【課題】複数の測定対象物の測定が可能な変位センサを提供すること。
【解決手段】コントローラ１０は、トリガが発生する毎に、サンプルトリガ蓄積数分の測定データを第１の記憶回路１３に記憶するとともにデータアドレスをカウントアップする。トリガ発生毎に測定データを第１の記憶回路１３に記憶することで、複数の測定対象物の高さの測定が可能となる。データアドレスはトリガの発生回数に対応する。従って、データアドレスに基づいてトリガの発生回数、即ち測定対象物の数をカウントすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 設定された領域におけるサンプルを透過あるいは反射したテラヘルツ波の時間波形を取得することができる装置の提供。
【解決手段】 １４は、発生部１２が発生させたテラヘルツ波１０がサンプル１９を透過したテラヘルツ波１１を検出するための検出部１３が検出するタイミングを変化させるための遅延部である。
１５は、前記遅延部１０４を用いて得る、前記透過したテラヘルツ波の時間波形を取得するための波形取得部である。
前記記憶部１６が予め記憶しているサンプル１９に関する情報に基づいて設定される前記時間波形に関する領域で、前記検出部１３が前記透過したテラヘルツ波を検出するように前記遅延部１４、２４を制御する。
そして、前記領域における前記透過したテラヘルツ波の時間波形を取得する。 （もっと読む）

【課題】移動する被測定物の表面に照射したライン光の像を含む撮像画像の輝度情報を入力し，その入力情報に基づいて光切断線を抽出する処理を高速で実行すること。
【解決手段】回路６１０が水平１ライン分の画素郡がさらに複数に区分された画素ブロックごとにその輝度情報を並行して入力する処理，その後段側で回路６１１ａ〜６１１ｄがそれぞれ１つ前段で記録された全ての輝度情報を２個ごとに比較して輝度が高い方の輝度情報及びその座標情報を記録する処理を複数段に連ねて行う処理，その最終段の回路で記録された輝度情報と前回記録した輝度情報とを比較して輝度が高い方の最高輝度情報及び座標情報を回路６１２が記録する処理，を所定のクロック信号ＣＬＫに同期して並列して実行し，水平同期信号Ｈｓｙｎｃに同期して，最高輝度情報及びその座標情報を，ＳＤＲＡＭ６２に対し順次追記的に書き込み，その最高情報を水平同期信号に同期して初期化する。 （もっと読む）

【課題】表面を斜めの検査角度において高い解像度で検査できるようにする方法及び装置を提供する。
【解決手段】表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成するための装置は、ビュー角度に向けられた光学軸に沿ってエリアから光学放射を収集することによりエリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレー(192)を備えている。傾斜補正ユニット(194)が、初期像の傾斜を補正するように結合されて、実質的に無歪の中間像を形成する。中間像を像検出器に収束するために拡大モジュール(19８)が結合される。 （もっと読む）

機械工具用の工具設定または工具分析装置は、光ビーム（２０）を生成するための光源（１２）を備える。光受信器（３４）は、光ビームを受けて、受光量を示す信号を生成する。これは、ビームが少なくとも部分的に遮断されるときに、トリガ信号を機械コントローラ（６２）に対して生成するために主分析回路（３５）によって分析される。フェールセーフ動作を実現するために、主回路（３５）が工具を認識しないことがあれば、遅延の後にバックアップトリガ信号が遅延回路（６６）によって生成される。１つの好ましい形態では、機械コントローラがブラインドウィンドウの弊害を受けて、初期トリガ信号を見逃すことがあっても、バックアップトリガ信号が発振して、フェールセーフ動作を保証できる反復エッジを供給することができる。
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【課題】従来の光ファイバセンサは、２つの光源を必要とする点、検出する２つの偏波の変動は、異なる光ファイバに生じるものであるため変化のしかたが異なり、それらの偏波変動を比較して時間差を特定することが困難である点、偏波変動の発生位置を詳細に特定できない点等の課題があった。
【解決手段】偏波光源から発せられた偏波光を２分配し、これらの分配偏波光のそれぞれを測定光ファイバの両端に導いてそれぞれ前記測定光ファイバ中を異なる方向に伝播させ、前記測定光ファイバの両端にて前記異なる方向に伝播された偏波光を取り出し、この取り出された偏波光の偏波変化の時間差を計測して前記測定光ファイバ上で生じた偏波変動の生じた位置もしくは区間を特定する事を特徴とする。これにより、その発生位置を精度良くかつ簡単に特定する事が可能である。 （もっと読む）

【課題】連続的にリアルタイム画像表示を行いつつ、安定的に、低ノイズで、かつ効率よく、高速で掃引光源ＣＯＴ（ＳＳ−ＯＣＴ）システムを操作できる装置及び方法を提供する。
【解決手段】低偏光依存性利得（ＰＤＧ）を得るためにレーザリング内の半導体光増幅器（ＳＯＡ）が選択され、高偏光依存性利得を得るために光リング外のブースタ半導体光増幅器が選択される。低偏光依存性利得の半導体光増幅器を利用することで、レーザの出力光の偏光状態のばらつきは殆どなくなるが、掃引中のレーザ出力の偏光状態のばらつきをなくすことはできず、これがＳＳ−ＯＣＴシステムの性能を低下させる可能性がある。 （もっと読む）

