【課題】より適切なバリ取りを行うことができるバリ取り方法を提供する。
【解決手段】バリ取り方法は、ワーク上のバリの形状を計測する計測工程（Ｓ１、Ｓ２）と、計測工程で得られた計測値に基づき、バリの長さ方向に沿って所定の根元算出点における両側の根元位置を算出する根元算出工程（Ｓ３〜Ｓ１１）と、根元算出工程で得られた根元位置に基づいてバリ取り工具の軌道を算出する軌道算出工程と、軌道算出工程で得られた軌道に従ってバリ取り工具を移動させながらバリ取り加工を行うバリ取り工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】風や反射光などの外乱の影響による誤検出を低減させ正確な変位量を検出することができる、安価で高精度な変位検出警報システムを提供すること。
【解決手段】再帰反射材を用いた１枚のターゲットに対して、異なる方向から複数の変位検出装置によって撮影することで、昼夜問わず外乱による誤検出を低減させることができる。さらに、変位検出装置で撮影した画像データと過去の計測データと気象データを統合することにより、気温の変化によるターゲットもしくは変位検出装置の変形や、両方の変形、降雨や風による変位の誤検出が発生しやすい場合でも、高確率で正しい判定が可能になる。また、各変位検出装置でデータを分散して保存することにより、変位検出装置が最後の１台になっても、計測を継続することが可能である。 （もっと読む）

【課題】パターンのムラ欠陥の生じない描画条件を導出し、製品の歩留まりを向上する。
【解決手段】基板上に描画するパターンのムラ欠陥が発生しない描画条件を導出する方法であって、基板上に形成するパターンを生成するパターン情報生成工程Ｓ１と、パターンに対して、複数の描画項目の組み合わせによる、２通り以上の描画条件を設定する描画条件設定工程Ｓ２と、前記生成されたパターンを抜き取り、補助基板上に、前記各描画条件のもとに、矩形領域をなす補助パターンを形成する補助パターン描画工程Ｓ３と、補助基板に対して照明光を入射し、補助パターンから生じる回折光を光電変換素子にて画像として取得し、ムラ欠陥に関するムラ評価値とムラ発生周期とを求めことにより、複数の描画条件の中からムラ欠陥が生じない描画条件を導出する描画条件判定工程Ｓ４とを含むパターンの描画条件導出方法である。 （もっと読む）

【課題】試料の表面形状の測定精度を大幅に向上させることのできる、走査型白色干渉計による試料の表面形状の測定方法を提供する。
【解決手段】対物レンズの下にビームスプリッター及びミラーを配し、試料表面を含めて、マイケルソン型などの干渉計を構成し、試料までの距離又はミラーまでの距離をピエゾアクチュエーターで走査し、それによりできる干渉波形をCCDカメラで撮影して動画ファイルデータとして記録し、データ収集間隔をナイキスト間隔（干渉波形の周期の１／２）よりも広く取って試料の表面形状を測定する、走査型白色干渉計による試料の表面形状の測定方法において、得られた収集波形についてヒルベルト変換を行い、包絡線と位相を得、こうして得られた位相が０になる走査位置と試料の表面高さとの関係を用いて位相が0になる走査位置から試料表面の高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】ストレートエッジと同等の精度で真直度の測定、調整ができる小型軽量安価な真直度測定装置の提供。
【解決手段】光位置センサ７が、測定対象１２に沿って摺動させられつつ、光ビーム出力部１からの光ビームを受光した平面上の位置を検出することにより、測定対象１２の真直度を測定する真直度測定装置。光ビーム出力部１及び光位置センサ７間の距離を距離センサ６が測定し、受光する平面上の任意の位置を基準位置として受付け、校正動作時に、基準位置及び光位置センサ７が検出した位置の差を算出し、算出した差を、位置の検出時に距離センサ６が測定した距離と共に記憶しておき、測定動作時に、基準位置及び光位置センサ７が検出した位置の差を算出し、算出した差から、位置の検出時に測定した距離に対応して記憶している差を差引いた結果を距離と共に表示部１１に表示する構成である。 （もっと読む）

【課題】シートに着座した大人と、補助シートを用いて着座した子供を常時正確に判別することのできる乗員判別装置、及び、乗員判別方法を提供する。
【解決手段】乗員を含むシート１Ｂ上の対象物の距離画像データを取得する距離画像センサ４を設ける。距離画像センサ４で取得した距離画像データを基に、対象物全体の体積に対する乗員の上肢領域の体積比率を求める上肢比率算出手段３０を設ける。上肢比率算出手段３０で算出した比率が閾値以上の場合に大人であるものと判別し、算出した比率が閾値よりも小さい場合に補助シートに着座した子供であるものと判別する。 （もっと読む）

