【課題】光干渉信号出力をセンサ信号とするセンサには、構成が簡単で、センサ部分の無電源化が可能なホモダイン干渉方式があるが、安定な動作を得るには、使用部品に対し厳しい工作精度と熱膨張対策が必要であると共に、センサ信号として変動できる位相範囲は±９０度以内に限られていた。
【解決手段】干渉計の入力を周期性光パルスとし、参照光パルスの前半と後半で位相を９０度（直交位相）異なる位相とし、計測光パルスと干渉させることにより、９０度異なる２つの干渉出力値ｉ１、ｉ２を得て、その参照光と計測光の値ｒ、ｓとから、参照光と計測光の位相差をθとして、２つの余弦値ｃｏｓθ１、ｃｏｓθ２を算出して余弦曲線上に位置を定め、その角度θ１、θ２を求めることによって、干渉光の強度変動、位相動作点変動の影響を除外するとともに、１周期前との角度の差分を積算して、センサ出力とすることにより、センサ信号として変動できる位相範囲が、±９０度（半波長）を超えることを許容する光ファイバセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】光学式エンコーダにおいて、スケールと受光部とが周期パターンの周期方向に直交する方向に相対変位しても、良好な精度で位置検出を行えるようにする。
【解決手段】エンコーダは、光を反射または透過する光学部が第１の方向に第１の周期で形成された周期パターンを有するスケール２と、該スケールとの第１の方向での相対移動が可能であり、光源１から射出されて光学部を介した検出光を光電変換して第１の周期に応じた変化周期を有する信号を出力する受光部３とを有する。光学部は、第２の方向にて隣り合う複数の部分ｅ〜ｈが互いに第１の方向にシフトしたパターン形状を、第２の方向に第２の周期ｔで有する。光源の第２の方向での幅ｗが、ｗ＝（ａ＋ｂ）／ｂ・ｎｔなる条件を満足する。ｎは自然数であり、光源から周期パターンまでの距離と周期パターンから受光部までの距離との比をａ：ｂとする。 （もっと読む）

【課題】リサージュ信号の検出を停止した場合にも、測定精度の低下を抑制可能なエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダは、スケールと、前記スケールに光を照射すると共に供給される電流に応じて光量を変化させる光源と、前記スケールにより反射された光を受光すると共に位相のずれた２相正弦波状信号を出力する受光部とを備えるエンコーダであって、前記２相正弦波状信号によって形成されるリサージュ波形に含まれる理想的リサージュ波形からの振幅誤差を含む誤差を検出し、検出された誤差を累積演算して新たな補正値とすることで、動的に前記補正値を更新する誤差検出部と、前記振幅誤差に基づく補正値に応じて前記光源に供給する電流を調整する光源駆動処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】安価に光学系の歪みをキャンセルしてスケールの位置情報の検出精度を向上させる。
【解決手段】光電式エンコーダは、発光素子１１と、スケール１２と、レンズ１３と、ＰＤＡ１４と、信号処理演算回路２０とを備える。信号処理演算回路２０は、歪みテーブル２１と、歪み補償回路２２と、信号解析回路２３とを備える。歪みテーブル２１は、例えば予めレンズ１３等の光学系の設計値から歪みシミュレーションによって得られた歪み情報Δｅ_ｉに基づき算出されている。歪み補償回路２２は、歪みテーブル２１を参照すると共に、ＰＤＡ１４の各ＰＤ４１の位置情報に基づいて、各ＰＤ４１の位置ｘ_ｉを仮想的にｘ_ｉ−Δｅ_ｉの位置に配置変更して光学系の歪みを除去し、ＰＤＡ１４からの明暗信号を補正する。位置解析回路２３は、この補正された明暗信号に基づいて、スケール１２の位置を解析する。 （もっと読む）