【課題】ブリルアン散乱現象を用いた測定方法にて、光ファイバの片側端部のみからの信号光入射にて高空間分解能を実現する。
【解決手段】第１パルス光と第２パルス光との時間間隔が音響波の寿命以下の時間間隔とされたパルス列３ａをコヒーレント光２ａから生成して光ファイバ７へ出射する光パルス生成手段３と、第１パルス光の後方ブリルアン散乱光とコヒーレント光とを合波することによって得られる光信号を電気信号に変換する検波手段８と、電気信号と該電気信号を第１パルス光と第２パルス光との時間間隔分遅延させた電気信号との和をとることによって干渉信号を生成し、該干渉信号に基づいて上記光ファイバの特性を求める信号処理手段１４と、上記電気信号よりブリルアンスペクトルを得るための電気的あるいは光学的な周波数可変手段１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像や形状を計測するシステムにおいて、空間分解能を高める。
【解決手段】対象物の画像又は形状を計測する計測システム（１００）は、画素値を示す受信信号を夫々出力可能であり且つ受信面に沿って配列される複数のメイン画素に区画された受信素子（１０１）と、この受信面に沿った方向における受信素子と対象物との相対的な位置関係を、メイン画素を更に区画したサブ画素の単位で変更する駆動手段（１０２）とを備える。計測システムは更に、前記位置関係が変更される毎に受信素子から出力される受信信号の２次元分布に基づいて、画素値をサブ画素の単位で演算する演算手段（１１３）を備える。 （もっと読む）

【課題】カメラが自動車等の移動体に搭載されて自在に移動する場合に於いて、その移動量もしくは移動距離を、比較的小さな処理負荷で算出できるようにする。
【解決手段】カメラで撮像したフレームから所定形状のマッチング検査領域を切り出してフレーム間でパターンマッチングを行い、同一の特徴点に対応する被写点の位置をフレーム毎に算出し、算出した両被写点位置間の変位量を求めて両フレーム間での移動量とする移動量演算装置。カメラが搭載される移動体の舵角を検出する（Ｓ０２）手段を有し、マッチング検査領域を切り出す手段は第１フレームに続く第２フレームのマッチング検査領域を前記検出した舵角に応じて第１フレームのマッチング検査領域に対して傾斜させて切り出し（Ｓ０３）、両被写点位置間の変位量を求める手段は当該求めた変位量を前記移動体の移動量とする（Ｓ０９）。 （もっと読む）

【課題】緊急対応制御が可能な自律制御型ロボットを提供する。
【解決手段】自律制御型ロボットにおいて、自律制御系とは別の独立系統によって該ロボットの動作の安全性を監視して緊急対応制御ができるようにした。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出に用いるレーザ光の光量が低減することなく、パターン欠陥の検出を高感度にて行うことができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】パターン欠陥検査装置は、試料を移動させるためのステージと、レーザ光源からのレーザ光を試料に照射する照射系と、試料からの光を検出するＴＤＩ（Time Delay Integration：遅延積算）イメージセンサと、イメージセンサの検出感度を補正するための感度補正回路と、感度補正回路の出力より試料の欠陥を判定する欠陥判定回路と、を有する。イメージセンサに隣接して試料からの光を受光する光量検出器を設け、レーザ光源の光量変動情報を得る。感度補正回路は、ステージの速度変動情報とレーザ光源の光量変動情報に基づいて、イメージセンサの検出感度を補正する。 （もっと読む）

【課題】
より微細化されたパターン上の欠陥の寸法を従来の欠陥検査装置で求めると、同じ欠陥をＳＥＭで測定したときと異なる値になってしまう。そこで、欠陥検査装置で検出した欠陥の寸法値を高精度に算出して、ＳＥＭで測定した値に近づける。
【解決手段】
欠陥検査装置で求めた欠陥の寸法を、欠陥の特徴量または種類に応じて補正することにより、高い精度で欠陥の寸法を算出できるようにした。 （もっと読む）

【目的】 ものや小動物の侵入と不審者（人）の侵入とを的確に識別可能な防犯監視装置の提供を課題とする。
【構成】 赤外線による複数の発光部１１と受後部１２とを平面状に配置し、該発光部と受光部とで監視対象の空間１０を挟むように設けた検出手段と、前記検出手段で監視対象の空間をサンプリングし、得られた赤外線遮断信号を平面的に解析することにより侵入者の有無を判別する判別手段と、を備え、侵入者の影を２次元解析することにより、ものや小動物の侵入と不審者（人）の侵入とを的確に識別する。 （もっと読む）

