【課題】プローブを交換する事無く種々の測定精度を得ることができる形状測定装置を提供すること。
【解決手段】第１のライン光を測定物に照射する第１光学系と、第１光学系の少なくとも一部の光学素子を有し、第１のライン光よりも長い第２のライン光を測定物に照射する第２光学系とを有する光照射部と、前記測定物による前記第１のライン光の散乱光を検出する第１の検出部と、前記測定物による前記第２のライン光の散乱光を検出する第２の検出部と、を備える形状測定装置である。 （もっと読む）

【課題】トロリ線以外の構造物の影響を無くしトロリ線の偏位量を正確に測定する。
【解決手段】トロリ線測定装置は、トロリ線に向けて光を投光し、その反射光を受光することによってトロリ線の外形を測定する。このトロリ線の外形を測定する際に、剛体電車線区間では剛体部やイヤー部からのノイズが多く正確に測定することが困難である。そこで、このトロリ線測定装置は、剛体電車線区間でトロリ線及びその近傍の電車線設備（剛体部及びイヤー部）の画像を撮影し、撮影された画像に基づいて電車線設備の偏位を測定し、その測定結果をトロリ線の外形の測定に反映させるようにした。 （もっと読む）

【課題】高精度なエンコーダーを用いずに、可動部の位置制御を高精度に行うロボット装置を提供する。
【解決手段】基体１と、基体１に対して駆動可能な可動部２と、可動部２を駆動するアクチュエーター３と、可動部２とともに動く部分に取り付けられた慣性センサー４と、画像を撮影し画像により慣性センサー４の位置または角度を検出する絶対位置検出部として、画像センサー５及びマーカー６と、画像センサーにより検出された位置情報の間を、慣性センサー４の信号で補間する演算部９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】平面画像により表現された対象物体の、立体空間における位置および姿勢を高精度に検出する。
【解決手段】対象物体を撮像して画像データを生成する撮像装置１１と、撮像装置１１を可動に支持するロボット本体１２と、リファレンスに対する撮像装置１１からの視線方向ごとに、視線方向に対する面のテンプレート画像データとロボット座標系における面の位置および姿勢を表す情報とロボット座標系における撮像装置１１の位置および姿勢を表す情報とを有するテンプレート情報を記憶するテンプレート情報記憶部と、撮像装置１１が生成した画像データに含まれる対象物体の画像から可視である面を検出し、テンプレート情報記憶部から、可視である面に対応するテンプレート情報を読み込み、テンプレート情報に基づいてロボット座標系における対象物体の位置および姿勢を表す位置姿勢データを生成する位置姿勢データ生成部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】搭載対象のチップが良品であるか否かを判断しながら搭載処理が行えるようにする。
【解決手段】 複数のチップにダイシングされたウェハ５の周縁位置を複数撮影する撮影手段１２，１４と、撮影手段１２，１４により撮影されたウェハ５の周縁位置の画像データに基づき、ウェハ５の外縁をなすウェハ５円の中心位置及び直径を含むウェハ情報を算出するウェハ情報算出手段１５と、予め設定されたチップサイズ及びウェハ情報に基づき、搭載するチップの中心位置及び当該チップにおける所定箇所のコーナ位置を含むチップ情報を算出するチップ情報算出手段１５と、チップ情報に基づき、チップのコーナ位置がウェハ５円の内側に位置するか否かを判断し、ウェハ５円の内側に位置する場合には、当該チップは搭載可能な良品であると判断する良品判断手段１５と、チップが良品と判断された場合に、当該チップの搭載を行う搭載実行手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】装置の高コスト化を抑えながら、被検面の形状を高精度に計測することができる技術を提供する。
【解決手段】被検物を保持する保持面を含む保持部と、被検面と被検面の形状を計測するための基準となる基準位置との間の距離を計測する距離計測部と、基準位置が被検面に沿うように距離計測部を駆動する駆動部と、駆動部によって駆動される距離計測部の基準位置を測定する位置測定部と、距離計測部によって計測された被検面と基準位置との間の距離と位置測定部によって測定された基準位置とに基づいて被検面の形状を算出する処理部と、を有し、位置測定部は、距離計測部に配置されて互いに異なる測定軸を有するレーザ干渉計と、レーザ干渉計のそれぞれからの光をそれぞれ反射する基準ミラーとを含み、レーザ干渉計の原点と基準ミラーとの間の距離を測定することで基準位置を測定し、基準ミラーの法線が保持面を含む面に交差するように配置される。 （もっと読む）

