【課題】ＦＰＤガラス等の大型の試料表面の全範囲にわたり検査員が同一の条件で目視検査を効率的に行える外観検査装置及び外観検査方法において、マクロ観察とミクロ観察の切り替えを短時間で行なえ、また、最適な反射角度で観察できるように改善する。
【解決手段】多関節ロボットＲを用い、そのハンド部分３にマクロ撮像光学ユニット２とミクロ撮像光学ユニット１とを隣り合わせに並べて装着し、ハンド部分３を任意の３次元位置に移動させ、撮像光学ユニット１、２の位置（ｘ１、ｙ１、ｚ１）、（ｘ２、ｙ２、ｚ２）と光軸方向（χ１、ψ１）、（χ２、ψ２）を任意に設定できるようにして、検査するのに適切な撮像光学ユニット１、２の位置と光軸方向、その他の条件をティーチングさせて、マクロ外観検査及びミクロ外観検査ができるようにした。 （もっと読む）

【課題】試料照射レンズ周りを大型化することなく到達深度を向上させ、光断層イメージング装置を、内視鏡などの小型機器に適用できるようにする。
【解決手段】中心波長の異なる複数の低コヒーレント光源１０Ａ，１０Ｂを備え、かつ、複数の低コヒーレント光源１０Ａ，１０Ｂからの光を被測定部Ｓに照射したときの反射光に基づいて、被測定部Ｓの断層画像を得る光断層イメージグ装置１において、複数の複数の低コヒーレント光源１０Ａ，１０Ｂとして、被測定部Ｓにおける深度成分の浅い断層画像を作成するための短波長の光源１０Ａと、被測定部Ｓにおける深度成分の深い断層画像を作成するための長波長の光源１０Ｂと、を使用する。 （もっと読む）

【課題】円筒体の内面の溝幅を決定可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】投／受光部３０を有し且つ被検査物たる円筒体２の内部に挿入される検査部３備え、検査部３を円筒体２の軸線Ｃを中心に回転させると共に軸線方向に相対的に進退させ、投／受光部３０より円筒体２の内面に光Ｌを投光し、反射光を受光し、受光された光に基づいて内面に対応した二次元画像を生成する表面検査装置１において、その二次元画像を溝Ｇの長さ方向座標と溝Ｇの幅方向座標とで表し、長さ方向座標を固定し、幅方向座標に沿って移動しながら、受光量が特定の閾値を超えて変化する、溝Ｇの一側縁部に対応する一点ｇ１と溝Ｇの他側縁部に対応する他点ｇ２との幅方向座標を求め、一点の幅方向座標と他点の幅方向座標とから区間の溝幅を求めるアルゴリズムを有する溝幅決定手段４６を有することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】物体内部の被測定部位から生じる信号光を的確に抽出し、相対的な信号光強度を測定する。
【解決手段】被測定対象物Ａの内部の被測定部位Ａ１に測定光を照射してこの測定光によって被測定部位Ａ１から生じる信号光の情報だけを検出する。一端から被測定部位Ａ１に対して測定光を照射するとともに一端から信号光を含めた反射光を受光する光ファイバ５１と、測定光および反射光を集束するレンズ５８と、光ファイバ５１の一端およびレンズ５８との相対位置を固定して共焦点を保持するホルダー５７と、ホルダー５７を光軸方向に所定の距離移動させて光ファイバ５１による測定光の焦点位置を変更する振動機構５９と、光ファイバ５１の反射光の光強度を測定する測定装置７とを備える。測定光の焦点位置を光軸方向に移動させた場合の反射光の光強度変化に基づいて信号光の相対的光強度を抽出する信号光抽出手段７５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】吐出された液体により形成された液滴の液量を簡便かつ正確に測定できる液量測定装置を提供すること。
【解決手段】液量測定装置は、所定時間に吐出された液体を受け止めて滴状の液滴として保持する受止部と、前記液滴に光を照射する照明部と、液滴の表面から反射する反射光の範囲および液滴の底面の範囲を観測する観測部と、観測された反射光の範囲および液滴の底面の範囲に基づいて液滴の液量を導き出す液量特定部を備える。 （もっと読む）