【課題】複数台が対象空間を共通にしている場合でも、それぞれ対象空間の空間情報を独立して検出することができる空間情報検出装置を提供する。
【解決手段】空間情報検出装置は、対象空間に投光する発光源２と、発光源２から対象空間に投光する光の強度を変調するように発光源２に所定の変調周波数の変調信号を与える発光制御部３と、対象空間からの光を受光し受光光量に応じた電荷を生成する感光部１１を有した光検出素子１と、光検出素子１の出力から対象空間に存在する物体Ｏｂまでの距離を求める距離演算部４とを備える。距離演算部４は、光検出素子１が受光する環境光成分のうち変動成分を相殺するように変調信号に同期する特定の位相区間の差分の積算値を所定の積分時間において求め、当該積算値を用いて物体Ｏｂまでの距離を求める。 （もっと読む）

【課題】 フェムト秒レーザー等を用いない低コストな位置センシング装置が強く望まれていた。
【解決手段】 そこで、本発明は物体の位置を検出するための装置であって、前記物体に連続する電磁波を照射するための照射部と、前記照射部から照射される電磁波のうち前記物体から反射される電磁波を検出するための検出部と、前記検出部で検出される情報から振幅強度の変化又は位相の変化を出力する出力部を備え、前記出力される情報をもとに前記物体の位置を検知する位置センシング装置を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】 球状または円柱状の被検査物体の表面の欠陥を高精度に検出し得る表面検査装置を提供する。
【解決手段】 球状または円柱状の被検査物体４が所定の方向に分散配置されている状態を該所定の方向に沿って撮影するラインセンサ５により、上記所定の方向と直交する方向において被検査物体の全表面を撮影することを可能とするために、ラインセンサ及び／または複数の被検査物体の表面を所定の方向と直交する方向に移動させる移動装置としてのローラー２と、ラインセンサ５の出力であるビデオ信号において、被検査物体４が存在する部分の出力電圧と、被検査物体４間の領域における出力電圧との間のしきい値電圧に基づいて、被検査物体が存在する部分を検出して検査範囲を検出し、検査範囲において、ビデオ信号に基づき、被検査物体４の表面の欠陥の有無を検査する制御装置１０とを備える、表面検査装置。 （もっと読む）

【課題】物体を撮像してその物体の３次元形状と表面色とを計測する技術において、その撮像時間を短縮する。
【解決手段】まず、物体の３次元形状を計測するため、ＣＣＤにより、その物体を撮像し、その撮像結果から、その物体を表す全体画像を構成する複数個の画素のいずれかを間引いて形成される画素間引き画像を取り出す。その取り出された画素間引き画像に基づき、物体の３次元形状を計測する。同じ物体の表面色を計測するため、ＣＣＤにより、３次元形状計測のための撮像に連続して、その物体を撮像し、その撮像結果から、その物体を表す全体画像を構成する複数個の画素のいずれも間引かずに形成される画素非間引き画像を取り出す。その取り出された画素非間引き画像に基づき、物体の表面色を計測する。これにより、高いテクスチャ解像度が確保されつつ、撮像時間が短縮されてテクスチャマッピング精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を測定対象物に照射し測定対象物からの反射光を受光することにより測定対象物の３次元画像情報を取得する装置であって、従来のシステムとは異なる方法を用いて高速に３次元画像を取得する。
【解決手段】測定対象物で反射したレーザ光を受光する複数の受光面を備え、各受光面で受光したレーザ光の情報をそれぞれ電気信号に変換して出力する光電変換器と、複数の部分領域毎に、選択されたマイクロミラーの反射面を所定の向きに制御してＯＮ状態にし、このＯＮ状態のマイクロミラーで反射した測定対象物からのレーザ光の反射光を、それぞれ異なる受光面へと導くマイクロミラーアレイ空間変調素子と、各電気信号毎の位相ずれ情報と、各部分領域それぞれの前記ＯＮ状態のマイクロミラーの位置情報とを用いて測定対象物の３次元位置情報を求めるデータ処理部とを有する３次元画像情報取得装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 カメラ位置とカメラ回転角を示すカメラベクトルにＧＰＳ等で得られる絶対座標を与えて校正を行い、高精度の位置情報を生成・取得する。
【解決手段】 移動体の周辺のビデオ映像を取得するとともに、移動体の位置計測データを計測する移動体計測部１０と、取得されたビデオ映像からカメラの三次元位置及び３軸回転位置を示すＣＶデータを生成するとともに、計測された位置計測データを取得するデータ生成部２０と、ＣＶデータ及び位置計測データを、基準時刻により関連付けられた時刻同期ＣＶデータと時刻同期計測データとして生成する時間軸整合部３０と、時刻同期ＣＶデータと時刻同期計測データを同一時間軸で関連付けて比較して相互に補完補正するＣＶ補正信号を生成するＣＶ補正部４０と、取得されたビデオ映像の各フレームに対応して、ＣＶ補正信号により補正された高精度ＣＶ値を出力する高精度ＣＶデータ出力部５０とを備える。 （もっと読む）