【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、スパイラルインダクタ間に発生する相互インダクタンスの変動や、スパイラルインダクタンスの金属や比透磁率が１とは大きく違う物質を利用した自己インダクタンスの変動を利用した、交角や回転角度，位置、速度、加速度、傾き、振動などの計測を行う装置に対する、ノイズに強い測定手法を提供する。
【解決手段】本発明は、前記スパイラルインダクタを含めて構築された発振器を用いて、相互インダクタンスの変動や自己インダクタンスの変動を発振周波数の変動として検出するため、ノイズに強く、センサー部から測定部までの距離がある程度離れていても問題なく安易に安価に測定できるシステムを構築する。 （もっと読む）

【課題】 出力直線性の改善が可能な変位量検出装置を提供する。
【解決手段】 金属製の被検出体１に対して所定の変位方向（図での左右方向）に変位可能とされた検出コイル２の電気的特性の変化に基いて、検出コイル２に対する被検出体１の相対的な変位量を検出する。被検出体１に対する検出コイル２の可動範囲は、変位方向に直交する所定の対向方向（図での紙面に直交する方向）から見て被検出体１に重なる範囲と重ならない範囲とを含む。被検出体１において、検出コイル２に対する相対的な変位の過程で対向方向から見て検出コイル２に重なる可能性があるコイル側端縁１１は、変位方向に対して傾斜している。また、検出コイル２は、コイル側端縁１１に平行な並行部２３を有する。 （もっと読む）

【課題】 小型化が可能な変位量検出装置を提供する。
【解決手段】 金属製の被検出体１に対して所定の変位方向Ａ１に相対的に変位可能に保持された検出コイル２と、検出コイル２の電気的特性の変化に基いて検出コイル２に対する被検出体１の変位量を検出する検出回路とを備える。被検出体１は、検出コイル２の可動範囲を変位方向Ａ１に直交する方向において挟む２個の被検出部１１，１２を有する。被検出部１１，１２毎に、変位方向Ａ１での寸法がそれぞれ異なっている。被検出部１１，１２が１個だけ設けられる場合や被検出部１１，１２の寸法が共通とされる場合に比べ、検出可能な変位量の幅が大きくなる。すなわち、検出可能な変位量の幅に対して検出コイル２の寸法を小さくすることができるから、小型化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】線形性を向上させ、かつ製造コストを減少させた回転機械の回転シャフトの軸方向位置の検出装置を提供する。
【解決手段】回転シャフト１０の端部１１に設置された強磁性材料のターゲット１２と、エアギャップ６０を残しつつ回転機械の構造に固定され、ターゲットと対向配置された固定磁気回路３２に接続された誘導コイル３１と、誘導コイルに給電するための給電回路とを含む装置であり、給電回路が、誘導コイルの第１端部と基準電圧（０Ｖ）に位置する領域との間に接続されたＡＣ電源と、誘導コイルの第１端部と第２端部との間に接続された少なくとも１つのコンデンサと、第２端部と基準電圧に位置する領域との間に挿入された検出器デバイスとを、第２端部と基準電圧に位置する領域との間を流れる電流の大きさについての情報をライン上に供給するために有し、情報は、所定の公称値ｅ０を有するエアギャップの幅の変更値ｘを表す装置である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出コイルと長手状磁性部材の組合わせにより簡単な構成でＳＩＮ，ＣＯＳ信号による高性能の二相の直線検出を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明によるリニアセンサは、長手状磁性部材(40)の両側部(43,44)の波形をなす側部長手方向(43a,44a)が、Ｅ型コア(31)のコア長さ方向(B)と直交するコア幅方向(C)に対して非直交方向となるように設定され、長手状磁性部材(40)と検出ステータ(30)との非接触状態による相対移動を第１、第２検出コイル(2,2A)によりＳＩＮ，ＣＯＳ信号からなる二相で検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】 検出コイルの位置の誤差が出力に与える影響を抑えられ、且つ、検出コイルが被検出体の両側に設けられる場合に比べて製造コストの低減が可能な変位量検出装置を提供する。
【解決手段】 検出コイル３と被検出体４との位置関係の変化に伴う検出コイル３のインダクタンスの変化に基いて変位量が検出される。検出コイル３に対する被検出体４の変位方向に直交する方向から検出コイル３を挟むように２個の被検出体４を配置した。被検出体４間の隙間の大きさを一定とすれば、検出コイル３において上記直交する方向の位置ずれが生じたとしても、検出コイル３が一方側において被検出体４に近くなった分だけ他方側において被検出体４から離れることで、出力の変動が相殺され抑えられる。また、上記とは逆に被検出体４が検出コイル３に挟まれる配置とする場合に比べ、製造コストの低減が可能である。 （もっと読む）

