【課題】温度の急上昇や他の原因によって共振周波数の測定値が急変したときにも正常な膜厚値を求める。
【構成】成膜開始時に、符号Ｌ₁で示すように、共振周波数の測定値が急変したとき、所定の回復時間まで測定値を異常値とし、回復時間後、最小個数の正常な測定値から、時間と共振周波数との間に成立する一次式の“傾きａ”と“ｙ切片ｂ”とを算出し、算出した一次式から、回復時間間に成長した薄膜の膜厚を求め、回復時間後の測定値から求めた膜厚に加算する。異常値が出力されている間の膜厚値が加算されるので、実際より小さい値の膜厚値を出力することが無くなる。正常状態から異常値が得られた場合も、異常値が出力されている間の膜厚は、一次式から求め、正常な測定値から求めた膜厚に加算する。 （もっと読む）

【課題】中空管の長さや設置環境によらずに、異常を正確に検知すること。
【解決手段】両端が開口されたチューブ３００と、チューブ３００の両端近傍に設けられ、チューブ３００に伝わる音響信号を集音する２つのマイクロホン２００と、を有する音響チューブセンサ４００に接続された侵入検知装置１００は、２つのマイクロホン２００で集音された物音の音響信号の到達時間の差に基づいて、物音を生じさせたチューブ３００における物音の位置を推定する位置推定部１３０と、推定された位置に基づいて、音響信号の強度を補正する補正部１４１と、補正後の音響信号の強度が所定の異常検出閾値を超えているか否かを判断し、異常検出閾値を超えている場合に、異常と判断する異常判断部１４５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】モデル基礎の共振条件式からずれた実基礎であっても、埋設部の寸法を精度よく測定する方法を実現する。
【解決手段】共振条件式には、基礎の各部の寸法が、ａ／ｂ、Ｂ／ｂ等の比の形で入っており、これらの比を２つの次数ｉ、ｊの共振振動数の比（ｆｉ／ｆｊ）で表せる。そこで、複数のサンプル基礎について実測したデータに基づいて、（ａ／ｂ）又は（Ｂ／ｂ）等の比と（ｆｉ／ｆｊ）との近似多項式で表すことにより、測定対象の実基礎について測定した２つの共振振動数（ｆｉ／ｆｊ）と、ａ、ｂ等の寸法をその近似多項式に代入して、未知寸法Ｂ，ｔを求めるようにした。つまり、軸対称の基礎について理論的に求めた捻れ振動の共振条件式を直接用いる代わりに、複数のサンプル実基礎について実測したデータに基づいて得られる埋設部の未知寸法を含む複数の近似多項式を用いて、その未知寸法を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】き裂を移動させる際に逐次メッシュ修正を必要としない同定方法を提供する。
【解決手段】固有振動数情報による構造部材のき裂位置同定方法であって、計測により取得した構造部材の固有振動数と、拡張型有限要素法を用いて計算で仮のき裂位置を移動させて算出した構造部材の固有振動数との、両者の差を入力値として、両者が一致するとき最小となる評価関数を設定し、仮のき裂位置の移動は評価関数の感度情報を基に決定するようにして、仮のき裂の位置座標が収束した点をき裂位置として同定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 超音波ビームを用いて、物性値を精度良く検知できる測定対象物の物性値検知方法、及び、測定対象物の物性値検知システムを提供する。
【解決手段】 測定対象物の物性値検知方法は、空中に放射された超音波ビームＵＳを、測定対象物３０に透過させた後に受波し、受波した超音波ビームの強度ＵＣから、測定対象物の物性値ＡＰを検知し、互いに周波数の異なる超音波ビームについて、強度と測定対象物の物性値との相関関係Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３に基づいて、各周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３の超音波ビームについての強度ＵＣ１，ＵＣ２，ＵＣ３から、それぞれ測定対象物の周波数別物性値ＡＰ１，ＡＰ２，ＡＰ３を得、各々の周波数別物性値に基づき、測定対象物の物性値を特定する。 （もっと読む）

