本発明は、当該工業過程において品質制御を行うために、サーモグラフィ技術を利用することによりリアルタイムに透明な被写体の３次元モデル化を行うことができる３次元スキャナ（１）に関し、摺動部（２）、ヒータ（３）、サーマルカメラ（５）及び制御ユニット（６）を含む。
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【課題】本発明の課題は、連続的な光路長調整を行うことができ、かつ小型な装置であっても大きな光路長調整幅を実現することができる光路長調整方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、光サーキュレータ２３の入力ポート２３１に入射した光を入出力ポート２３３を経由して中空構造の光導波路２４に入射させ、光導波路２４に入射した光を光導波路２４に挿入された反射材２５１の端面で反射させ、反射した光を光サーキュレータ２３の入出力ポート２３３を経由して出力ポート２３２から出射させる際、反射材挿入手段２５で、反射材２５１の端面を光導波路２４の長手方向に移動させることにより、光サーキュレータ２３の入力ポート２３１から反射材２５１の端面を経由して出力ポート２３２までの光路長を所定の値に設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被測定物が移動をする場合であっても適切に被測定物の変位を測定することができるレーザ干渉計の提供。
【解決手段】レーザ干渉計１は、所定の周波数を有する変調信号にてレーザ光を変調することでレーザ光の中心波長を安定化して射出するレーザ光源２と、参照鏡４と、測定鏡５と、参照鏡４、及び測定鏡５にて反射される光の干渉光に基づいて、測定鏡５の変位を検出する変位検出装置６とを備える。変位検出装置６は、干渉光における干渉縞の波数を取得する干渉縞取得手段６１と、レーザ光の波長を取得する波長取得手段６２と、干渉縞の波数と、干渉縞の波数を取得したときのレーザ光の波長とに基づいて、測定鏡５の変位を算出する変位算出手段６５とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像取り込み速度が変化した場合でも、解析に必要な枚数の干渉縞画像を取得し、精度の高い解析を行う。
【解決手段】光束を測定光と参照光とに分割して干渉縞を形成し、フリンジスキャニングによって画像取得部に取得した複数の干渉縞画像から選択した解析画像を用いて被測定面の形状を算出する干渉縞計測方法は、画像取得部の画像取得速度を計測する画像取得速度計測工程Ｓ１０と、参照面を移動させながら複数の干渉縞画像を候補画像として取得する候補画像取得工程Ｓ２０と、各候補画像の輝度変化データから、各候補画像の位相変化を算出する位相変化算出工程Ｓ３０と、位相変化に基づいて、候補画像の中から解析画像を選択する画像選択工程Ｓ４０とを備え、画像取得部の画像取得速度は、画像取得速度計測工程Ｓ１０における計測結果に基づいて所定速度に設定され、参照面の移動速度は、画像取得部に設定された所定速度に基づいて設定される。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、コンパクトかつ低コストで、結像光学系の倍率、ＮＡに関係なく使用できる干渉計の実現を目的とする。
【解決手段】
ある方向の直線偏光光を透過し、その方向と直交する方向の直線偏光光は反射する特性を持つ偏光光学素子１０２をミロー干渉計型光学配置で参照鏡として用い、半透鏡１０４の前後に１／４波長板１０３，１０５を挿入することで干渉計を構成するようにした。
【効果】
参照鏡が照明・結像光束を遮ることが無いことから、ミロー干渉計型光学配置であっても低倍率・低ＮＡの結像光学系に用いることができる。つまり、結像光学系の倍率、ＮＡに関係なく使用できる干渉計が実現できる。 （もっと読む）

【課題】光路長差のスキャン範囲の幅を縮小して測定の効率化を図るのに適した構成の低コヒーレンス干渉計を提供する。
【解決手段】本発明を例示する低コヒーレンス干渉計の一態様は、測定対象となる距離範囲を低コヒーレンス干渉法で測定するための光周波数幅を有し、かつその光周波数方向にかけて強度変調された広帯域変調光を生成する光源部（１、２１）と、前記光源部が生成した広帯域変調光を分岐して測定対象物（１２）と参照物（１５）との双方へ導くと共に、前記測定対象物からの測定光と前記参照物からの参照光とを干渉させて干渉信号を生成する光学系（９、１８）とを備える。 （もっと読む）

