【課題】 光学式エンコーダにおいて変位信号に高調波歪みが重畳していると電気分割を行う際に分割精度が悪くなるという問題があった。
【解決手段】 変位信号に重畳する高調波歪みは回折格子に寄って形成される干渉縞に高次の空間周波数成分が含まれていることが原因なので干渉縞の光強度分布自身に高調波成分が含まれないように、第１の回折格子の光学有効開口率を所望のギャップ設定において適宜、最適な値を用いるようにした。 （もっと読む）

【課題】多数個で使うために自由度が高くかつ小型とすること。
【解決手段】１又は複数のスケールとの間の相対変位を検出する１又は複数のエンコーダヘッドと、１又は複数のエンコーダヘッドから出力される電気信号を処理する１つの信号処理部と、１又は複数のエンコーダヘッドと信号処理回路との間のうち１又は複数のエンコーダヘッド側に位置し、１又は複数のエンコーダヘッドから出力される電気信号を同属化する接続部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】回折干渉光を利用して検出精度を向上させた絶対位置の検出を可能とし、設計・開発・製造等を容易にすることができるリニアエンコーダ、リニアモータ、リニアモータシステム、メインスケール及びリニアエンコーダの製造方法を提供すること。
【解決手段】エンコーダ１００は、光学メイン格子Ｌが形成された帯状の２以上のトラックＴを測定軸方向Ｘが長手となるように有するメインスケール１１０と、メイン格子Ｌと回折干渉光学系を構成するようにメインスケール１１０に対向して測定軸方向Ｘで相対移動可能に配置され、光学的な２以上のインデックス格子Ｇ１，Ｇ２が形成されたインデックススケール１２０と、を備え、少なくとも１のトラックＴのメイン格子Ｌに含まれる複数のスリットＳＬは、そのピッチｐ_Ｌが１以上の他のトラックＴにおけるスリットＳＬのピッチＰ_Ｌと等しくなるように、測定軸方向Ｘに垂直な方向Ｙから所定の傾斜角度θ_Ａ，θ_Ｂで傾斜して形成される。 （もっと読む）

【課題】回折干渉光を利用して分解能を向上させつつ、小型化及び製造等を容易にすることができるロータリエンコーダ、ロータリモータ、ロータリモータシステム、ディスク及びロータリエンコーダの製造方法を提供すること。
【解決手段】エンコーダ１００は、回転軸ＡＸ周りに回転可能に配置され、回転格子Ｌがそれぞれ形成されたリング状の１以上のトラックＴＡ〜ＴＣを有する円板状のディスク１１０と、回転格子Ｌと回折干渉光学系を構成するようにディスク１１０に対向して固定配置され１以上の固定格子Ｇ１，Ｇ２が形成されたマスク１２０と、を備え、少なくとも１の回転格子ＬＡ，ＬＢに含まれる複数のスリットＳＬＡ，ＳＬＢは、該スリットＳＬＡ，ＳＬＢのピッチｐ_ＬＡ，ｐ_ＬＢを所定の値に設定可能なように、回転軸ＡＸを中心とした複数の放射状線ＬＩＮＥ１を所定の湾曲度合いＣで周方向に向けて湾曲させた湾曲線ＬＩＮＥ２に沿って形成される。 （もっと読む）

【課題】主信号および副信号を検出可能で、かつ使用温度範囲を拡大できる光学式エンコーダを提供すること。
【解決手段】第１受光素子３は、基板５を介して筐体４に固定される。基板５は、筐体４に前記所定方向に移動可能に支持されるので、使用温度変化に対する第１受光素子３の所定方向の移動量は、基板５の線膨張係数に基づく。第２受光素子２は、筐体４に直接固定されるので、使用温度変化に対する所定方向の移動量は、筐体４の線膨張係数に基づく。よって、筐体４に固定される基板５の固定部５３から第１受光素子３までの所定方向に沿った距離Ａと、固定部５３から第２受光素子２までの所定方向に沿った距離Ｂとの比を、筐体４の線膨張係数と、基板５の線膨張係数との比と等しくすることで、使用温度変化による第１、第２受光素子３、２の位置関係の変化を抑制でき、測定精度を向上できる。従って、使用温度範囲を拡大できる。 （もっと読む）