【課題】検出コイルを金属製の外殻で覆っても、渦電流損失を小さく抑え、必要十分な位置検出感度を得ることができる近接センサを提供する。
【解決手段】二つのコイルに矩形波電圧を印加して、各々のコイルに流れる電流を独立して検出してから差動回路等で差を演算するのではなく、直接電流の差の値を検出することにより、Ｓ／Ｎ比が良好であり高感度な近接センサを実現できる。また、各々のコイルは同じ磁気特性と電気特性を備えるため、温度変化でこれらの特性が変化したとしても夫々同じように変化するので、温度変化に起因するばらつきが生じ難い。 （もっと読む）

【課題】 小型化された構成であり、また、十分なインダクタンスを確保できるようにしたコイルを用いた非接触式の位置センサの提供。回路関連部品をコンパクトに収納する。
【解決手段】 プリント基板上に形成してなるフラットコイルＬ４１〜Ｌ４６を複数層に重ねて配置し、重ねられたフラットコイルを直列接続して１つのコイル極Ｌ４を構成し、該コイル極を交流信号で励磁する。コイル極に非接触的に対向するように配置された磁気応答部材をコイル極に対して相対的に変位させることで、この相対的位置の変化に応じて前記磁気応答部材の前記コイル極に対する対応が変化して該コイル極のインピーダンスが変化し、このインピーダンス変化に応じた出力信号を該コイル極から取り出すことに基づき位置検出信号を得る。コイル部の基板上に、コイル極の出力に基づき位置検出信号を生成する測定用回路を配置する。 （もっと読む）

【課題】磁気式位置検出装置における駆動回路を、低消費電力で駆動するものを低コストで提供すること。
【解決手段】 磁気式位置検出装置は、移動体と固定体に設けられ、検出範囲の一端側に取り付けられる第１の大バルクハウゼン効果素子と、検出範囲の他端側に取り付けられる第２の大バルクハウゼン効果素子と、交流磁界を発生する磁界発生源と、交流磁界を検出する検出回路と、検出回路から出力される信号に基づいて、移動体が前記検出範囲に存在するか否かを識別する信号処理回路と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】長手方向に可動であり、且つ回転可能である軸の並進運動も回転運動も簡単且つ単純に検出することができる、長手方向に可動であり、且つ回転可能である軸、例えばマニュアルトランスミッションのシフト軸の軸方向位置及び回転位置を検出するためのセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ装置が、軸の長手方向において、有利には一列で軸に平行に配置されており、且つ、軸に関して位置固定されて配置されている少なくとも二つのセンサ素子を備えた線形センサと、軸が回転運動する際に、別個に評価可能なセンサ素子の内の少なくとも一つにおいて、回転角に依存する測定信号の一義的な変化を生じさせる発生器とを備える。 （もっと読む）

【課題】冗長化による信頼性の向上を図り、構造の大型化及び複雑化を抑制し、部品点数及びコストの増大も抑制できるアクチュエータ用位置検出器を提供する。
【解決手段】プローブ１２はピストン１０４に固定される。コア１３は、プローブ１２に固定される。ケース１４は、シリンダ１０３に固定されてコア１３が内側に配置される。位置検出信号出力部１５は、ケース１４に保持されて内側にコア１３が変位可能に配置される１次及び２次コイル（２２、２３）を有する。１次コイル２２が励磁された状態でコア１３が変位することで２次コイル２３に発生した誘起電圧に基づく信号が位置検出信号として出力される。プローブ１２は、同心状に配置されるとともに互いに固定された複数のプローブ部材（１７、１８）を有し、複数のプローブ部材（１７、１８）は、コア１３に対してそれぞれ固定される。 （もっと読む）

【課題】径方向における軸ずれの影響を低減してカムシャフトの位置を検出可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】軸方向に沿って移動するカムシャフト４の位置を検出するセンサ装置であって、前記カムシャフト４の軸方向に沿って巻回されて内径部に前記カムシャフト４が挿入される検出コイル２２を有したコイルブロック２と、前記検出コイル２２と電気的に接続されて当該検出コイル２２のインダクタンス変化に基づく信号を出力する制御基板３とを備える。 （もっと読む）

【課題】対象物の変位に対する検出コイルのインダクタンスの変化の直線性を向上させることのできるポジションセンサを提供する。
【解決手段】各誘電体基板１，２の表面に印刷形成された検出コイルＣｏと、検出コイルＣｏと対向して配置されるとともに対象物の変位と連動して検出コイルＣｏに対して円周軌道上を変位する検出体３０ａ，３０ｂと、検出体３０ａ，３０ｂの変位に応じて変化する検出コイルＣｏのインダクタンスに基づいて対象物の変位を検出する検出部とを備え、検出コイルＣｏ又は検出体３０ａ，３０ｂのうち少なくとも何れか一方を、検出体３０ａ，３０ｂの変位に対する検出コイルＣｏのインダクタンスの変化率が一定となる形状に形成した。 （もっと読む）