【課題】エンコーダにおいて、三角関数演算の回数を削減する。
【解決手段】エンコーダは、周期パターン１１が設けられたスケール１０と、スケールとの相対移動が可能であり、周期パターンを読み取って、それぞれ周期パターンに応じた変化周期を有し、かつ互いに位相が異なる複数のアナログ信号を出力するセンサ２０と、該センサから出力された複数のアナログ信号を時分割でアナログ−デジタル変換して複数のデジタル信号を生成するＡ／Ｄ変換部３０と、複数のデジタル信号から位相を検出する位相検出部６０と、スケールとセンサとの相対移動速度と位相検出部により検出された位相とを用いて補正値を算出し、該補正値と位相検出部により検出された位相とから補正位相を算出する補正部７０と、該補正位相を用いて、スケールとセンサとの相対移動方向での位置を求める位置検出部８０とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数の周期パターンに対する検出部による検出周期を切り替えるエンコーダにおいて、位置検出の遅れを回避する。
【解決手段】エンコーダは、第１の周期パターン１１および第２の周期パターン１２が設けられたスケール１０と、該スケールとの相対移動が可能な検出部２２とを有する。検出部２２は、第１の検出状態と第２の検出状態との切り替えが可能であり、第１の検出状態にて第１の周期パターンに応じた第１の信号を出力し、第２の検出状態にて第２の周期パターンに応じた第２の信号を出力する。処理部３０，４０は、検出部から取り込んだ第１および第２の信号の双方を用いて第１の絶対位置を算出する第１の処理を行った後、該検出部から取り込んだ一方の信号を用いて相対移動量を算出する。処理部は、第１の処理において最後に設定した検出状態と同じ検出状態の検出部から一方の信号を取り込む。 （もっと読む）

【課題】製造を容易にしつつ小型化することが可能な、光全周エンコーダ及びモータシステムを提供すること。
【解決手段】回転軸ＡＸ上に位置する発光部１１１が一面側に配置された基板１１０と、基板１１０の他面側において回転軸ＡＸ周りに回転可能に配置され、回転軸ＡＸを中心とし複数の回転スリットＳ２，Ｓ３を有する２つの回転トラックＴ２，Ｔ３を有するディスク１４０と、発光部１１１から照射された光を、ディスク１４０の外周方向のほぼ全域に向けて放射状に導き、回転トラックＴ２，Ｔ３に導く導光部１２０とを有し、導光部１２０は、回転トラックＴ２に間接的に対向する略リング状の照射入光面１２６を有し、該面１２６から回転トラックＴ２に向けて出射するために光を放射状に導くインクレ用第１導光部１２３等と、放射状に導いた光の一部を回転トラックＴ３に導くアブソ用第２導光部１２９３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 遮光手段を用いずに光源からの発散光がパッケージの外界との境界面で全反射して、受光素子に入射することを防止する。
【解決手段】 光線Ｌ０は発光素子２３から出射した光線のうち、境界面５３で屈折して透過し反射スケール２１で反射し、最後に受光領域Ｓ２に導かれる光線群であり、この光路がセンサ信号を得るための有効光となる。光線Ｌａは境界面５３で全反射してパッケージ内を伝搬する光線であり、この光線Ｌａはセンサ信号光とは無関係なノイズ光であり、受光すべきでない光線である。この光線Ｌａが受光領域Ｓ２に入射すると、センサ信号のＳ／Ｎが低下してしまうことになる。また、光線Ｌｂは境界面５３を挿通し反射スケール２１に至ることなく、外方に出射してしまうので、精度等に対する影響は殆どない。不要な光線Ｌａが受光素子２４の受光領域Ｓ２に入射しないように、発光素子２３の発光領域Ｓ１を基準として、受光領域Ｓ２を決定する。 （もっと読む）

