【課題】低コストで高分解能な光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】本発明の光学式エンコーダは、発光素子と、前記発光素子からの発散光束を透過または反射させて空間的かつ周期的に複数の光束に分割するスケール格子と、複数の受光素子を備え、前記スケール格子からの前記複数の光束を対応する受光素子に入射するように構成された受光素子アレイと、前記スケール格子と前記受光素子アレイとの間に配置され、該スケール格子の前記発光素子に対する相対移動に従って、該受光素子アレイに入射する前記複数の光束が互いに位相差を有して周期的に変調するように構成された光マスク格子とを有する。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて高精度検出が可能で光利用効率が高い光学式エンコーダ用センサ、及び光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】発光素子１と、発光素子の出射光が通過する第１回折格子３と、第１回折格子を通過し光学式スケール３０にて反射した特定の周波数の反射光が透過する第２回折格子４と、第２回折格子を通過した光を受光する受光素子２と、上記発光素子、上記受光素子、上記第１回折格子、及び上記第２回折格子を一体的に形成するセンサユニット６と、を備え、センサユニットは、発光素子と第１回折格子との光路間に発光素子の出射光を偏向する光偏向素子５を一体に有する。 （もっと読む）

【課題】複数の光ファイバを接続した光ファイバケーブルを介してエンコーダヘッドから検出器へ出力ビームを接続損失なく送る。
【解決手段】エンコーダから出力ビームを検出器へ送る一系統の受光用ファイバとして、エンコーダ側に位置する光ファイバＦ１のコアＣＲ１の端面（射出端面）と該射出端面より大きな検出器側に位置する光ファイバＦ２のコアＣＲ２の端面（受光端面）とを対向して継がれた光ファイバケーブルを用いる。これにより、光ファイバの継ぎ部において光の漏れが生じることがなく、エンコーダの高い計測精度を確保することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】絶対位置を検出する処理を省電力化するエンコーダを提供する。
【解決手段】符号板（１０）の移動方向に形成され、最低識別幅λのパターン幅を有し、絶対位置を識別するＮ（Ｎは自然数）次のアブソリュートパターン（１１）と、アブソリュートパターン（１１）のうち移動方向に連続する（Ｎ＋１）個以上の連続パターンによって示される範囲を第１の検出領域と定め、第１の検出領域を検出可能な検出部と、を備え、検出部は、符号板（１０）の移動に応じて、第１の検出領域から選択された選択パターンによって示される第２の検出領域を検出する。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置制御及び速度制御を実現可能とする。
【解決手段】エンコーダ装置４０から出力される正弦波のアナログＡ相及びＢ相信号を、信号処理回路５０で次のように変換する。即ち、信号処理回路５０では、アナログＡ相及びＢ相信号をディジタル化して無逓倍のディジタルＡ相及びＢ相信号を生成すると共に、アナログＡ相及びＢ相信号を４倍に逓倍且つディジタル化して、ディジタル逓倍Ａ相信号及びディジタル逓倍Ｂ相信号を生成する。更には、ディジタルＡ相及びＢ相信号の排他的論理和（ＸＯＲ）信号を、ディジタルＺ相信号として生成する。位置検出部６１は、ディジタル逓倍Ａ相信号及びディジタル逓倍Ｂ相信号に基づき、対象物の位置を検出する。一方、速度検出部６３１，６３２，６３３は、ディジタルＡ相信号、又は、ディジタルＺ相信号、又は、ディジタルＡ相及びＢ相信号の両者に基づき、対象物の速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】高い測定分解能をもつ波長検波型光ファイバセンサシステムの提供。
【解決手段】互いに近接配置されたからファブリペローエタロンを構成するＦＢＧ対から成るセンサ素子２１〜２ｎを備えて波長検波型光センサ２を構成する。この波長検波型光センサ２と、この波長検波型光センサ２に入射された光の透過光を入射するとともに透過光を検出する光波長検波手段３とを備えて光ファイバセンサシステムを構成する。光波長検波手段３は、センサ素子２１〜２ｎからの透過光を波長毎に分波するアレイ導波路格子３１と、このアレイ導波路格子３１で分波された信号に基づいて各センサ素子２１〜２ｎで検出される波長を演算する演算回路３２とを備えており高分解能な測定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】測定分解能を向上させることができる物理量測定装置の提供。
【解決手段】広帯域光源１０から出射される光を波長検波型光ファイバセンサ２に入射し、この波長検波型光ファイバセンサ２の透過光を２つの光路４１，４２の光路差を有する干渉計４で干渉させ、この干渉計４から出力される出力光を光検波手段５で検出する。干渉計４に入射される透過光をバンドパスフィルタ３１で波長検波型光ファイバセンサ２の波長のピークを中心に制限する。波長検波型光ファイバセンサ２は、互いに近接配置されたファイバブラッググレーティングＦＢＧからファブリペローエタロンを構成する測定用センサ素子２１を有する。測定用センサ素子２１から透過される光の透過スペクトルの半値全幅を従来の反射スペクトルの半値全幅より小さくできことになり、測定分解能を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて、受光部における反射光の利用効率が向上可能な反射型の光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光源１０１と、反射スケール１３０と、光検出部１６０と、演算部１７０とを備え、反射スケールにおける第１反射部１１１，１２１からの反射光を、光検出部の第１受光部１４１，１５１にて受光し、第１反射部と異なる傾斜をつけた第２反射部１１２，１２２からの反射光を第２受光部１４２，１５２にて受光し、演算部はその２つの出力を元に演算する。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドの大型化とスケ−ルの傾きによって生じる変位計測誤差を抑えながら、つなぎ合わせスケールを用いて長範囲に渡って変位計測を行うことを目的としている。
【解決手段】光学式エンコーダのセンサ光学系１は、つなぎ合わせスケール２を用いて長範囲に渡る変位計測を行うため、単独の光源１０、マルチプローブ生成機構１１、及び複数の受光素子１３から成る受光素子ユニット１２を構成要素の一部とする。単独の光源１０から照射された光から、マルチプローブ生成機構１１により、互いの間隔が比較的短いマルチプローブが生成される。マルチプローブは、つなぎ合わせスケール２の上に照射する。それぞれのプローブからの出力が独立に検出できるように、受光素子ユニット１３は複数の受光素子１４から構成されている。 （もっと読む）

