【課題】 光学部材の変動の影響を抑制して被検面の面位置を高精度に検出する。
【解決手段】 面位置検出装置は、第１パターンからの第１の光と第２パターンからの第２の光とを被検面（Ｗａ）へ入射させて、被検面に対して第１パターンの中間像および第２パターンの中間像を投射する送光光学系（４〜１０）と、被検面で反射された第１の光および第２の光をそれぞれ第１観測面（２３Ａａ）および第２観測面（２３Ｂａ）へ導いて、第１パターンの観測像および第２パターンの観測像を形成する受光光学系（３０〜２４）と、第１観測面および第２観測面における第１パターンの観測像および第２パターンの観測像の各位置情報を検出し、各位置情報に基づいて被検面の面位置を算出する検出部（２３〜２１，ＰＲ）とを備えている。送光光学系は、例えば第２パターンの中間像を第１パターンの中間像に対して所定方向に反転された像として投射する。 （もっと読む）

【課題】平行平面板の被測定面に対して高精度な測定を行うことが可能な干渉測定方法を提供する。
【解決手段】所定の参照面６ａおよび平行平面板５の被測定面５ａに、互いに干渉しない異なる波長を有する２種類の可干渉光を照射する第１のステップと、２種類の可干渉光が照射された参照面６ａおよび被測定面５ａからの反射光に基づいて形成される干渉縞を検出する第２のステップと、検出した干渉縞の光強度分布に基づいて被測定面５ａの高さを測定する第３のステップとを有し、平行平面板５における被測定面５ａと反対側の面５ｂからの反射光の影響を排除するように２種類の可干渉光における波長の関係および、参照面６ａと被測定面５ａとの間の光学距離を調整するようになっている。 （もっと読む）

【課題】被測定面の面粗度の影響による測定誤差を緩和させ、測定目的に適した精度で被測定面の変位を検出することが可能な変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位検出装置１０Ａは、光源１０２から出射された光を第１の対物レンズ１１４で集光して被測定面ＴＧに結像させる照射光学系１０３ａと、被測定面ＴＧで反射した光を集光して受光素子１２０に入射させる受光光学系１０３ｂを有した非接触センサ１００Ａを備え、非接触センサ１００Ａは、光源１０２と第１の対物レンズ１１４との間に、被測定面ＴＧに照射される光を分光して複数点に結像させる回折格子１３０Ａを備える。被測定面ＴＧに複数のビームを照射することで、被測定面ＴＧの変位を平均化して、面粗度の影響を受けにくくする。 （もっと読む）

【課題】波長の異なる２種類の光波の光軸のずれに基づく測定誤差を防止し、高精度な測定が実現可能な２波長レーザ干渉計を提供する。
【解決手段】波長の異なる２種類のレーザ光Ｌ１，Ｌ２を出射する２波長レーザ光源１１と、２種類のレーザ光をそれぞれ参照光Ｌ１１，Ｌ２１と測定光Ｌ１２，Ｌ２２に分割する光分割手段、および、参照光および測定光が参照面および被測定面によって反射された光を重ね合わせる光重ね合わせ手段を有する２波長ビームスプリッタ１５と、この重ね合わされた光から、波長ごとに、被測定面の変位量を求め、これら波長ごとに求められた変位量を用いた演算によって空気屈折率補正された被測定面の変位量を求める演算部２４とを備える。２波長レーザ光源と光分割手段との間には、２波長レーザ光源から出射された波長の異なる２種類のレーザ光を一旦分離したのち互いの光軸を重ね合わせる光軸重ね合わせ光学系１３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ＳＤ−ＯＣＴ方式において、測定範囲を確保し、かつ低コストで高分解能化を可能とする。
【解決手段】低コヒーレンス光を射出する光源と、前記光源から射出された光を測定光と参照光とに分割する光分割手段と、前記測定対象からの測定光の反射光と前記参照光とを合波する合波手段と、前記合波された前記反射光と前記参照光との干渉光の方向を時間に応じて変化させる光線偏向手段と、前記偏向された干渉光を分光する複数の異なる波長帯域を有する分光手段と、前記分光された干渉光を検出する干渉光検出手段と、前記検出された干渉光に基づいて前記測定対象の断層画像を取得する画像取得手段とを備え、前記光線偏向手段により前記干渉光の方向を時間に応じて変化させ、前記分光手段が前記干渉光を分光する波長帯域が時間に応じて変化するようにした。 （もっと読む）