【課題】従来の差動変圧器は、筒状ステータの外周を囲む金属板からなる金属ケースを用いる構造なので、大きな製造コストが必要とされるとともに、軽量化が困難になっている。
【解決手段】本発明による差動変圧器では、筒状ステータ３の外周にシールド体４が設けられるとともに、シールド体４の外周に外皮体５が設けられている。シールド体４は、金属網体により構成されており、外部の磁気環境から巻線体２及び筒状ステータ３を保護している。外皮体５は、筒状ステータ３の外周にシールド体４が巻き付けられた後に、シールド体４の外周に密着するように熱収縮チューブが収縮されることで形成され、塵、埃、及び水分からシールド体４等の内部構成を保護している。 （もっと読む）

【課題】PWM信号で駆動される電磁アクチュエータの変位位置を、簡単な構造及び簡単な検出手段で検出できる装置を提供する。
【解決手段】電磁アクチュエータ１は、可動コア１１ａ、駆動コイル１２、検出コイル１３を有する。駆動回路２２は、PWM信号に従い、駆動コイル１２に駆動電流を供給する。検出コイル１３は、可動コア１１ａの変位位置に応じて駆動コイル１２との相互結合係数が変化する位置に配置される。サンプリング信号発生回路３１は、PWM信号発生回路２１が出力するPWM信号に同期してサンプリング信号のタイミングを生成し、同期サンプリング回路３２は、このサンプリング信号に同期して検出コイル１３の出力電圧をサンプリングし、変位位置検出データを出力する。補正部３３は、PWM信号のデューティ比に応じてこれを補正する。 （もっと読む）

【課題】直線的に変位する検出対象物体の動作パターンに関わらず当該検出対象物体の位置検出が可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ装置は、巻軸方向が所定の直線方向となるように配置される検出コイル２１と、検出コイル２１の筒内への挿入量が変化するように検出対象物体の変位に応じて上記巻軸方向に移動自在に配置される導電性筒体３１と、導電性筒体３１の変位に応じた検出コイル２１のインダクタンス変化に基づいて検出対象物体の変位に比例した位置信号を出力する制御基板４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】センサ内部に泥水等の異物が侵入するのを防ぐとともに異物がセンサ内部に残留するのを防ぐことのできるポジションセンサを提供する。
【解決手段】検出コイルを有する検出部２と、検出コイルに対して所定の方向に移動可能な被検出部３と、検出部２に対する被検出部３の変位を検出する処理を行う回路ブロック２１と、検出部２及び被検出部３及び回路ブロック２１を収納する筐体１と、筐体１と被検出部３との間に設けられて被検出部３を前記移動方向に摺動自在に支持する軸受３１とを備え、軸受３１に筐体１の内外に連通する通孔３１ａを貫設した。 （もっと読む）

【課題】高精度な距離測定を安価に提供する。
【解決手段】平面状コイル１と、平面状コイル１と電気的に接続された発振回路と、平面状コイル１に近接する測定対象物ＷＫと平面状コイル１との距離に応じて、発振回路の発振周波数が変化する様子を検出可能な周波数検出手段２２と、周波数検出手段２２で検出された発振周波数をデジタル信号として出力可能なデジタル出力手段２４と、周波数検出手段２２で発振周波数を検出する検出動作時間を制御可能な時間制御手段２３と、時間制御手段２３に対して、検出動作時間を指示する制御信号を送出可能な動作時間指示手段３１を有するコントローラ３０とを備える。周波数検出手段２２で検出された発振周波数に基づいて測定対象物ＷＫと平面状コイル１との距離変化を演算し、該演算結果をデジタル出力手段２４によりデジタル値として出力可能とし、距離測定の測定精度及び距離測定結果を得るまでの応答時間に応じて、検出動作時間を可変とする。 （もっと読む）

【課題】検出精度の向上が図れ、しかも製造コストを低減できるポジションセンサを提供することにある。
【解決手段】ポジションセンサ１は、移動体３の移動経路上において互いに離間した複数の所定範囲それぞれを検出範囲とする形に配置された複数の検出コイル２と、信号処理部１１とを備え、複数の検出コイル２は移動体３の移動方向に対する通電時の磁界の向きが同方向で且つ隣り合う検出コイル２同士が直列接続された状態で、移動体３がいずれの検出コイル２の検出範囲内にも存在しない位置と複数の検出コイル２全ての検出範囲内に同時に存在する位置との間を移動可能な形に配置され、信号処理部１１は、複数の検出コイル２のうちの両端の検出コイル２Ａ，２Ｃにおける他の検出コイル２Ｂに接続されていない端部それぞれと電気的に接続され、複数の検出コイル２全てのインピーダンス変化の合計値に基づいて移動体３の位置を示すポジション信号を出力する。 （もっと読む）