【課題】蛍光体照射源を含む変位エンコーダを提供する。
【解決手段】位置を感知する光学式エンコーダは、均一に分布された蛍光体を含む比較的広範な蛍光体エリアの少なくとも一部分を飽和させる第１のレベルの強度均一性を有する一次放射線を生成することによって動作する照射源を含む。蛍光体エリアは、一次放射線を吸収し、かつ蛍光体放射線を放射して、エンコーダスケールパターンを照射する。スケールパターンは蛍光体光を空間的に調整し、および蛍光体光の空間変調されたパターンは、光検出器配列によって感知される。少なくとも部分的には、蛍光体を飽和させるため、蛍光体光は、第１のレベルの一次光強度均一性よりも均一な第２のレベルの蛍光体光強度均一性を有し、それにより、エンコーダの精度を高める。均一な蛍光体照射強度が、少数の構成要素を用いて広範囲にわたって経済的に提供され、かつ光路長を、特にスケールに対して垂直な経路長を最小にする。 （もっと読む）

本発明は、センサユニットを有する格子手段を備えた干渉式の距離測定装置及び／又は回転測定装置に関する。センサユニットは格子手段の直線及び／又は回転運動を検出するために、光導体ユニットから出射され格子手段へと配向される二つの部分ビームが受光ユニットによって検出可能であり、且つ格子手段の直線又は回転運動及び／又は格子手段の位置に依存する重畳信号を形成するように光導体ユニット並びに受光ユニットと協働する。光導体ユニットには二つの部分ビームにビームを分割する手段と、二つの部分ビームの内の一方に対して、部分ビームの光学的なコヒーレンス長よりも長い光学的な遅延区間を生じさせる第１の光学的な遅延手段とを有する変調干渉計ユニットが接続されている。変調干渉計ユニットは、二つの部分ビームが共通して供給される光導体を介してセンサユニットと接続されている。受光ユニットはセンサユニットに設けられている。
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【課題】エンコーダタイプの位置測定システムのグリッドプレート内の欠陥を判定する。
【解決手段】別のオブジェクトに対する可動オブジェクトの位置を測定するエンコーダタイプの位置測定システムを提供するステップであって、前記エンコーダタイプの位置測定システムが、グリッドプレートとエンコーダヘッドとを含むステップと、２つ以上の検出器の各々に反射した光の量を測定するステップと、２つ以上の検出器に反射した放射ビームの結合放射ビーム強度を用いて測定位置でのグリッドプレートの反射率を表す反射率信号を決定するステップと、グリッドプレートの反射率信号に基づいて測定位置の欠陥の存在を判定するステップとを含む方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】様々な環境下において使用でき常に安定した検出動作を行うことができるエンコーダ用検出部およびエンコーダを提供する。
【解決手段】検出部１２のケース１２０２内に、第１、第２の目盛板４４、４６を設ける。ケース１２０２内外にわたって設けられた第２の光ファイバ４８によって第１、第２の可動スリット５６、５８を介して第１、第２、第３の反射板５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃに互いに波長成分が異なる第１、第２、第３の光を照射させる。第１、第２、第３の反射板５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃで反射された各反射光をケース１２０２内外にわたって設けられた第２の光ファイバ４８によってケース１２０２の外に導く。 （もっと読む）