【課題】 円形材料等の測定対象物に対し、レーザトラッカーから見て反対側の面の空間座標を測定すること、並びに外周面における任意の高さ位置の空間座標を測定することを可能にする測定補助器具を提供する。
【解決手段】 測定補助器具２０は、ターゲットＴｇを設置するターゲット設置部材２１と、その下側に位置固定で設けられ測定対象物Ｗの上端面に接触させる上端面接触部材２２と、その下方に配置され測定対象物Ｗの周面に接触させる周面接触部材２３と、上面接触部材２２に対する周面接触部材の高さを調整する高さ調整機構２４とを備える。レーザトラッカー１により、測定対象物Ｗに設けられたターゲットＴｇにレーザ光Ｌｂを照射し、その反射光からターゲットＴｇの空間座標を求める。求められた空間座標から、測定対象物Ｗの外周面における周面接触部材２３との接触箇所の空間座標を得る。 （もっと読む）

【課題】被検物の一部に単位距離あたりの形状変化が大きい部分があっても、データ取得時間を短くする。
【解決手段】検査光を被検物に照射する照射部２１と、検査光と被検物とを相対移動させる移動部と、検査光が照射された被検物を撮像し、撮像結果を出力する撮像部２２と、撮像部２２の撮像結果に基づいて、前記被検物の三次元形状を前記相対移動の方向に間隔をおいて演算する座標算出部５３と、被検物の形状に応じて前記間隔を変更する制御部４１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】スキャナを用いた形状測定システムにおいて、いわゆる手振れによる測定誤差を低減することをその目的とする。
【解決手段】形状測定システム１は、多関節アームの先端に取り付けられ、測定対象Ａに対し手動で移動可能であり、測定対象Ａに対しレーザ光を照射しその反射光を、光センサ６１の複数の受光ラインで順次検出するスキャナ２１と、スキャナ２１の手振れ情報を光センサ６１の受光ライン毎に取得する加速度センサ４２と、各受光ラインのスキャナ２１の手振れ情報に基づいて、受光ライン毎に画像の位置情報を補正する手振れ補正部８０と、スキャナ２１の画像情報と手振れ補正部８０で補正された画像の位置情報に基づいて、測定対象Ａの画像を生成する画像生成部１００と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 複数波長による表面形状の測定方法およびこれを用いた装置によって測定する場合に発生するクロストーク現象のクロストーク補正係数を算出する。
【解決手段】 測定対象面の平面領域内から輝度の異なる６点以上の干渉輝度信号を取得し、前記輝度信号に干渉縞モデルとクロストークモデルとの組み合わせを適合（フィッティング）することにより、クロストーク補正係数を一括して算出するクロストーク補正係数算出方法、また、該方法を実行できる装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】溶接線の径が多様に変化する筒形状部材であっても、計測機器の種類を増やすことなく、また、計測作業時間の増大を極力抑制する。
【解決手段】カメラ装置４が第１の撮影位置での溶接裏波８の全周にわたる撮影を終了すると、その装置本体４１は移動ステージ４２により第２の撮影位置に移動され、同様に、溶接裏波８の全周にわたる撮影を行う。このときの第１の撮影位置から第２の撮影位置までの距離Ｌは、第１の撮影位置におけるカメラ装置４と、撮影対象地点である溶接裏波８との間の距離Ｈに応じて設定される。そして、これら２個所の撮影位置で撮影された画像情報により、三角測量の原理に基づき溶接裏波８の３次元形状情報が演算され、この３次元形状情報に基づき突き合わせ溶接部の溶接品質が評価される。 （もっと読む）