【課題】複数のエンコーダヘッドから出力されるアナログ電圧の信号を１つの信号処理回路にて処理し、且つ、配線の省線化及び省スペース化を実現した光学式エンコーダを提供すること。
【解決手段】光学式エンコーダ50を次のように構成する。複数のエンコーダヘッド11A,11Bから出力されたエンコーダ信号を処理する為に一つの信号処理回路13と、複数のエンコーダヘッド11A,11Bから一つのエンコーダヘッドを指定し、該指定に係るエンコーダヘッドの出力をオン状態に設定し、且つ、前記指定に係らないエンコーダヘッドの出力をオフ状態に設定することで、前記指定に係るエンコーダヘッドにのみ、前記信号処理回路13にエンコーダ信号を出力させる為の制御部24及びスイッチ信号線SW1,SW2と、前記複数のエンコーダヘッドにより共用され、前記エンコーダ信号を前記信号処理回路へ伝送する共通配線と、を光学式エンコーダ50に具備させる。 （もっと読む）

【課題】小型で高精度な光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダは、光源と、前記光源に対向配置されたスケールと、前記スケールを介した前記光源からの光束を受光する受光素子と、前記受光素子の出力信号を処理する信号処理回路とを有し、前記光源の発光窓は、複数の点光源の集合体として構成され、以下の式を満たす形状を有する。
【数１】


ただし、Ｓは積分範囲である発光窓内全域、Ｐｏ（ｘ１、ｙ１）は発光窓のＸＹ座標（ｘ１、ｙ１）における近視野での発光強度分布を表す関数、ｐはスケールの格子ピッチ、Ｎは高調波成分の特定の次数（Ｎ：１、２、３、…）、ｘ２は受光素子面上の変位検出方向軸である。 （もっと読む）

【課題】 １周期誤差成分及び２周期誤差成分を確実に除去し、本来検出したい回転速度変動をより高精度に検出することが可能な回転速度検出用パルス発生装置、回転体及び前記回転速度検出用パルス発生装置を有する回転体モジュール、前記回転速度検出用パルス発生装置を有する回転速度制御装置、及び前記回転速度制御装置を有する画像形成装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 回転速度検出用パルス発生装置は、周方向に沿って回転速度検出用パターンが形成され、回転体に同期して回転する回転板と、前記回転速度検出用パターンを読み取り、前記回転板の回転速度に対応したパルス信号を発生する３つのパルス発生手段と、を備え、前記３つのパルス発生手段は、前記回転板の周方向に沿ってそれぞれ１２０°間隔で配置されている。 （もっと読む）

【課題】結像光学系を用いて、スケール上の光学格子の解像が必要な方向（測定軸方向）の精度、特性を維持したまま、当該解像の必要のない方向（測定軸方向に直交する方向）における光源と開口の幅を広げることで、受光素子で受光する光量を増大させる。
【解決手段】光源１０２から出射された光を、スケール１０６に設けられた光学格子１１０で変調させて、変調された光を受光素子１２２で検出する光電式エンコーダ１００において、光学格子１１０で変調された光を結像する両側テレセントリック光学系１１４を備え、両側テレセントリック光学系１１４は、光学格子１１０で変調された光の一部を透過させると共に、方向Ｘの開口１１８Ａの幅ａよりも方向Ｙで広い幅ｂの開口１１８Ａを備え、方向Ｙの光源１０２の幅ｄｙによる光源側開口数ＮＡ_{ｌｉｇｈｔｙ}が、方向Ｘの開口１１８Ａの幅ａによる検出側開口数ＮＡ_ｏｐｔｘよりも大きい。 （もっと読む）

