【課題】検出ヘッドのアライメント調整が容易な光電式エンコーダ及びそのアライメント調整方法を提供する。
【解決手段】光電式エンコーダは、測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、このスケールに対して相対移動可能に配置され、スケールに光を照射する照射部、並びにスケールの回折格子で反射または透過された光を、それぞれ異なる位相において受光する複数の受光部を備えた検出ヘッドと、この検出ヘッドの受光部からの受光信号を処理して２相信号を生成する信号処理装置とを備える。信号処理装置は、２相信号のリサージュ半径に対応したアライメント調整用のモニタ信号を算出することで、前記スケールに対して前記検出ヘッドを静止させた状態で該検出ヘッドのアライメント調整を可能とする。 （もっと読む）

【課題】検出精度を向上させることができるエンコーダ、光学モジュール及びサーボシステムを提供すること。
【解決手段】複数の反射スリットが測定軸に沿って並べられたスリットアレイＳＡ１，ＳＡ２と、スリットアレイの一部に対向し測定軸Ｃ上で相対移動可能な光学モジュール１３０とを備え、光学モジュールは、スリットアレイに光を照射する点光源１３１と、スリットアレイと平行な面内において測定軸と垂直な幅Ｒ方向で点光源に対してオフセットした位置に配置され、点光源から照射されて反射スリットで反射された反射光をそれぞれ受光する複数の受光素子が測定軸に沿って並べられた受光アレイＰＡ１，ＰＡ２とを有し、複数の受光素子は、測定軸方向で点光源に近い受光素子ほど幅方向の長さが短い形状をそれぞれ有し、幅方向における点光源と反対側の端部Ｅｎが測定軸に沿った位置になるように並べられる。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を維持しつつ、小型で、製造コストの低いエンコーダ等を提供する。
【解決手段】エンコーダユニット４０は、主動歯車５０と、主動歯車５０に噛み合っている従動歯車６０、７０とに形成された光学トラック５４，６４，７４それぞれからの光に基づいて、シャフト３０の回転数を検出する。したがって、いずれの従動歯車６０、７０も主動歯車５０に直接噛み合っていることから、歯車のバックラッシュの累積等による信頼性の低下を防ぐことができるとともに、エンコーダユニット４０及びモータユニット１０を小型にできる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、回転体の相対回転角および絶対回転角を検出することができる光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】相対回転角検出部２２は、相対回転角検出用受光部２０からの出力信号を受けて、コードホイール１の透過領域としての光オン部１１ａ，１１ｂおよび遮断領域としての光オフ部１２からの光量の相違に基づいて、コードホイール１の相対回転角を検出する。一方、絶対回転角検出部２３は、絶対回転角検出用受光部２１からの出力信号を受けて、コードホイール１の第１の領域としての第１光オン部１１ａおよび第２の領域としての第２光オン部１１ｂからの光量の相違に基づいて、コードホイール１の絶対回転角を検出する。 （もっと読む）

【課題】格子プレートの位置測定システムに干渉する汚染物により誤った測定が行われる可能性が低減された液浸リソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】装置は、バリア１００が使用され、汚染物（例えば、液滴及び／又は微粒子）は格子５０又はセンサ２０に接触することが防止される。バリア１００に付着するいかなる汚染物も放射源からの放射ビームが格子５０上で合焦する焦点面から十分に遠いように配置されているので、汚染物は測定に干渉しない。ある実施形態では、表面弾性波を用いて格子５０又はセンサ２０の表面から汚染物が除去される。 （もっと読む）