【課題】対ノイズ性が改良され、高い補間係数を提供することができ、高精度の補間出力信号を生じることができ、かつ回路の複雑性、設計及び／又は費用を過度に増加させることがないモーション・コード化システムに対する補間回路を提供する。
【解決手段】光学エンコーダ１０に関連して使用するための、フロント・エンドのアナログ回路１１０の種々の実施形態が開示される。回路を補間するために増分又は絶対モーション・エンコーダの中のフロント・エンドのアナログ回路１１０によって、高精度のアナログ出力信号が提供される。これにより、高いタイミング精度を有する高い補間係数の出力信号を提供することができる。開示された補間回路は、必要以上に努力することなくＣＭＯＳ又はＢｉＣＭＯＳ工程を用いて実現することができる。 （もっと読む）

【課題】位置検出の分解能及び安定性を高いレベルで維持しつつ絶対位置の検出感度の向上及び検出範囲の拡大を簡便な構成で実現することが可能な光学式信号出力装置の信号処理装置及びそのような信号処理装置を備えた光学式変位検出装置を提供すること。
【解決手段】スケール上に形成され、変位検出対象物の変位方向Ｘに沿って実効反射率が漸増する光学特性を有するグレートラックに光ビームを照射して得られる第１の複数の周期信号と変位検出対象物の変位方向Ｘに沿って実効反射率が漸減する光学特性を有するグレートラックに光ビームを照射して得られる第２の複数の周期信号との間の位相差Δを調整すべく、位相調整部７０１の位相シフト部７０１ａによって第２の複数の周期信号の位相をΔだけシフトさせる。そして、第１の複数の周期信号と位相シフト後の第２の複数の周期信号とを用いて変位検出対象物の絶対変位及び相対変位を求める。 （もっと読む）