【課題】計測精度を高精度化し、また計測時間を高速化することができる３次元寸法を計測する装置及び方法を提供する。
【解決手段】基準プレート６上方に配置された位置計測カメラ２で基準プレート６とその上の計測対象物１を撮影し、計測対象物１の基準プレート座標系での２次元座標を演算する。２次元座標上において複数の探査領域ＳＡ１〜ＳＡ４の位置を特定し、３次元計測カメラ３の撮影位置である複数の視点位置を画像認識にて演算する。視点位置から、基準プレート６と計測対象物１とを含んだ画像を３次元計測カメラ３で撮影する。３次元計測カメラ３で撮影した画像から、３次元計測カメラを基準とした複数の３次元座標を演算する。この座標を、基準プレートを基準とした世界座標系に統合する。世界座標系での３次元座標に基づき、計測対象物１の取付け具１２、１３相互間の寸法を演算する。 （もっと読む）

【課題】ターゲットの位置決め範囲が従来より狭く、かつ、測定光の光軸が固定されたレーザ干渉計であっても、測定光の光軸方向を測定可能な方法を提供すること。
【解決手段】レーザ干渉計１０４と再帰反射体１０６とハンドリング装置１０２を有する測定システム１００を用いる。レーザ干渉計１０４は、測定光を再帰反射体１０６に照射し、その反射光と参照光との干渉光強度を検出する。ハンドリング装置１０２は、再帰反射体１０６を測定位置まで移動して位置座標情報を検出する。まず、レーザ干渉計１０４が干渉光を検出でき、かつ同一平面上に存在しない少なくとも４つの測定位置ｐ_ｉを選ぶ。再帰反射体１０６を各測定位置ｐ_ｉに移動させて、その位置座標情報を検出する。レーザ干渉計１０４が再帰反射体１０６までの距離の変化量を測定する。各測定位置の位置座標情報と各距離の変化量に基づき測定光のベクトル情報 ａ を算出する。 （もっと読む）

【課題】計測時間を短縮化でき、装置構成が複雑化することを防ぐ。
【解決手段】三次元形状測定装置１は、測定対象物１１上に投影パターンを照射する投影部１３と、測定対象物１１を撮像する撮像部１４と、投影部１３に縞パターンを照射させ、照射させる縞パターンの位相を変化させながら、撮像部１４に測定対象物１１を繰り返し撮像させるとともに、測定対象物１１上に照射させた縞パターンの画像を複数取得する第１の制御部と、第１の領域のみに所定の光を照射させて撮像した第１の画像と、第２の領域のみに所定の光を照射させて撮像した第２の画像とを取得する第２の制御部と、第１の画像と第２の画像との差分に基づいて、縞パターンに含まれる縞の夫々を識別する基準線を検出する基準線検出部と、基準線に基づいて、測定対象物１１の三次元形状を測定する形状測定部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】発熱の抑制、低消費電力化、及び光源の長寿命化を達成する。
【解決手段】ワークに直線状の光を照射する光源と、ワークを撮像する撮像装置と、撮像装置の受光量によって光源の発光量を調整する制御部とを有し、撮像装置は、受光素子が配列形成されてワークの画像を行方向または列方向に逐次的に受光し、制御部は、各受光素子の受光時に、受光量が最大値を超えた受光素子が存在する場合には次の受光時における光源の光量を低下させ、受光量が最大値を超えた受光素子が存在しない場合には次の受光時における光源の光量を増加させ、更に、受光素子の受光時に、光源の光量が最大光量に達し、且つ受光量が最小値を下回っている場合には、次の受光時における光源の光量を最小光量にする。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガラス管Ｇに照射し、ガラス管Ｇの外周面で反射する反射光及び内周面で反射する反射光をラインセンサ３７で受光し、反射光の受光位置からガラス管Ｇの厚さを検出する。サーボ用レーザ光源４０からガラス管Ｇに対して、サーボ用レーザ光を測定用レーザ光の光軸と測定用レーザ光の反射光の光軸との中心線の方向であるＺ軸方向に照射する。フォトディテクタ４８でガラス管Ｇからの反射光を受光し、Ｙ軸方向サーボ回路１２０が、圧電アクチュエータ２５を駆動することにより、測定用レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸と交差するように光ヘッド１００をＹ軸方向にサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で容易に撮像面の傾斜状態を検出可能な傾斜検出方法を提供する。
【解決手段】２つの撮像装置のそれぞれについて、撮像装置の傾斜状態を検出する傾斜検出工程と、撮像装置の傾斜を調整する傾斜調整工程と、撮像装置の位置を検出する位置検出工程と、撮像装置の位置を調整する位置調整工程と、を有し、傾斜検出工程は、均等間隔で設けられたパターンを、撮像装置の焦点位置を順次変化させて撮像し、撮像画像におけるパターン位置を検出してパターン領域を設定し、パターン領域における各画素の輝度値を検出し、検査方向に沿って画素間の輝度変化量を算出し、各パターン領域における輝度変化量の積算値を算出し、積算値が最大となる撮像画像に対応した焦点一致位置を検出し、焦点一致位置に基づいて、撮像装置の傾斜状態を検出することを特徴とする調整方法。 （もっと読む）