【課題】スケールの位置情報を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダ装置は、照射光を射出する光源部と、少なくとも移動方向に光源部と相対的に移動可能であって、照射光が入射され、移動方向に沿って形成されたパターンを有するスケールと、照射光を変調させる変調信号と、変調信号に応じた参照信号とを生成する変調部と、照射光を受光して、受光した照射光に応じた受光信号を出力する受光部と、参照信号を遅延させて遅延参照信号を生成する遅延信号生成部と、遅延信号生成部によって生成された遅延参照信号と受光信号とに基づいて、移動方向におけるスケールの位置情報を検出する位置検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被計測物の絶対位置を高精度に計測可能なエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダ１００は、被計測物とともに移動可能に構成されたスケール１と、異なるピッチのパターンを有するトラック１１と、スケール１に対する相対的な変位を検出して第１および第２の２相正弦波信号を出力する第１および第２のセンサ２１、２２と、第１および第２の２相正弦波信号に基づいて前記第１および第２のセンサ２１、２２に対応する第１および第２の位相をそれぞれ算出する位相演算手段３１、３２、６１、６２と、第１および第２の位相の位相差に基づいて被計測物の粗位置を計測する粗位置計測手段４１と、被計測物の粗位置に基づいて第１および第２の２相正弦波信号に含まれる位相差誤差を補正する補正手段５１、５２と、補正手段５１、５２で補正された第１および第２の２相正弦波信号に基づいて被計測物の絶対位置を計測する位置計測手段７１とを有する。 （もっと読む）

【課題】２次元アブソリュートエンコーダの高分解能化に有利な技術を提供する。
【解決手段】互いに直交する第１方向および第２方向に沿って所定のピッチでマークが２次元配列されたスケールと、第１方向に配列された第１個数のマークを検出し、第２方向に配列された第２個数のマークを検出する検出器と、第１及び第２方向におけるスケールの絶対位置を、検出器の出力に基づいて、それぞれ決定する処理部とを備える。各マークは、第１方向における位置を示すための量子化された第１符号の情報と第２方向における位置を示すための量子化された第２符号の情報とを有する。処理部は、第１個数のマークの検出結果から第１符号列を生成し、第１符号列から第１方向におけるスケールの絶対位置を求め、第２個数のマークの検出結果から第２符号列を生成し、第２符号列から第２方向におけるスケールの絶対位置を求める。 （もっと読む）

【課題】９０度位相差の２つの正弦波信号を内挿演算することによって高分解能で回転位置を検出する光学式エンコーダにおいて、部品を追加することなく容易な手段で光学系の異常を検出することが可能な光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】９０度位相差の２つの正弦波信号をそれぞれ２乗して加算する２乗和演算器と、信号の異常レベルを記録する異常信号メモリと、信号の異常を判定する異常判定器からなり、前記２乗和演算器で求めた演算結果が、前記異常信号メモリに記録した値より下回った場合に前記異常判定器が異常信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】高精度なスケールの位置検出をすること
【解決手段】エンコーダにおいて、パターン列は、移動方向であるＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列されたＸ方向に第１の変調周期Ｐ１と第２の変調周期Ｐ２を有する。信号処理手段３０は、受光素子アレイの出力からピッチＰ１の位相を取得する第１の位相取得手段３２を有する。エンコーダは、領域２３を検出する複数の受光素子１７Ａの出力信号に対して受光素子アレイ上の位置に応じた重みを使用して重み付けをし、重みは、第１の位相取得手段の空間周波数応答のピッチＰ２に対応する空間周波数を含む所定の範囲において、重み付け有の値が重み付け無の値以下となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】エンコーダの低コスト化を図りつつ、エンコーダの信頼性を向上する。
【解決手段】エンコーダ２７は、起動時等にスライダが停止した状態で、独立して点灯される複数の光源を用いて複数の絶対位置を検出し、この複数の絶対位置の差が所定範囲内に収まっているかどうかに基づいてエラーの判定を行うことで、高い信頼性を確保する。これとともに、エンコーダ２７は、起動後は、インクリメンタルスケール５１を用いインクリメンタルエンコーダとして用いられることで、低コスト、及びコンパクトな構成とすることができる。 （もっと読む）