【課題】スケール部の偏心による検出誤差を抑制したロータリーエンコーダを提供する。
【解決手段】本発明のロータリーエンコーダは、スリット数Ｓ１からなる第１のスリット列、及び、スリット数Ｓ２からなる第２のスリット列を中心点に対して同心円状に形成したスケール部と、第１の読み取り領域にて前記第１のスリット列からの信号を検出する第１のセンサ、及び、第２の読み取り領域にて前記第２のスリット列からの信号を検出する第２のセンサを備えたセンサユニット部と、前記センサユニット部にて検出された信号を処理する信号処理回路とを有し、前記第１の読み取り領域の前記中心点からの距離の最大値をＲ１_ｍａｘ、最小値をＲ１_ｍｉｎとし、前記第２の読み取り領域の前記中心点からの距離の最大値をＲ２_ｍａｘ、最小値をＲ２_ｍｉｎとしたとき、Ｒ１_ｍｉｎ／Ｒ２_ｍａｘ≦Ｓ１／Ｓ２≦Ｒ１_ｍａｘ／Ｒ２_ｍｉｎを満たす。 （もっと読む）

複数の波長特定デバイスをインタロゲートするための装置は、低コヒーレンス時間的インターフェログラムを提供する干渉計を照射するための広帯域光源を有する。例えば互いに直列に接続された複数のファイバブラッググレーティングなどの、複数の波長特定デバイスの少なくとも１つのアレイはインターフェログラムを受信し、その結果、各デバイスは、広帯域光源の帯域幅と比較して制限された範囲の波長帯域幅と相互作用できる。それら自身の特徴波長において広帯域光源とそれぞれが相互作用した複数のデバイスのアレイの出力を有する干渉計を照射する代わりに、従って、広帯域光源からの出力を変調して低コヒーレンスインターフェログラムを生成するために、干渉計が使用される。次に、複数のデバイスのアレイは、この低コヒーレンスインターフェログラムから、より高いコヒーレンスインターフェログラムを抽出し、もしくはフィルタリングする。
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【課題】光電素子において良好な信号出力を得る。
【解決手段】送光部７２から上方に出射された平行光は、貫通孔７１に挿入されている第１スリット５を透過した後、第２スリット７３１を透過しフォトダイオードアレイ７３２の４つのフォトダイオードに到達し、電気信号に変換される。第１スリット５と第２スリット７３１のスリットのピッチをp、送光部７２で生成する平行光の波長をλとして、第１スリット５のスリットと第２スリット７３１のスリットのギャップ（間隔）Gは、0.85≦K≦0.92、さらに望ましくは、0.869≦K≦0.913として、G = Kp²/λに設定する。 （もっと読む）

