【課題】光源とスケールと受光素子の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、空間的に光学的特性が周期的に変化するスケールスリット１２２を有するスケール１１０と、スケール１１０に向けて光を発光する複数の発光部１４２を有する発光ユニット１４０と、発光部１４２から発光されスケールスリット１２２を経由した光を受光する受光部１７２を有する受光ユニット１７０を有している。発光ユニット１４０と受光ユニット１７０は共に基板１９２に搭載されてヘッド１９０を構成している。スケール１１０とヘッド１９０（受光部１７２）は、スケールスリット１２２の光学的特性の変化方向に沿って相対的に移動可能である。スケール１１０は、発光部１４２に対向した光入射部１１８と、受光部１７２に対向した光出射部１２０と、光入射部１１８から入射した光を光出射部１２０へ導光する導光部を有している。 （もっと読む）

【課題】 絶対位置を検出するアブソリュート方式のロータリエンコーダは、グレイコード等の任意のアブソリュートパターンの符号ビット数と同じ数の受光素子が必要であった。また分解能を上げる場合、アブソリュートパターンの符号ビット数が増加するため、構造が複雑になり、コストも高額となっていた。
【解決手段】 回転体の回転角度に応じて反射板の高さがリニアに変化する回転円板に対して、光学的センサを用いて反射板との距離を測定し、測定した距離から回転体の絶対位置を算出することを特徴としたアブソリュートエンコーダを提供する。 （もっと読む）

【課題】投光部とスケールと受光部の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、スケール１１０と、スケール１１０に向けて光を投光する投光部１４２と、投光部１４２から投光されスケール１１０を経由した光を受光する受光部１７２を有している。スケール１１０は、受光部１７２に対して移動可能である。スケール１１０はまた、投光部１４２に対向した光入射部１１８から入射した光を受光部１７２に対向した光出射部１２０へ導光する導光部を有している。光出射部１２０には、スケール１１０の移動方向に沿って光学的特性が周期的に変化しているスケールスリット１２４が設けられている。光入射部１１８には、スケール１１０の移動方向に垂直な平面に対して、平行成分の光に対する斜め成分の光の相対強度を低減する働きをする斜め光低減スリット１２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】偏光コード化されて位相のずれた走査検知信号を生成し、そして出来るだけ簡単に構成されている光学式位置測定装置を提供する。
【解決手段】少なくとも一つの測定方向に沿って互いに相対的に可動で配設されている基準尺と走査検知プレートの、相対位置を検出するための光学式位置測定装置に関するものである。光源から発光された光束が第一格子により、偏光状態を互いの間で直角に方向付けできる少なくとも二つの分光光束に分割される。その分光光束が、再び一緒にされて一つの合成光束になり、その合成光束から検知ユニットにおいて、移動に関係する複数の走査検知信号を生成することができる。分光光束の光路に偏光手段が配設されており、それに入射する分光光束に対するその偏光作用を、基準尺の運動自由度に沿って偏光周期を使って周期的に変更でき、そのとき偏光手段の偏光周期が第一格子の目盛周期より大きい。 （もっと読む）

【課題】少なくとも一つの走査検知格子および少なくとも一つの測定目盛を有する目盛板の間の相対移動を検出するための光学式角度測定装置を提供する。
【解決手段】その走査検知格子は直線走査検知格子として構成されており、目盛板には測定目盛として、第一および第二組合せラジアル円環格子を含み、そしてミラーを有している。それにより入射する光束が走査検知格子で、まず二つの分光光束に分割される。その分光光束が、第一組合せラジアル円環格子の方向に進み、そこで回折される。その回折された分光光束が、ミラーの方向に進み、そこで第二組合せラジアル円環格子の方向に反射される。その分光光束が、引き続いて第二組合せラジアル円環格子の方向に進み、そこで回折される。その回折された分光光束が走査検知格子の方向に進み、そこで分光光束の重ね合わせが生じる。 （もっと読む）

【課題】膜厚が均一な回折格子膜を有する光学スケールを製造する。
【解決手段】少なくともベース基材３と、ベース基材３上に形成された回折格子４を有する回折格子膜５とを有する光学スケール１の製造方法において、回折格子膜５を構成する樹脂１１をベース基材３上に塗布し、均一に伸ばした後、樹脂１１を硬化して樹脂層１３を形成し、ベース基材３上の樹脂層１３に回折格子４を形成して回折格子膜５を形成する。 （もっと読む）