【課題】単純な干渉計構成により測定対象の位置又は移動量を高分解能で且つ高精度に測定可能な光学測定装置を提供する。
【解決手段】測定対象５０にレーザ光を照射してこの測定対象の位置又は変位量を測定する光学測定装置１００である。そして、測定対象５０の複数の面５１ａ，５１ｂに対応して複数の光路長増倍光学系４Ａ，４Ｂが配置され、これら複数の光路長増倍光学系４Ａ，４Ｂを経た２光路のレーザ光を位相計４２により干渉させて位相を計測することで、測定対象５０の位置又は変位量を求める構成とした。 （もっと読む）

【課題】光路長の増倍を容易に可能にする光路長増倍装置を実現する。
【解決手段】レーザ干渉測長機１００において、光路長増倍装置１０１における複数の偏光ビームスプリッタの数を１つ増やすことにより、固定平面ミラー３１と移動平面ミラー３２との間の１往復分に相当する光路長を増倍することを可能にし、特に、光路長増倍装置１０１において、複数の偏光ビームスプリッタ（１１〜１ｍ）、１／４波長板２１，２２、固定平面ミラー３１、移動平面ミラー３２などの光学部材の配置構成を規則的かつ単純にすることによって、偏光ビームスプリッタの数を増やすという構成変更を容易にし、光路長の増倍を容易に行うことを可能にした。 （もっと読む）

【課題】少なくとも一部において、遮光性を得ながら反射ノイズ低減効果を高めることができる光学素子を提供する。
【解決手段】光学素子は、多数の微小突起ＣＰ１を含む第１の微細凹凸構造ＭＲ１が一方の面に形成された基板１１と、第１の微細凹凸構造ＭＲ１を覆う金属層１２と、金属層１２の基板１１とは反対側に形成されたシリコン又は樹脂からなる膜１３であって、多数の微小突起ＣＰ２を含む第２の微細凹凸構造ＭＲ２を持つ膜１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】投光装置の実部品点数を削減し、小型化を実現できる形状計測装置を得る。
【解決手段】ビームの照射パターン信号を生成して伝送制御部４を介して投光装置３に伝送すると共に、伝送制御部を介して伝送される照射パターンに対応して撮像装置２より撮像された画像に基づいて対象物１の形状を計測する形状計測部５とを備えた形状計測装置において、投光装置３は、光源８、コリメート光学系９、平行ビームを走査する偏向走査装置１１、平行ビームの整形及び偏向制御を行うビーム制御光学系１０、ビーム制御光学系の反射光を受光する２つの受光素子１２ａ，１２ｂを有し、ビーム制御光学系１０は、平行ビームを整形しスリット光に伸張するレンズ部１４、前記レンズの両端に設けられて、前記平行ビームを前記受光素子に導くミラー部１５を有し、伝送制御部４は、２つの受光素子の受光信号に基づいて偏向走査装置の走査時間を制御する。 （もっと読む）

【課題】計測位置を確定する操作の負担を軽減し、計測作業の効率を向上することができる内視鏡装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】操作部６には、画像上の計測位置を示す位置情報と計測位置の確定指示とが入力される。ＣＰＵ１８は、入力された位置情報が示す位置に目印を表示し、確定指示が入力された場合には表示中の目印の位置を固定すると共に次の目印を表示するように映像信号処理回路１２を制御する。また、ＣＰＵ１８は、確定指示が入力されていない計測位置と、確定指示が入力された計測位置との両方に基づいて計測を実行する。 （もっと読む）

