【課題】 １若しくは複数の方向パラメータ及び特に先端が接点で表面に接触している長寸の物体の第２及び第３のオイラー角θ，ψを決定するためのステレオ視の原理を利用した装置及び方法を提供する。
【解決手段】 装置は、第１の視点から既知のパターンでプローブ放射線により表面を照明するための長寸の物体上に取り付けられた投光器と、第２の視点から表面から長寸の物体に戻るプローブ放射線の散乱部分を検出するための長寸の物体上に取り付けられた検出器とを有する。方向パラメータは、投射されたプローブ放射線によって生成される特徴部の形状と検出器によって検出される特徴部の形状との差などの、投射されたプローブ放射線と検出されたプローブ放射線の差から決定される。プローブ放射線のパターンは、１若しくは複数の方向パラメータの決定のための情報を供給するように選択され、線、楕円、矩形、多角形などの非対称パターン、または円、正方形、正多角形を含む対称の場合を含むことができる。パターンを生成するために、投光器は、ホログラフィック素子、回折素子、屈折素子、または反射素子及びこれらの任意の組合せなどの構造化された光学部品、または走査装置を用いることができる。本発明の装置は、ペン、鉛筆、またはスタイラスなどの筆記具の方向を決定するのに適している。 （もっと読む）

【課題】容易に実施でき、高い精度で厚みを決定することができる透明試料の厚み測定の可能性を提供すること。
【解決手段】本発明は、透明試料（２）、特に、ガラス片、又は、ガラス板の厚みを測定する装置に関する。この装置は、試料（２）の前面（８）に第１入射角（α１）で当たる第１光線（Ｌ１）、特に第１レーザビームと、試料（２）の前面（８）に、入射角（α１）と異なる入射角（α２）で当たる第２光線（Ｌ２）、特に第２レーザビームと、前記第１及び前記第２入射光線（Ｌ１、Ｌ２）が試料によって反射される反射光線（Ｌ１´、Ｌ１´´、Ｌ２´、Ｌ２´´）を検知し、それら反射光線の位置を決定する少なくとも１つの検知器（１１、１２）とを備える。また、曲率補正を可能とするために、前記第１又は前記第２光線（Ｌ１、Ｌ２）に略平行な少なくとも１つの入射光線（Ｌ３）が、試料（２）の前面（８）に向かい、さらに、平行光線（Ｌ３）が試料（２）によって反射される光線（Ｌ３´）を検知し、その位置を決定するために、少なくとも１つの検知器（１１）が設けられる。本発明は、また、それに対応する方法に関する。 （もっと読む）

特定の形状からの物体３、１１、１６、１８、２２、２６の形状の逸脱を示す装置が記載される。装置は、放射の入射ビーム４を物体に向ける放射手段、および前記物体による透過または前記物体からの反射の後の最終ビームを検査する検査手段５を備える。装置は、物体が特定の形状を有する場合、最終ビームが実質的に平面波面を有するように構成され、検査手段５が、平面性からの最終ビームの波面のいかなる逸脱をも判定するように構成される。一実施形態において、検査手段は、たとえば回折格子６またはホログラムなどのビーム分割手段、およびＣＣＤカメラ８などの検出器手段を備える。ビーム分割手段は、次に最終ビームを２つ以上のビームに分割し、２つ以上のビームを検出手段で横方向に変位された位置に向けるように構成される。
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【課題】 イン・ラインの測定および制御ツール、テスト・パターンおよび評価方法を含む統合された測定システムを提供する。
【解決手段】 基板上で寸法を測定するための方法を記載する。ターゲット・パターンは、主周期ピッチＰで反復する公称特徴寸法を備え、主方向に直交する所定の変動を有する。基板上に形成されたターゲット・パターンは、少なくとも１つの非ゼロ次回折が検出されるように照射する。公称寸法に対する転写された特徴寸法の変動に対する非ゼロ次回折の応答を用いて、基板上で限界寸法またはオーバーレイ等の対象の寸法を求める。本発明の方法を実行するための装置は、照射源と、非ゼロ次回折を検出するための検出器と、ターゲットからの１つ以上の非ゼロ次回折を検出器において検出するようにターゲットに対して照射源を位置付けるための手段と、を含む。 （もっと読む）

本発明は、目の網膜の画像データの取得に特に有用な光学測定システム及び光学測定方法を提供する。データの取得はＯＣＴ測定によって行われ、これらの測定の品質は、能動光学素子をビーム経路内に配置することによって改善される。 （もっと読む）

この発明は、測定対象（１２；１５；１８）の特性を光学的に測定するための測定装置（６）に関し、この測定装置は、ある有効光学空洞長さを有する空洞（７）を形成する、第１および第２反射端（１、２）を有する主共振器（１１）、この第１および第２反射端（１、２）の間の光ビーム経路に沿って進む光を発生するための光学ゲイン素子（３）、並びにこの光学ゲイン素子（３）とこの第２反射端（２）の間のこの光ビーム経路に沿って配置してある分散集束共振器素子（５）を含み、それでこの測定対象が少なくとも部分的にこの主共振器（１１）のこの光ビーム経路内にあるように配置してあり、およびそれでこの測定装置（６）が更にこの主共振器から出た光の特性を検出するための検出手段（８）を含み、この検出した特性の値がこの測定対象の特性の尺度である。
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【課題】搬送される対象物を平面分光器を用いて、高い分解能で異種品の検出を可能とすること。
【解決手段】本発明では、搬送手段（11）と、近赤外線の照射手段（４）と、反射光を平面分光する平面分光手段（２）と、撮像手段（３）と、反射光のスペクトルデータを得て主成分分析手法を用いて異種品を検出する解析手段（５）とを備え、前記解析手段（５）は、前記スペクトルデータを平均化および標準化する前処理、波長軸平均化処理、ラグランジェ補間する補間処理、測定位置最適化処理、空間軸平均化処理、一次・二次微分および平滑化する変換処理、予め取得したローディングベクトルデータに基づいて主成分得点を算出する主成分得点算出処理、および異種品の判定を行う判定処理を行う。 （もっと読む）