【課題】シェーディングの状態や、その雑音成分が変化しても、リアルタイムにシェーディング補正が可能な表面検査装置のシェーディング補正方法を提供することを目的とする。
【解決手段】予め記憶された前回走査時までの走査検出信号で生成した第１のシェーディング補正信号ｓ８を元にして閾値信号ｓ３、ｓ４を生成し、今回の走査時の走査検出信号ｓ１に含まれる欠陥部に対応する位置の信号値を第１のシェーディング補正信号ｓ８で置換してアルタイムに補正走査信号ｓ６を求め、今回の走査時の走査検出信号を正規化するようにしたことを特徴とする表面検査装置のシェーディング補正方法。 （もっと読む）

【課題】計測データの移動平均演算のデータ数として、ユーザが目標とする応答時間や検出データの精度を確保するのに適した値を自動的に求め、登録できるようにする。
【解決手段】変位センサ１を動作させる上での条件を示すパラメータとして、応答時間の目標値および検出誤差の許容値の少なくとも一方の入力を受け付けて、ワークのモデルを用いたティーチング処理を実行する。ティーチング処理時のＣＰＵ１１０は、投光部１０１および受光部１０２による検出処理を繰り返しながら最大露光時間を決定すると共に、変位量の計測データのばらつきを算出し、最大露光時間および計測データのばらつきを用いた演算処理により、入力されたパラメータの値に適した移動平均演算のデータ数を導出する。このデータ数はメモリ１１１に登録され、通常の動作モードにおける移動平均演算に用いられる。 （もっと読む）

【課題】ガラス製の部材やプラスチック製の部材の品質安定化のためには、屈折率の分布を高精度に測定する必要があるが、従来の測定方法では、破壊検査であったり、有毒物を使用したり、平面でしか測れないといった課題がある。
【解決手段】光センサで得られた干渉信号に基づいて、被検物なしの基準反射面と、被検物の表面と、被検物の裏面と、被検物を透過後の基準反射面および被検物の手前で集光し平行光で反射する基準反射面の少なくとも一方との、それぞれの距離を測定し、これらの測定距離に基づいて被検物の屈折率を算出する。 （もっと読む）

【課題】 ワークを組み付ける鋳造品の肌面の位置又は寸法が経時的に変化しても、当該肌面を基準面としてワークの組付けを正しく検査できる方法及び装置を提供する。
【解決手段】 ワーク１に対して撮像手段１１の視線と交わる平面上で光を照射して撮像することにより、ワーク１を組み付ける別のワークの面３ａを基準面として検査対象のワーク組付けを検査する方法において、撮像手段１１の視野内には、検査対象のワーク１の他に、金型で鋳造された別のワーク３の鋳造肌のみが存在する場合、その鋳造肌面を基準面として、当該別のワーク３を鋳造した金型毎に移動平均法により基準面の位置を補正し、その補正された基準面に対するワーク１の位置を検知する。 （もっと読む）

【課題】所定の位置における微小な変位を高精度かつ高効率で自動的に計測する装置、方法およびプログラムを提供する。
【解決手段】変位計測装置は、所定の位置に設けられた変位計測用の格子を含む変位計測用画像を撮影する撮影部と、変位計測用画像から格子の領域を検出して該格子領域の画像を抽出する格子領域検出部と、抽出した格子領域の画像に対してサンプリングモアレ法により格子領域の画像に対するモアレの位相分布を導出する位相分布導出部と、位相分布から求められた所定の位置における変位前後の位相差と、予め定められた格子ピッチとから所定の位置における変位を決定する変位決定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】試験体に沿って移動させる機構を不要とすること。
【解決手段】試験体の輪郭を撮像した画像の画素毎の輝度情報を抽出し、各画素を第１方向に分割して複数の小領域を定義するとともに、各小領域の輝度情報を、各画素の輝度情報および第１方向に隣接する他の画素の輝度情報に基づいて決定する小領域定義部２１と、第１方向に直交する第２方向に並ぶ複数列のそれぞれの前記画素について、小領域定義部２１により決定された各小領域の輝度情報を第１方向に走査して、輝度情報が所定の閾値を越える境界の小領域の位置情報を抽出する作業を実施して試験体の輪郭データを生成する輪郭データ生成部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】走行する薄鋼板表面上に加工される微小凹凸形状を高精度で測定することを可能とする表面形状測定装置および方法を提供することを課題とする。
【解決手段】光学式変位計で相対的に移動する物体の表面を走査して、測定した変位信号から物体表面の凹凸形状を取得し、変位信号と同期して受光する反射光強度を反射光強度信号として取得し、凹凸形状からうねりを取除いて補正凹凸形状を算出し、補正凹凸形状と反射光強度信号に基いて凹部の底部範囲または凸部の山部範囲として特定し、底部範囲または山部範囲内にある補正凹凸形状から凹部の深さまたは凸部の高さを算出し、底部範囲または山部範囲の両端より外側で最も近い点を凹凸部のエッジとして検出し、検出したそれぞれのエッジ間の距離から凹部または凸部の幅を算出する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ平坦度などの製造プロセス条件に対して最適なスキャン速度を設定することを可能とし、露光性能と生産性を高いレベルで両立させて歩留まりの良い露光を実現する。
【解決手段】実露光に先立って、ウェハ面形状のフォーカス・レベリング軌道を求め、前記軌道を用いた場合のレチクルステージとウェハステージ２との相対位置誤差を推定する。更にスキャン速度算出手段６により、同期誤差の移動平均・移動標準偏差の期待値を、代表的なスキャン速度複数通りに対してそれぞれ算出した後、プロセスに見合った同期誤差のしきい値を満たす最大スキャン速度を各ショット毎に求め、それに応じた露光量等を再設定し、コンソール８に実際に設定された１ショット毎のスキャン速度を表示する。 （もっと読む）

