【課題】被測定物の三次元形状の測定精度をより一層向上させることができる三次元測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物の表面に沿ってプローブを走査して、ＸＹ座標データを取得するとともに、光干渉計によりＸＹ座標データに対応するＡ相正弦波信号値とＢ相正弦波信号値とを取得し、それらの信号値の位相差と２乗和平方根とを算出し、位相差に基づいてＺ座標データを取得するとともに、２乗和平方根によりプローブのＺ軸方向に対する傾き角度を求め、当該傾き角度からプローブと被測定物との接点の位置ズレ量を算出し、ＸＹ座標データとＺ座標データと位置ズレ量とを合成して、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸における各座標データを取得し、被測定物の三次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】センサーの取付角誤差に起因する検出値の誤差を補正するための補正パラメーターをより低コストで作成可能な姿勢検出装置の補正パラメーター作成方法、補正パラメーター作成用装置及び補正機能付きの姿勢検出装置を提供すること。
【解決手段】回転板２３０を上面２３１が水平になるように設置し（Ｓ１０）、立方体治具２１０の面２１１に、Ｘ軸（第１の軸）が面２１２（第２の面）に垂直になり、Ｙ軸（第２の軸）が面２１３（第３の面）に垂直になり、Ｚ軸（第３の軸）が面２１１（第１の面）に垂直になるように、姿勢検出装置１を固定する（Ｓ１２）。そして、立方体治具の面２１２、２１３、２１１と対向する各面を回転板の上面に順次固定し（Ｓ１４、Ｓ２０、Ｓ２６）、回転板を静止又は所定の角速度で回転させて姿勢検出装置の検出値を取得し（Ｓ１６、Ｓ１８、Ｓ２２、Ｓ２４、Ｓ２８、Ｓ３０）、補正パラメーターを作成する（Ｓ３２）。 （もっと読む）

【課題】非球面形状の数式フィッティングとアライメント補正との両方の最適解を容易に得ること。
【解決手段】本発明は、軸対称非球面形状を設計形状とした被評価非球面形状の座標データを測定する測定部１０と、測定部１０によって測定して得た座標データから非球面式の各係数を求め、当該係数による非球面の形状について並進、回転の座標移動変換、ｃ（曲率）、ｋ（コーニック係数）の係数変更の少なくともひとつを実施し、設計形状との形状差を算出する座標変換計算部２３１と、座標変換計算部２３１によって算出される形状差が最小となる並進、回転、ｃ、ｋの値を非線形最小二乗法によって求める非線形最小二乗計算部２３２と、非線形最小二乗計算部で並進、回転、ｃ、ｋの値の少なくともひとつを変更するたびに、形状差が最小となるＡ（非球面係数）を線形最小二乗法によって算出する線形最小二乗計算部２３３とを有する形状評価装置である。 （もっと読む）

【課題】精度の高い位置制御を実施することができ、より高精度な加工等の実現に寄与することができる回転構造物の位置制御方法を提供する。
【解決手段】回転構造物１の制御対象位置Ｒに応じて、ねじり剛性係数Ｋ_θＲを予め設定されたテーブルからの選択又は予め設定されている所定の関数にもとづく算出により決定する第１工程と、決定したねじり剛性係数Ｋ_θＲを用いて角度誤差Δθを算出する第２工程と、角度誤差Δθを補正量として出力する第３工程とを実行するようにした。このように制御対象位置に応じてねじり剛性係数Ｋ_θＲを選択するため、回転構造物の各位置における変形量を正確に推定可能であり、正確な位置制御を実行することができる。 （もっと読む）