【課題】円形フランジに機器、部材等を取り付けることなく円形フランジの歪量を測定するための円形フランジの歪量測定方法及び円形フランジの歪量測定装置を提供する。
【解決手段】歪を測定しようとする円形フランジ１１の前方に配置されて、特定位置Ｐから軸心１７に対して一定角度θで旋回し円錐面状にスキャンするレーザー光を発して円形フランジ１１の測定面１２に照射し、測定面１２からの反射レーザー光を受光して、特定位置Ｐから測定面１２までの距離を測定するレーザー測定機１３と、レーザー測定機１３を載せて所定方向にレーザー測定機１３の軸心１７を向ける位置決め手段１５と、レーザー測定機１３から取得した特定位置Ｐから測定面１２までの距離の値にｃｏｓθを乗算し距離データを得て、距離データから測定面１２が完全平面と仮定した基準データを算出し、距離データから基準データを引いて、円形フランジ１１の歪量を算出する演算部１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】高精度なワークの位置決めを必要とせず、大まかに位置決めされたワークの位置・姿勢を精度良く検出することが可能なワーク姿勢検出装置、ワーク処理実行装置及びワーク姿勢検出方法を提供すること。
【解決手段】第１のビジョンカメラ７が作業姿勢のキャブ２の第１基準孔１７を二次元検出位置から撮像し、撮像された画像を解析して第１基準孔１７の位置を求めることによって、基準位置に対する作業姿勢のキャブ２の概略変位が暫定的に演算される。概略変位が演算されたとき、塗装ガン４ｃ及びシーリングガン５ｃ，６ｃが制御されて、第１の補正位置及び第２の補正位置に塗装ガン４ｃ及びシーリングガン５ｃ，６ｃが設定され、第１のビジョンカメラ７の第１の画角よりも狭い第２〜第４の画角に設定された第２〜第４のビジョンカメラ８，９，１０が、作業姿勢のキャブ２の第１〜第３基準孔１７，１８，１９を撮像する。 （もっと読む）

【課題】円筒状ワークの外径寸法を、迅速かつ正確に取得することが可能な円筒状ワークの寸法測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】測定対象となる円筒状ワークＷの中心軸線と平行に配置された固定軸Ｐと、該固定軸Ｐの径方向に離間して平行に配置され、固定軸Ｐを中心とした円の周方向に回動可能とされた可動軸Ｑと、可動軸Ｐと固定軸Ｑとの対向方向に延びる基準直線ｌ上における円筒状ワークＷによる遮蔽距離を検出する距離センサ５０とを設ける。 （もっと読む）