本発明は、干渉計装置及びその作動方法に関するものである。干渉計装置は干渉計を備え、該干渉計は、干渉計光源から放出された光線が測定アーム及び基準アームに分割可能である。測定体は測定アーム内に配置され且つ干渉計は測定体の位置の関数である干渉計信号を提供する。測定アーム及び基準アームの少なくともいずれか内の空気の屈折率の変動を測定するための測定手段が設けられている。測定手段は、分光計ユニットを含む。分光計ユニットは少なくとも１つの分光計光源並びに少なくとも１つの分光計検出ユニットを有する。分光計光源から放出された光線束が干渉計光源の光線束に重ね合わされ、分光計光源は、少なくとも１つの特定の空気成分の吸収線の範囲内に存在する波長を有する光線を放出する。分光計検出ユニットは、測定アーム及び基準アームの少なくともいずれか内における分光計光源波長に関する空気成分の吸収を表わす分光計信号を発生するように機能する。
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【課題】基板に設けられた複数の基板基準マークのマーク間距離を測定する測定装置において、高精度にマーク間距離を測定し、測定結果を後工程のデータベースとして出力することにより、ワークの歩留まりを向上することができる測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】寸法が予め決められた複数のスケール基準マーク１５が形成された透明ガラス板１２と、基板基準マークＰとスケール基準マーク１５とを撮像する撮像手段１３と、撮像手段１３により撮像された基板基準マークＰとスケール基準マーク１５との２次元座標上距離と、複数のスケール基準マーク間距離とに基づき、基板基準マークＰのマーク間距離を算出する演算処理手段２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 迅速に精度よく面間隔を測定することができる低コヒーレンス光干渉計及びそれを用いた膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】 第１低コヒーレンス光源１１と被検物６０，１６０との光路中に光路に沿って移動可能な第１干渉光学系２と、第２低コヒーレンス光源１１１と被検物６０，１６０との光路中に光路に沿って移動可能な第２干渉光学系１０２とで、第１被検物６０及び第２被検物１６０の各表面の差を求め、その差から第２被検物１６０の第１面１６０ａから第２面１６０ｂまでの厚さを測定することを特徴とする。 （もっと読む）

本開示の一態様の方法は、顕微鏡を用いて、直交偏光状態を有する複数の成分を含む光を試験対象物に向けるとともに試験対象物から反射された光を検出器に向けること、光の成分間の光路長差（ＯＰＤ）を変化させること、成分間のＯＰＤを変化させながら検出器から干渉信号を収集すること、収集された干渉信号に基づいて試験対象物に関する情報を決定することを備える。 （もっと読む）

【課題】レジスト面の変位を正反射光と乱反射光のそれぞれで測定し、その両者の相関関係を基にレジスト下のパッド面の位置を推定し、その位置からのはんだ高さを求めるプリント板検査装置を提供する。
【解決手段】第１のセンシング手段（OS1,D1,D2）がレジスト面を透過して基板の表面で反射する光を含む散乱光を受けて第１の変位を測定し、第２のセンシング手段（OS2,D3）が正反射した反射光を測定して第２の変位を測定し、それらの差とレジストの厚さとの関係を表す補正値を補正メモリ５に予め記憶する。そして、基板のレジスト面において第１及び第２のセンシング手段により第１の変位と第２の変位を求める。次にそれらの差を基に補正メモリを参照して補正値を求め、第２の変位から補正値を減算して、パッド面位置を求める。第１又は第２のセンシング手段により求めた変位から印刷はんだ箇所の表面の変位をパッド面からの変位として求める構成とした。 （もっと読む）

【課題】干渉計の部品、構成の変更や大掛かりな補正をすることなく、被測定物の複数の被測定個所の寸法を正確に測定できる寸法測定方法を提供する。
【解決手段】光波干渉を用いて、予備値が既知の被測定物の相対向する端面間の寸法を、複数の被測定個所において測定する寸法測定方法であって、平行光線を直進光と参照光とに２分割し、直進光の光路中に、直進光の波面に設定した測定位置と複数の被測定個所のうちの１つとが重なるように被測定物を挿入する設置過程と、直進光が被測定物に反射した反射光を参照光と干渉させ、得られた干渉縞を基に被測定個所の寸法を求める測定過程と、を複数の被測定個所の全てについて実施する。 （もっと読む）