【課題】スペースを狭くしたり、通行や居住の邪魔になったりすることを回避する。
【解決手段】床側Ａに第１マークＭ１とイメージセンサＦとを固定し、天井側Ｂに鏡部材Ｃ１と第２マークＭ２とを固定し、該鏡部材Ｃ１に映し出される第１マークＭ１と、前記天井側に固定された第２マークＭ２とをイメージセンサＦにて検知するようにする。今、地震等が起こり、天井と床とが相対的に略水平方向に変位した場合、前記イメージセンサＦの検知結果に基づきその変位（層間変位）を知ることができる。このイメージセンサＦは、各マークの位置を非接触の状態で光学的に検知するものなので、各マークＭ１，Ｍ２や鏡部材Ｃ１やイメージセンサＦは床側又は天井側にそれぞれ配置していれば足り、天井から床に掛けて何らかの部材を配置する必要も無く、スペースを狭くしたり、通行や居住の邪魔になったりすることを回避できる。 （もっと読む）

【課題】位置検出システム、位置検出方法、プログラム、物体判断システム、および物体判断方法を提供すること。
【解決手段】電磁波発生装置と、前記電磁波発生装置から発せられる電磁波の投影面を撮像する撮像装置と、前記電磁波発生装置による電磁波の発生を制御する制御装置と、前記電磁波発生装置による電磁波の発生時に撮像された投影面の画像と電磁波の非発生時に撮像された投影面の画像との差分に基づいて前記電磁波発生装置および前記投影面の間に存在する物体の投影像を検出する投影像検出部、および、前記物体の投影像の位置に基づいて前記物体の位置を検出する位置検出部、を有する位置検出装置と、を位置検出システムに設ける。 （もっと読む）

【課題】 被検物の三次元画像の取得及び三次元計測の時間の短縮化を図ることができる共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】 被検物１１に照射される照明光束を射出する光源１２から被検物１１に至る光路上に、対物レンズ１３を経た照明光束が集光する複数の集光点２４，２５，３９，４０，４１を対物レンズ１３の光軸上に形成するための集光点形成部材２０を配置する。 （もっと読む）

【課題】プローブ部分を損傷しにくく、かつ、プローブ部分を交換容易な距離測定装置を提供する。
【解決手段】光源２からの光を、コリメータレンズ３により平行光束とし、出射面１４から、穴１の内壁にほぼ垂直に照射する。散乱された光を、微小開口１５で受光し、ミラー１７，１８で繰り返し反射させながら、受光レンズ４まで導いて受光する。受光レンズで受光された光は、リニアセンサ５上に結像する。リニアセンサ５での受光位置が分かると、微小開口１５に入射した散乱光の入射角度が分かり、これから三角測量の原理で、出射面１４から穴１の内壁までの距離が算出できる。 （もっと読む）

【課題】被検面の形状を簡易かつ低コストで高精度に測定し得るようにする。
【解決手段】撮像系４において、２次元イメージセンサ４２を有してなる撮像手段４０と、該撮像手段４０をスクリーン３２に沿って移動可能に保持する移動保持手段４３とを設ける。移動保持手段４３により撮像手段４０をスクリーン３２上に形成される干渉縞に対し順次移動させ、移動毎に該干渉縞の各部分領域の画像情報を２次元イメージセンサ４２により取得する。取得された各部分領域の画像情報に基づき、形状解析手段７１において被検非球面８ａの形状情報を求める。 （もっと読む）

