【課題】素子の変形により電気的変化を生じるセンサであって、時間が経過しても感度が低下しないセンサを提供する。
【解決手段】電歪素子の変形により静電容量変化を生じる電歪センサ（４０）において、第１の電歪材料層（１）およびその両面に各々配置された一対の電極（３ａ、３ｂ）より構成される第１の電歪素子（１０）と、第２の電歪材料層（１１）およびその両面に各々配置された一対の電極（１３ａ、１３ｂ）より構成される第２の電歪素子（２０）と、これら電歪素子間に挟持された基材（２５）とを含む受感部（３０）を設ける。受感部（３０）は、外力の作用を受けることにより変形である。第１および第２の電歪材料層（１、１１）の静電容量をそれぞれ測定可能なように、各電極に引出し線（５ａ、５ｂ、１５ａ、１５ｂ）が接続される。第１および第２の電歪材料層（１、１１）は、１０μｍ以下の厚みおよび２０以上の比誘電率を各々有するものとする。 （もっと読む）

【課題】 交流サーボモータを採用して制御するシステムではなく、しかも簡単でコンパクトなリンク機構と２個の交流サーボモータを同期運転するように制御するシステムに利用できる角度センサが求められている。
【解決手段】 同心円電極を対向させ、その間を半円形のシールド用金属板の回転角度を検出するサンドイッチ構造の容量センサを製作し、一方の電極を２分割し、逆位相の信号を加えることで、一つの容量−電圧変換回路で差動構造とした容量変化形角度センサとするＡＣサーボモータ制御システム用角度センサ。 （もっと読む）

【課題】 可動部分の変位に容量が比例する変位検出用コンデンサ、及び、可動部分の変位に容量が反比例する変位検出用コンデンサのいずれを用いる場合でも、可動部分の変位に比例する検出出力を得ること。
【解決手段】 前置増幅器は、第１クロック信号とオペアンプＱ１から帰還された振幅変調信号とを増幅し、第１出力信号を出力し、第２クロック信号と振幅変調信号とを増幅し、第２出力信号を出力するクロック増幅手段３ａ、第１出力信号が供給されるコンデンサＣ１と、第２出力信号が供給されるコンデンサＣ２と、反転入力端子が第１コンデンサ及び第２コンデンサに接続され、非反転入力端子が接地電位に接続され、出力端子がクロック増幅手段の入力に接続されているオペアンプＱ１とを備える。 （もっと読む）

薄膜構造を有するセンサ（３０）を具備する静電容量感知システムであって、薄膜構造は、第１の絶縁層（３４）と、第１の絶縁層（３４）の第１の表面上に形成されている感知電極（３１）を備える第１の導電膜と、背部ガード電極（３５）を備える第２の導電膜と、を具備している。背部ガード電極は、１つの平面で形成されており、平面に外周部分を備えていてもよく、第１の絶縁層（３４）の第２の表面と、保護層（３８）又は第２の絶縁層（４３）の第１の表面との上に配置されている。背部ガード電極の外周部分は、各感知電極を越えて延在し、側部ガード電極を形成し得る。側部ガード電極は、感知電極を実質的に又は完全に囲んでいる。 （もっと読む）

【課題】静電容量の大きさに拘わらず、精度の高い位置検出を行うことのできる慣性駆動アクチュエータのキャリブレーション方法及び慣性駆動アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】静電容量にて移動体の位置検出を行う慣性駆動アクチュエータのキャリブレーション方法であって、移動体の駆動を行う駆動ステップと、移動体に設けられた移動体電極と、移動体電極と対向して設けられた検出電極と、が対向する部分の静電容量を検出するための第１信号を出力する出力ステップと、出力ステップにて出力された第１信号が移動体電極と検出電極を通過して得られる第２信号を受信する受信ステップと、受信ステップで得られた受信信号に基づいて最適第１信号を演算する演算ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】静電容量式センサ装置において、一対のセンサキャパシタが経年変化して静電容量のオフセットが変化した場合であっても、そのオフセットを適切に補償する。
【解決方法】本発明の静電容量式センサ装置では、反転入力端子が第１センサキャパシタと第２センサキャパシタの接続部に接続されたオペアンプの非反転入力端子に補償信号を印加する。補償信号は、所定の基準電圧に、第１クロック信号または第２クロック信号に同期して補償電圧が重畳されたものである。この補償電圧に起因する出力電圧の変動は、静電容量のオフセットに起因する出力電圧の変動と同期しているので、補償電圧の大きさを適切に調整することによって、静電容量のオフセットを補償することができる。補償電圧の大きさを事後的に再調整することで、静電容量のオフセットが経年変化した場合であっても、そのオフセットを補償することができる。 （もっと読む）