【課題】印刷された加熱前のクリームはんだの印刷態様を検査して不合格の場合はその位置で修正作業を行う。
【解決手段】印刷はんだ検査装置は、基板１２の上方を移動自在に配置されて基板１２上に印刷されたクリームはんだ１３の位置と高さを検出する検査ヘッド２０を備えた検査手段と、検査ヘッド２０と一体に設けられた印刷はんだの除去手段２４と、検査ヘッド２０と一体に設けられたクリームはんだの補充手段２６を備え、基板１２上に印刷された加熱前のクリームはんだ１３を検査して修正を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】カメラが自動車等の移動体に搭載されて自在に移動する場合に於いて、その移動量もしくは移動距離を、比較的小さな処理負荷で算出できるようにする。
【解決手段】カメラで撮像したフレームから所定形状のマッチング検査領域を切り出してフレーム間でパターンマッチングを行い、同一の特徴点に対応する被写点の位置をフレーム毎に算出し、算出した両被写点位置間の変位量を求めて両フレーム間での移動量とする移動量演算装置。カメラが搭載される移動体の舵角を検出する（Ｓ０２）手段を有し、マッチング検査領域を切り出す手段は第１フレームに続く第２フレームのマッチング検査領域を前記検出した舵角に応じて第１フレームのマッチング検査領域に対して傾斜させて切り出し（Ｓ０３）、両被写点位置間の変位量を求める手段は当該求めた変位量を前記移動体の移動量とする（Ｓ０９）。 （もっと読む）

【課題】極低温、強磁場、高真空又は液体中等の極限環境下又は特殊環境下において、精度のよい近接場光測定を行うことができる光学装置を提供する。
【解決手段】近接場を生成及び／又は散乱させるプローブ１と、そのプローブ１の近くに固定された対物レンズ９とを有するプローブ・レンズ一体型ユニット１１を備えると共に、ミラー４を介して対物レンズ９の対向位置に設けられた補正レンズユニット１０を備え、プローブ・レンズ一体型ユニット１１は測定ヘッド６の中に収納されており、補正レンズユニット１０は測定ヘッド６の壁面に設けられた光学窓８越しに配置されている光学装置１００を構成して、上記課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】微小突起物の高さ測定を、共焦点方式により簡単な構成で、かつ光学系の焦点位置の移動距離を小さくして短時間で行う。
【解決手段】ピエゾ素子５０により光学ユニットの対物レンズ２４を上下に移動して光学ユニットの焦点位置を移動しながら、白色光をテーブルに搭載された基板１の表面へ垂直に照射し、基板１の表面からの反射光を集光し、集光した反射光をピンホールを通して受光し、受光した反射光の強度の変化から、基板１の表面の微小突起物の高さを検出する。高さセンサー３０を用いて基板１を搭載するテーブルの基板搭載面の高さを予め検出し、検出結果に基づいて、テーブルに搭載された基板１の表面に対して光学ユニットの高さを調節する。テーブルの基板搭載面のうねりにより基板１の表面の高さが均一でなくても、光学ユニットの焦点位置の移動を、基板１の表面から常に一定の距離において開始することができる。 （もっと読む）

【課題】 複雑な調整加工が不要で治具の価格を低価格に抑えることが可能になると共に、作業性に優れた校正用治具を提供する。
【解決手段】 基準球１１３は支柱１１２の上部に固定的に保持されている。基準球１１３は、予め精密に測定された寸法が既知の鋼製の球である。反射板１１４は、この基準球１１３の下方において、基板１１１の表面にネジ止めその他の方法により固定的に形成されている。反射板１１４は、基準球１１３が上方から照明した場合の照明範囲よりも大なる大きさに形成されている。反射板１１４の表面は、その照明光が散乱されるよう、所定の表面粗さＲａを与えられている。 （もっと読む）