【課題】所定の光反射面とは異なる部分における光反射を防ぐことが可能な光学式エンコーダ用反射板、エンコーダ及び光学式エンコーダ用反射板の製造方法を提供する。
【解決手段】光を反射する光反射面を有する基板１と、当該光反射面１５のうち所定領域を空けた第一領域と基板のうち光反射面から外れた第二領域とに跨って形成され、光を吸収する光吸収層３と、光を透過可能な材料を用いて形成され、光反射面及び光吸収層を覆う保護層４とを備える光学式エンコーダ用反射板１０が提供される。 （もっと読む）

【課題】光反射特性の低下を低減することのできる光学式エンコーダ用反射板、エンコーダ及び光学式エンコーダ用反射板の製造方法を提供する。
【解決手段】硝材を用いて形成された基板Ｇと、当該基板の表面の一部に設けられ、光を反射可能な光反射部Ｍと、基板に設けられ、基板のうち光反射部から外れた領域に入射する光を吸収する光吸収部Ｓとを備える光学式エンコーダ用反射板、及び、それを使用した光学式エンコーダ用反射板を提供する。 （もっと読む）

【課題】 ２次以上の回折光および迷光の発生を抑え、位置検出信号のＳ／Ｎ比を改善し検出精度の向上を図る。
【解決手段】 屈折率ｎの保護層１２で格子面１１ａが覆われた回折格子１１のピッチをｄ、照射される可干渉光の真空中の波長をλ_０とした時、ｄ＜２λ_０／ｎ とし、上記回折格子１１への可干渉光の入射角θ_０を
｜ｓｉｎθ_０｜＜（２λ_０／ｄｎ）−１
なる式を満たす角度に設定し、１次回折光を位置検出に使用する。 （もっと読む）

【課題】インクリメンタルエンコーダにおける原点位置の再現性を向上する。
【解決手段】移動量を検出するためのメイントラック１４が測定方向に形成されたスケール１０を有する光電式エンコーダにおいて、前記メイントラック１４の測定方向と直交する方向の一部に設けられた、メイントラック１４と光透過率が異なるモニタ信号発生部３４と、スケール１０の移動に対して同相の信号を出力するよう、測定方向と直交する方向に並設されたメイン信号検出用受光素子２４及びモニタ信号検出用受光素子３２と、メイン信号とモニタ信号の差に基づいて原点信号を発生する原点信号生成回路（差動回路４０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の欠点を克服し、超小型、高精度、経済的及び高速な構造を備えて、新しい適用分野の可能性を与える。
【解決手段】光ファイバ受光チャンネルを用いた干渉型小型格子エンコーダ用の基準マーク構造が与えられる。読取ヘッドは、基準信号を発生するように処理される基準マーク一次信号を与える一次ファイバを含む。読取ヘッドは、前記の基準信号より高精度な、基準信号を発生するように処理される基準マーク二次信号を発生するのに用いられる二次ファイバを含むことができる。二次光ファイバ受光チャンネル用に構成された空間フィルタマスクは、一次光ファイバ受光チャンネルの受光領域の外側の干渉縞から生じる２つの空間的に周期的な二次信号を与える。この二次信号は互いに位相がずれており、それらの空間周波数は、一次信号の空間周波数より高い。基準マーク二次信号の信号クロスは、基準マーク一次基準信号の信号クロスの空間的近傍で特定される。 （もっと読む）

【課題】高反射部の反射率の経時的な低下を防止し易く、検出精度を長期間維持することが可能な光学式エンコーダのスケールを提供する。
【解決手段】基板２１と、基板２１の表面に形成された低反射率材料層２３と、低反射率材料層２３の表面に形成され、低反射率材料層２３より反射率が高い高反射率材料層２５と、高反射率材料層２５の表面に形成された透光性保護層２７とからなり、高反射率材料層２５が低反射率材料層２３の表面の複数の部分を覆うことで、低反射率材料層２３からなる低反射部３３と高反射率材料層２５からなる高反射部３５とでパターン３１が構成され、高反射率材料層２５は、基板２１の周縁２１ｅより内側に離間して配置され、透光性保護層２７は、高反射率材料層２５の表面及び全ての縁部２５ｅを被覆している。 （もっと読む）

【課題】リニアスケールのパターンを自発光の発光部（光電アレー）を用いて形成することによって、安定した高出力の検出信号を得ることができる共に、移動量、移動速度、絶対位置のうちの所望の検出を容易に可能として、且つ、狭い隙間においても使用することができる位置検出センサを提供する。
【解決手段】リニアスケール１０に高輝度部１４と低輝度部１６とからなるパターンが形成され、高輝度部１４は、自発光する光電アレーにより形成されている。リニアスケール１０に対して相対的に移動するセンサ部１２は、その高輝度部１４で発光した光を受光することによって、移動量、移動速度、絶対位置などを検出する。 （もっと読む）

