【課題】 迷光の混入を防止して高精度に干渉計測を行うことのできる光学ユニットを提供する
【解決手段】 光学ユニット（３０１）は、相互に偏光面が直交する第１の偏光（Ｅ１）及び第２の偏光（Ｅ２）の一方を透過させて他方を反射させる第１偏光分離面（Ｓ１１）及び第２偏光分離面（Ｓ１２）を含み、第１ビーム及び第２ビームを相互に分離して異なる方向に射出させる偏光分離部（２０１）と、該第１ビームの偏光状態を変化させる第１偏光変換部（１５）と、偏光分離部から射出した第２ビームを反射して偏光分離部に再入射させる固定反射部（１８）と、該第２ビームの偏光状態を変化させる第２偏光変換部（１７）と、第１ビーム及び第２ビームを、各々その入射位置と異なる射出位置から各々その入射方向に逆向きに射出させて偏光分離部に再入射させるリトロレフレクター（１４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 迷光の混入を防止して高精度に干渉計測を行うことのできる光学ユニットを提供する
【解決手段】 光学ユニット（３０１）は、相互に偏光面が直交する第１の偏光（Ｅ１）及び第２の偏光（Ｅ２）の一方を透過させて他方を反射させる第１偏光分離面（Ｓ１１）及び第２偏光分離面（Ｓ１２）を含み、第１ビーム及び第２ビームを相互に分離して異なる方向に射出させる偏光分離部（２０１）と、該第１ビームの偏光状態を変化させる第１偏光変換部（１５）と、偏光分離部から射出した第２ビームを反射して偏光分離部に再入射させる固定反射部（１８）と、該第２ビームの偏光状態を変化させる第２偏光変換部（１７）と、第１ビーム及び第２ビームを、各々その入射位置と異なる射出位置から各々その入射方向に逆向きに射出させて偏光分離部に再入射させるリトロレフレクター（１４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】安価で高精度な光波干渉計測装置を提供する。
【解決手段】光波干渉計測装置は、複数のスペクトルを有する光束を射出する第１多波長光源２００ａと、第１多波長光源からの光束とは異なる波長を有する光束を射出する第２多波長光源２００ｂと、第１多波長光源２００ａ及び第２多波長光源２００ｂからの光束を分離する偏光ビームスプリッタ６と、第２多波長光源２００ｂからの光束を反射する参照面７と、第１多波長光源２００ａからの光束を反射する被検面８と、第１多波長光源２００ａ及び第２多波長光源２００ｂからの光束の干渉信号を分光する分波器９ａ、９ｂと、第１多波長光源２００ａ及び第２多波長光源２００ｂからの光束の単一波長同士の干渉信号を複数の波長について検出する検出装置１０ａ、１０ｂと、検出装置１０ａ、１０ｂからの信号を処理して参照面７と被検面８との間の光路長差を算出する解析装置１１とを有する。 （もっと読む）

【課題】使用する光学素子の数を抑えた干渉計を提供する。
【解決手段】所定の光軸Ｃ２上に光束Ｌ１を出射する光源２と、光軸上に配置される参照面３と、光軸上に配置される被検面Ｗ１と、参照面と被検面とで反射された光束により光軸に対する被検面と参照面の傾きを検出するアライメント観察手段５と、被検面と参照面とで反射された光束を干渉させた干渉光束Ｌ４の干渉縞の像を観察する干渉縞観察手段４と、光源と参照面との間の光軸上に配置され、干渉光束をビームスプリッタ面６ａで反射するビームスプリッタ６と、ビームスプリッタを移動させることで、反射された干渉光束の光路をアライメント観察手段の光軸Ｃ３又は干渉縞観察手段の光軸Ｃ４のいずれか一方に向かうように切替える光路切替え手段７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】分光エリプソメータの光源における熱の発生を低減するとともに対象物からの反射光の偏光状態を精度良く取得する。
【解決手段】分光エリプソメータ１では、光源３１からの光が偏光子３２１を介して基板９に導かれ、基板９からの反射光が、回転する検光子４１を経由して分光器４２にて受光されて反射光の偏光状態が取得される。分光エリプソメータ１では、半導体発光素子からのパルス状の光を連続スペクトルを有するパルス光に変換して出射する光源３１が利用されることにより、光源３１における熱の発生を低減することができる。その結果、光源３１と基板９との間に配置された光学素子等の熱膨張を抑制し、基板９からの反射光の偏光状態を精度良く取得することができる。また、検光子４１の回転位置が所望の角度となっているときの分光強度を正確に取得することができるため、基板９からの反射光の偏光状態をより精度良く取得することができる。 （もっと読む）

