【課題】複数本にて引き揃えられた鋼線の束を構成する各鋼線の長さを、簡易にかつ正確に評価することができる鋼線長さの評価方法を提供する。また、この評価方法を用いることで、複数本の鋼線を誤差の少ないほぼ同一の長さで巻き取ることができる鋼線の巻取方法、および、これにより得られる巻取製品を提供する。
【解決手段】複数本にて引き揃えられた鋼線の束１０を構成する各鋼線１の長さを評価する方法である。鋼線束１０を、水平方向距離Ｓの間隔を有しかつ同じ高さに位置する２つの支持点Ｘ−Ｙ間に掛け渡した状態で、鋼線束の一端を固定して他端に一定の張力を掛けたときの各鋼線のなす曲線の最低高さと支持点の高さとの差ｄを計測して、得られた計測値ｄに基づき、２つの支持点間における各鋼線の長さＬを算出する。 （もっと読む）

【課題】変位センサ等に影響を与えずに、蓋部材の着脱を簡単にすることができる触針式表面形状測定器を提供する。
【解決手段】触針式表面形状測定器は、差動トランスを支持する第一支持部材２及び探針１６を支持する第二支持部材１５を収容する収容ケース１を設け、ケース本体１ａと、蓋部材１ｂとから成り、前記ケース本体１ａに、２つの蓋固定用磁石を、それらの磁極が互いに反対向きになるように隣接して配置すると共に、前記蓋部材固定用磁石の側面及び一端面を囲むように強磁性体材料から成る周囲壁を設け、前記蓋部材１ｂにおける、ケース本体１ａに装着した時に前記蓋部材固定用磁石に対面する位置に、強磁性体材料から成る被吸着部を設け、蓋部材１ｂをケース本体１ａに装着した時に、ケース本体１ａの周囲壁と前記蓋部材１ｂの被吸着部とで前記蓋固定用磁石の周囲が囲まれる。 （もっと読む）

【課題】測定物の上面も側面も１０〜１００ナノメートルの超高精度で走査測定できる三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】上面スタイラス１ａは、エアスライド１ｃによりＸＹ方向には振れずに測定物の上面を走査測定でき、第１のミラー１ｂとレンズ２ｄｅによりＺ座標も精度良く測定でき、側面スタイラス２ｉａは、ＸＹ方向にのみ変位可能でＺ方向には振れないので測定物の側面を走査測定でき、側面スタイラス２ｉａのＺ座標測定は前記第１のミラー１ｂのＺ座標測定値を利用して、より高精度に側面スタイラスのＸＹ変位を傾斜角度測定部２ｊで測定することができる。 （もっと読む）

【課題】ロープ溝の摩耗量の測定では、ロープ溝の全周に渡る測定を実施せず、ロープ溝のある部分の代表値の測定のみであり、ロープ溝に偏摩耗などがある場合は正確に検出できない。
【解決手段】ロープ溝２１の特定部位の位置を測定する位置センサ４と、この位置センサを溝車２の中心軸方向に沿って移動する軸方向移動手段６と、溝車の回転角度を検出する回転角検出手段９と、位置センサの検出値（位置データ）と軸方向移動手段の駆動量（駆動データ）と回転角検出手段の検出値（回転角度データ）とからロープ溝の断面形状を算出する溝形状演算手段１０とを備え、溝車のロープ溝の全周に渡る摩耗状態を測定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】検査対象物に対して測定力一定制御の応答可能帯域よりも高い周波数までの振動を測定でき、質量効果の影響を低減できる接触式振動計およびこれを備えた表面性状測定装置を提供すること。
【解決手段】接触式振動計を備えた表面性状測定装置は、検査対象物との接触時に発生する測定力を検出し力検出信号として出力する力センサ１、力センサ１を検査対象物の振動に応じて移動させる駆動アクチュエータ１３３、力センサ１の位置変位情報を検出し変位信号として出力するスケール検出器１３５を有するプローブ１３０と、力検出信号を力フィードバック信号として力設定値と比較し、力フィードバック信号が力設定値に一致するように駆動アクチュエータ１３３を駆動させる力制御ループＲＦと、力検出信号および変位信号を合成して、検査対象物の振動振幅を取得する信号変換器２４０を備える。 （もっと読む）

