【課題】物体間の相対位置の変化を同じ測定点で多次元的に計測する。
【解決手段】エンコーダ１は、光分岐面３０上の互いに交差する２方向のそれぞれで照明光Ｌ０を分岐させる分岐部３と、光分岐面３０上で上記の２方向のいずれとも交差する方向に照明光Ｌ０を走査させる照明系２と、分岐部３に対して相対移動するスケール５と、上記の２方向のうちの第１方向にて分岐した第１の光Ｌ１１、Ｌ１２と第２方向にて分岐した第２の光Ｌ２１、Ｌ２２とをスケール５に導くとともに、スケール５上で第１の光Ｌ１１、Ｌ１２のスポットＳ１１、Ｓ１２を第２の光Ｌ２１、Ｌ２２のスポットＳ２１、Ｓ２２と重ねる光学系４と、スケール５を経由した第１の光Ｌ１１、Ｌ１２及び第２の光Ｌ２１、Ｌ２２を検出する検出部６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ２次以上の回折光および迷光の発生を抑え、位置検出信号のＳ／Ｎ比を改善し検出精度の向上を図る。
【解決手段】 屈折率ｎの保護層１２で格子面１１ａが覆われた回折格子１１のピッチをｄ、照射される可干渉光の真空中の波長をλ_０とした時、ｄ＜２λ_０／ｎ とし、上記回折格子１１への可干渉光の入射角θ_０を
｜ｓｉｎθ_０｜＜（２λ_０／ｄｎ）−１
なる式を満たす角度に設定し、１次回折光を位置検出に使用する。 （もっと読む）

【課題】スケール、検出器、他のエンコーダ部品の幅を増やすことなく測定範囲対分解能比を高める。
【解決手段】エンコーダ構造は周期的信号を作るための第１の強度変調成分と広範囲絶対信号を作るための第２の強度変調成分を与える２重変調スケールトラックパターンを有する。２重変調スケールトラックパターンはエンコーダ部品の幅を増やす追加のスケールトラックを使用することなくエンコーダの測定範囲対分解能比を高める。広範囲信号は、スケールトラック中に含まれるパターン要素の特定の寸法を変えるか、同様な領域のパターン要素上のトラックに沿う光の密度変化を含む層を重ね合わせることによって、前記２重変調スケールトラックパターン中にコード化される。どちらの場合も、関係する信号の正味オフセットや振幅レベルはスケールトラックに沿って変調される。これらの変調されたオフセットや振幅レベルは広測定範囲の絶対信号のための基礎を与える。 （もっと読む）

【課題】回折干渉光を利用して検出精度を向上させた位置の原点検出を可能とし、設計・開発・製造等を容易にすることができるリニアエンコーダ、リニアモータ、リニアモータシステム、メインスケール及びリニアエンコーダの製造方法を提供すること。
【解決手段】エンコーダ１００は、光学メイン格子Ｌがそれぞれ全長に亘って形成された帯状の１のトラックＴＣと一部に形成された1以上のトラックＴＡ，ＴＢとを測定軸方向Ｘが長手となるように有するメインスケール１１０と、メイン格子Ｌと回折干渉光学系を構成するようにメインスケール１１０に対向して測定軸方向Ｘで相対移動可能に配置され、光学的な２以上のインデックス格子Ｇ１，Ｇ２が形成されたインデックススケール１２０と、を備え、少なくとも１のトラックＴのメイン格子Ｌに含まれる複数のスリットＳＬは、そのピッチｐ_Ｌが１以上の他のトラックＴにおけるスリットＳＬのピッチＰ_Ｌと等しくなるように、測定軸方向Ｘに垂直な方向Ｙから所定の傾斜角度θ_Ａ，θ_Ｂで傾斜して形成される。 （もっと読む）

【課題】受光素子アレイから出力される信号に異常が生じた場合であっても適切な測定をすることができる光学式エンコーダの提供。
【解決手段】光学式エンコーダは、スケールと、光源と、光源から出射され、スケールを介した光を受光する複数の受光素子アレイ５１〜５３と、測定手段５４とを備える。受光素子アレイ５１，５３は、それぞれ２つの領域５１１，５１２，５３１，５３２に分割されている。測定手段５４は、領域５１１，５１２，５３１，５３２から出力される信号に基づいて、領域５１１，５１２，５３１，５３２に異常が生じているか否かを判定する異常判定部５４１と、異常判定部５４１にて異常が生じていないと判定された領域５１１，５１２，５３１，５３２、及び受光素子アレイ５２から出力される信号に基づいて、スケールの位置を測定する位置測定部５４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】ある種のスケールの欠陥または汚染により異常信号が生じたとしても、正確な測定動作を行うことができる改良された光学式エンコーダおよび位置測定方法を提供すること。
【解決手段】 照明部と、測定軸方向に沿って延出する第１スケールトラックパターンを有する第１スケールトラックを少なくとも有し、前記照明部からの光を受光するとともに、前記第１スケールトラックパターンに対応する第１周期的空間変調光パターンを第１光路に沿って出力するように配置されるスケール要素と、第１検出部と有効信号選択部とを有する信号処理装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】スケールの基材の厚さ方向の変形に因る検出誤差を低減し、高精度に測定を行える測長スケール、光学式変位検出装置、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光学式変位検出装置１に用いるスケール部（測長スケール）１０において、所定の厚さを有する長尺な基材１１と、基材１１の長手方向に沿って光透過部および光不透過部を交互に備えた平面状の光学格子１２と、を備え、光学格子１２は、基材１１を厚さ方向に二等分する中心面Ｇ上に配されている。 （もっと読む）