【課題】設置スペースが限られていても測定しやすい干渉計を提供すること。
【解決手段】レーザ光源２からの光Ｌ１を参照面７２１に入射させるとともに被測定物４に入射させ、偏光面が直交する参照光Ｌ４および測定光Ｌ５を得、それらの合波光Ｌ６を射出するセンサヘッド７が、レーザ光源２などを備える本体部１０に、可撓性を有する偏波保存ファイバ３０９により接続されているので、センサヘッド７を適宜の位置に配置でき、設置スペースが限られていても簡単に被測定物４の変位量を測定できる。また、センサヘッド７が、偏光面を保存して導光する偏波保存ファイバ３０９により本体部１０と接続されているので、センサヘッド７から射出された合波光Ｌ６が偏波保存ファイバ３０９を透過する際に、参照光Ｌ４および測定光Ｌ５の偏光面が互いに直交した状態のまま保存される。そのため、合波光Ｌ６から被測定物４の変位量を正確に測定できる。 （もっと読む）

【課題】形状の変化幅が数μｍを超えるような被検面を短時間で測定することが可能で、かつ装置構成が簡易なミロー型干渉計装置を得る。
【解決手段】光源部１０は、その出力光の可干渉距離が５０μｍ以上１０００μｍ以下となる中コヒーレント光源が用いられる。また、参照ミラー１４は、光透過率が８０％以上９８％以下となるように形成されている。さらに、ビームスプリッタ１６の光軸Ｚ方向の厚みｔ_Ｂが、上記出力光の可干渉距離の２分の１よりも大となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの２つの層の間のアライメント・オーバーレイの非破壊特性決定方法を提供する。
【解決手段】波長または入射角度の関数としての１つの実施例として、入射ビームの放射は、ウェーハ表面上に向けられ、結果として得られる回折ビームの特性が決定される。スペクトル的、または角度的に分解された回折ビームは、オーバーレイ・フィーチャのアライメントと関連する。計算された回折スペクトルのライブラリは、オーバーレイ・アライメントにおける予期される変動の全ての範囲をモデル化することにより確立される。少なくとも２つの層におけるアライメント・ターゲットを有する実際のウェーハの検査により得られたスペクトルは、実際のアライメントの特性を決定するため、最も適合するもの（ベスト・フィット）を識別するように、ライブラリと比較される。比較の結果は、上流および／または下流処理制御への入力として使用される。 （もっと読む）

【課題】 薄膜構造の特性評価を含む、偏光解析、反射光測定および散乱光測定のための干渉計法を提供する。
【解決手段】検出器上で参照光と干渉するように、或る範囲の角度にわたってテスト物体から出射するテスト光を結像することであって、テスト光および参照光は共通の光源から生成される。それぞれの角度毎に、テスト光がテスト物体から出射する角度に依存する速度で、テスト光および参照光の干渉する部分の間にいて、光源から検出器までの光路長差を同時に変更すること、および、それぞれの角度毎に光路長差を変更しながら、テスト光と参照光との間の干渉に基づいて、テスト物体の光学特性の角度依存性を特定することからなる方法。 （もっと読む）

【課題】複数の撮像部により広画角で対象物を含む画像の取得を可能とし、又、各画像中からの対象物の抽出、画像間での画像マッチングを画像の歪み修正なしで可能とした。
【解決手段】それぞれ一方向が広画角となっている第１撮像部３と第２撮像部４とを有する撮像装置２と、前記第１撮像部と前記第２撮像部が取得した画像に基づき対象物の検出、対象物迄の距離を演算する制御装置１２とを具備し、前記第１撮像部と前記第２撮像部とは既知の間隔で広画角方向とは直交する方向に配置された。 （もっと読む）