【課題】測長干渉計の測定基準となる基準ミラーを保持する構造体に、ベースの変形や振動が伝播するのを防ぐ。
【解決手段】三次元形状測定のためのプローブ等を保持する移動ステージ７の三次元位置を測長干渉計１〜６によって計測する。測長干渉計１〜６に対向するＸ、Ｙ、Ｚ方向の基準ミラー８、９、１０は、一本の根幹支柱１４から三股に分岐する片持ち梁１１、１２、１３の先端に支持される。この構造体（１１、１２、１３、１４）は、根幹支柱１４とベース１５の接触面積が小さいため、ベース１５の変形や振動が基準ミラー８、９、１０に伝播するのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 部品を組立した後の製品の検査項目の観点で部品の形状計測ができる部品の形状計測方法を提供する。
【解決手段】
検査装置１０は、部品形状を撮像するＣＣＤカメラ４０と、製品検査において基準となる基準点と、ＣＣＤカメラ４０により得られた部品形状の幾何学的関係に基づき前記基準点の代わりとなる仮想点を算出する画像処理部５０ａを備える。又、画像処理部５０ａは製品検査と同項目の検査に関し、仮想点を基準として部品形状に基づいて測定を行う。外部装置７０は、測定結果の適否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】レーザー距離センサ及びカメラを有する画像入力装置において、特殊な機器を用いずに、適切なタイミングで、レーザー距離センサとカメラとを自動校正可能にする。
【解決手段】レーザー距離センサとカメラとの校正誤差を検出するため、２種類のレンズ２０１,２０２の切り替え動作によって、可視光を遮断して不可視光を通過させる不可視用フィルタ２０２が、カメラのレンズ２３に自動装着される。不可視用フィルタ装着中のカメラ６０４によって、レーザー距離センサ６０２から物体上に投影された不可視光のパターンが可視画像として撮影される。得られた不可視光のパターン画像と基準画像との比較により、レーザー距離センサ６０２とカメラ６０４との校正誤差が算出され、その校正誤差があらかじめ定めた値を超えた場合に、雲台２０７等の制御によってレーザー距離センサと前記カメラとの相対的な位置及び姿勢が自動校正される。 （もっと読む）

【課題】 トルクコンバータのフロントカバー外周に取着されているセットブロックのネジ穴の位置精度を測定する為の装置であって、ＣＣＤカメラを用いて短時間で、しかも高精度の測定を可能とする測定装置の提供。
【解決手段】 先端にレンズ１３を備えたＣＣＤカメラ７をＸ軸方向及びＹ軸方向へ移動する為のＸ軸サーボモータ６とＹ軸サーボモータ３を備え、そして上記レンズ１３がＺ軸方向へ移動する為のＺ軸サーボモータ１１を取付けている。更にネジ穴を照らす為の照明１４を昇降動可能に備えている。 （もっと読む）

【課題】大きな被測定面を高い精度で非接触三次元計測する技術を提供する。
【解決手段】測定ヘッド２１からの信号に基づいて画素毎に三次元距離データを割り当てた測定画像を出力する非接触三次元測定手段２０と前記測定ヘッドを位置決めする測定ヘッド移動手段１０とを用いて大きな被測定面を非接触で三次元計測するシステム。このシステムは、被測定面を隣り合う同士が互いに重なり合う重合領域を有するように複数の区画面に分割する被測定面分割部３２と、前測定ヘッドを区画面に位置決めしながら非接触三次元測定手段から取得した区画面毎の測定画像の重合領域を互いの対応する画素の三次元距離データの差が小さくなるようにずらしながら重ね合わせていくことで前記隣り合う区画面に対応する測定画像を適正位置でつなぎ合わせる測定画像合成手段３４を備えている。 （もっと読む）