【課題】被検眼の眼底における網膜の断層像を撮像するに際し、モーションアーチファクトを低減させ、解像度の向上を図ることが可能となる光干渉断層撮像装置を提供する。
【解決手段】
光干渉断層撮像装置であって、
参照光路が、少なくとも、第１の参照光路と、該第１の参照光路より光路長が短い第２の参照光路とを有し、
前記第１の参照光路を用いて、光干渉により取得される被検査物の第１の検査位置における第１の断層情報と、前記第２の参照光路を用いて前記光干渉により取得される前記第１の検査位置よりも前記被検査物の深さ方向に関して浅い位置の第２の検査位置における第２の断層情報とを取得し、
前記第１の断層情報から形成される前記第１の検査位置における断層画像の位置ずれを、前記第２の断層情報を用いて補正可能に構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】露光装置の構成を複雑化することなく、基板ステージの位置計測精度を維持しつつ計測可能範囲を広げる。
【解決手段】レチクルステージＲＳには、原版側ラフ計測マークと原版側ファイン計測マークとを含む原版側計測マークが配置される。基板ステージＷＳには、基板側ラフ計測マークと基板側ファイン計測マークとを含む基板側計測マークが配置される。制御部ＣＮＴは、原版側ラフ計測マークおよび基板側ラフ計測マークを使用してレチクルステージＲＳとウエハステージＷＳとの相対位置がラフ計測され、そのラフ計測の結果に基づいてレチクルステージＲＳとウエハステージＷＳとの相対位置が補正され、次いで、原版側ファイン計測マークおよび基板側ファイン計測マークを使用してレチクルステージＲＳとウエハステージＷＳとの相対位置がファイン計測されるように計測工程を制御する。 （もっと読む）

【課題】鏡面と拡散面とが混在するような被検物においても、精度良く表面形状を測定する。
【解決手段】投光板２は、異なる配光特性の光源１−１乃至１−３の光を、大凸部２ａ，小凸部２ｂで拡散させて被検物４に投光する。角度測定部５ｂは、配光特性毎に、撮像部３により撮像された被検物４に映り込んだ投光部２の大凸部２ａにより反射されてくる光の強度比に基づいて、投光角θＬを算出する。三角法測定部５ｃは、基線長Ｌｂ、撮像角θｃ、および投光角θＬで、三角法により被検物４の表面形状を測定する。光切断法測定部５ｆは、被検物４に投光するスリット光発光部７を制御して、スリット光を発光させ被検物４上の陰影より測定する。選択部５ｅは、被検物４に映り込んだ小凸部２ｂの認識の有無で表面が拡散面または鏡面を判断し、光切断法または三角法を選択して、表面形状を測定させる。本発明は、形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】安価な装置構成で歪み変化を検出可能な分布型光ファイバ歪みセンサの提供。
【解決手段】ブリルアンスペクトルに複数のピークをもつ被測定光ファイバと、該被測定光ファイバに測定光を入射する光源と、被測定光ファイバで発生したブリルアン散乱光を測定し、ブリルアンスペクトルにおける各ピーク間の周波数差の変化から、被測定光ファイバの歪み分布を測定する歪み分布検出手段とを有することを特徴とする分布型光ファイバ歪みセンサ。 （もっと読む）

【課題】複雑な立体形状の羽根車の外観を検査する際に、誤検出が少なく検査精度が高く、形状が異なる多品種の羽根車の検査に短時間で対応することが可能である、外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】基準となる羽根車の画像に所定の画像処理を施すことで、照明の不均一となり易い部分を非検査領域として不透明化し検査領域を透明化したマスク画像Ｂを作成し、該マスク画像Ｂを基準となる羽根車の画像に重ねたテンプレート画像を作成しておいて、羽根車１に照明光を照射して撮像した原画像Ａに前記マスク画像Ｂを重ねた合成画像Ｃ（検査用画像）と前記テンプレート画像を画像処理することで、羽根車の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単であり、ラインセンサを不要とした硬貨径検出装置を提供すること。
【解決手段】硬貨搬送路面の下方に配置され、硬貨搬送路面に設けられた光通過部を通して搬送される硬貨に光を照射する光照射手段と、硬貨搬送路面の上方に配置され、光通過部を通過した光のうち、搬送される硬貨によって遮光されなかった光を受光する受光手段と、硬貨が通過しないときの最大受光量と、硬貨が光通過部を通過したときの最小受光量との関係に基づいて硬貨の径を判定する制御部とを備えた硬貨径検出装置において、光通過部は、硬貨搬送路面の幅方向に対して所定の角度をもって、硬貨搬送路面の側端から内側に向かって両側に切り欠きで設けられており、光照射手段は、放物面鏡と、該放物面鏡の焦点に配置された光源とで構成されて光通過部に平行光を照射し、受光手段は、放物面鏡とそれぞれの放物面鏡の焦点に配置された受光センサとで構成され、光通過部を通過した平行光を各放物面鏡の焦点に集めて受光することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】テレセントリック光学系を利用して、画像による状態検査、高精度な寸法計測を可能とした、寸法検査システムを提供する。
【解決手段】テレセントリック光学系において、前側レンズ群の焦点位置に小さな開口の絞りを置いて、レンズ主軸に対する平行な光線のみを選択的に結像させるとしたところを、絞りの位置をレンズ主軸に直交する平面上でずらすことで、レンズ主軸に対して若干傾いた平行光線を結像させることができ、レンズ本体や撮像手段、計測対象を動かすことなく、傾斜した計測対象の正確な寸法計測を可能とする。 （もっと読む）