【課題】受発光動作の信頼性を確保することができる受発光センサ、エンコーダ及び受発光センサの製造方法を提供すること。
【解決手段】光を発光する発光部及び前記光を受光する受光部を有する受発光部と、前記光を透過させて、前記発光部と前記受光部とを含む領域を保護する保護層とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型の検出器ユニットを可能とすると共に、光源による検出器ユニットの熱ひずみを回避して、ロバストで高精度な測定を可能とする。
【解決手段】第１の光学格子１３２が設けられたスケール１１０と、該スケール１１０に対峙して配置される検出器ユニット１４０と、を有する光電式エンコーダ１００において、前記スケール１１０に、前記第１の光学格子１３２で変調されて前記検出器ユニット１４０で受光される光を発光する面状光源１２０を一体的に備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高分解能なエンコーダーを実現する。
【解決手段】エンコーダー３００であって、回転円盤３１０と、前記回転円盤上において前記回転円盤の円周に沿って等間隔に設けられたｍ個（ｍは２以上の整数）のスリット又は反射板で構成される光学要素列３１１と、前記光学要素列に光を照射する発光部３２０と、前記光学要素列の個々の光学要素を透過する、または反射する光を受光して矩形状の受光信号を出力する受光部３７１〜３７４と、を備え、前記発光部と前記受光部は、ｎ組配置されており、個々の受光信号の１周期の位相差を２πと定義したとき、ｎ個の受光部で生成されるｎ個の受光信号の位相がπ／ｎずつ順次ずれるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】第１格子と第２格子までの光学的距離と第２格子から第３格子までの光学的距離の設計値からのずれによる性能劣化を抑制することにより、安定した性能を有し、小型で量産に向いた光学式エンコーダを提供すること。
【解決手段】３重スリット方式の光学式エンコーダにおいて、発光部側の発散光の出射幅を限定する位置からスケールの格子までの光学的距離ｚ１と、受光部側のスケールの格子から光検出部の格子機能面までの光学的距離ｚ２と、の少なくとも一方の値を増減させることによって、検出信号の振幅レベルの劣化を低減させる信号劣化低減手段を備える （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高分解能なエンコーダーを実現する。
【解決手段】エンコーダー３００であって、回転円盤３１０と、回転円盤上において等間隔に設けられたスリット又は反射板で構成される光学要素列３１１〜３１４と、光学要素列に光を照射する発光部３２１〜３２４と、光学要素列の個々の光学要素からの光を受光して矩形状の受光信号を出力する受光部３７１〜３７４とを備え、光学要素列は、回転円盤の中心からの距離が互いに異なるｎ個（ｎは２以上の整数）の円周に沿ってｎ列配置されており、ｎ組の光学要素列は、等しい個数のｍ個（ｍは２以上の整数）の光学要素を含んでおり、発光部と受光部は、ｎ組の光学要素列に対応してｎ組配置され、個々の受光信号の１周期の位相差を２πと定義したとき、ｎ組の光学要素列とｎ組の発光部及び受光部とは、ｎ組の受光部で生成されるｎ個の受光信号の位相がπ／ｎずつ順次ずれるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】樹脂封止されたエンコーダの迷光によるエンコーダ信号の劣化や外部への影響を低減することができる光学式エンコーダを提供すること。
【解決手段】相対的に移動する固定体と移動体のいずれか一方に取り付けられた検出ヘッドと、検出ヘッドに対向して、固定体と移動体の他方に取り付けられ、所定ピッチの光学パタンを有する第２格子７１が設けられたスケール７とを備えた光学式エンコーダであって、検出ヘッドは、スケール７に所定の光を照射するＬＥＤ２と、ＬＥＤ２からの光を透過する光透過部材３と、光検出素子が所定のピッチで複数形成された光検出部４とを有し、光透過部材３には、所定ピッチの光学パタンを有する第１格子３１と、ＬＥＤ２からスケール７の第２格子７１へ至る光を絞るための開口絞り３２と、が形成されており、ＬＥＤ２からの光を光透過部材３を介してスケール７に照射した後、スケール７の第２格子７１により反射または回折した光が光検出部４の光検出素子上に形成するイメージの動きを検出する。 （もっと読む）

【課題】容易に取付けができ、回転部分の偏心、及びこの回転部分の、別の部分に対するスプリアス移動又は振動に対して比較的にさほど敏感でない、精密な光学式回折格子回転センサを提供する。
【解決手段】光源１０と、光検出器９と、全体的に円筒形、及び凸面状の第１側面４を有する内側部材１と、全体的に円筒形、及び凹面状の第２側面６を有する外側部材７であって、前記第１及び第２側面の両方が、前記内側部材と前記外側部材との間で相対回転するための回転軸Ａを規定し、この相対回転の角度をこの回転センサが測定することができる同じ中心軸を有する、外側部材と、その回折格子線を前記回転軸と平行にして前記第１側面に配置された少なくとも１つの第１回折格子３、３１、３２と、その回折格子線を前記回転軸と平行にして前記第２側面に配置された少なくとも１つの第２回折格子５とを備える。 （もっと読む）

【課題】所謂３重格子エンコーダの第１格子と第３格子との高さずれを抑える、すなわち第１格子と第３格子に相当するＰＤアレイを含む受光素子面との高さずれを抑えること。
【解決手段】変位検出される一方の部材に取り付けられたスケール９と、一方の部材に対して相対移動する他方の部材に取り付けられ、スケール９に対向して配置されるセンサヘッド２と、スケール９に設けられ、相対移動する方向に形成された第２格子９１の光学パタンとを備え、センサヘッド２は、スケール９に光を照射する光源４と、この光源４からスケール９に照射されて光学パタンを経た光を受光する受光面を有し、当該受光面上に形成される光分布を検出する光検出器６と、光源４とスケール９との間の光路上に配置される第１の光透過部５０と、スケール９と光検出器６との間の光路上に配置される第２の光透過部７０と、第１の光透過部５０と第２の光透過部７０との間を繋ぐ接続部１００とを有する光透過部材５とから成る。 （もっと読む）

【課題】検出ヘッド内部の迷光等の影響を受けず、かつ信頼性を確保して小型化・薄型化を図ること。
【解決手段】光源４とスケール９との間の光路上に配置される第１の光透過部５０と、スケール９と光検出器６との間の光路上に配置される第２の光透過部７０と、第１の光透過部５０と第２の光透過部７０とを繋ぐ接続透過部２００とを有する光透過部材５を備え、第１の光透過部５０の表面と第２の光透過部７０の表面との間に介在し、エンコーダ信号の検出に寄与しない迷光を低減する迷光低減機能要素を備えた。 （もっと読む）

