。これは好ましくは、測定対象と画像記録系の間の安定し加速しない相対移動の間に起こる。画像エッジのぶれは、比較的長い露出時間とごく並みの照射強度にもかかわらず防がれる。
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【課題】 光切断法などによって測定対象物を計測する場合における、効率的な基準座標系に対するカメラ座標系のずれ量の取得方法を提供すること。
【解決手段】 法線方向がｚ軸を定義する第一平面部４３ａと、第一平面部４３ａが形成される平面との交線がｚ軸と直交するｘ軸を定義する第二平面部４３ｂと、ｚ軸に直交する平面であって第一平面部４３ａが形成される平面とは異なる平面上に交線４３ｇが形成される第三平面部４３ｃおよび第四平面部４３ｄとを有した基準ワーク４０に対してレーザー光を照射して、得られる点群データに基づいて、基準となる座標系（基準座標系）に対する前記形状測定器に定義される座標系（カメラ座標系）のずれ量を検出する。 （もっと読む）

【課題】作業者に課す手間や測定時間を低減できる三次元形状測定システムを提供する。
【解決手段】判断対象範囲Ａに形状測定対象物Ｓの表面領域が含まれており、該範囲Ａから測定データが得られる。この場合、当該範囲ＡのＺ軸方向における外側には、形状測定対象物Ｓの一部位が存在し、未測定の表面領域が存在すると考えられることから、未測定領域有無判断部は、矢印Ｚ１の方向に測定範囲が移動するように焦点距離を変更した状態での測定が必要であると判断する。一方、判断対象範囲Ｂには形状測定対象物Ｓの表面領域が全く含まれておらず、該範囲Ｂから測定データが得られない。この場合、当該範囲ＢのＺ軸方向における外側には、形状測定対象物Ｓの部位が存在せず、未測定の表面領域が存在しないと考えられることから、未測定領域有無判断部２３は、矢印Ｚ２の方向に測定範囲が移動するように焦点距離を変更した状態での測定は必要でないと判断する。 （もっと読む）

【課題】物体把持を行うことが可能な腕部を有するロボットにおいて、把持対象物体の三次元形状認識の精度を向上させる。
【解決手段】ロボット１は、頭部１０及び胴体部１１よりなる体幹部、胴体部１１に連結された腕部１２、頭部１０に固定された頭部カメラ１０１、腕部１２に固定された手先カメラ１２５を備えている。また、ロボット１は、頭部カメラ１０１によって腕部１２を撮像した画像に基づいて、前記第２のカメラの三次元位置及び姿勢を算出し、手先カメラ１２５によって複数の位置から把持対象物体を撮像して得た画像系列と、算出した手先カメラ１２５の三次元位置及び姿勢とに基づいて把持対象物体の三次元形状を算出する。さらに、ロボット１は、算出した持対象物体の三次元形状に基づいて前記物体の把持動作を実行する。 （もっと読む）

【課題】位相物体試料の測定とＳ／Ｎ比の向上を、複雑な光学系構成を伴うことなく可能とする光ファイバプローブと、それを備えた光検出装置を実現する。
【解決手段】本発明は、光源１１から射出された光を伝搬させるコア３１を有する光ファイバ２１の、通常伝搬光を射出する射出面２０ａと近接場光を滲出させる射出面２０ｂを同心面状に有し、近接場光を滲出させる射出面に、滲出のための被覆層３３が形成され、通常伝搬光を射出する射出面に、該射出面に入射した光の一部を反射し、別の一部を透過させる被覆層３３を備える光ファイバープローブ１３において、通常伝搬光を射出する射出面に入射した光のうち、該射出面にて反射され、光ファイバに再度戻り伝搬する光の強度と、射出面から射出され、被測定面２ａにて反射し、射出面を透過した後、光ファイバに再度戻り伝搬する光の強度とが、同一になるような被覆層３３を備える構成とした。 （もっと読む）