【課題】アブソリュート（ＡＢＳ）パターンの検出精度の向上と、スケール上のゴミなどによるノイズの影響の低減を図る。
【解決手段】相対移動可能な検出器とスケール１２を備え、検出器側には絶対位置検出用の発光素子１１、光学系（レンズ１３）及び受光素子（フォトダイオードアレイ１４）を配置し、スケール側には所定のアブソリュートパターン３２を配置した光学式絶対位置測長型エンコーダにおいて、前記アブソリュートパターン３２を、測長方向に分割したり、前記アブソリュートパターンの一部のエッジ位置を測長方向に変更する。 （もっと読む）

【課題】測定ヘッドが小型で、構造の簡単な位置決定デバイスを提供すること。
【解決手段】マーカー１１、１２を備える測定スケール１０と、測定スケール１０に対して移動可能な測定ヘッド２１を備え、測定ヘッド２１は、測定スケール１０の画像を生成するテレセントリック光学系３０と、この画像を捕獲し、測定ヘッド２１の位置決定を可能とする信号を提供するセンサ４０を備え、テレセントリック光学系３０は、光軸３４を含む第１のレンズ要素３３と、レンズ要素３３の測定スケール１０とは逆側に面する焦点Ｆ１に配置されるアパーチャ３５を含む。テレセントリック光学系３０は、レンズ要素３３と一体のブロック３１を備え、ブロック３１の表面３２の第１の領域３２．１がレンズ要素３３の表面を形成し、アパーチャは、表面３２の第２の領域３２．２に設けられ、光軸３４に対して鋭角で傾斜した第１のミラー表面３５として実現される。 （もっと読む）

【課題】電源を投入しただけで、スケールと検出器を相対移動させることなく、静止した状態で原点等の基準位置を検出可能とする。
【解決手段】相対移動可能な検出器とスケール１２を備え、検出器側には基準位置検出用の発光素子１１、光学系１３及び受光素子１４を配置し、スケール側には所定の位置基準パターン３３、３３´、３３″を配置した光学式基準位置検出型エンコーダにおいて、前記受光素子を測長方向に伸びるアレイ状とし、該アレイ状受光素子（位置基準フォトダイオードアレイ４３）の出力を電気的に掃引して設計値との相関をとることで、スケールと検出器を相対移動させることなく、静止した状態で基準位置を検出可能とする。 （もっと読む）

【課題】小型かつ低価格で高効率なヘテロダイン干渉変位計測装置を提供する。
【解決手段】レーザ光束を一定速度で回転させる回折格子に照射し、互いに異なる次数を有し、かつ、第一の周波数差を有する２つの回折光束を生成し、得られた前記２つの回折光束を同一方向に同軸、かつ、偏光面が互いに直交するような合成光を生成し出力することで、所謂２周波レーザ光源に相当する機能を実現する部分と、前記合成光束を第一の周波数差のままで干渉させて第一の周波数差信号を生成する第１の干渉光学系と、光路長差が零近傍になるように構成された干渉光学系に入射させ、被計測物の変位量に応じて第二の周波数差を有する２つの光束を生成し、それらを干渉させることで第二の周波数差信号を生成し、第１周波数差信号と前記基準周波数差信号との差の情報から前記被計測物の前記変位に関する情報を算出し出力する手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で検出精度を向上できるエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダ（１）は、第１のパターン（１１）と第２のパターン（１２）とが互いに並列して移動方向に沿って設けられたスケール板（１０）と、第１のパターン（１１）に照射される第１の光（Ｌ１）と第２のパターン（１２）に照射される第２の光（Ｌ２）とを受光する受光面（３５）を有するセンサ部（３０）と、第１の光を射出する第１の発光素子（２１）と、第２の光を射出する第２の発光素子（２２）と、を備え、第１の発光素子（２１）は、受光面（３５）に直交する第１平面（Ｐ１）によって分割される２つの領域の一方（３１）に配置され、第２の発光素子（２２）は、第１平面（Ｐ１）によって分割される２つの領域のうち第１の発光素子（２１）とは異なる他方の領域（３２）に配置される。 （もっと読む）

【課題】測定作業の容易化およびコストダウンを図る上で有利な操舵角検出装置および操舵角検出方法を提供する。
【解決手段】ステアリングホイール２の非円形部２Ｄは、ステアリングシャフト方向、すなわち、回転軸方向から見て回転軸の周りに非円形を呈している。操舵角検出装置１０は、ステアリングホイール２の非円形部２Ｄの回転軸の半径方向における変位量と、ステアリングホイール２の回転方向とを検出すると共に、変位量と操舵角とを対応付けたデータテーブルから操舵角を特定して出力すると共に、操舵角の特定は、検出された変位量と、直近の操舵角と、ステアリングホイール２の回転方向とに基づいて行う。 （もっと読む）

