【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、高い感度のトンネル電流検出部でトンネル電流を検出すると、探針−試料間に生じる浮遊容量による影響も大きく増幅されてしまい、測定結果が補正しきれない悪影響を受けてしまうという点である。
【解決手段】 試料に対向した探針と前記試料の間隔を固定した状態で、前記探針と前記試料間に印加するバイアス電圧を走引し、前記探針と前記試料間に流れるトンネル電流を検出して前記試料の局所領域の分析を行うトンネルスペクトロスコピー装置において、前記バイアス電圧の極性を反転して増幅し、それを微分した信号を前記トンネル電流に加算して、前記探針と前記試料間に生じる浮遊容量による影響を打ち消すよう構成したことを特徴としたトンネルスペクトロスコピー装置。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、倣いプローブを用いて穴軸心などを測定する際に、高精度な測定を容易に行えるワーク測定方法を提供する。
【解決手段】 倣いプローブと移動手段とを備えた表面性状測定機を用い、測定部位近傍に位置決めする位置決めステップと、測定子がワークの測定部位に多点接触して測定する測定ステップと、離脱ステップと、測定ステップにおける変位成分が所定値以下となるまで測定を繰り返す再実行ステップと、測定値算出ステップと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】間欠ラスター走査に生じる振動ノイズが低減された走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】Ｙ走査信号の振幅値は、画像データを取得する画像取得時間Ｔｙｕの間だけ直線的に増加し、画像データの取得終了後直ちにほぼ０に戻る。一方、Ｘ走査信号の振幅値は常に一定で、画像データの取得時の振幅値のままである。 （もっと読む）

探針２０を備えるカンチレバー２１と、探針・試料間の物理量を測定する測定部を備え、試料表面を測定する走査型プローブ顕微鏡の探針交換方法である。走査型プロープ顕微鏡は、カンチレバーの取付け部２２と、カンチレバーカセット３０と、カンチレバーカセットを移動させるＸＹステージ１４とＺステージ１５と、光学顕微鏡１８を備える。上記の走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバー取付け部とカンチレバーカセットの間の位置合せを行い、カンチレバーカセットからカンチレバーを選んでカンチレバー取付け部に装着する第１ステップと、カンチレバー装着後に、光学顕微鏡装置を移動させ、装着されたカンチレバーを観察視野の所定位置に設定する第２ステップとを含む。第２ステップでは、光学顕微鏡側またはカンチレバー側を移動させて位置調整を行うステップを設ける。
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【課題】 パイプインパイプ工法を実施するための既設管路の管内を詳細に調査できるようにする。
【解決手段】 管路１の内部を走行可能であるとともに管路１を構成する管に対してそれぞれ心出しされることが可能な第１の測定ユニット１３と第２の測定ユニット１４とを備える。第１の測定ユニット１３と第２の測定ユニット１４とのいずれかに、その測定ユニット１３、１４が管に心出しされてその管と同軸とされたときに周方向に沿った複数の位置でその管の内径を測定可能な内径測定装置４１を備える。管路１の管継手を構成する一方の管３に第１の測定ユニット１３が心出しされてその管３と同軸とされるとともに他方の管２に第２の測定ユニット１４が心出しされてその管２と同軸とされたときに、これら第１の測定ユニット１３と第２の測定ユニット１４との屈曲角を測定することで管継手の屈曲角を測定可能な屈曲角測定装置５３を備える。 （もっと読む）

【課題】 高精度・高速で且つ安定な倣い測定を実現可能とする。
【解決手段】 三次元測定装置の倣い測定に用いられ、先端にスタイラス１８を装着してなるプローブにおいて、スタイラス１８の先端球３２の表面にＤＬＣ膜３５が形成され、その摩擦係数が０．１以下に設定されている。 （もっと読む）

【課題】
レンズ形状の測定中にスタイラスがレンズから外れて落下することを防止する。
【解決手段】
基台１１の基板１１ａ上には、レンズ保持ユニット１２およびトレーサ機構部１３が設けられている。レンズ保持ユニット１２全体は、基板１１ａ上に固定されており、このレンズ保持ユニット１２には、加工済みのレンズ１４が保持されている。スタイラス台２０上のスタイラスユニット３０には、スタイラス３１が取り付けられている。スタイラス３１は、水平方向、すなわちＺ軸方向を向いている。スタイラスユニット３０は、Ｚ軸方向およびＹ軸方向に移動し、これによりスタイラス３１がレンズ１４の周縁に接触し、トレースが実行される。 （もっと読む）

【課題】
回転体の一部にしか紙葉類が掛からないようなことがあっても誤検知を抑制することができる厚み検知装置を提供し、検知精度を向上する。
【解決手段】
円柱形の定位置回転体と円柱形の位置変位回転体とを対設し、搬送される紙葉類が両回転体の間を通過する際に前記位置変位回転体が前記定位置回転体から離れる変位距離に基づいて前記紙葉類の厚みを検知する厚み検知装置について、前記位置変位回転体が前記紙葉類を押圧する際の荷重の重心を、位置変位回転体の中心から軸芯方向の一方へ片寄せて形成した。 （もっと読む）

【課題】 測定路面の両端の一定長さが平坦でなくても測定路面の全範囲において簡易かつ精度良くプロファイル測定が可能な路面断面プロファイルの測定方法を提供する。
【解決手段】 測定ブロック１０の長さの異なる第１及び第２連結棒１４，１５が真直状態での第１ローラ１１及び第３ローラ１３の中心間寸法を基準距離として、基準距離を複数点に分割した複数の計測位置を決める。測定ブロックが路面の縦方向に進行し、第３ローラが計測位置を順次移動する毎に、各計測位置にて第１及び第２連結棒のなす連結角をロータリエンコーダにより検出する。連結角検出値から路面のプロファイルを推定する。さらに、路面のプロファイルを評価する評価関数を設定し、この評価関数を共役勾配法等の演算手法を用いて最小化することにより、路面全体の精密な断面プロファイルを得ることができる。 （もっと読む）