【課題】非球面光学素子の表面形状を簡易かつ低コストで短時間のうちに測定し得る光波干渉測定装置を提供する。
【解決手段】透過/反射分離面１３ａにおいて二分された光原１１からの光束は、それぞれ対応する球面基準レンズ１５、２５によって、被検非球面レンズ１７と参照非球面レンズ２７の表面形状に応じた波面情報を担持した状態で再び合波され、参照非球面レンズ２７に対する被検非球面レンズ１７の波面誤差が干渉縞情報とされて干渉計ＣＣＤカメラ３１の撮像面上に形成される。また、ビームスプリッタ１３と高ＮＡ球面基準レンズ２５との間に、入射した第２の平行光束の波面形状を補正（参照非球面レンズ２７の波面情報を補正）するデフォーマブルミラー４２を備えており、この補正値は制御演算部５１によって制御される。 （もっと読む）

【課題】本発明の精密フェーズシフト発生装置は、石英材料の低い膨張率や、高い機械品質要素の特徴を利用して、巧妙且つ正確な構造デザインを通じて、精密圧力発生器の作用に基づき、それぞれエタロン自体及びフレキシブルヒンジマイクロ変移プラットホームの変移スキャニングを実現し、物の長さに対する精密測定を実現する。
【解決手段】本発明の精密フェーズシフト発生装置は、「圧力スキャニング」原理に基づいてデザインされた「キャビティ長さ可変式」のエタロンとフレキシブルヒンジマイクロ変移プラットホームとの一体化装置であり、また、「キャビティ長さ可変式」エタロンのデザインによって、精密変移センサーの自己修正難題が解決されており、精密フェーズシフト発生装置のフェーズシフト測定の正確度を保証することができる。また、本発明は、精密フェーズシフト発生装置によって構成された精密の長さ測定システム及び測定方法をも提供している。 （もっと読む）

【課題】結像面上に形成される干渉縞を、縞の密度が高い領域についても縞解析し得る程度に細密に撮像することが可能な高解像度の干渉縞撮像装置およびこれを備えた光波干渉測定装置を得る。
【解決手段】光波干渉測定装置１の撮像系４に、干渉縞撮像装置４０を設置する。この干渉縞撮像装置４０は、第１の結像面Ｐ_１上において回転走査される１次元イメージセンサを備え、該１次元イメージセンサにより上記干渉縞の画像情報を取得するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面形状を全面に亘って迅速に測定でき、かつ、製造コストを抑制できる表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】互いに異なる焦点Ｆ１〜Ｆ３を同一の光軸Ｌ上に形成するよう、複数の集光部２１を備えた第一集光素子２０と、複数の集光部２１によって得られる被測定物Ａの表面像の夫々を、光軸方向視で離間した位置に再結像させる第二集光素子３０と、第二集光素子３０による表面像の再結像位置に配置可能な受光素子４１と、受光素子４１からの出力に基づき、被測定物Ａの表面形状を判別する演算手段５０と、を備えた表面形状測定装置Ｘ。 （もっと読む）

測定量（１２）の変化に従って変化する光学的な経路長差（ｄ_Ｇａｐ）を光に対して生成する空洞共振器（１１）を含む測定セル（５）による測定量（１２）の評価のために、次の各ステップが提案される：光導波路（４）の経路に配置された結合器（３）を介して前記光導波路（４）により白色光源（２）の光（１）を前記空洞共振器（１１）へ導入し、前記空洞共振器（１１）から前記光導波路へ反射された光（１’）の少なくとも一部を前記結合器（３）によって出力結合し、この反射された光（１’）を光学式の分光計（６）へ供給し、前記分光計（６）で反射された光（１’）の光学的なスペクトルを判定して、分光計信号（８）を生成し、前記分光計信号（８）を計算ユニット（９）へ供給し、前記分光計信号（８）は前記計算ユニット（９）により干渉図形へ直接的に変換され、その強度推移からそれぞれの振幅極値の位置が判定され、このそれぞれの位置が、測定量（１２）を含む、前記空洞共振器内での光学的な経路長差のそれぞれの値を直接的に表している。
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