【課題】手軽に弾性体の厚みを測定することにより、弾性劣化を容易に測定することができる厚み測定装置を提供すること。
【解決手段】発泡体等から構成される被測定物の測定箇所に当接されるように配設し、該被測定物の厚みを測定するための波動センサー部１１０を備えた厚み測定装置１において、前記波動センサー部１１０は、発泡体等の測定箇所の密度変化に応じて反射量が変化する光を出射する発光部１１２と、発光部１１２から出射され前記発泡体等により反射した光を受光する受光部１１４と、を有し、前記発泡体等の厚みと、入射された光（輝度）との関係を特性データとして記憶する特性データ１５２と、受光部１１４で受光した光から、前記特性データに基づいて前記被測定物の厚みを算出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】溶融部からの反射波成分（あるいは透過波成分）を識別して溶融部の大きさを正確に推測することができる検査方法を提供する。
【解決手段】反射波を利用する場合、ワークへの超音波パルスの送信およびそれに対応する反射波の受信を繰り返し行う。超音波パルスのワークからの反射波の受信順を示す受信順番、反射波の経過時間、および、反射波の反射強度を検出し、その検出データを座標データとして記憶する。そして、その座標データに基づいて近似式Ｍを求め、その近似式Ｍに基づいて溶融部からの反射波成分Ｉを識別する。これにより溶融部の大きさの推定では、ワークからの反射波のなかに含まれる上側の電極チップの下端からの反射波成分Ｊ、ワークの間からの反射波成分Ｈなどを除外し、溶融部からの反射波成分Ｉを利用することができる。 （もっと読む）

【課題】数μm〜数百μm程度の表面粗さを有する表面の粗さを、超音波散乱を利用してインプロセスで評価可能な表面粗さ評価方法および評価装置を提供することを課題とする。
【解決手段】評価対象物の表面10にパルス超音波12を入射して前記表面10で反射するパルス超音波15のコヒーレント成分を検出し、前記コヒーレント成分の強度を鏡面反射におけるコヒーレント成分の強度で除して正規化した値と、前記パルス超音波の周波数ｆとから最適化手法により評価対象物の表面10の凹凸高さを求めることを特徴とする表面粗さ評価方法により上記の課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】煉瓦間の空隙の厚さを非破壊にて検査可能な耐火物煉瓦間の空隙検査方法を提供する。
【解決手段】検量線スペクトル群取得工程にて、空隙厚さが異なる複数種のモデル構造物の各空隙に対応する検量線スペクトルＦＢ_１（ｆ）〜ＦＢ_６（ｆ）を重ね合わせて、検量線スペクトル群ＦＢを取得する。対象スペクトル取得工程にて、検査対象となる空隙に対応する対象スペクトルＦＢ_ｊ（ｆ）を取得する。比較工程にて、検量線スペクトル群ＦＢと対象スペクトルＦＢ_ｊ（ｆ）とを比較することにより、検査対象となる空隙Ａの厚さΔｗを計測することができる。非破壊にて耐火物煉瓦間の空隙の厚さを検査できる。 （もっと読む）

【課題】 超音波を用いて被計測板の結晶粒径を計測する際に、超音波の減衰率の算出を正確にできるようにして、結晶粒径の計測を高精度に行うことができるようにする。
【解決手段】 第１の波形検出手段６で検出した板波Ａの波形のうち、送信プローブ１が配置された第１の位置における板波Ａの原波形と相関が一番強い第１の計算域波形部を抽出し、第１の計算域波形部におけるエネルギー値Ｅｎ１を算出するとともに、第２の波形検出手段８で検出した板波Ａの波形のうち、前記第１の位置における板波Ａの原波形と相関が一番強い第２の計算域波形部を抽出し、第２の計算域波形部におけるエネルギー値Ｅｎ２を算出して、算出したエネルギー値Ｅｎ１とエネルギー値Ｅｎ２とに基づいて板波Ａの減衰率を算出して被計測板の結晶粒径を計測するようにする。 （もっと読む）