【課題】所定領域内の状況を適切に把握することが可能な電子機器を提供する。
【解決手段】電子機器は、第１の所定領域にある第１物体を撮像する第１撮像部１３０又は３０と、前記第１撮像部が撮像した前記第１物体の面積に関する量を検出する検出部４２とを備え、前記第１物体の面積に関する量に基づいて第１の所定領域内の状況を把握する。さらに、第２の所定領域にある第２の物体を撮像する第２撮像部３０又は１３０とを備え、前記検出部は前記第２撮像部が撮像した前記第２物体の面積に関する量を検出する。 （もっと読む）

【課題】３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】３次元形状測定装置は、光を発生する光源ユニットおよび光源ユニットから発生された光を格子パターンを有する格子パターン光に変更する格子ユニットを含み、格子パターン光を所定方向から測定対象物に照射する照明部、および格子ユニットを格子パターンの延長方向および格子パターンの配置方向に対して所定の傾斜方向に移送させる格子移送ユニットを含む。よって、製造コストを低減して、３次元形状測定装置は容易に管理することができる。 （もっと読む）

【課題】従来の干渉計に比べて高精度な移動体の位置情報の計測を可能にする。
【解決手段】露光装置は、基板を保持して、ＸＹ平面内で移動し、ＸＹ平面に交差する反射面１３４を有するステージＷＳＴと、計測装置２０Ｙ’とを備えている。計測装置は、ステージＷＳＴの上方に配置され反射面１３４を介して入射した光ビームを回折させて反射面１３４に戻す固定スケール１３５と、反射面１３４に戻された光ビームを検出する検出部（１２４Ａ、１２４Ｂ、１２６、２８）と、を有する。計測装置は、固定スケール１３５からの戻りビームを、再度反射面１３４を経由させることで得られる前記光ビームの複数の回折ビームの干渉光を前記検出部で検出することで、ステージＷＳＴのＹ軸方向の位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】距離計測対象領域を複数の局所領域に分割して並列処理を行う場合には、距離計測点の空間分解能に対応した各局所領域の演算処理量の均一化も考慮されていないため、並列処理化による処理時間の短縮効果が損なわれる。
【解決手段】パターン光が投光された計測対象物の撮像画像から、当該計測対象物の距離情報を算出する距離情報算出部と、パターン光の計測点の空間分解能を、局所領域ごとに適応的に設定可能な局所パターン設定部と、を有し、局所パターン設定部は、距離情報算出部の演算量に関する情報に基づき、パターン光の計測点の空間分解能を設定する。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法で測定する装置で格子縞の位置調整が容易に行えるようにする。
【解決手段】格子縞スリットを、平行な縞の配置間隔に相当する距離と、その配置間隔に相当する距離に所定の値を加算させた距離又は減算させた距離だけ、駆動部で原点位置から移動させる。そして、それぞれの移動位置で撮影した複数枚の格子縞の画像と、原点位置で撮影した格子縞の画像とを比較し、その比較結果に基づいて、格子縞スリットを格子縞の１配置間隔分だけ駆動させるのに必要な駆動信号の駆動量を判断する。その判断に基づいて、被測定物の立体形状を測定するのに必要な駆動信号の駆動量を設定する。 （もっと読む）

オブジェクトと別のオブジェクトとの相互アライメントに用いる特定のアライメント構成を備えたオブジェクトが開示される。アライメント構成は、実質的に規則的な格子の形態の第１の微細アライメントマークと、第１のアライメントマークと同じエリア内に位置する第２の粗アライメントマークとを含む。 （もっと読む）

【課題】大型化したウエハの搬送を容易にする。
【解決手段】 露光装置は、ＸＹ平面に沿って移動可能であるとともに、互いに接近及び離間が可能な第１部分と第２部分とを含む粗動ステージＷＣＳ１と、ウエハＷを保持するとともに、粗動ステージＷＣＳ１によって少なくともＸＹ平面内で相対移動可能に支持される微動ステージＷＦＳ１と、粗動ステージＷＣＳ１に支持されている微動ステージＷＦＳ１を単独で若しくは粗動ステージＷＣＳ１と一体で駆動する駆動系と、を備える。また、露光装置は、粗動ステージＷＣＳ１との間で、微動ステージＷＦＳ１の受け渡しが可能なリレーステージＤＲＳＴを備えている。 （もっと読む）