【課題】二光束の光路長差が安定に一定となる構成を備えることにより光源波長の変動をｐｍ以下の精度、分解能で測定可能な波長ずれ測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の波長ずれ測定装置は、光源から射出される光束の波長の変動量を測定する波長ずれ検出センサＷＬＣＤ１であって、光源から射出された光束を複数の光束に分割し、複数の光束のうち二光束を合成して干渉光を生成するビームスプリッタＢＳ２と、ビームスプリッタＢＳ２により分割された二光束の光路長差が一定になるように設けられたスペーサ部材ＳＰと、ビームスプリッタＢＳ２により生成された干渉光を検出する複数の光電センサＰＤＡ＋、ＰＤＢ＋とを有し、複数の光電センサＰＤＡ＋、ＰＤＢ＋は、干渉光に基づいて互いに位相がずれた複数の干渉信号を出力し、複数の干渉信号を用いて波長ずれ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】使用者が使用環境下で簡便に実施できる斜入射干渉計における測定感度の校正方法を提供すること。
【解決手段】対象物３０を傾斜ステージ１５に載置して第１干渉縞を取得後、所定の角度だけステージ１５Ａを傾斜させて、その傾斜角度の変化量σを取得するとともに、第２干渉縞を取得する。第１干渉縞の像中の２点の各位相φ1Ａ，φ1Ｂの差である第１位相差Δφ1、および、第２干渉縞の像中の２点の各位相φ2Ａ，φ2Ｂの差である第２位相差Δφ2を算出し、第１位相差Δφ1と第２位相差Δφ2との差分ΔΦを取得する。２点間の距離Ｌおよび傾斜角度の変化量σに基づく傾斜前後の対象物面上の２点の高低差の変化量ΔＨを算出し、変化量ΔＨを差分ΔΦで叙した算出値を用いて測定感度である縞感度Λを校正する。 （もっと読む）

【課題】
変調信号のフーリエ成分である基本波、２倍高調波の信号強度比から位相抽出を行うことにより、高周波ノイズの影響を無くすとともに信号強度変化による測定誤差を低減し高精度化することができ、実時間制御での利用が可能なディスパーション干渉計を提供する。
【解決手段】
ディスパーション干渉計の非線形結晶素子１０は、レーザ光（基本波Ｗ１）の一部を２倍高調波Ｗ２に変える。光弾性素子１２は、基本波Ｗ１に変調角周波数ω_ｍ分の位相変調を発生させる。非線形結晶素子１４はプラズマ３０を透過した基本波Ｗ１を２倍高調波Ｗ２に変える。波長選択フィルタ１６は２倍高調波Ｗ２を選択的に透過させる。干渉計は、干渉信号における変調角周波数ω_ｍの基本波成分と２倍高調波成分の強度比を求め、該強度比と、位相変化量に基づいて、プラズマ３０の物理量である線平均電子密度を算出する。 （もっと読む）

【課題】内視鏡システム１０の挿入部１２の３次元形状を高速で測定することができる医療機器１を提供する。
【解決手段】被検者１１に挿入する挿入部１２に配設される、複数のファイバブラッググレーティングセンサ部３が形成された３本以上の光ファイバセンサ２と、光ファイバセンサ２に広帯域光を供給する光源６と、干渉光を形成するための反射器５と、光源６から供給される広帯域光を、同時に、３本以上の光ファイバセンサ２と反射器５とに導光するカプラ７と、光ファイバセンサ２からの反射光と反射器５からの反射光とから干渉光を生成するカプラ７と、カプラ７からの干渉光を検出する検出部８と、検出部８の検出結果に基づき、挿入部１２の形状を算出する算出部９Ａと、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成であって、広範囲なプローブ個体ばらつきに対応でき、しかも測定のための調整が容易である光断層画像測定装置を提供する。
【解決手段】複数のプローブ１０を取り替えて使用するとき、各プローブ１０毎の長さのばらつきによる測定光Ｌ１および反射光Ｌ３の光路長にばらつきが生じた場合であっても、本実施の形態によれば測定対象Ｓからの断層信号が複数生じるため、光路体ＯＰＳの光路長を一体で微調整するだけでいずれかの断層画像を迅速に且つ容易に捉えることができる。 （もっと読む）

