【課題】高精度な欠陥解析を行う。
【解決手段】回路パターンが形成されたウェーハの欠陥解析領域を複数の格子に分割する領域分割部１２と、前記格子毎に前記回路パターンの設計データに基づくパターン特徴量を抽出するパターン特徴量抽出部１３と、前記パターン特徴量に基づいて前記複数の格子を複数のグループに分類する領域分類部１４と、前記欠陥解析領域において検出された欠陥情報と前記欠陥解析領域とを照合する欠陥座標照合部１５と、前記グループ毎の欠陥サイズ分布を算出する欠陥サイズ分布算出部１６と、前記グループ毎の前記欠陥サイズ分布と所定の推定分布との差分を算出する分布比較部１７と、前記差分が所定の閾値以下のグループに対応する前記欠陥情報を出力する領域抽出部１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光ケーブル用スペーサに付与した着色トレーサの異常を全長にわたって確実に検出する。
【解決手段】着色トレーサ異常検出装置は、撮影カメラ１１、照明１２、背景用反射板１３、演算装置１４、およびモニター１５を備える。演算装置１４は、撮影カメラ１１で撮影した画像から、着色トレーサのヤケカスやブツの異物を検出する。この演算装置１４では、撮影カメラ１１で撮影した画像を取り込み、その画像データに対して光ケーブル用スペーサ１の進行方向に微分処理を行い、さらに所定のしきい値を用いて二値化処理を行って、得られた二値化データに従って着色トレーサの異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】安価且つ簡便な装置構成によって、電子部品などのワークの外観を精度良く計測することが可能な外観計測装置を提供する。
【解決手段】外観計測装置は、スキャナを用いてワークの外観計測を行う。外観計測装置は、ワークの画像の背景が蛍光色となるように設定した状態でスキャナによってワークの撮影を行い、得られた画像に基づいてワークの外観計測を行う。このようにワークの背景を蛍光色に設定することによって、ワークの影が画像として取り込まれてしまうことを抑制でき、ワークの輪郭が鮮明に写った画像を取得できる。したがって、上記の外観計測装置によれば、ワークの影の影響を排除するための処理などを行う必要がないと共に、バックライトなどを用いる必要がないので、簡便な処理及び装置構成によって、ワークの形状を画像から正確に抽出することができ、外観計測の精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】適切な計測レシピを効率的に得られるようにして、早期に安定した計測を行えるようにする。
【解決手段】計測に用いた計測画像を保存しておき（ステップＳ３）、計測に失敗して、計測画像の輝度プロファイルの微分波形の閾値などの計測パラメータを修正して再教示したときには（ステップＳ７）、保存した計測画像を読み込み（ステップＳ８）、この読み込んだ計測画像を用いて、修正した計測パラメータに基づいて、再計測を行って修正した計測パラメータが適切である否かを判断できるようにし（ステップＳ４〜Ｓ６）、これによって、計測対象を再度撮像して再計測を行う必要がない。 （もっと読む）

【課題】うねり形状、うねりの周期、太さ、太さ分布等の毛髪繊維形状に関する情報を、簡便な操作で短時間に測定できるようにする。
【解決手段】 毛髪繊維形状解析システムが、平面に載置した毛髪繊維の二次元画像を取得する画像取得手段、毛髪繊維画像上の所定間隔にある複数の位置で、毛髪繊維のうねり指標又は太さを演算し、集計する機能を備えた演算手段、及び表示手段を備える。 （もっと読む）

【課題】エッジ検出箇所に画像ボケが生じている場合でも精度良くエッジを検出できるようにする。
【解決手段】撮像装置２０により、光切断法により対象物１０についての二次元画像データが取得され、パーソナルコンピュータ３０により二次元画像データの画素毎の距離情報が求められる。そして、前記距離情報に応じて、画像内に存在するエッジを検出するエッジ検出箇所の各々に適用する解析関数を決定する処理が行われる。つまり、合焦位置からの距離に応じて解析関数が選択される。しかる後、エッジ検出箇所の各々に、決定された前記解析関数をフィッティング処理することで、エッジが検出される。 （もっと読む）

【課題】
シート状材料の印刷面の光沢について、シート状材料の表面形状から印刷面の光沢を評価する方法を提供する。
【解決手段】
シート状材料の表面形状画像を得、前記表面形状画像中の各画素についての高さデータを取得するステップ（ＳＴ１）と、前記高さデータについて、隣接する画素との高さ変化率に相当する１次微分値を求め（ＳＴ２）、平均値化するステップ(ＳＴ３)と、前記平均値化した結果を印刷面の光沢指標値として出力するステップ（３）とを備えるシート状材料の印刷面の光沢評価方法。 （もっと読む）