【課題】経済的で頑丈であるとともに設置しやすく高分解能な光学式エンコーダおよびその読取ヘッドを提供すること。
【解決手段】２つの部材間の相対位置を測定する光学式エンコーダは、スケール格子と、この格子を照らす第１波長光源を備える読取ヘッドとを備える。格子はスケール光を出力し、変位する周期的強度パターンを第１波長で形成する。読取ヘッドは複数の空間位相検出器を備え、空間位相検出器は、周期的な空間フィルタと、第１波長周期的強度パターンから生じる光を受光し、第２波長光を出力する蛍光体層と、この第２波長光を受光・感知する光検出素子とを備える。光検出素子は、第１波長周期的強度パターンの空間フィルタ処理後のパターンに対応する第２波長光を受光し、当該空間位相検出器に対する空間位相を示す信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】偏光コード化されて位相のずれた走査検知信号を生成し、そして出来るだけ簡単に構成されている光学式位置測定装置を提供する。
【解決手段】少なくとも一つの測定方向に沿って互いに相対的に可動で配設されている基準尺と走査検知プレートの、相対位置を検出するための光学式位置測定装置に関するものである。光源から発光された光束が第一格子により、偏光状態を互いの間で直角に方向付けできる少なくとも二つの分光光束に分割される。その分光光束が、再び一緒にされて一つの合成光束になり、その合成光束から検知ユニットにおいて、移動に関係する複数の走査検知信号を生成することができる。分光光束の光路に偏光手段が配設されており、それに入射する分光光束に対するその偏光作用を、基準尺の運動自由度に沿って偏光周期を使って周期的に変更でき、そのとき偏光手段の偏光周期が第一格子の目盛周期より大きい。 （もっと読む）

【課題】精度の点で有利なアブソリュートロータリーエンコーダを提供する。
【解決手段】第１軸の周りに一定の周期で複数のマークが配列され第２軸を回転中心として回転するスケールと、前記周期よりも小さいピッチで配置された複数の光電変換素子によって複数のマークの中の一部のマークを検出する第１検出器及び第２検出器のそれぞれから出力される周期信号に基づいて第１検出器の位置におけるスケールの絶対回転角度を算出する算出部と、を備える。前記算出部は、第１検出器から出力された周期信号の振幅を量子化することによってデータ列を生成し、該データ列を第１角度データに変換し、第１検出器及び第２検出器から出力された周期信号の振幅をそれぞれ規格化し、該振幅が規格化された周期信号を平均化し、該平均化された周期信号の位相から第１角度データよりも最小単位が小さい第２角度データを算出し、第１角度データと第２角度データとを合成する。 （もっと読む）

【課題】マークが円筒面に形成されたアブソリュートロータリーエンコーダで計測精度の点で有利なものを提供する。
【解決手段】円筒面に複数のマークが一定の周期で周方向に沿って配列された回転する円筒体、前記円筒面に光を射出する光源、前記周期よりも小さいピッチで配置された複数の光電変換素子によって前記複数のマークの中の所定の数のマークを検出する検出器、前記検出器の出力に基づいて前記検出器の位置における前記円筒体の絶対回転角度を算出する算出部、前記検出器は前記光源と前記円筒面と前記検出器との幾何学的配置に起因して前記円筒面における前記所定の数のマークの領域が前記検出器に歪んで投影されることによって周期が不均一にされた前記所定の数のマークの信号を出力する。前記算出部は補正データを用いて前記所定の数のマークの信号を補正し前記補正された前記所定の数のマークの信号を用いて前記円筒体の絶対回転角度を算出する。 （もっと読む）

【課題】受光面積を増大することで反射光を有効活用できるようにする。
【解決手段】インクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒを、光源１３０を間に挟んで回転ディスク１１０の円周方向に分割して配置し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを、光源１３０に対し回転ディスク１１０の半径方向における外側及び内側の両方に配置する。これにより、第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２については連続して配置しつつ、光源１３０の周囲を４方向から囲むようにインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒとアブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを配置することができる。 （もっと読む）