【課題】撮像した画像を用いて被検査体における凸部について正面の形状とともに側面をも同時に観察し、検査工程に要する時間を短縮するとともに、簡易な構成により被検査体における凸部の高さを求められるようにする。
【解決手段】一方の面において断面が二等辺三角形で同形同大の山形形状部が複数反復して一方向に延在するように連接された形状とされ他方の面が平坦な面であり透明材料からなるマイクロプリズムシート（ＭＰＳ）を被検査体（Ｓ）に近接した位置に配置し、このマイクロプリズムシートを介して被検査体を撮像可能な位置に撮像装置１０を配置する。撮像装置で撮像された画像により被検査体における凸部の正面とともに凸部の側面が観察され、被検査体上の１点に対応する画像上の２点の間隔に比例する量として被検査体における凸部の高さが求められる。 （もっと読む）

【課題】凹面部と凸面部と軸外停留点部を有する被検面の形状を測定できるようにする。
【解決手段】被検面８０の凹面部８１を測定する場合には、球面波からなる測定光が一旦収束した後に発散しながら凹面部８１に照射されるように、凸面部８２を測定する場合には、球面波からなる測定光が収束しながら凸面部８２に照射されるように、干渉光学系２に対する被検面８０の測定光軸Ｌ方向の位置をサンプルステージ用いて変化させる。また、軸外停留点部８３を測定する場合には、平面波からなる測定光が軸外停留点部８３に照射されるようにする。 （もっと読む）

【課題】小型で光弾性測定装置へのセッティングが容易な光弾性変調器およびそれを備えた光弾性測定装置を提供する。
【解決手段】円盤状の光学素子４６の周側面の一端に圧電素子４７を接触させ、当該圧電素子４７と対向する側をフレーム４８に接触させて光学素子４６の両端を支持する。当該構成において、光弾性変調器４５の共振周波数を光学素子４６の共振周波数より低い周波数に設定して圧電素子４７から振動させる。このとき、光学素子４６に付与される振動は減衰した後、光学素子４６には圧電素子４７の慣性による応力のみが付与されるので、光学素子４６内には均一に複屈折量が発生し、この状態で光学素子４６に光を透過させることにより、透過光に変調がかけられる。 （もっと読む）

【課題】凹面部と凸面部を有してなる被検面の形状を光干渉計測できるようにする。
【解決手段】被検面８０の凹面部８１を測定する場合には、測定光が一旦収束した後に発散しながら凹面部８１に照射されるように、凸面部８２を測定する場合には、測定光が収束しながら凸面部８２に照射されるように、干渉光学系２に対する被検面８０の測定光軸Ｌ方向の位置をサンプルステージ６を用いて変更する。また、被検面８０に測定光が照射されたときに被検面８０の一部領域から反射されて撮像系４に入射する不要光の発生を防止するために、所定の遮光パターンを被検面８０に投影する透過型液晶表示素子７０を、光源部２０と分岐光学素子３との間の光路上に配置する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を利用した微小変位測定において、最小構成で干渉計を構成し、測定装置の小型化を図る。
【解決手段】半導体レーザ発振素子２から出射された光は、第一の光カプラー１５により、第二の光ファイバー５を導波する照射光と第四の光ファイバー７を導波する参照光とに分岐される。被測定物３０で反射された光は第三の光ファイバー６を経由して、第二の光カプラー１７において、参照光と互いに干渉する。干渉光の光強度は光検出器１０により検出される。第二の光ファイバー５にはその屈折率を変化させる屈折率可変器１６が設置されている。光検出器１０からの光検出信号は、増幅器２３、A/D変換器２４を介して演算装置２５に伝達され、ここで屈折率可変器１６へ印加すべき制御信号が生成される。その制御信号はD/A変換器２１、屈折率可変制御手段２２を介して屈折率可変器１６へ印加される。 （もっと読む）