【課題】小型化及び構成の単純化を実現するとともに、屈曲角度の検出精度が高い屈曲操作システムを提供することにある。
【解決手段】マニピュレータ１の光学式エンコーダでは、反射率の異なる２種類の反射部４１Ａ、４１Ｂが長手方向に所定のパターンで配置されるスリット部４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｚに光を入射し、スリット部４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｚで反射した反射光を受光素子で受光する。第１の反射部４１Ａと第２の反射部４１Ｂとでは光ファイバ２２へ導光される光量が異なるため、エンコーダスリット部３２がワイヤ５と一体に長手方向へ移動すると、受光素子でエンコーダスリット部３２の変位と光量を示した波形の電気信号が検出される。そして、パルス信号に変換され、パルス数及び既知のエンコーダスリット部３２の寸法から、エンコーダスリット部３２及びワイヤ５の変位が算出される。ワイヤ５の変位から動作部３の屈曲角度が検出される。 （もっと読む）

【課題】小型化及び構成の単純化を実現するとともに、線状動力伝達部材の変位の検出精度が高いエンコーダ及び線状動力伝達部材の変位検出方法を提供することにある。
【解決手段】光学式エンコーダでは、反射率の異なる２種類の反射部４１Ａ、４１Ｂが長手方向に所定のパターンで配置されるスリット部４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｚに光を入射し、スリット部４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｚで反射した反射光を受光素子で受光する。第１の反射部４１Ａと第２の反射部４１Ｂとでは光ファイバ２２へ導光される光量が異なるため、エンコーダスリット部３２がワイヤ５と一体に長手方向へ移動すると、受光素子でエンコーダスリット部３２の変位と光量を示した波形の電気信号が検出される。そして、パルス信号に変換され、パルス数及び既知のエンコーダスリット部３２の寸法から、エンコーダスリット部３２及びワイヤ５の変位が算出される。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で、しかも、相対位置検出系と原点検出系とで検出ヘッドとスケールとの間のギャップ合わせ無しに、相対位置検出と原点検出とを可能とする。
【解決手段】光検出器６上のＰＤアレイ６１との間で相対移動する方向に対して所定のピッチ、例えば均一なピッチｐ２のスケールパタン９１を形成したスケール９を設け、このスケール９に形成されたスケールパタン９１は、複数の格子のデューティを変調した少なくとも１組の光学パタンが形成されている。 （もっと読む）

【課題】検出ヘッド内部の迷光等の影響を受けず、かつ信頼性を確保して小型化・薄型化を図ること。
【解決手段】光源４とスケール９との間の光路上、又はスケール９と光検出器６との間の光路上に配置に光透過部材５を配置し、この光透過部材５の表面にエンコーダ信号の発生に寄与しない迷光を少なくとも低減する迷光低減機能要素を形成する。 （もっと読む）

【課題】全周にわたり回転軸の絶対角を高精度に検出することができる小型の光学式エンコーダを提供することにある。
【解決手段】回転軸１１に取り付けられた回転ディスク１３と、回転ディスク１３上に回転軸の回転中心に対して偏心した第１の環状スリット２５Ａと、第１の環状スリットとは異なる方向に偏心した第２の環状スリット２５Ｂを形成し、第１の環状スリット２５Ａの変位を検出する第１の検出部１２Ａと第２の環状スリットの変位を検出する第２の検出部１２Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】１系統出力信号線から出力された出力波形の信号を位相のずれやノイズパルスが抑制された複数のデジタル出力信号に変換する高精度なデコーダ装置を提供する。
【解決手段】このデコーダ装置は、基準電圧発生部１０が発生する第１のスレッシュレベル信号によるスレッシュレベル(1)と第２のスレッシュレベル信号によるスレッシュレベル(2)‐1とは、各スレッシュレベル(1),(2)‐1に対応した段状波形Ｓ１３,Ｓ１２の段差部Ｐ１３,Ｐ１２と交差する範囲で各段状波形Ｓ１３,Ｓ１２の段差部の中心レベルに比べて互いに近づいている。よって、各段状波形の段差部のスルーレートに起因して生じる各スレッシュレベル(1),(2)‐1と各段状波形の段差部との交点の位相のずれの縮小を図れるので、比較器１,２による第１,第２の比較出力信号(Ａ),(Ｂ)が上記スルーレートに起因して位相がずれることを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】全周にわたり回転軸の絶対角を高精度に検出することができる光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】環状スリット２５の同心円の中心１０１は回転軸１１の回転中心１００から偏心している。回転軸１１が回転すると、回転中心１００から環状スリット２５の第１の検出部１２Ａに対応する位置１０２Ａおよび第２の検出部１２Ｂに対応する位置１０２Ｂまでの距離Ｌ１およびＬ２は回転角度θに応じて変化する。第１の検出部１２Ａおよび第２の検出部１２Ｂの検出信号から距離L１およびＬ２を求め、回転軸１１の絶対回転角度θを得る。 （もっと読む）