【課題】ＧＰＳアンテナを増設することなく、既存の車載用ナビゲーションシステムを用いて停車中の車両の指向方向を検出することができるようにする。
【解決手段】自動操縦により駐車スペース２１に後進で駐車させる際の基準となる切返し点Ｐの位置座標、及びそのときの基準車両１前方を撮像したステレオ画像に基づき基準車両１から前方立体物の縦方向エッジｗ，ｕまでの距離Ｐｗ，Ｐｕを算出して記憶する。その後対象車両１’を切返し点Ｐを目標として停車させたときの実際の切返し点Ｑにおける位置座標、及びそのときの対象車両１’前方を撮像したステレオ画像に基づき縦方向エッジｗ，ｕまでの距離Ｑｗ，Ｑｕを算出し、各距離Ｐｗ，Ｐｕ，Ｑｗ，Ｑｕと両車両１，１’間の距離ＰＱに基づき余弦定理及びベクトルの内積を用いて、車両１の指向方向に対する対象車両１’の指向方向の角度差θｘを算出する。 （もっと読む）

【課題】ホログラム記録媒体に対するレーザー装置からのレーザービームの照射を振動のレベルに応じて制御することが可能な振動検出装置、ホログラム装置、振動検出装置の振動検出方法、ホログラム装置の記録方法を提供することを目的とする。
【解決手段】記録すべきデータに対応した可干渉性のデータビームと参照ビームとを記録媒体へ入射させデータをホログラムとして記録媒体に記録させるホログラム装置であって、データビーム及び参照ビームに対し非干渉性を有し振動の有無を検出するための振動検出用ビームを記録媒体に入射させる振動検出用ビーム発生部と、入射された後伝播して出射される振動検出用ビームを受光した位置が所定範囲内であるか否かを判別する受光判別部と、所定範囲内でないと受光判別部が判別したときデータビームと参照ビームのうち少なくとも一方の記録媒体への入射を遮断する遮断部と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

パターンのパラメータの変化を評価するための方法及びシステムが提供される。この方法は、パターン化された物品の少なくとも一部分の空間強度像を表すデータを処理し、更に、そのパターン化された物品の前記少なくとも一部分内の所定の領域に対して空間像強度のある関数の値を決定することを含み、空間像強度の関数の前記値は、そのパターン化された物品の前記少なくとも一部分内のパターンの少なくとも１つのパラメータの変化を表すか、又はそのパターン化された物品を使用することにより製造されるパターンの少なくとも１つのパラメータの変化を表すものである。 （もっと読む）

【課題】 下地層の影響を受けずに最上層の欠陥を適切に検出可能な検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体１０Ａから発生した光から、検査用の画像を取り込む取込手段１５,１７と、検査用画像から被検物体の各部の欠陥を異なる感度で検出する処理手段１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザの反射光を用いて距離画像を形成する侵入検知装置において、反射光の強度が小さい方向に関して測距不能となり、侵入者の誤検出や検出漏れを生じやすい。
【解決手段】距離算出部１６は、監視空間へ向けたレーザに対する反射光に基づいて当該監視空間に存在する物体までの距離計測値を距離画像の画素毎に求める。背景差分算出部２２は、背景距離画像と監視中の対象距離画像との間での距離計測値の変化量に基づいて距離変化が生じた変化画素を抽出し、両距離画像のうち一方にて測距不能である画素に関しては、当該両距離画像の互いに対応する画素同士での反射光の受光量の相違に基づいて距離変化を判定する。侵入者判定部２４は、その変化画素に基づいて監視空間における侵入物体の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】眼鏡レンズとレンズホルダの高精度の位置合わせを低コストで能率良く短時間に行う。
【解決手段】レンズメータ５は、加工対象の眼鏡レンズを撮影する。画像処理装置６は、撮影された画像を２値化して、２値化画像に含まれる個々の図形の特徴パラメータを抽出して、特徴パラメータが所定の条件に合う図形を眼鏡レンズに予め形成された隠しマークとして抽出し、隠しマークの位置に基づいて幾何学中心位置を求めると共に、眼鏡レンズの角度ずれを求める。ホストコンピュータ９は、加工対象の眼鏡レンズに対応するレイアウトデータを角度ずれに応じて角度補正し、補正後のレイアウトデータに基づいて加工中心位置を求める。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ上に形成された微細パターン及びそれを露光した露光装置の評価と異常検知を行う。
【解決手段】ステッパにより露光した微細パターンに対しエッジ検出を行い、個々のパターンに対してレジスト表面及び底面におけるパターン形状を検出する。検出されたレジスト表面及び底面のパターンの位置関係を示す位置ずれベクトルを算出、画面表示することで微細パターンの評価を行う。更にチップ、１ショット、ウエハの複数位置の微細パターンで同様に位置ずれベクトルを算出し、各場所における位置ずれベクトルの大きさ、分布状況を特徴量として分類、その傾向を各範囲内で分析することで露光装置あるいはウエハの異常検知を行う。 （もっと読む）