【課題】センサ回路を低消費電力化する。
【解決手段】センサ回路２は、アノードが電源電位ＶＤＤに接続され、物理量に応じて静電容量が変化するセンサ素子１を構成する可変容量素子ＶＣ１にカソードが接続されたダイオードＤ１と、ゲートが可変容量素子ＶＣ１およびダイオードＤ１のカソードに接続され、ソースが電源電位ＶＤＤに接続され、ドレインが出力端子ＯＵＴに接続されたＰＭＯＳトランジスタＱ１と、第１の端子が可変容量素子ＶＣ１、ダイオードＤ１のカソードおよびＰＭＯＳトランジスタＱ１のゲートに接続され、第２の端子が接地電位に接続された電流制限部Ｉ１と、第１の端子がＰＭＯＳトランジスタＱ１のドレインおよび出力端子ＯＵＴに接続され、第２の端子が接地電位に接続された電流制限部Ｉ２とから構成される。 （もっと読む）

【課題】移動体と電極との間の静電容量が、アクチュエータ組み立て後に異なる値を示すようになっても、適切な値に修正することができ、これにより移動体の絶対位置を確実かつ正確に算出することのできる慣性駆動アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】移動体電極と振動基板電極とが対向する部分の静電容量を、一方及び他方の移動限界位置において検出する静電容量検出ステップと、静電容量検出ステップにおいて検出された、一方及び他方の移動限界位置での静電容量を記憶する静電容量記憶ステップと、静電容量記憶ステップにおいて記憶された一方及び他方の移動限界位置での静電容量と、一方及び他方の移動限界位置間の移動限界距離と、の比率を算出する比率算出ステップと、算出した比率を用いて、一方及び他方の移動限界位置間における移動体の絶対位置を算出する絶対位置算出ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】電極のずれにより生じる誤差を修正可能な静電容量センサを提供すること。
【解決手段】可動電極１２と第１の固定電極１１Ａ及び第２の固定電極１１Ｂとの間に蓄積された静電容量を検出する静電容量センサ１００において、固定電極１４と第１の固定電極及び固定電極と第２の固定電極の間のそれぞれの静電容量の絶対値を検出する検出手段と、前記静電容量の絶対値の逆数に比例した値を感度にかけることにより、電極のずれにより変動した感度を補正する補正手段３０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】移動ストロークを最大限活用しながら、位置検出の精度の良い、小型の慣性駆動アクチュエータを提供する。
【解決手段】固定部材１と、振動基板３と、移動手段２と、導電体からなる移動体４と、移動体４と対向する振動基板３の面に設けられた電極３１、３２と、移動体４と電極との間に介在する絶縁膜３１０と、移動手段２を往復運動させるための電圧を印加するとともに、移動体４と電極との間に静電気力を作用させることにより振動基板３と移動体４との間に生じる摩擦力を制御するための電圧を印加する駆動手段と、移動体４と電極３１、３２の対向部分の静電容量に基づいて振動基板３に対する移動体４の位置を検出する位置検出手段７と、移動体４側面の移動方向に対して設置され、移動体４側面と電極３１、３２との静電容量の影響を遮断する静電遮断手段６とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な回路構成により、的確に物理量を検出することができる容量型検出装置を提供する。
【解決手段】加速度センサＣＳ２は、容量変換部２０、増幅部４０、検出素子部５０、信号制御部６０を備えている。容量変換部２０は、オペアンプ２１、スイッチ２２及びコンデンサ２３から構成され、固定電極（５１、５２）と可動電極５３からなる差動容量の変化を電圧に変換する。本実施形態では、オペアンプ２１の非反転入力端子には、参照電圧として〔（Ｖ１＋Ｖ２）／２〕が入力される。信号制御部６０は、検出素子部５０の固定電極（５１、５２）に印加する電圧を供給する。更に、信号制御部６０は、バイアス供給部６１を備える。このバイアス供給部６１は、このテストモードにおいては、固定電極（５１、５２）に対して、所定のバイアス電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】物理量を静電容量の変化として検出するものにあって、全差動型のＣ−Ｖ変換回路を用いて低ノイズ化を図りながらも、自己診断機能の実行を可能とする。
【解決手段】 一対の固定電極部とそれらの間に配置される可動電極部とを有するセンサチップ１２からの信号を処理するための信号処理回路１３を、全差動型のＣ−Ｖ変換回路２６、制御信号発生回路２５、第１〜第６のスイッチ３１〜３６を制御する制御回路２５等から構成する。通常時には、可動電極部に搬送波Ｐ１が印加される。自己診断時には、スイッチ３１〜３６の切替えにより、固定電極部と可動電極部との間に静電気力を発生させる第１の期間と、容量変化を検出するための第２の期間とを周期的に有する自己診断用信号Ｐ２，Ｐ３，Ｐ３Ｂが、固定電極部と可動電極部との間に印加される。 （もっと読む）