本発明は、光学式の回転角センサないし回転検出器のための改良されたコーディングディスク、改良されたコーディングディスクを備える光学式の回転角センサないし回転検出器、ならびに回転検出器の角度測定誤差を、特に、特にコーディングディスクの変位ないし偏心によって生じる角度測定誤差を、光学式に修正ないし補正する方法に関する。コーディングディスク（２０）は、少なくとも１つの目盛トラック（２２）と少なくとも１つの補正トラック（２４）とを含んでおり、目盛トラック（２２）はコーディングディスク（２０）の第１の半径方向領域に配置されており、補正トラック（２４）は目盛トラック（２２）に対してセンタリングされて、コーディングディスク（２０）の第２の半径方向領域に配置されており、それにより目盛トラック（２２）の中心は補正トラック（２４）の中心と一致している。補正トラック（２４）は、補正トラックの一領域に入射する光の少なくとも一部分が、補正トラック（２４）により、補正トラックと目盛トラック（２２，２４）の共通の中心を通る軸の方向へ半径方向に偏向されるように設計されるのが好ましい。補正トラックにより偏向される読取り光の方向は、補正トラックと目盛トラックの共通の中心を通る軸との交点を有しているのが好ましく、補正トラックと当該交点との間隔は、補正トラックと目盛トラックの間の光路の長さに相当している。読取り光は、コヒーレントまたはインコヒーレントであってよい。補正トラックの半径は、目盛トラックの半径よりも小さいか、またはこれより大きいか、またはこれと等しくてよい。補正トラック（２４）は回折構造を有しているのが好ましい。
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【課題】固定スリットまたは受光素子の数を自由に決めることができて、歪み率の少ない光学式エンコーダ装置を提供する。
【解決手段】固定スリットプレート４に形成された光透過スリットの数ＳをＳ＝ｎ×ｎ′（ｎは２以上の整数、ｎ′は２以上の整数：但しｎ＝２及びｎ′＝２の組合せと、ｎ＝３及びｎ′＝２の組合せを除く）とし、ａを０≦ａ≦ｎ−１の間の整数とし、ｂを０≦ｂ≦ｎ′−１の間の整数とする。複数の光透過スリットＳ３１〜Ｓ３９を、可動スリットプレート３の１つの光透過スリットに固定スリットプレート４に形成された１つの光透過スリットを光学的に一致させたときに、固定スリットプレート４に形成された残りの光透過スリットが、可動スリットプレート３の他の対応する光透過スリットＳ２の位置に対してそれぞれａとｂの値の組合せが異なる（Ｓ−１）種類のＰ×［ａ／（３×ｎ）＋ｂ／（５×ｎ′）］の位相差を持つように形成する。 （もっと読む）

【課題】ハンドリング及び作業性に優れる光電式エンコーダ及びそれを用いた真空装置を提供することである。
【解決手段】光電式エンコーダは、測定軸方向に所定ピッチで形成された回折格子１１を有するスケール１０と、スケール１０に照射された光の反射光を伝搬する第１ファイバ２０を備える検出ヘッド３０と、第１ファイバ２０を伝搬した反射光を集光する第１レンズ６０，６２と、集光された反射光を受光し、電気信号に変換する受光素子５４とを備える。 （もっと読む）

【課題】スケールと検出部との各々の相対位置における動的なミスアライメントを補正可能で、かつ、大きなミスアライメントにも対応できる光学式エンコーダを提供することである。
【解決手段】光学式エンコーダは、測長光源から出射される光を光学格子を有するスケール部に照射し、スケール部からの反射光をスケール部と相対移動可能に設けられた受光素子３１１にて検出して被測定物を測長する光学式エンコーダであって、受光素子３１１を移動及び回動させて受光素子３１１による検出位置及び検出方向を変更する圧電素子３１３ａ〜３１３ｌと、測長する際に、受光素子３１１とスケール部との相対位置に応じたミスアライメント情報に基づいて、圧電素子３１３ａ〜３１３ｌにより、ミスアライメントをキャンセルするように受光素子３１１の検出位置及び／又は検出方向を変更させる機能をＣＰＵに実行させる制御プログラムと、を備える。 （もっと読む）

【課題】ハンドリング及び作業性に優れる光電式エンコーダを提供することである。
【解決手段】光電式エンコーダは、スケールと、検出ヘッドと、スケールに照射する光とスケールから受光した反射光とを伝搬する複数のファイバと、複数のファイバを内部に収容する第１ケーブル及び第２ケーブルと、複数のファイバに光を供給する光源と複数のファイバを伝搬した反射光を受光し電気信号に変換する受光素子とを収容する筐体とを備え、スケールに照射された光の反射光が複数のファイバを伝搬する順に、第１ケーブル、第２ケーブル及び筐体が配置され、複数のファイバは、ファイバの長手方向に直交する方向においてそれぞれのファイバの位置が相対的に固定されるように第１ケーブルに収容され、かつ、当該方向においてそれぞれのファイバの位置が相対的に可変になるように第２ケーブルに収容されている。 （もっと読む）