【課題】 走査方向の依存性が小さくＡ相もしくはＢ相信号に同期した原点検出を安定して行うことができ、変位検出に用いられるエンコーダを提供する。
【解決手段】 発光部２１、３１から出射された光をスケール４に投影し、その反射光の回折パターンを検出する検出部２２、３２と、当該検出部の信号をエンコーダ信号として処理する信号処理回路とを備え、エンコーダ信号は、移動方向を示すために互いに９０度位相のずれた位置信号であるＡ相信号及びＢ相信号と電源をオフ後、再度電源をオンした時などに原点位置を検出するＺ相信号からなる。スケール４の内、Ｚ相信号を形成するＺ相スケール４１には光反射領域及び光透過領域の２領域からなるベタパターンを用い、Ｚ相信号はＺ相スケール４１から形成されたＺ相出力信号をデジタル化して得られるパルス状信号であり、スケール４との間の相対移動量から対象物の変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】受光面積を増大することで反射光を有効活用できるようにする。
【解決手段】インクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒを、光源１３０を間に挟んで回転ディスク１１０の円周方向に分割して配置し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを、光源１３０に対し回転ディスク１１０の半径方向における外側及び内側の両方に配置する。これにより、第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２については連続して配置しつつ、光源１３０の周囲を４方向から囲むようにインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒとアブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを配置することができる。 （もっと読む）

【課題】交差する二つの基準尺を備えた光学式位置測定装置を、二つの基準尺間の走査検知間隔を追加して測定できるようにする。
【解決手段】走査検知尺が二つの方向Ｘ，Ｙの第一または第二方向で、基準尺が両方向のそれぞれ別の方向で延伸しており、基準尺が第一および第二方向に対して直角な第三方向Ｚで、走査検知尺に対し走査検知間隔ｄだけオフセットして配設され、さらに光源ＬＱを備え、その光が走査検知尺Ａと基準尺Ｍの交点で走査検知尺Ａを通過し基準尺Ｍに当たって、走査検知尺Ａに向かって戻りディテクタに到達し、光が走査検知尺Ａと基準尺Ｍの光学的機能構造において回折により異なった分光に分割されて再び一緒にされ、第一方向Ｘで走査検知尺Ａと基準尺Ｍ間が移動する時に、分光の干渉によりディテクタで周期的な信号を発生する。そこで、走査検知尺Ａと基準尺Ｍ間の走査検知間隔ｄが変化する時に同じく、ディテクタで周期的な信号が発生する。 （もっと読む）

【課題】受光素子ごとの受光光量を均一することで検出精度を向上できるようにする。
【解決手段】反射型エンコーダ１００は、回転軸ＡＸ周りに回転可能に配置され、インクリメンタルパターンＩＰ、及び、第１及び第２シリアルアブソリュートパターンＡＰ１、ＡＰ２が円周方向に沿って形成された回転ディスク１１０と、光源１３０、複数のインクレ用受光素子１４１を含むインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒ、及び、複数の第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２を含む第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを備え、回転ディスク１１０と対向して配置された基板１２０とを有し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕは、基板１２０において、光源１３０を中心とする同心円状の光量分布の等高線ＣＬに沿って各アブソ用受光素子１５１，１５２が配置されている。 （もっと読む）

【課題】ブラッグ波長の推定誤差を低減し、且つＲ値−波長特性を容易に校正することを目的とする。
【解決手段】FBGセンサ部１を含む光ファイバ２と、広帯域光源３と、光サーキュレータ４と、光学フィルタ５と、第一の光電変換器６と、第二の光電変換器７と、第一の出力電圧（ＶＴ）及び第二の出力電圧（ＶＲ）により無次元量のＲ値を算出する処理部９と、予め取得したＲ値と−ブラッグ波長特性を用いてFBGセンサのブラッグ波長を推定する波長推定部１０とを備え、
処理部は、光学フィルタ５の波長における透過率（ＰＴｘ）と、第一の光電変換器６の波長において正規化された第一の光電変換特性（ＬＥＴ）との積、及び光学フィルタ５の波長における反射率（ＰＲｘ）と、第二の光電変換器７の波長において正規化された第二の光電変換特性（ＬＥＲ）との積を用いてＲ値−ブラッグ波長特性を求めるように構成される。 （もっと読む）