物体の空間的特性を決定するための方法には、２つ以上の界面を含む測定物体からの走査低コヒーレンス干渉信号を得ることが含まれる。走査低コヒーレンス干渉信号には、２つ以上の重なり合う低コヒーレンス干渉信号（それぞれ個々の界面に起因する）が含まれる。低コヒーレンス干渉信号に基づいて、少なくとも１つの界面の空間的特性が決定される。場合によって、決定は、低コヒーレンス干渉信号のサブセットに基づき、信号の全体に基づくのではない。あるいはまたは加えて、決定は、低コヒーレンス干渉信号を得るために用いられる干渉計の機器応答を示す場合があるテンプレートに基づくことができる。
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本発明は、例えば第１の接触面を備えたチップ・モジュールである第１の構成要素と、例えば第２の接触面を備えたアンテナである第２の構成要素とを備え、この２つの接触面が導電性の塊体に接続されるチップカードを製造するための方法と装置に関する。第１のステップにおいて、カード本体（１）は曲げ装置によってその形状が湾曲部を有するように曲げられ、後で第１の構成要素（２）を受け入れるためのカード本体（１）の凹部（５）内に塗布された塊体（４）がその湾曲部の外側に配置される。第２のステップでは、光源（６）からの少なくとも１つの光線（７）が、塗布された塊体（４）の側方からこの塊体（４）上へ向かうように方向付けされ、これによって、カード本体（１）に対する導電性の塊体（４）の塗布高さ（４ａ）を、その塗布高さ（４ａ）を光学的に画像化することにより測定するようになっている。
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一態様において、本発明は方法に特徴があり、その方法は、干渉分光法システムにおける干渉計を用いて、第１ビーム経路と第２ビーム経路との間の光路差に関係づけられる位相を含む出力ビームを生成することであって、第１ビームは第１の箇所における測定物体に接触し、第１ビームまたは第２ビームは第２の箇所における測定物体に接触し、第１の箇所および第２の箇所は異なる、出力ビームを生成すること、第１の箇所における測定物体の不完全性に起因し、かつ第２の箇所における測定物体の不完全性に起因するずれであって、第１ビーム経路または第２ビーム経路の公称ビーム経路からのずれによって生じる光路差への影響に対処する事前校正済み情報を提供すること、出力ビームから得られる情報および事前校正済み情報に基づいて、少なくとも１つの自由度について測定物体の位置を決定すること、を含む。
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【課題】 シェアリング干渉計測において処理領域を高速に設定する方法を提供する。
【解決手段】 レンズから出射された光を回折し干渉させてシェアリング干渉像を得る。次に、回折光の位相を変化させ、位相変化により時間的に強度変化する複数の画像データ（座標、強度）を記憶装置に取り込む。また、複数の画像データにおいて、各画素における強度データの変化の大きさ（強度変化量）を算出する。そして、画像データ領域の略中央を通ってシェアリング軸と平行な線分と、シェアリング軸と直交する線分とによって、画像データの領域を４つの小領域に分割する。最後に、各小領域において、シェアリング軸に平行な複数ラインを設け、強度変化量があるしきい値を越える画素がただ一つであるラインエッジ点を決定する。 （もっと読む）

【課題】 液晶分子が存在する液晶層のみのリタデーション（ｄＬＣ・△ｎ）を求めることができ、セル厚を求めることができる液晶表示装置、そのセル厚測定装置及び測定法並びに位相差板を提供する。
【解決手段】 液晶領域中の液晶分子が電圧無印加時に略垂直に配向する液晶層と、液晶層を挾持する１対の基板と、を備える液晶表示装置の液晶セル５の厚さを測定するセル厚測定装置において、面内にリタデーションを有する１対の１軸性位相差板をその遅相軸方向をそろえて両外側表面に取付けた液晶セルを搭載するステージ１と、偏光子２３を有し、かつ、位相差板の遅相軸方向に対して方位角方向４４°〜４６°の偏光光を出射する光源２と、偏光光に対して偏光子とクロスニコルに配設された検光子３１を有し、かつ、偏光光の透過光量を検出する光検出器３と、位相差板に垂直な方向から偏光光の極角方向入射角を変化させる回転装置４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 被写体や照明光の影響を受けることなく、正確な３次元情報の入力が可能である３次元情報入力カメラを提供する。
【解決手段】 ３次元情報入力カメラは、被写体または照明光についての撮影条件を検出する撮影条件検出手段を備える。投影手段１は、２種以上のパターン光を選択可能に投影できるように構成される。投影手段１は、撮影条件検出手段による被写体または照明光についての撮影条件検出結果に基づいて、投影するパターン光の種類を選択して投影する。 （もっと読む）