【課題】絶対位置検出及び相対位置検出の何れにおいても分解能及び安定性を高いレベルで維持しつつ、絶対位置の検出感度の向上及び検出範囲の拡大を実現する光学式変位検出装置を提供すること。
【解決手段】第１の変調コードパターン53aと第２の変調コードパターン53bとが形成されたスケール4と、光源1から射出された光ビームを第１の変調コードパターン53aを介して検出して第１の信号を生成する第１の光検出器21と、第２の変調コードパターン53bを介して検出して第２の信号を生成する第２の光検出器22と、を有するセンサヘッド30と、第１の信号と第２の信号とに基づいて変位を算出する物理量検出回路210と、を光学式変位検出装置に具備させる。第１の信号及び第２の信号は、所定演算により相殺される第１成分と、前記所定演算後に残存する第２成分と、を含む。第１の検出器21による検出と、第２の検出器22による検出と、は関連付けて実行される。 （もっと読む）

【課題】回転体の偏心量に対応する物理量を精度良く推定する、偏心量推定装置、回転速度制御装置、画像形成装置及びプログラムを提供する。
【解決手段】コードホイール７２が、周方向に沿って略等間隔に配置され、かつ各々幅が外周面側の基端７１Ａから中心７２Ａ側の先端７１Ｂに向かって延びた長方形状に形成された複数のスリット７１と、スリット７１とスリット７１とで挟まる領域の各々に形成され、長さが短い底辺が中心側、かつ長さが長い底辺が外周側に位置する等脚台形状の遮光部７２Ｃとを含んで構成された。 （もっと読む）

【課題】所定の機器にエンコーダを設ける場合に、機器の小型化を図ることができるようにする。
【解決手段】リニアエンコーダ２５の主尺３１には、ステージの減速位置および終端位置への到達を検知するための減速領域センサ３４−１およびストロークエンドセンサ３３−１と、ステージを制御する制御装置２２とを接続するパターン９１−１およびパターン９１−２が設けられている。また、主尺３１には、減速領域センサ３４−１およびストロークエンドセンサ３３−１と、電源２４とを電気的に接続するためのパターン９１−３およびパターン９１−４も設けられている。これにより、減速領域センサ３４−１およびストロークエンドセンサ３３−１と、制御装置２２および電源２４とを接続するための電線をより短くすることができ、リニアエンコーダ２５が設けられる機器の小型化を図ることができる。本発明は、リニアエンコーダに適用することができる。 （もっと読む）

【課題】移動体の高速移動と低速移動との切り換えに応じて、移動速度に適した分解能で移動量を測定し、移動量の測定誤差の低減を図る。
【解決手段】回転テーブル５０を高速回転させる場合は、検出器１にて検出したエンコーダ信号を第１処理部２０で処理して回転角度を示す第１移動量信号ａ１を出力するように、切換部８にて切り換える。回転テーブル５０を低速回転させる場合は、複数の検出器１，２にて検出したエンコーダ信号に基づき合成処理部３にて２倍の周波数の合成信号を生成し、第２処理部３０で処理して回転角度を示す第２移動量信号ａ２を出力するように、切換部８にて切り換える。 （もっと読む）

【課題】リニアスケールの汚れを検出できる構成を備えた位置検出装置を提供すること。
【解決手段】キャリッジの位置を検出するリニアエンコーダは、発光部と、発光部からの光を受光する受光部と、発光部と受光部との間に配設されるリニアスケール３１とを備えている。リニアスケール３１は、キャリッジの位置を検出するために、発光部からの光を透過する第１透光部３１ｆおよび発光部からの光を遮断する第１遮光部３１ｅがキャリッジの検出範囲Ｌ内で交互に形成される位置検出パターン３１ｂと、リニアスケール３１の汚れを検出するために、発光部からの光を透過する第２透光部３１ｈおよび発光部からの光を遮断する第２遮光部３１ｇが交互に形成される汚れ検出パターン３１ｃとを備えている。 （もっと読む）

【課題】測定対象物と受光素子との離間距離に依存せずに、反射光学像を用いて高精度に測定対象物の測定装置との相対変位等を測定する。
【解決手段】測定装置は、可干渉性を有する発散光束を射出する光源１０と、光源から測定対象物２０に照射された光束により発生した反射光学像を受光する受光素子３１とを有する。測定装置は、光源の発光面と受光素子の受光面は同じ平面Ｃ上に配設され、光源から射出された発散光束を光学パワーを持った面を介さずに測定対象物に照射する。測定装置は、ｔａｎ（θ／２）＞Ｄ／（２・Ｌ）を満足する。θは光源の配光角度範囲、Ｄは光源の発光領域の中心と受光素子の受光領域の中心との間の距離、Ｌは光源の発光面から測定対象物までの距離である。 （もっと読む）