【課題】 迷光を除去して、精度の高い形状測定を行うことが可能な形状測定装置、及び形状測定方法を提供すること。
【解決手段】 格子パターンを有するパターン素子３０と、パターン素子３０とビームスプリッタ４０とを介して前記格子パターンを測定対象物６０に投影する投影部と、測定対象物６０に投影された格子パターンをビームスプリッタ４０を介して撮像する撮像部７０と、撮像部７０によって撮像された画像のコントラスト値に基づき測定対象物６０の形状を測定する測定部８２とを有し、ビームスプリッタ４０と測定対象物６０との間に１／４波長板５０を備え、１／４波長板５０に入射させる投影光が直線偏光であり、前記投影光と偏光方向が直交する直線偏光のみを撮像部７０に入射させるように構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高価な及び／又は追加のセンサを使用する必要なしにｚ方向のゼロレベルを正確に規定できるリソグラフィ装置の位置測定システムを提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、可動物体の直交ｘ−ｙ−ｚ座標系の少なくとも１方向にてリソグラフィ装置の基準フレームに対する可動物体の位置を測定する位置測定システムを含む。位置測定システムは、エンコーダの第２グレーティングに対する放射源、第１グレーティング、および検出器の変位を測定する光学ｘ−ｚエンコーダを含む。第１グレーティングはアライメントマーカを含む。コントローラは、ｘおよびｚの少なくとも１方向にて基準フレームに対する可動物体のゼロレベルを、第１グレーティングに沿ったスキャンを実行することによって規定し、スキャン段階の間にアライメントマーカが第１の正および負の次数両方の応答の位相に変化を引き起こす。 （もっと読む）

【課題】モアレ式熱変形測定装置について、黒色や鏡面の表面を有している測定対象物についても塗料の塗布などの前処理を不要にできるようにする。
【解決手段】モアレ式熱変形測定装置１は、恒温チャンバ２中で測定対象物６に所望の温度変化を与え、その温度変化による測定対象物の熱変形をモアレセンサ３により恒温チャンバの窓部１１における透明板１２を通して測定するようにされている。そしてモアレセンサは、所定の格子パターンが形成された格子１５、格子を通して照明光を測定対象物に照射することで変形格子パターンを測定対象物に生じさせる照明系１６、および格子を通して測定対象物における変形格子パターンを撮像することでモアレ縞を含む画像を得る撮像系１７を有してなり、その照明系における照明光として平行光線が用いられている。 （もっと読む）

【課題】音響に関わる振動の検出を高感度に行えるマイクロフォンを提供する。
【解決手段】本発明のマイクロフォン１Ａは、音圧を受けて振動する振動板２と、振動板２の裏側に一体化されたボビン２１に取り付けられ、振動板２が振動する方向に沿って移動する回折格子片３０Ａと、可干渉光が出射される光源からの光が回折格子片３０Ａに入射され、回折格子片３０Ａで回折された２つの回折光を干渉させ、振動板２の振動で移動する回折格子片３０Ａの移動量に応じて変化される干渉光の位相変化から、振動板２の変位量を検出する回折格子干渉計３Ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】ピンあるいは端子の先端部のように、周囲と段差のある比較的小さな部材についても、正確且つ高速に高さを測定できる外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】外観検査装置（１）は、被検査物に対して所定の方向に周期的な濃淡パターンを投影する光源部（２）と、濃淡パターンを所定の方向に所定量ずつずらして投影された被検査物を撮影した複数の検査画像を取得する撮像部（３）と、複数の検査画像に基づいて、濃淡パターンの位相のずれ量を表す位相画像を形成する位相画像作成手段（５１）と、位相画像又は被検査物を撮影した位置決め画像に基づいて、被検査物の少なくとも一つの測定部位の位置を特定する位置特定手段（５２）と、特定された少なくとも一つの測定部位の位置に対応する位相画像の画素値に基づいて、少なくとも一つの測定部位の高さを測定する高さ測定手段（５３）とを有する。 （もっと読む）

本発明は、橋梁やトンネルの内空変位など、被測定対象物の傾き及び加速度などを精密に測定するための光ファイバー格子（Fiber Bragg Grating；ＦＢＧ）センサを用いた内空変位計測装置及びこれを用いた計測方法に関するものであって、被測定対象物に設けられる本体と、上記本体の前面に固定されるように設けられた固定体と、上記固定体と所定距離離隔して水平になるように設けられ、ベアリング結合により回転可能に設けられた回転体と、上記固定体の上部外側面に接着され、上記回転体の上部外側面に接着されて緊張状態を維持するように水平に設けられ、その両端部に光端子が各々設けられた光ファイバーと、上記固定体と回転体との間の光ファイバー上に設けられる光ファイバー格子センサと、上記回転体の下部と所定長さの支持台により連結されて垂直状態に設けられた錘とから構成された計測装置を基準値に設定した後、被測定対象物に設け、地盤の変動に従う変位量を計算することによって、角度及び重力加速度の変位値を計測することができる。
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【課題】スケール部材から目盛りの画像を正確に読み取り可能にする。
【解決手段】媒体に印刷されたパターンの前記媒体上の印刷位置を、スキャナを用いて算出する際に使用されるスケール部材であって、前記スキャナの画像読み取り面に載置された際に前記スキャナの画像読み取りセンサと対面する面とは反対側の面に、目盛りが形成された透明な第１層と、前記第１層における前記目盛りの形成面に隣接して設けられた第２層であって、前記第１層側の面の色が光を反射する反射色である第２層と、を有することを特徴とするスケール部材。 （もっと読む）