【課題】より小さいアライメントマーカや異なる波長の放射を使用できるようにし、プロセス変動を受けたマーカを検出できる改良アライメントシステムを提供する。
【解決手段】アライメントセンサは、放射ビームを角度分解スキャトロメータに供給する空間干渉性放射源を含む。瞳面は、放射の半径方向位置が基板での入射角を規定し、角度位置が放射の方位角を規定する。検出器は、基板ターゲットの２次元角度散乱スペクトルを測定できるように、２次元検出器であることが好ましい。アライメントは、スキャトロメータに対して基板をスキャンしている間に、散乱スペクトル内でうなりを検出することによって実行される。 （もっと読む）

【課題】吸着ノズル等で保持された電子部品を三次元測定する際、ライン光の正反射光を正確に撮像し、高さを高精度に測定できるようにする。
【解決手段】保持手段１０により保持された電子部品Ｐに、ライン光発生手段１９により斜め下方からライン光Ｌを照射した際の光切断線を撮像手段２１により撮像し、得られた画像データに基づいて、該電子部品の高さを測定する電子部品の高さ測定装置において、前記電子部品の下面に平行に、前記ライン光発生手段を移動させてライン光を走査する投光ユニット２６に、該下面に照射されたライン光の正反射光を、前記撮像手段の撮像部に反射させるミラー２７が一体的に固定されている。 （もっと読む）

【課題】従来の線幅測定装置の自動調光を共焦点顕微鏡を有する高さ測定装置に適用すると輝度値とＺ座標のグラフがＺ軸移動範囲の殆どで、最大輝度値に達したり、Ｚ軸移動範囲の殆どで輝度値が低いことがあり、カメラのダイナミックレンジを有効に利用することができないため、精度の悪い測定となっていた。
【解決手段】本発明は高さ測定を行う前に、高さ測定と同様な処理で求めた画像で、予め設定した画像領域のピーク値若しくは代表値を光量のパラメータとし、指定された範囲にパラメータが入るか否かで、自動調光を行い、最適な光量値を求めることが可能な高さ測定装置である。 （もっと読む）

【課題】モルタル等の歪み測定対象物に生じた０．１ｍｍ程度の微小クラックをも検出可能な歪み検出用光ケーブルの提供。
【解決手段】歪み測定対象物に埋設されるケーブル外被内に、少なくとも歪み検出用光ファイバが設けられた歪み検出用光ケーブルであって、ケーブル外被外面に、長手方向に沿って所定間隔毎に、ケーブル外被と異なる合成樹脂又は接着剤からなる複数の突起部が設けられたことを特徴とする歪み検出用光ケーブル。 （もっと読む）

【課題】0.9〜1.2μｍの中心波長の光を発光する、高出力化可能な光半導体素子を得る。
【解決手段】 光半導体素子１を、InP基板10と、InP基板10の上に積層された第一導電型クラッド層１１と、第一導電型クラッド層１１の上に積層された量子井戸活性層１３であって、InGaAsPあるいはAlGaInAsからなる量子井戸層１３ａと、量子井戸層１３ａを挟むように積層されているInPあるいはGaInPからなる障壁層１３ｂとを備えた量子井戸活性層１３と、量子井戸活性層１３の上に積層された第二導電型クラッド層１５とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】薄膜干渉光を発生する測定対象物の質量と、体積とを同時に測定可能な質量・体積測定装置の提供。
【解決手段】本発明の質量・体積測定装置は、水晶振動子を有し、この水晶振動子の電極上に付着する測定対象物の質量を、振動数変化に基づいて測定する質量測定手段と、前記水晶振動子の電極上の測定対象物に光を照射する光照射器を有し、前記測定対象物の体積を、照射された光の反射光によって生じる干渉光に基づいて測定する体積測定手段と、を備える。 （もっと読む）

【目的】光源を小型化すると共に、従来必要であったインコヒーレント化するための機器を省略可能な検査装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の検査装置１００は、それぞれ基本波を発光する複数の面発光レーザ素子１４６を有する光源１４０と、複数の面発光レーザ素子１４６から発光された複数の基本波をフォトマスク１０１に照射する照明光学系１７０と、フォトマスク１０１を載置するＸＹθテーブル１０２と、を備えたことを特徴とする。本発明の一態様によれば、光源を小型化すると共に、従来必要であったインコヒーレント化するための機器を省略することができる。 （もっと読む）