【課題】光学式エンコーダのＳＮ比を向上する。
【解決手段】
レンズ７２４は、ＬＥＤ７２１から出射された光を上方に向かう平行光に変換する。第１絞７２２はＬＥＤ７２１の発光部７２１１からの直接光のみを透過するように配置される。第２絞７２３は、ＬＥＤ７２１の発光部７２１１からの直接光のうちの、レンズ７２４において有効に平行光に変換される光成分のみが、レンズ７２４に到達するように配置される。平行光マスク７２５には、４つの四角形状の貫通孔７１が設けられ、レンズ７２４で変換された平行光のうち、フォトダイオードアレイ７３２の４つのフォトダイオードの受光面に向かう光成分のみを透過する。そして、送光部７２から出射された平行光は、第１スリット５を透過した後、第２スリット７３１を透過しフォトダイオードアレイ７３２の４つのフォトダイオードの受光面に到達する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高分解能なエンコーダーを実現する。
【解決手段】エンコーダー３００であって、回転円盤３１０と、前記回転円盤上において等間隔に設けられた光透過部又は反射板で構成される光学要素３１２と、前記光学要素に光を照射する発光部３２０と、前記光学要素を透過する、または反射する光を受光して、その受光の大きさに応じた大きさのアナログ受光信号を出力する受光部３７０と、前記アナログ受光信号をあらかじめ定められた閾値を用いてからデジタル変換して一定間隔のパスル信号を発生するパルス発生部３８０と、を備え、前記光学要素は、前記光学要素の回転方向に沿って光透過率または光反射率が徐々に増減するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】位置検出の分解能及び安定性を広い変位検出範囲に渡って高いレベルで維持しつつ且つスケール上の欠陥等の影響による信頼度をもチェックできる光学式信号出力装置の信号処理装置及びそのような信号処理装置を備えた光学式変位検出装置を提供すること。
【解決手段】スケール５０上に形成され、変位検出対象物の変位方向Ｘに沿って実効反射率が漸増する光学特性を有するグレートラック５１に光ビーム６１を照射して得られる第１の信号群の振幅成分と変位検出対象物の変位方向Ｘに沿って実効反射率が漸減する光学特性を有するグレートラック５２に光ビーム６２を照射して得られる第２の信号群の振幅成分との和と第１の信号群の振幅成分と第２の信号群の振幅成分の差との比から変位検出対象物の絶対変位を求める。また、第１の信号群の振幅成分と第２の信号群の振幅成分の和から光学式信号出力装置が正常であるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】光学格子の不要な高調波成分を検出することなく、光学格子の一定間隔に基づく基本空間周波数のみを検出することで位置計測を安定させて、計測位置精度の向上を可能とする。
【解決手段】光源１０２から出射された光Ｒ１を、スケール１０６の光学格子１１０で変調させて、変調された光Ｒ３を受光素子１２２で検出する光電式エンコーダ１００において、光学格子１１０で変調された光Ｒ３を結像する片側テレセントリック光学系１１４を備え、片側テレセントリック光学系１１４は、光学格子１１０で変調された光Ｒ３の一部を透過させ、且つ光源１０２から出射された光Ｒ１による片側テレセントリック光学系１１４の解像限界を示す空間周波数である遮断空間周波数ｆｃ１を、フーリエ変換で得られる光学格子１１０の基本空間周波数Ｓｆ１と基本空間周波数Ｓｆ１の２倍高調波Ｓｆ２との間の値とするときに求められる大きさの開口１１８Ａを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザー光で検出プレートに貫通孔を形成する場合において、レーザー装置の耐用寿命の短縮化を回避しつつ、位置検出の精度向上を図る。
【解決手段】位置検出装置１０は、ロッド３５（移動部材）の移動経路に沿って並ぶ複数の貫通孔１６が形成された検出プレート１１と、発光部２６と受光部２７を検出プレート１１と対応させた光センサ２０とを備え、検出プレート１１をロッド３５と一体移動させた状態で、発光部２６から貫通孔１６の形成領域に向けて検知光を照射し、検知光が受光部２７で間欠的に受光されることによって光センサ２０から出力されるパルス信号に基づき、ロッド３５の位置を検出する。複数の貫通孔１６は、その開口領域を互いに連通させた形態である。 （もっと読む）

【課題】ロータリエンコーダの小型化を実現する。
【解決手段】光学ホイールの径を、磁気ホイールの径と等しくなるように形成する。そして、光学ホイールに形成した光学トラックが、磁気ホイールに形成された磁気トラックと、磁気トラックからの磁束を検出する磁気センサとの間に位置するように、光学ホイールを配置する。これにより、光学ホイールが小径化し、エンコーダユニット６０全体が小型化する。また、エンコーダユニット６０が小型化するため、このエンコーダユニット６０を備えるサーボモータ１０が小型化する。 （もっと読む）