【課題】照明光と光学ユニットとの相対的な角度関係を計測する。
【解決手段】光源から射出される照明光と、第１の回折格子１２７ａと第２の回折格子１２７ｂとが設けられた光学ユニット２６と、の相対的な角度変化に応じて、光学ユニット２６の第１の回折格子１２７ａと第２の回折格子１２７ｂの両方で干渉する光の状態が変化するので、その干渉光を受光素子で受光することにより、照明光と光学ユニットとの相対的な角度関係を計測することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 基板の種類にかかわらず基板の曲率を正確に測定することが可能な基板測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板測定装置は、多波長光源１２と、対物レンズ１５と、基板Ｗを支持するステージ１０と、ステージを移動させるステージ移動機構１１と、対物レンズ１５の入射瞳と共役な位置に配置されたパターン板１７と、対物レンズ１５の入射瞳と共役な位置に配置されたＣＣＤカメラとを備え、基板Ｗの表面で反射した後入射瞳の位置Ｅに投影されたパターン板７の像をＣＣＤカメラで撮像して、パターン像の基準からの位置ずれ量を測定する測定手段と、この位置ずれ量から基板Ｗの表面の角度を演算する演算手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】温度特性の良い反射型光ギャップセンサを実現する。
【解決手段】発光ダイオード１からの射出光は、第１格子１１で等ピッチの線状光線に変換され、反射面５を照射する。反射面５からの反射光は、第２格子１２で制限され、第３格子上１３に像を形成する。検出部６と反射面５間のギャップが変化すると像ピッチが変化する。第３格子１３を通して像ピッチの変化に伴う位相変化を検出する。 （もっと読む）

【目的】 格子パターン投影法によって、計測対象物体の３次元形状を常に正確に効率よく計測できるようにする。
【構成】 複数の計測対象物体１４が設けられた平面１５に対して、投影部１０によって斜め方向から格子パターンＬＰを投影し、その格子パターンが投影された平面１５を格子パターンの投影方向とは異なる方向から撮像部１６によって撮像し、その撮像した明暗のパターンの２次元画像データを画像メモリ１９に記憶し、データ処理部１７によってそれを解析して計測対象物体１４の３次元形状を測定する。投影部１０は液晶格子１２によって格子パターンを生成する際に、平面１５上の特定の計測対象物体１４の計測領域以外の領域（マスクエリアＭＡ）に対しては、格子パターンＬＰを投影しないようにマスクする。 （もっと読む）

【課題】基板に薄膜を堆積する際の薄膜の応力を求め、引き続きライン構造に係る応力を同定する精度の良い方法を提供する。
【解決手段】薄膜が堆積される前の基板の曲率を計測し、薄膜が堆積された後の曲率を計測し、測定された曲率の情報から単純な解析関数に基づいて応力を計算して薄膜付着前後の比較を行うことで、曲率計測時の誤差を除去するすることができる。該曲率の情報は、例えば照射領域の全界測定を行えるコヒーレント・グラジエント・センシング法によって光学的に得ることができる。 （もっと読む）

本発明は、３次元形状の測定の際に影領域の発生により測定密度が低下する問題を改善するために、ＸＹＺ軸移動手段によりＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に移動され、前記ワークステージに支持され固定された測定対象物の一方の側に格子イメージをＮ回走査して測定対象物により変形された格子イメージをＮ回取り込み、交互に測定対象物の他方の側にＮ回走査して測定対象物により変形された格子イメージをＮ回取り込むイメージ取り込み手段と、イメージ取り込み手段の一方の側に設けられ、所定の波長を有する光を発生して入射する発光手段と、ワークステージとＸＹＺ軸移動手段とを制御してイメージ取り込み手段の一方の側に設けられた発光手段から発生した光がワークステージの一方の側に設定された基準面に入射されて反射される光イメージをイメージ取り込み手段を介して受信し、垂直距離を測定して測定対象物とイメージ取り込み手段との焦点距離を一定に保つと共に前記イメージ取り込み手段から取り込まされた変形された格子イメージをそれぞれ受信して測定対象物の３次元形状を算出する制御部とを備え、測定対象物の影領域を除去して３次元形状を測定することにより、より精度よい３次元形状を測定することができる効果を有する。
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