【課題】 物体に設けられるねじ部を画像処理により検査するための装置及び方法において、ねじ部が適正な状態にあるか否かを高精度かつ短時間で検査できるようにする。
【解決手段】 ねじ部検査装置１０は、物体に設けられるねじ部を画像処理により検査するものであって、ねじ部の中心軸線に対し傾斜した方向から、物体のねじ部を含む領域を撮影して、物体の２次元画像を取得する撮像部１２と、撮像部１２によって取得された２次元画像におけるねじ部の画像データに、フィルタ処理を施す画像処理部１４と、フィルタ処理を施したねじ部の出力画像データに基づき、ねじ部にねじが存在するか否かを判定するねじ判定部１６とを備える。画像処理部１４が行なうフィルタ処理は、エッジ検出処理を含み、ねじ部の出力画像データは、ねじ部におけるエッジデータを含む。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡を用いて試料裏面から観察を行いながら試料と探針の位置合わせを行うことが困難であったという点である。
【解決手段】 試料に対向する探針と、前記試料を置載面に置載する試料ステージと、前記試料ステージを前記置載面方向に走査すると共に、高さを変化させるスキャナと、を有し、前記探針と前記試料との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡において、前記試料ステージの少なくとも試料を置載する部分が光を透過し、前記試料ステージの置載面の裏面から前記試料を写すミラーと、前記ミラーからの像を受ける光学顕微鏡と、前記試料と前記探針を相対的に位置合わせする位置合手段と、を備え、前記光学顕微鏡の像に基づいて前記試料と前記探針の位置合わせを行う走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 ロボットのロボットハンドと周辺物体との干渉の有無を判別する技術を実現する。
【解決手段】 ロボット１０は、アームリンク１２と、ロボットハンド１４と、カメラ１８と、画像処理手段１７と、ワーク位置演算手段と、移動経路演算手段と、移動空間演算手段と、判別手段とを備えている。ワーク位置演算手段は、カメラ１８が撮影したワークの画像を画像処理手段１７で画像処理した結果から、ワークの位置と姿勢を演算する。移動経路演算手段は、ワークの位置と姿勢から、ロボットハンド１４の移動経路を演算する。移動空間演算手段は、ロボットハンド１４を包含する形状が移動経路に沿って移動する結果得られるロボットハンド１４の移動空間の形状と位置を演算する。判別手段は、ロボットハンド１４の移動空間の形状と位置と、周辺物体が存在する空間の形状と位置を比較し、両者の干渉の有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】プリントヘッドから吐出される液体材料の液滴を確実に撮像する。
【解決手段】液滴分析／液滴検査システムは、実際の圧電マイクロデポジションシステムの動作をエミュレートするために、分析の間、複数のプリントヘッドが静止したままであることを可能にする。システムは、個々のノズル噴出口の正確な調整を提供し、且つ、液滴分析／液滴検査と並行して、基板を載置及び位置合わせすることを可能にする。液滴分析／液滴検査システムは、ステージの動きを指示する動きコントローラと、基板上に被着されるべき流体材料の液滴を選択的に噴出するようにプリントヘッドを制御するプリントヘッドコントローラと、プリントヘッドに対して移動するために、ステージによって支持されるカメラとを有する。カメラは、モーションコントローラからの信号を受信して、カメラの露光を開始し、プリントヘッドによって噴出される流体材料の液滴の画像を撮像する。発光デバイスが、カメラの露光中、カメラからの信号を受信して、液体の液滴を含む領域に光を供給するストロボコントローラを有する。 （もっと読む）

【課題】測定しようとする測定対象物を、設計者が設計した目的に符合するように、検査実施者が正確で迅速に検査を行うことができるようにする。
【解決手段】測定対象物の3次元形状情報をスキャナーで検出し、データ貯蔵部に貯蔵された測定対象物の形状情報及び検査案内情報や、上記スキャナーから検出された上記測定情報の有効性を判断するための上記測定対象物の検査情報を表示部で確認してから、上記スキャナーを動作させ、上記スキャナーから検出された測定情報を検査情報と比較して上記測定の有効性を判断する。
【効果】設計者の検査意図を検査実施者が正確に把握して測定を実施することができる利点がある。 （もっと読む）