物体表面の曲率を測定するシステムおよび方法は、既知のサイズを有する光パターンを用いて物体表面を照射して、物体表面から反射した虚像を形成すること、光パターンから物体表面によって形成された反射虚像のサイズを測定すること、および光パターンの既知のサイズおよび反射虚像のサイズから、物体表面の曲率を計算することによって動作する。
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【課題】 本発明は、フィルムの製造時に発生するフィッシュアイを検査する検査装置および検査方法を提供することにある。
【解決手段】 フィルム検査装置１０は、フィルムに透過させる光を発光する光源および受光部が並んだセンサを有し、センサでフィルムをスキャンするカメラ１２と、センサでスキャンして得た電荷信号を電圧信号に変換し、電圧信号からフィルムの不良部分を分析する分析手段１４と、分析された電圧信号と複数の大きさ閾値を比較し、電圧信号がいずれの大きさ閾値に一致するかを求めるコンパレータ１８とを含む。 （もっと読む）

【課題】パンタグラフ周辺部の障害物を非接触で、高速、かつ、安全に画像処理にて検出する。
【解決手段】左右２台のカメラ１，２でパンタグラフ周辺部を撮像し、画像設定手段１０、検査対象範囲外削除手段２０、パンタグラフ部分削除手段３０、トロリ部分削除手段４０、背景部分を黒、それ以外を白とするマスク画像を作成するマスク画像作成手段５０と、マスク画像の黒部分の画像データを削除した左右のマスク処理画像を作成するマスク処理画像作成手段６０と、左画像又は右画像の何れか一方についての塊特徴を抽出する塊抽出手段７０と、輪郭線の三次元位置データの平均を塊特徴の三次元位置として求めるステレオ計測手段８０と、塊特徴の三次元位置とパンタグラフの特徴の三次元位置とを比較し、近接度合いの高いものを支障物として選択するパンタグラフ近接検査手段９０と、支障物の三次元データを設定する支障物検出データ設定手段１００とから構成する。 （もっと読む）

【課題】計測精度を維持してウエハアライメントのスループット性を向上させた位置計測方法等を提供すること。
【解決手段】Ｚステージ１８をフォーカス方向における第１移動範囲（ラフ計測範囲）内で、複数の計測箇所に移動・停止させて、各計測箇所でアライメントマークＡＭ１、ＡＭ２の撮像信号を取得するラフ計測を行い（Ｓ１０２）、このラフ計測結果から第１移動範囲よりも狭い第２移動範囲（ファイン計測範囲）を絞り込み（Ｓ１０４）、この絞り込んだ第２移動範囲内において、Ｚステージ１８を、ラフ計測時よりも短い間隔の複数の計測箇所に移動・停止させて、各計測箇所でアライメントマークＡＭ１、ＡＭ２の撮像信号を取得するファイン計測を行い（Ｓ１０５）、このファイン計測により最適フォーカス位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】高い検出精度を有する周期性パターンのムラ検査方法を提供する。
【解決手段】塗工層または描画面を撮像した画像データに対して、注目画素（Ｘ，Ｙ）について、αを１からｎ１、βを１からｎ２までの自然数とし、注目画素の周辺画素（Ｘ＋α，Ｙ＋β）の輝度情報の階調値を輝度値としたときに、該周辺画素（Ｘ＋α，Ｙ＋β）の輝度値をそれぞれ足し合わせた加算値から注目画素の周辺画素（Ｘ−α，Ｙ−β）の輝度値をそれぞれ足し合わせた加算値をそれぞれ引いた減算値を注目画素の値と置き換えた構成の周辺強調フィルタを用いてコンボリューション演算を行い、画像データを修正画像データとする工程（ａ）と、修正画像データにある一定値を加算し、該加算値を注目画素の新たな画像データとする工程（ｂ）と、工程（ａ），（ｂ）で撮像した画像データの画素全てに対して順次行う工程（ｃ）とを有する。 （もっと読む）

【課題】限られた照明数で容易に塗布部を抽出することができる接着剤塗布部抽出方法を提供すること。
【解決手段】接着剤の塗布された被検査対象物に第１の入射方向から照明を当て、撮影された画像データから該接着剤の第１のエッジデータを抽出し、被検査対象物に第１の入射方向とは異なる第２の入射方向から照明を当て、撮影された画像データから接着剤の第２のエッジデータを抽出し、該第１及び第２のエッジデータの差分を取ることにより、接着剤の塗布部を抽出する。本発明によれば、ディスペンサにより塗布された無色透明で表面が曲面の接着剤のエッジ部を非常に簡易な方法で検出することができる。 （もっと読む）