【課題】検出ヘッドのアライメント調整が容易な光電式エンコーダ及びそのアライメント調整方法を提供する。
【解決手段】光電式エンコーダは、測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、このスケールに対して相対移動可能に配置され、スケールに光を照射する照射部、並びにスケールの回折格子で反射または透過された光を、それぞれ異なる位相において受光する複数の受光部を備えた検出ヘッドと、この検出ヘッドの受光部からの受光信号を処理して２相信号を生成する信号処理装置とを備える。信号処理装置は、２相信号のリサージュ半径に対応したアライメント調整用のモニタ信号を算出することで、前記スケールに対して前記検出ヘッドを静止させた状態で該検出ヘッドのアライメント調整を可能とする。 （もっと読む）

【課題】より小型で簡素な３チャネルエンコーダの提供
【解決手段】
光エンコーダが開示される。特に、３つのチャネルの全てに関して単一のトラックを利用する３チャネルエンコーダが開示される。インデックスチャネルは、増分的角度位置を求めるために使用される第１及び第２のチャネルと同じ光トラックで提供される。かくして、より小型で簡素な３チャネルエンコーダが提供される。 （もっと読む）

【課題】検出精度を向上させることができるエンコーダ、光学モジュール及びサーボシステムを提供すること。
【解決手段】複数の反射スリットが測定軸に沿って並べられたスリットアレイＳＡ１，ＳＡ２と、スリットアレイの一部に対向し測定軸Ｃ上で相対移動可能な光学モジュール１３０とを備え、光学モジュールは、スリットアレイに光を照射する点光源１３１と、スリットアレイと平行な面内において測定軸と垂直な幅Ｒ方向で点光源に対してオフセットした位置に配置され、点光源から照射されて反射スリットで反射された反射光をそれぞれ受光する複数の受光素子が測定軸に沿って並べられた受光アレイＰＡ１，ＰＡ２とを有し、複数の受光素子は、測定軸方向で点光源に近い受光素子ほど幅方向の長さが短い形状をそれぞれ有し、幅方向における点光源と反対側の端部Ｅｎが測定軸に沿った位置になるように並べられる。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を維持しつつ、小型で、製造コストの低いエンコーダ等を提供する。
【解決手段】エンコーダユニット４０は、主動歯車５０と、主動歯車５０に噛み合っている従動歯車６０、７０とに形成された光学トラック５４，６４，７４それぞれからの光に基づいて、シャフト３０の回転数を検出する。したがって、いずれの従動歯車６０、７０も主動歯車５０に直接噛み合っていることから、歯車のバックラッシュの累積等による信頼性の低下を防ぐことができるとともに、エンコーダユニット４０及びモータユニット１０を小型にできる。 （もっと読む）

【課題】精度の点で有利なアブソリュートロータリーエンコーダを提供する。
【解決手段】第１軸の周りに一定の周期で複数のマークが配列され第２軸を回転中心として回転するスケールと、前記周期よりも小さいピッチで配置された複数の光電変換素子によって複数のマークの中の一部のマークを検出する第１検出器及び第２検出器のそれぞれから出力される周期信号に基づいて第１検出器の位置におけるスケールの絶対回転角度を算出する算出部と、を備える。前記算出部は、第１検出器から出力された周期信号の振幅を量子化することによってデータ列を生成し、該データ列を第１角度データに変換し、第１検出器及び第２検出器から出力された周期信号の振幅をそれぞれ規格化し、該振幅が規格化された周期信号を平均化し、該平均化された周期信号の位相から第１角度データよりも最小単位が小さい第２角度データを算出し、第１角度データと第２角度データとを合成する。 （もっと読む）

【課題】受光面積を増大することで反射光を有効活用できるようにする。
【解決手段】インクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒを、光源１３０を間に挟んで回転ディスク１１０の円周方向に分割して配置し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを、光源１３０に対し回転ディスク１１０の半径方向における外側及び内側の両方に配置する。これにより、第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２については連続して配置しつつ、光源１３０の周囲を４方向から囲むようにインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒとアブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを配置することができる。 （もっと読む）