【課題】 格子またはパターンの製造が容易である測定システムを提供する。
【解決手段】 測定システムは、構造に対するセンサの第１位置量を決定するために測定システムの構造上に配置される第１パターンと協動するように配置され、かつ構造に対するセンサの第２位置量を決定するために構造上に配置される第２パターンと協動するように配置されるセンサを含み、前記第１および第２パターンが、構造の異なる表面上に配置される。 （もっと読む）

【課題】移動体の変位に依存せずに移動体の移動情報を検出する。
【解決手段】反射形エンコーダ１１は、発光チップ１５と受光チップ１７との２層構造を有し、受光チップ１７のフォトダイオード１７a,１７bと１７cとの間に貫通穴２０を形成し、受光側フレーム１８の貫通穴２０に対向する位置に貫通穴２１を形成している。移動体１２には、２つの反射面１３a,１３bを有するプリズム１３と、２つの反射面１４a,１４bを有するプリズム１４とを形成し、反射面１４bは、移動体１２の移動方向に一定のピッチＰで且つＰ/２幅で複数配列している。そして、移動体１２の移動に伴って、反射面１４bからの反射光がフォトダイオード１７a,１７bに入射される状態と、反射面１４bによって光が反射されない状態との繰り返しにより、フォトダイオード１７a,１７bで変調光を検出することによって、移動体１２の変位状態を表す移動情報を得る。 （もっと読む）

ＴＩＲスケール構造を含むスケールを使用して、基材の変位を求める方法及びシステムが記載される。スケール要素として多数の全反射（ＴＩＲ）プリズムを含むスケールが、基材上に配置される。スケールに向けて送られた光は、ＴＩＲプリズムにより変調される。変調された光に基づいて、基材の変位を示す信号が生成される。信号は、ウェブの位置を求めるため、ウェブの移動を制御するため、及び／又は種々のウェブパラメーターを測定するために使用されてもよい。
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本発明は、走査ユニットとこの走査ユニットに相対して少なくとも１つの測定方向に移動可能なスケールとの相対位置を検出するための光学位置測定装置に関する。このスケールは、組み合わせ式の構成ユニットとして形成されており、この構成ユニットは、少なくとも１つの反射素子と測定目盛とを有する。走査ユニットは分割手段を有し、この分割手段は、光源から発せられた光束を測定方向に少なくとも２つの部分光束に分割し、これらの部分光束が、この分割後、前記スケールの方向に伝播する。
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【課題】コード板のＶ溝部への水分等の付着を防止する構成を有する光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１０は、コード板１４のＶ溝２４が形成された面に隣接配置されたガラス又は樹脂製の光を透過する材料からなる保護板２６を有する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡易な構造で、回転位置の絶対値を精度良く検出することができる光学式アブソリュート形ロータリエンコーダを提供する。
【解決手段】透光部と遮光部との組合せで１つの絶対値を表すアブソリュートパターンを有する光学スケール４と、光学スケール４の一方の側に配置され、該光学スケール４に光を照射する発光部２ａ〜２ｅと、光学スケール４に対し発光部２ａ〜２ｅと同じ側に配置され、該光学スケール４の透光部を通過した光を受け入れる受光部３と、発光部２ａ〜２ｅから照射されて該透光部を通過した光を受光部３に導く導光手段５とを備える。光学スケール４と発光部２ａ〜２ｅとは相対的な回転運動を生ずる関係に配置され、且つ両者の相対的な回転運動の中心軸線上に受光部３が配置される。 （もっと読む）

シャフトの回転軸と一致する共通の対称軸を有する１対の重なる光導波路の間に配置された、光エミッタと光センサ手段とを有し、光導波路が光エミッタ手段からの光を受け、光を光センサ手段に返す電子基板と、回転シャフトに取り付けられた２の同心円状の環状部分の光学パターンと、静止デバイス上の２の同心円状の環状部分の光学パターンとを具える回転シャフトの回転角度を測定するための光学式エンコーダシステム。電子基板から光導波路に光を射出し、前記光学パターンと相互作用した後に光導波路を通じて戻る光線から電子基板上で受けた信号を処理することにより、回転シャフトの回転角度を測定するための方法。 （もっと読む）