【課題】精度の高い位置制御を実施することができ、より高精度な加工等の実現に寄与することができる回転構造物の位置制御方法を提供する。
【解決手段】回転構造物のねじり剛性係数Ｋ_θを用いて角度誤差Δθを算出する第１工程と、回転構造物のたわみ剛性係数Ｋ_δを用いて、角度誤差Δθの補正により生じる位置誤差δＹ、δＺを算出する第２工程と、角度誤差Δθ及び位置誤差δＹ、δＺを補正量として出力する第３工程とを実行するようにした。当該位置制御方法によれば、角度補正により回転軸以外の軸方向に位置誤差が生じたとしても、該位置誤差を補正することが可能となり、精度の高い位置制御を実行することができる。 （もっと読む）

【課題】座標測定機の使用の際の障害を減らし、大量のキャリブレーションデータを管理する重荷を軽減する。
【解決手段】複数のサブシステム（１０）から成り、サブシステム（１０）の一部を個別にキャリブレーションし、その後、各サブシステム（１０）に個別のキャリブレーション情報を提供し、マップ・ファイル（２０）を生成し、キャリブレーションされたサブシステム（１０）に関連づけられる、座標測定機を取り付ける手順に先立つ、事前のキャリブレーション手順と、前記キャリブレーション情報を保存する保存手順と、前記事前のキャリブレーション手順を通じて収集された前記キャリブレーション情報を処理する最終調整手順とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 相対変位のポジティブフィードバックの困難な調整を必要とすることなしに極低周波数まで検出範囲を広げることができると共に絶対変位を安定して検出することができる絶対変位検出方法及びその方法を用いた絶対変位センサを提供すること。
【解決手段】 絶対変位センサ１は、被検出体としてのセンサハウジング２と、センサハウジング２にばね係数ｋ及び減衰係数ｃをもって可動に支持された質量ｍを有した質量体３と、質量体３に対するセンサハウジング２の相対速度を電気的に検出する検出手段４と、相対変位をポジティブに、相対速度を一次微分して得られた相対加速度をネガティブに夫々フィードバックさせて、センサハウジング２の絶対変位に起因する質量体３の絶対変位を制御するフィードバック制御手段５と、相対変位に位相遅れ補償を施す位相遅れ補償手段６とを具備している。 （もっと読む）

【課題】ピッチング誤差やローリング誤差を抽出でき高精度な測定を行える被測定面の測定方法を提供する。
【解決手段】被測定面を回転させる場合における回転軸線の振れに相当するティルトモーション誤差は、被測定面を高精度に測定する上で除去すべきでものである。従来技術によれば、かかるティルトモーション誤差を簡易に除去する方法がなかった、これに対し本発明によれば、前記被測定面を備えた部材を回転させながら、前記第１の２次元角度センサにより前記第１の測定点の面法線角度を２次元で測定し、前記第２の２次元角度センサにより前記第２の測定点の面法線角度を２次元で測定し、前記第１の２次元角度センサの測定値に基づいて、前記第２の２次元角度センサの測定値からティルトモーション誤差を排除することができる。 （もっと読む）