【課題】 回折格子が形成する面内の方向（Ｙ方向）の変位及びその面に垂直な方向（Ｚ方向）の変位を、光源から出射される光から回折格子を用いて複数の回折光を発生させることにより計測できる変位計測装置を提供する。
【解決手段】 第１乃至第３の回折光ｌ_１、ｌ_２、ｌ_３を発生させる第１回折格子ＧＢＳ０と、被計測物と共に移動可能な第２回折格子ＧＴ０と、第２回折格子で回折した第１及び第２の回折光による干渉光を受光する第１受光部ＰＤｘと、第２回折格子で回折した第１の回折光と、第１回折格子を透過した第３の回折光とをそれぞれ反射する反射部ＦＭと、反射部で反射され第２回折格子で回折した第１の回折光と、反射部で反射された第３の回折光と、による干渉光を受光する第２受光部ＰＤｚと、第１受光部で受光した光に基づいてＹ方向の変位を算出し、かつ第２受光部で受光した光に基づいてＺ方向の変位を算出する演算部ＣＵと、を有する。 （もっと読む）

【課題】光ドップラ方式における長さ調整用ファイバが不要で、安価な汎用部品を用いた小型のシステム構成が可能な配管の厚み測定方法および装置を提供すること。
【解決手段】予め定められた周波数帯域内を掃引して出力する電磁石発振器３００と、測定対象物の動的歪みを検出する光ファイバセンサ２００とを一体化して有するアクティブセンサを用意し、前記アクティブセンサを前記測定対象物である配管１０に取付け、前記配管の厚み方向に０〜１０ＭＨｚの間の所望周波数に指定した超音波または振動を入力し、入力した超音波または振動の反射波またはその合成波を検出し、検出した超音波または振動信号における前記配管による共振を基に前記測定対象物の厚みを測定する、配管の厚み測定方法および装置。 （もっと読む）

【課題】干渉計の複雑化、コスト高を招くことなく、短時間で非球面形状の評価を精度良く行うことのできる非球面レンズの形状評価方法を提案すること。
【解決手段】非球面レンズの形状評価システムＳは、平行測定光の一部の光成分を参照面５ａに照射し、残りの光成分をヌルレンズ６を介して非球面レンズ７の被検非球面７ａに照射する。被検非球面７ａで反射してヌルレンズ６を介して戻る戻り測定光と、参照面５ａで反射して戻る戻り参照光とを干渉させて干渉縞を形成する。干渉縞に基づき被検非球面７ａの形状を評価する。ヌルレンズ６は単レンズからなり、その第１レンズ面６ａが被検非球面７ａの規格非球面と略相似の非球面であり、その第２レンズ面６ｂが当該ヌルレンズのレンズ光軸６ｃに垂直な平面である。 （もっと読む）

【課題】大量のスループットを可能にする高速プロセスを有する光学検査システムを提供する。
【解決手段】レーザ光源１０１からの光ビーム１５１は、活性領域を有し、複数の移動レンズを活性領域に選択的に生成するようにＲＦ入力信号に対して応答する移動レンズ音響光学デバイス１０４に適用される。該音響光学デバイスは、生成された移動レンズの各々の焦点のそれぞれで、光ビームを受け、複数のフライングスポットビームを生成するように動作する。該ポットビームは半導体ウェハ１０８を走査する。使用可能な走査データを生成するために、複数の検出器セクションを有する光検出器ユニット１１０が使用され、各検出器セクションは、複数の光検出器と、複数の光検出器からの入力を並列に受けるように動作する少なくとも１つのマルチステージ格納デバイスとを有する。格納デバイスの各々に格納された情報は、複数のステージから同時に連続して読み出される。 （もっと読む）