【課題】装置のサイズを大きくすることなく、口腔内を高精度に測定することを可能にする口腔内測定装置及び口腔内測定システムを提供する。
【解決手段】口腔内の少なくとも歯を含む被測定物に光を照射する投光部と、前記被測定物で反射された光を集光させるレンズ系部と、前記レンズ系部が集光した光の焦点位置を変化させる焦点位置可変機構と、前記レンズ系部を通過した光を撮像する撮像部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光ファイバに対して安定的に圧力を付与し、光ファイバを通過する光の偏光状態の経時的変動を抑える。
【解決手段】偏光コントローラ１０００は、回転部１０２０の平面部１０２１とブロック１０３０の平面部１０３２とを光ファイバ２０００に当接させ、調整ネジ１１００によって回転部１０２０とブロック１０３０とを相対的に移動させることにより、平面部１０２１と平面部１０３２との間隔を変更して光ファイバ２０００に圧力を印加する。更に、偏光コントローラ１０００は、サブファイバ３０００を有している。サブファイバ３０００は、平面部１０２１と平面部１０３２との間に配置され、光ファイバ２０００と略等しい径を有する。 （もっと読む）

【課題】屈折レンズのみを用いた光学系により垂直照明を可能とし、かつＤＵＶ−ＵＶ（１９０ｎｍ〜４００ｎｍ）領域の広帯域色補正を行うことを可能とする分光光学系および分光測定装置を提供する。
【解決手段】光源100、折り返しミラー110、視野絞り120、及び試料上に集光させる物体側集光レンズ系130と、該物体側集光レンズ系の結像面に配置される像側集光レンズ系140と、前記試料からの正反射光を分光する分光器150とを有し、前記物体側集光レンズ系130と、前記像側集光レンズ系140は、波長１９０〜４００ｎｍのブロードな帯域で色補正され、かつ垂直照明可能な屈折型レンズのみで構成される分光光学系であって、レンズのワーキングディスタンス（WD）が、所定の距離以下で設定され、かつ各接合レンズ間隔Ｄが、所定の距離以上で設定されている。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、被検体の光軸調整作業を円滑かつ高精度に行うことができるようにする。
【解決手段】干渉計１は、参照面反射光Ｌ_４および被検面反射光Ｌ_３を集光するコリメータレンズ５と、参照面反射光Ｌ_４および被検面反射光Ｌ_３の光路を、第１光路Ｐ_１および第２光路Ｐ_２に分岐するハーフプリズム１７と、干渉縞の像を光電変換して第１の映像信号を取得する干渉縞カメラ１２と、ピンホール１８ａとスクリーン部１８ｂとを有するスクリーン板１８と、スクリーン板１８の像を光電変換して第２の映像信号を取得するスポットカメラ１６と、ピンホール１８ａを通過する光を受光する受光素子１９と、映像信号を表示する表示部１３と、受光素子１９の出力値に応じて、第１および第２の映像信号のいずれかを選択的に切り替えて表示部１３に供給する信号選択部２３とを備える。 （もっと読む）

測定されるべき表面（Ｓ１）が、そのガラス裏面において、測定方向においてそれより前にある空気−ガラス表面（Ｓ２）を通して光学測定ビームでサンプリングされることを特徴とする、光学レンズあるいはレンズ結合体の球面状あるいは非球面状に湾曲した空気−ガラス表面のトポグラフィーのゼロ接触測定方法を開示する。この方法を実行する装置は、ａ）光学レンズ（２）またはレンズ系は、回転可能に取り付けられた中空シャフト（１）の端部側に、レンズまたはレンズ系の光軸が中空シャフト（１）の回転軸（３）と少なくともおおよそ一直線に並ぶように、固定され、ｂ）光学測定ビーム（１０）のための合焦光学系（６）は、中空シャフト（１）の内側に配置され、ｃ）測定ビーム（１０）を発生させるための測定ユニット（７）は、中空シャフト（１）の回転軸（３）に対して垂直に変位し得るように配置され、ｄ）部分ビームを分離し、それを少なくとも１つの光学センサ（１２）に送るための少なくとも１つのビームスプリッタ（１１）が測定ビーム（１０）に挿入され、ｅ）オプトエレクトロニクトランスデューサおよび評価エレクトロニクスがセンサ（１２）に与えられていることを特徴とする。 （もっと読む）