【課題】 フィルムの膜厚測定に関するものであり、フィルムの製膜上に起因するフィルムの波状の撓みによる影響を解消し、フィルムにキズを付けることなく高精度な測定方法、及び測定装置を実現する。
【解決手段】フィルムの厚みを連続的に非接触で測定する方法において、膜厚を計測するセンサーで前記フィルムの膜厚を測定する範囲周辺の表面に、表と裏側、またはどちらか片側より空気を吹き付けるノズルを備え、フィルムの幅方向の膜厚を測定する際に該膜厚測定センサーと該吹き出しノズルをその位置や速度を同期させてフィルムの幅方向に移動させることを特徴とするフィルム厚み測定方法、およびフィルム厚み測定装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は平面形状の高精度測定を変位計の走査によって実現することを課題とする。
【解決手段】面上の半径rの円に沿う凹凸を変位計Ｄｂの回転走査で測定するときに，回転中の軸方向の出入りを検出する変位計Ｄａと，変位計Ｄａ，変位計Ｄｂの測定点を結ぶ直径上の，半径Rの円に沿う走査測定をする変位計Ｄｃ，変位計Dｄ，合計４本を用意して，半径Rの円が描かれる面が回転走査軸と同心で，前記半径ｒの円に対して相対的に180度回転した位置にも反転設置できる基準円輪ＳＣ上にある形にし，基準円輪ＳＣの反転操作の前後の回転走査における４本の変位計の出力から，合計６つを選んで用いることで，走査のための回転運動誤差と半径ｒの円と半径Rの円に沿う凹凸形状を分離同定する。この結果得られた円に沿う凹凸形状と，別の方法を用いて複数の直径上で得られた直線に沿う凹凸形状とを数学的に合成すると平面を正しく構成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】薄片状の被測定物の厚さ分布および反り形状を同時にかつ高精度に測定できる形状測定方法およびその装置を提供する。
【解決手段】対向する一対の静電容量センサ２，２’を、被測定物Ｓを挟んで昇降可能に配置し、上部の静電容量センサ２を昇降させて被測定物Ｓとの間隙を略一定に保持するとともに、下部の静電容量センサ２’を、上部の静電容量センサ２の前記移動に追随させて移動させ、一対の静電容量センサ２，２’間の距離を一定に保持する。そして、上部の静電容量センサ２の移動量および一対の静電容量センサ２，２’で検出された被測定物Ｓとの間隙に基づいて前記被測定物の厚さおよび反り形状を求める。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、高い感度のトンネル電流検出部でトンネル電流を検出すると、探針−試料間に生じる浮遊容量による影響も大きく増幅されてしまい、測定結果が補正しきれない悪影響を受けてしまうという点である。
【解決手段】 試料に対向した探針と前記試料の間隔を固定した状態で、前記探針と前記試料間に印加するバイアス電圧を走引し、前記探針と前記試料間に流れるトンネル電流を検出して前記試料の局所領域の分析を行うトンネルスペクトロスコピー装置において、前記バイアス電圧の極性を反転して増幅し、それを微分した信号を前記トンネル電流に加算して、前記探針と前記試料間に生じる浮遊容量による影響を打ち消すよう構成したことを特徴としたトンネルスペクトロスコピー装置。 （もっと読む）

【課題】容易な構成で、高精度の摩耗判定ができるタイヤ摩耗状態判定装置を提供する。
【解決手段】タイヤ摩耗状態判定装置の判定部は、回転するタイヤ１４が接地するときに、タイヤ周方向に発生する実加速度を加速度センサ１８を取得する。また、記憶部から非摩耗状態のタイヤが接地するときに、タイヤ周方向に発生する基準加速度に対して設定された摩耗判定の基準となる摩耗発生閾値を取得する。検出した実加速度と摩耗発生閾値を少なくとも加速度の出力値の大きさまたは出力値の変化勾配または加速度増加時のピーク間隔のいずれか１つに基づいて比較し、タイヤの摩耗状態を判定する。 （もっと読む）