【課題】軸受の組立後のラジアル振れおよびアキシアル振れを高精度に測定する軸受の回転精度の測定装置を提供する。
【解決手段】内輪６の端面に当接して支持固定する内輪受け部材１０と、外輪７の端面に当接して支持固定する外輪受け部材１１と、この外輪受け部材１１上に載置され、適宜な重量からなる重錘１２と、外輪受け部材１１の上側に配設されて外輪７を回転させる回転ユニットとからなる支持部３と、案内部１３ａと、これに対して軸受２のラジアル方向およびアキシアル方向に摺動自在にそれぞれ配設された摺動部１３ｂと、これら摺動部１３ｂの先端部に装着され、外輪７の外径または端面に当接する球状の測定球１６ａを有する測定子１６と、摺動部１３ｂに適宜な測定圧を付与するコイルばね１７とからなる駆動機構１３と、測定子１６を介して駆動部１３ｂの変位を読み取るレーザ変位計１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、構成の簡略化を図ることのできる形状測定装置を提供することにある。
【解決手段】上下方向に振動しながら被測定面２４上を走査する探針１２と、該探針１２を上下方向に振動させる微小振動発生手段１６と、該被測定面２４と探針１２間の距離ないし接触力が一定となるように該探針１２を上下動する上下動制御手段１７と、該探針１２を該被測定面２４上で走査する走査手段１８と、該探針１２の上下方向変位を測定し探針変位信号を出力する変位センサ２０と、該信号２６中の高周波成分より該被測定面２４と探針１２間の距離情報ないし接触力情報を取得し、該距離ないし接触力を一定に保つように該被測定面２４を走査した際の該信号２６中の低周波成分より該被測定面２４の凹凸情報を取得する信号処理機構２２と、を備えたことを特徴とする形状測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】測定位置にかかわりなく一定圧の安定した微小接触圧を創成でき、それにより、傾斜部分でも誤差の少ない正確な精密測定を実現することができ、しかも構造が簡単で安価に実施できる極低測定圧接触式測長装置を提供する。
【解決手段】被測定物に測定端子を接触させて測長する形式の測定装置において、測定端子を並進させるための駆動シリンダを有し、かつ、前記駆動シリンダが、微小圧力創成用のために内部に吹き込まれる駆動用気体の一部を流出させる気体流出機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】プローブと被測定物との接触圧を従来よりもさらに微小に調整できる微小表面形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物１と接触する接触子１を先端に有するプローブシャフト４と、プローブシャフト４を移動可能に非接触で支持する支持手段が設けられたプローブ本体２１と、前記プローブシャフト４を被測定物１に向けて付勢移動させる付勢装置と、該付勢装置がプローブシャフトに与える付勢力に対する反力が作用するように前記プローブ本体２１に組み込まれた圧電センサ８ａと、該圧電センサに作用する荷重を測定する荷重検出部８ｂと、該荷重検出部により検出された荷重に基づいて、付勢装置による付勢力を調整する制御部９と、該制御部９により調整された付勢力で被測定物１に接触している接触子２の位置を測定する変位量計測装置と備える。 （もっと読む）

【課題】 接触式プローブによる形状測定において、測定物表面にゴミなどがあっても安定して走査可能なプローブを提供する。
【解決手段】 ハウジングに固定してプローブシャフトに力を加える事が可能な力発生手段を設け、ハウジングとプローブシャフトの間の変位や速度によってプローブシャフトに作用させる力を変化させる事で安定した走査を可能にする。すなわち、正常にトレースが行われている時は、弱いばね要素としての力をプローブシャフトに作用させ、ごみ等により跳ね上げられた時は、ばね要素の剛性を強める事で素早くプローブを測定面に戻すようにする。 （もっと読む）

【課題】 測定子を低接触力で接触させながら被測定物の表面形状を高精度に測定できる機上形状測定器を提供する。
【解決手段】 機上形状測定器３０は、測定開始前にサーボモータのロック状態等における機械振動成分を測定し（Ｓ１４）、振動成分を除去するノッチフィルタ６６を設定する（Ｓ１８）。測定開始後、リニアスケール４４の出力から、設定したノッチフィルタ６６によりサーボモータのロック状態等における機械振動成分を除去する（Ｓ２０）。このため、測定プローブ３２を低接触力で接触させることで、機械振動の影響を受け易い状態となっても、機械振動分を除去し、影響を打ち消すことで、高精度な形状測定を実現できる。 （もっと読む）

【課題】スピンドルの操作性および耐久性を向上させることのできるスピンドルの制動装置および測定器を提供すること。
【解決手段】制動装置６００は、スピンドル３００が移動するシリンダ６１０と、このシリンダ６１０内を２つに区画するピストン６２０と、スピンドル３００とピストン６２０とを、軸方向および軸直交方向に対し一定のクリアランス６３３を介して連結する連動手段６６０と備え、連動手段６６０は、ピストン６２０に形成された中空室６２３と、スピンドル３００の他端に設けられ、他端側が中空室６２３内に係合収納される係合部６３０とを含み構成され、スピンドル３００が一端側へ移動する際には、係合部６３０が中空室６２３の一端側内壁に当接し、かつ、他端側へ移動する際には、係合部６３０が中空室６２３の他端側内壁に当接するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ピンチャック等のウエハチャックの平面度を、サブミクロンのごみの影響を受けずにナノメートルの超高精度に測定する。
【解決手段】 半導体ウエハ等をチャックするピンチャック１２１等の剣山状のピン１２２先端の包絡線形状を測定する平面度測定装置における測定用プローブ１３１として、先端面形状が、球状面１１と、球状面１１の外側の周囲に球状面１１と滑らかにつながるように形成されたテーパ面１２とを有する測定用プローブ１３１を備え、ピンチャック１２１等に作用する力が一定になるように測定用プローブ１３１に力を加えつつＺ軸方向にフィードバックしながら、ＸＹ方向に走査測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】小型で簡素な構成により、被測定物の表面と裏面との相対的な位置ずれを測定できる測定用治具を用いた被測定物の３次元形状を測定するための３次元形状測定方法を提供すること。
【解決手段】測定用治具１００に平行平面１４０を保持し、その表面１４１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１４２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。また、測定用治具１００に基準球１５０を保持し、その表面１５１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１５２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。この測定結果から、円錐面１１１、１１２の位置関係に対応する補正値を算出する。さらに、測定用治具１００に非球面レンズ１２０を保持し、その表面１２１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１２２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。そして、上記補正値を用いて表面１２１と裏面１２２との相対的な位置関係を求める。 （もっと読む）

【課題】 形状測定装置におけるスタイラスの測定圧を任意の値に容易かつ正確に設定でき、さらに測定速度や傾斜角によるフォーカスサーボの追従遅れを小さくし、測定圧の変化の小さい測定を実現する。
【解決手段】 測定圧目標値設定手段４５と、フォーカス誤差目標値生成手段４６とを備え、フォーカス制御ＯＦＦ時のフォーカス誤差信号と測定圧の目標値からフォーカス誤差信号の目標値を設定した後、フォーカス制御をＯＮすることにより、フォーカス制御ＯＦＦ時の対物レンズと基準ミラー面の距離を変えずに測定圧を変更できるようにした。 （もっと読む）