干渉計システムは、２つの間隔を空けて配置された参照フラットを含み得る。前記２つの間隔を空けて配置された参照フラットは、２つの平行参照表面間に光キャビティを形成する。第１のおよび第２の基板表面が対応する第１の参照表面および第２の参照表面に実質的に平行な様態で、前記第１のまたは第２の基板表面の間の空間が前記参照表面または減衰表面のうち対応するものから３ミリメートル以下の位置に来るように、前記基板を前記キャビティ内に配置するように基板ホルダが構成され得る。前記キャビティの直径方向において対向する両側においてかつ前記キャビティ光学的に結合して、干渉計デバイスが設けられ得る。
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【課題】レンズの外形中心に対する光学面中心の偏芯情報が迅速かつ高精度で取得できるレンズ偏芯測定方法と、光学面中心の偏芯による影響を低減でき、所望の光学性能を達成できるレンズ組立方法を提供する
【解決手段】レンズ偏芯測定方法は、干渉計を用いてレンズの干渉縞情報を取得し、該情報に基づいてレンズの光学面中心を求めるステップと、レンズの外形中心を検出するステップと、得られた外形中心を基準として、光学面中心の偏芯情報（例えば、偏心量および偏心方向）を算出するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】干渉計の原点の検出に関して、光源からの光の波長が変化した場合にも（実環境においても）高い再現性を実現できる。
【解決手段】第１の波長の第１光源からの光による第１の干渉信号と第２の波長の第２光源からの光による第２の干渉信号との位相差が０となる位置を原点とする干渉計の調整方法であって、前記第１の波長がλ１、前記第２の波長がλ２である場合における原点に対する前記第２の干渉信号の振幅が最大となる位置の相対位置Ｄを求めて、パラメータの値ＰをＰ＝Ｄ／λ２（λ２−λ１）の式に従って算出し、このパラメータの値Ｐに基づいて、前記第１の波長がλ１からλ１’、前記第２の波長がλ２からλ２’に変化した場合における前記原点の移動量ＢをＢ＝Ｐ・（λ１’・λ２’−λ１・λ２）の式に従って算出し、この原点の移動量Ｂに基づいて、前記第１の波長がλ１’、前記第２の波長がλ２’である場合における原点を決定する調整方法。 （もっと読む）

【課題】作業性を低下させることなく、被検物の測定結果のＳＮ比を向上させる。
【解決手段】形状測定装置１１は、光源２６から測定光を射出して被検物１２に照射するとともに、受光部２７により被検物１２からの測定光を受光し、被検物１２の形状を測定する。光センサ部２５には、その外周部分を覆うように、笠状の遮光部２８が設けられており、遮光部２８は、被検物１２に照射され受光部２７に入射する外乱光が、被検物１２に照射されないように、外乱光を遮光する。これにより、受光部２７に外乱光が入射することを防止することができ、受光部２７が測定光を受光して得られる電気信号のＳＮ比を向上させることができる。また、遮光部２８が邪魔になって測定者が被検物１２を視認できなくなるようなこともないので、作業性が低下することもない。本発明は、形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

光イメージング装置は、光周波数領域測定法（ＯＦＤＭ）に基づいて、ＤＵＴの内部またはＤＵＴ上の複数の位置における散乱データを時間の関数として収集する。光源は検査対象デバイス（ＤＵＴ）の中に光を投入し、ＤＵＴはＤＵＴに沿った１つ以上の位置で光を散乱する。光検出器は、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれで散乱された光の一部を検出する。データはＯＦＤＭデータ処理を使用して決定される。これらのデータは、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれにおいて収集された時間の関数として表された光量に対応する。データは、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれに対して記憶される。記憶された時間領域データに基づいて、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれにおいて散乱された光量を示すユーザ情報が提供される。ＯＦＤＭ処理によって、精細な時間分解能（例えば、０．１ピコ秒）が得られ、それによって、小さな光遅延距離（例えば、３０ミクロン）を分解することができる。また、精細な時間分解能と同時に、検出するべき少量の散乱（例えば、１０^−１２）の正確な検出が可能になる。
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