【課題】様々な厚みの測定試料の表面形状を測定する場合でも、事前の校正作業工数の増大を伴うことなく、高い測定精度を確保して測定できること。
【解決手段】変位計２で測定位置を２次元方向に走査させつつ得られる計測値から測定ウェハ４の表面形状を測定する場合に、測定ウェハ４と厚みが異なるが材料及び平面視した形状が同じ基準ウェハの厚み、及びそれが支持部１で支持された場合の自重による撓み量、並びに走査手段３の走査ぶれ量を予め記憶し、対向配置した変位計２ａ，２ｂによる測定ウェハ４の厚み計測、変位計２による測定ウェハ４の表面変位計測を行い、計算機７により、予め記憶された基準ウェハの厚み及び自重撓み量と測定ウェハの厚み計測値とにより、測定ウェハ４の自重撓み量を算出し、走査ぶれ量と測定ウェハ４の自重撓み量及び表面変位計測値とにより測定ウェハ４の表面形状値を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、精度良く周長を測定可能な周長測定装置及び周長測定方法を提供する。
【解決手段】一対の円柱状ロール１４Ａ及び円柱状ロール１４Ｂに張架された無端ベルト１２の種別を示す種別情報に対応する熱線膨張係数及び吸湿線膨張係数と、環境温度と、環境湿度と、に基づいて、予め定められた基準温度及び基準湿度下において測定された周長となるように、周長測定結果を補正するので、簡易な構成で、温度変動や湿度変動に依存せず、精度良く無端ベルトの周長を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】簡便な操作でプローブを高精度に観察できるプローブ観察装置を提供する。
【解決手段】プローブ２１０を撮像するカメラ２３０と、カメラ２３０にて取得した画像データを画像処理する画像処理部と、画像処理部にて画像処理された画像データを表示するモニタ４００と、手動操作にて画像処理内容を入力指令するマウス５００とを備える。画像処理部は、マウスにて入力される指令に応じて画像データを加工処理する画像データ加工処理部を備える。カメラ２３０は、低倍率のレンズ系を有し、プローブ２１０を視野内に入れた状態でプローブ２１０に対する相対位置が固定された状態で設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡易に且つ精度良くヨーレートセンサの出力値を補正することができるヨーレートセンサの補正装置を提供する。
【解決手段】本発明は、車両のヨーレートを検出するヨーレートセンサの出力値を補正するヨーレートセンサの補正装置であって、車両のタイヤの磨耗度を検出するタイヤ磨耗度検出手段（４，６，８）と、このタイヤ磨耗度検出手段により検出されたタイヤの磨耗度に基づきヨーレートセンサの出力値の補正係数を算出する補正係数算出手段（１０）と、この補正係数算出手段により算出された補正係数を用いてヨーレートセンサの出力値を補正する補正手段（１０）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】プローブの倣い走査による形状測定装置の測定タクトを短縮する。
【解決手段】被測定面１０４を倣い走査するプローブ１０１の走査経路を第１〜第３の測定経路１０５〜１０７に分割する。第１の測定経路１０５による形状測定後に、その測定データと被測定面１０４の設計形状を比較する形状解析を行い、誤差が大きい場合には、第２の測定経路１０６における形状測定を強制終了させる。誤差の原因を検討し、適切な処理を行ったうえで第１の測定経路１０５から形状測定を再開する。すべての測定経路の測定を終了後に形状解析を行って再度測定を行う場合に比べて、トータルの測定タクトを短縮できる。 （もっと読む）

【課題】実体基準を用いずに複数の変位センサにより、形状情報と測定の際の運動誤差を同時に検出し、演算処理でそれらを分離し取り出すことができる逐次３点法における零点誤差補正方法及び零点誤差補正装置を提供する。
【解決手段】
逐次３点法により、被測定物１００、変位センサ３１〜３３を相対移動させて、変位センサ３１〜３３の検出出力に基づき、逐次３点法による被測定物１００の表面形状を演算する。被測定物２００を反転する前及び反転した後のそれぞれにおいて、被測定物１００，２００と、変位センサ４１，４２，３２を相対移動させて、該変位センサの検出出力に基づいて、反転法による被測定物１００の表面形状を演算する。逐次３点法と反転法による被測定物１００の表面形状の演算結果に基づいて零点誤差補償量を算出し、該零点誤差補償量により、逐次３点法による零点誤差補正を行う。 （もっと読む）

【課題】非接触計測プローブユニットの重力補償機構を改善することで、３次元形状計測装置の計測精度を向上させる。
【解決手段】ベースＢ上に立設された筐体１０にボイスコイルモータ１と空気バネ２を支持させ、ＸＹステージ７上の被測定物Ｗの高さを計測する非接触計測プローブユニット４を、ボイスコイルモータ１によって重力方向であるＺ軸方向に駆動する。非接触計測プローブユニット４を搭載するＺステージ３の重力補償を空気バネ２によって行い、ボイスコイルモータ１とエアースライダ６と空気バネ２とを組み合わせることで、小型でしかも信頼性と安全性の高い重力補償機構を実現する。 （もっと読む）