【課題】エッチングや印刷のムラによりメッシュ幅の太さの変化に影響されずに正確な欠陥抽出を行うことが可能なメッシュ検査装置を提供する。
【解決手段】メッシュ検査装置１の処理部３は、ラインセンサ５からメッシュシート１０のメッシュが画像に写る分解能で画像を入力し、前処理として光源である白色ＬＥＤ照明７によるシェーディングの補正を行い、前処理した画像を平滑化し、欠陥を誤検出しない程度に画像をぼかす。平滑化した画像内でしきい値により欠陥を抽出し、抽出した欠陥の重心を中心に例えば１２８×１２８画素を平滑化前の画像からトリミングする。トリミングした画像のＦＦＴ画像でメッシュの空間周波数に相当する領域を０に置き換えてメッシュ周波数を除去した後、ＩＦＦＴ処理を施し、得られた画像から欠陥の輝度、形状、面積の判定を行い、結果を出力する。 （もっと読む）

【課題】正確かつ高速なパターンの形状評価を実現できるパターン形状評価方法および装置を提供する。
【解決手段】ダブルパターンニング用の設計パターンを用いて製造した回路パターンの接合部の画像を読み出し、その上に、目標境界線と評価領域とを設定する。評価領域において、目標境界線の方向に沿って画像処理を行ない、更に、二値化処理を行なう。こうして、得られた画像に基づいてパターンの欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】生体組織の３次元的な定量評価を簡単に行う。
【解決手段】測定器５に接続可能な生体組織表面解析装置１は、生体組織を含む測定対象物Ａの表面の３次元形状を表す表面形状データを入力するデータ取得部１０５と、表面形状データにより表される表面の中で解析範囲を決定する範囲決定部１０６と、解析範囲における前記表面の凹凸を抑制した基準面を生成する基準面設定部１０７と、測定対象物Ａの表面と基準面とを比較することにより特徴領域を抽出する検出部１０８と、特徴領域の数、特徴領域の面積、および基準面に対する凹凸の体積のうち、少なくともいずれかを１つを計算する解析部１０９とを備える。 （もっと読む）

【課題】計測対象物のベースとなる形状を基準とした歪みを抽出し得る形状認識装置を構成する。
【解決手段】３次元データに基づいて、ベース形状データ生成手段１６が、計測対象物Ｔの本来の表面形状を複数の曲率で表すベース形状データを生成し、詳細形状データ生成手段１７が計測対象物Ｔの詳細な表面形状を複数の曲率で表す詳細形状データを生成する。これらのデータの曲率値の同一の領域の曲率同士を比較することで歪みを求め外面形状を評価する形状評価手段１９を備えた。 （もっと読む）

【課題】２次元構造の断面データが表す形状曲線の近似するための処理を簡単に行い得る装置を構成する。
【解決手段】ベース形状データ生成手段１６が、設定領域の３次元データを切り出し計測対象物Ｔの本来の表面形状を示す２次元データを生成する。詳細形状データ生成手段１７が設定領域の３次元データを切り出し計測対象物Ｔの詳細な表面形状を示す２次元データを生成する。これらの２次元データから曲率取得手段１８が曲率を算出する。この曲率取得手段１８は、２次元データのサンプルポイントの中央付近を頂点とした点群上又は点群付近を通過する２次曲線を近似曲線として適用し、適用された近似曲線のサンプルポイント中央部での曲率に基づいて前記曲率を算出する。 （もっと読む）

バンド付き領域及び非バンド付き領域を含有するシガレット紙を検査するためのシステム。システムは、シガレット紙の特性を表す電気信号を形成する短波赤外線カメラ（２２４）と、電気信号を解析して解析結果を提供するプロセッサとを含み、プロセッサは、各連続ピクセルが非バンド付き領域又はバンド付き領域に対応するか否かを判断するためにピクセルを連続的に調べるための論理と、連続的に調べるための論理によって提供された結果に基づいて、シガレット紙上の隣接するバンド付き領域間の間隔を計算するための論理と、連続的に調べるための論理によって提供された結果に基づいて、シガレット紙上のバンド付き領域の幅を計算するための論理とを含む。バンド付き領域及び非バンド付き領域を含有する紙を検査するためのオンライン方法も提供する。 （もっと読む）