【課題】 コストの上昇を来すことなく信頼性を高めることが可能なエンコーダ用スケールを提供すると共にそのようなエンコーダ用スケールを製造するエンコーダ用スケール製造方法とそのようなエンコーダ用スケールを使用したアクチュエータを提供することにある。
【解決手段】 高反射率部及び低反射率部を備えてなるエンコーダ用スケールにおいて、上記高反射率部及び低反射率部は印刷により形成されたものであることを特徴とするものであり、それによって、信頼性の高いエンコーダ用スケールを低コストで提供することができる。 （もっと読む）

【課題】スケールの格子ピッチが狭くなっても、従来と同様の長いピッチの受光素子アレイで検出できるようにする。
【解決手段】第１格子１４と第２格子２２と第３格子３０とを有する３格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、第３格子３０で生じるモアレ縞３２を受光素子アレイ４０に投影するためのレンズ光学系５０、６０を備え、光源１０からの光を、スケール移動方向に対して横方向から入射するようにし、スケール２０上に、第２格子２２に隣接して原点パターン２６を形成すると共に、第３格子３０に隣接して、原点パターン２６の透過部３４を設け、主信号検出用受光素子（４０）に隣接して配設された原点信号検出用受光素子（４２）により、主信号と原点信号を同時に検出可能とし、原点パターン形成面と、レンズ光学系５０の中心面と、受光素子面とが１点で交差するシャインプルーフ光学系を構成する。 （もっと読む）

【課題】製造を容易にしつつ小型化することが可能な、光全周エンコーダ及びモータシステムを提供すること。
【解決手段】この光全周エンコーダは、回転トラックにおいて回転軸ＡＸを中心とした放射状に等ピッチで形成され、光を透過する複数の回転スリットＳ２と、周方向で２以上に分割された領域ＸＡ〜ＸＤ内で等ピッチに放射状に形成され、光を透過する複数の固定スリットＳ１Ａ〜Ｓ１Ｄと、回転軸近傍に配置され、導光部１２０により導かれた光を、２以上の領域毎にそれぞれ受光する２以上の受光部１１２Ａ〜１１２Ｄと、を有し、一の領域内の複数の固定スリットと、該一の領域に隣接する他の領域内の複数の固定スリットとは、２以上の受光部による受光信号間に回転方向が判別可能な位相差が生じるように形成される。 （もっと読む）

【課題】検出器を複雑化することなく、原点マークでの光の回折による原点の誤検出を回避して正確な原点検出を可能とする。
【解決手段】測長方向で点光源２４に対して対称に配置される原点信号受光部３２ｚ、３２ｚｂと、原点マーク１４の位置に対応する原点検出信号を発生させることで原点信号を出力する原点信号処理部６０を有する信号処理部４０と、を備え、原点信号処理部６０は、原点マーク１４で反射されることにより生じるサイドローブ光により原点信号受光部３２ｚ、３２ｚｂから出力される信号レベルの最大値を規定値Ｖｔとして設け、原点信号受光部３２ｚの出力が規定値Ｖｔよりも大きな信号レベルとなる最初の位置から、原点信号受光部３２ｚｂの出力が規定値Ｖｔを超えてから規定値Ｖｔよりも小さな信号レベルとなる最初の位置の間に、原点検出の有効領域を設け、有効領域内で原点検出信号を発生させる。 （もっと読む）

【課題】検出対象の回転位置及び直線位置が測定可能な、且、小型化及び製造コスト削減が可能な、直動回転エンコーダ、直動回転モータ及び直動回転モータシステムを提供すること。
【解決手段】この直動回転エンコーダ１００は、駆動軸ＡＸ周りに回転可能で且、直線移動可能な検出対象２１の回転及び直線移動に追従可能な直動回転部１１０と、直動回転部の表面１１１に設けた、駆動軸までの距離が一定でありかつ駆動軸方向の位置が直動回転部の１回転内で１周期以上変化する形状を有するリング状のトラックＴと、トラックに対向してそれぞれ固定配置され、トラックまでの駆動軸に沿った距離Ｌ１〜Ｌ４に応じた検出信号Ｇ１〜Ｇ４を検出する検出部Ｓ１〜Ｓ４と、検出信号に基づいて、検出対象の駆動軸方向の直線位置及び駆動軸周りの回転位置を特定する位置特定部１２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】低コストで高分解能な光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】本発明の光学式エンコーダは、発光素子と、前記発光素子からの発散光束を透過または反射させて空間的かつ周期的に複数の光束に分割するスケール格子と、複数の受光素子を備え、前記スケール格子からの前記複数の光束を対応する受光素子に入射するように構成された受光素子アレイと、前記スケール格子と前記受光素子アレイとの間に配置され、該スケール格子の前記発光素子に対する相対移動に従って、該受光素子アレイに入射する前記複数の光束が互いに位相差を有して周期的に変調するように構成された光マスク格子とを有する。 （もっと読む）