【課題】検出精度を向上し得る容量式物理量検出装置を提供する。
【解決手段】加速度センサでは、接続部３４により、センサ基板１０ａのセンサ基板電位パッドＰｗと回路基板２０ａの回路基板電位パッドＰｂとを電気的に接続し、これら両基板の電位を、Ｃ／Ｖ変換回路２１のオペアンプ２１ａに供給される所定の基準電圧Ｖref に等しく設定する。これにより、Ｃ／Ｖ変換回路２１に供給される電源電圧Ｖddにノイズが重畳したとしても、センサ基板１０ａ、回路基板２０ａおよびＣ／Ｖ変換回路２１のオペアンプ２１ａ、のいずれにも当該ノイズがほぼ同じタイミングかつほぼ同じレベルで侵入するため、例えば、オペアンプ２１ａの特性により当該ノイズを打ち消すことができる。したがって、電源電圧Ｖddに重畳したノイズの影響をＣ／Ｖ変換回路２１が受け難いため、物理量の検出精度を向上することができる。また、誤検出も防止することができる。 （もっと読む）

【課題】消費電流を低減しつつ、微小な容量変化をより高速かつ高精度で検出することが可能な容量差検出回路を提供する。
【解決手段】容量差検出回路１００のタイミングジェネレータ１４は、電流切換スイッチ回路６の切換動作を制御する電流切換パルス信号を出力し、第１、第２の可変容量キャパシタ２、３に第１、第２の充電電圧が充電されている期間中にこの第１、２の充電電圧を検出するように、チョッパ型アンプ７を制御するゲートパルス信号を出力し、第１の充電電圧を検出する期間中にチョッパ型アンプ７の出力信号をサンプルホールドするように、第１のサンプルホールド回路８を制御する第１のサンプルパルス信号を出力し、第２の充電電圧を検出する期間中にチョッパ型アンプ７の出力信号をサンプルホールドするように、第２のサンプルホールド回路９を制御する第２のサンプルパルス信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】角度検出の際の角度分解能を高分解能にすることができる角度検出装置を提供する。
【解決手段】ステアリングホイール等に連結固定された主動ギアに連動回転する各従動ギア４，５をライトガイドとすべくこれらを透明樹脂で形成し、その外周肉厚部６ｂ，７ｂを肉厚が直線的に変化するような形状とする。各従動ギア４，５の中心位置下部にＬＥＤ９，１０を各々配置し、これらの入射光を従動ギア４，５を介してリニアイメージセンサ１１に導く。リニアイメージセンサ１１は、光の照射幅を検知してこの照射幅に応じて変化する、即ちギア回転に伴って直線的に変化する撮像データＤpiを演算装置１２に出力する。演算装置１２は、リニアイメージセンサ１１から得た撮像データＤpiを用いて各従動ギア４，５の回転角度を算出し、これらギア４，５の回転角度の組み合わせを見て主動ギアの回転角度を算出する。 （もっと読む）

【課題】適度なダンピング効果が得られるようにして、圧力を所定の範囲に長期に亘って安定化させることができ、安価に製造可能な物理量検出器、及びその物理量検出器の製造方法を提供する。
【解決手段】物理量検出器は、静電容量センサ１００と、演算器２００とから構成される。静電容量センサ１００は、ヒンジ部１１ａにより変位可能に支持された可動部（可動電極）１２と、その可動部１２と対向する位置に配置された第１及び第２固定電極２２，２３とを有する。さらに、静電容量センサ１００が、活性ガスを吸着する吸着部（ゲッタ）１４と、可動電極１２、第１及び第２固定電極２２，３２、吸着部１４を所定圧力のＣｘＨｙ或いは希ガスと共に封止した封止部４を備える。 （もっと読む）

【課題】 入力共通モード制御回路を有する差動容量性センサーのインターフェース回路を提供する。
【解決手段】 検出回路のインターフェース回路３０内には、入力において第１及び第２の検知入力７ａ、７ｂと接続され且つ作動容量性センサー１の容量不平衡（ΔＣｓ）と関連した出力信号（Ｖｏ）を供給する検知増幅器１２、並びに第１及び第２の検知入力７ａ、７ｂと接続され且つ第１及び第２の検知入力７ａ、７ｂに現れる共通モード電気量を制御する共通モード制御回路３２が設けられる。共通モード制御回路３２は、完全な受動型であり、差動容量性センサー１の等価電気回路と実質的に同一の、差動容量性センサーに供給されるリード信号（Ｖｒ）と反対位相の駆動信号（Ｖｒ（−））で駆動される容量性回路３４、３５を設けられる。 （もっと読む）

【課題】 容量センサの寄生容量素子の影響を排除し容量値のばらつき等を調整して、センサ容量素子と参照容量素子との差分容量値を精度良く検出することが可能な容量値変化検出装置および容量値変化検出方法を提供すること
【解決手段】 センサ容量素子と参照容量素子とを備えて一方端子が共通端子として固定電位に接続されてなる容量センサに対して、各々の容量素子の他方端子に読出し電圧を印加して電荷を蓄積させた後、他方端子から蓄積された電荷を取り出す。取り出された電荷は電圧変換部により電圧信号に変換され、その差分信号が差分信号増幅部により増幅される。読出し電圧は、必要に応じて電圧調整部により調整される。読出し電圧のうち共通に電圧レベルを調整してダイナミックレンジを調整し、個別に電圧レベルを調整して容量オフセットを調整する。 （もっと読む）