【課題】少なくとも一つの走査検知格子および少なくとも一つの測定目盛を有する目盛板の間の相対移動を検出するための光学式角度測定装置を提供する。
【解決手段】その走査検知格子は直線走査検知格子として構成されており、目盛板には測定目盛として、第一および第二組合せラジアル円環格子を含み、そしてミラーを有している。それにより入射する光束が走査検知格子で、まず二つの分光光束に分割される。その分光光束が、第一組合せラジアル円環格子の方向に進み、そこで回折される。その回折された分光光束が、ミラーの方向に進み、そこで第二組合せラジアル円環格子の方向に反射される。その分光光束が、引き続いて第二組合せラジアル円環格子の方向に進み、そこで回折される。その回折された分光光束が走査検知格子の方向に進み、そこで分光光束の重ね合わせが生じる。 （もっと読む）

【課題】検出部取付・調整の際の作業性を向上させる。
【解決手段】測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、このスケールに対して相対移動可能に配置され、スケールに光を照射する照射部、並びにスケールの回折格子で反射または透過された光を受光する受光部を備えた検出ヘッドと、この検出ヘッドの受光部からの受光信号を処理する信号処理装置と、検出ヘッドと信号処理装置との間で信号の伝送を行う信号伝送手段とを備え、信号処理装置又は信号処理装置に接続された情報処理装置にスケールに対する検出ヘッドの取り付け姿勢を示す情報を表示する表示手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】トラック数を増やさなくても高分解能であり、かつセンサの個体差による影響を低減できるアブソリュートエンコーダを提供する。
【解決手段】アブソリュートエンコーダは、信号パターンを読み取り可能な複数のセンサを含み、複数のセンサの位置が異なるように配列されたセンサ集合体と、信号パターンを含む基体と、を含むエンコーダユニットと、センサ集合体の出力から、センサ集合体と基体との絶対位置を算出する演算装置と、を有し、センサ集合体と基体とが相対的に移動すると、複数のセンサの検知範囲を信号パターンが移動する。複数のセンサの検知範囲を信号パターンが移動することで、トラック数を多くする必要がなく、アブソリュートエンコーダの分解能を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】クロストークによる検出誤差を軽減し、移動体の高帯域速度変動を高精度に検出することができる変位計測装置を得る。
【解決手段】移動体に設けた光学的に識別可能なマークを照明する第１の発光部と前記マークを介した光を検出する第１の受光部とを備える第１の検出部と、前記第１の検出部に対して前記移動体の移動方向に所定の間隔を隔てて配置され、前記マークを照明する第２の発光部と前記マークを介した光を検出する第２の受光部とを備える第２の検出部と、前記第１の発光部と、前記第２の発光部を時分割で発光させる時分割発光手段と、前記マークのうち同一のマークを前記第１、第２の検出部で各々検出する第１のタイミングと前記第１のタイミングと異なる第２のタイミングを検出する検出手段と、前記検出手段で得られた前記第１のタイミング及び前記第２のタイミングを用いて前記移動体の移動速度を算出する速度算出手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】検出部から出力される原点パターンの関与を受けた出力電圧信号のＤＣ成分の変動があっても、確実に原点信号の検出位置の再現性の向上が可能となる。
【解決手段】原点を示す原点パターン１１２が設けられたスケール１１０と、スケール１１０に対して相対変位可能である検出ヘッド１２０と、を備えるエンコーダ１００で、検出ヘッド１２０の受光部１２６から出力される原点パターン１１２の関与を受けた出力電圧信号φＺから原点の位置を示す原点信号ＰＺを生成するためのコンパレータ１３２を有する原点位置検出回路であって、出力電圧信号φＺを平滑化するＤＣ電圧検出回路１２８と、出力電圧信号φＺとＤＣ電圧検出回路１２８から出力されるＤＣ電圧信号Ｚｄｃとの差動増幅を行う差動増幅回路１３０と、を備え、差動増幅回路１３０の差動増幅信号Ｚｏｕｔがコンパレータ１３２に入力される。 （もっと読む）