【課題】本発明は、傾斜した面に設置することが出来るとともに、小型な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】ケース２１と、このケース２１の内底面に設けたＩＣ２７と、ケース２１の内底面に対して傾斜する傾斜面３１を有する基台２９と、基台２９の傾斜面に設けられるとともにＩＣ２７からの駆動信号により傾斜面に対して平行に駆動振動する振動子とを備え、ＩＣ２７の上面に基台２９の下面を接合する構成とした。 （もっと読む）

【課題】厚さを低減することが可能なセンサーデバイス、このセンサーデバイスの製造方法、このセンサーデバイスを用いたモーションセンサー及びこのモーションセンサーの製造方法の提供。
【解決手段】センサーデバイス１は、シリコン基板１０と、シリコン基板１０の能動面１０ａ側に設けられた第１の電極１１と、第１の電極１１に電気的に接続されて能動面１０ａ側に設けられた外部接続端子１２と、シリコン基板１０と外部接続端子１２との間に設けられた応力緩和層１５と、シリコン基板１０の能動面１０ａ側に設けられた接続用端子１３と、基部２１と基部２１から延伸された各振動腕と接続電極としての引き出し電極２９とを備えたセンサー素子としての振動ジャイロ素子２０と、を有し、振動ジャイロ素子２０が、引き出し電極２９と外部接続端子１２との接続によってシリコン基板１０に保持されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】部品点数の増加や処理負荷の増大を抑え、集積化に好適な物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】物理量測定装置は、測定すべき物理量に応じて、互いに検出軸が異なる検出信号を所与の基準電位を基準に出力する複数のセンサーと、複数のセンサーを構成する各センサーに対応して設けられ、各センサーからの検出信号の高周波数帯域を通過させる、各々がスイッチトキャパシター回路を用いて構成された複数のハイパスフィルターとを含み、複数のセンサーのうち少なくとも１つのセンサーの基準電位と、複数のハイパスフィルターの各ハイパスフィルターを構成する回路の接地電位とが同電位に設定されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサユニットに関し、角速度の検出精度の向上を目的とする。
【解決手段】本発明は角速度センサ素子２をパッケージ１の内部空間に防振部材８を介して懸架する角速度センサユニットにおいて、防振部材８をパッケージ１との接続部８ｃと台座９との接続部８ｄとこれら接続部８ｃ，８ｄ間に位置する懸架部８ｅとに分け、懸架部８ｅの重心位置１２の高さを角速度センサ素子２、台座９および防振部材８における台座９との接続部８ｄからなる複合体の重心位置１３の高さと一致させた構造とした。 （もっと読む）

【課題】外形形状の小型化が可能なモーションセンサーの製造方法及びモーションセンサーを提供する。
【解決手段】モーションセンサーの製造方法は、センサー素子が収納されたパッケージ３０を複数用意する工程と、複数のパッケージ３０を、複数のリードフレーム１０５に個々に接続する工程と、複数のリードフレーム１０５の少なくとも一つのリードフレームのリード１０１部分を曲げる工程と、リード１０１をベース基板としてのリードフレーム５０が有するリード１１ａ〜１１ｄ、４１ａ〜４１ｄの接続面に接続する工程と、リード１１ａ〜１１ｄ、４１ａ〜４１ｄの一部が食み出すように複数のパッケージ３０を封止する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】１つで、複数の検出軸を有する小型の物理量検出装置を提供する。
【解決手段】ＩＣチップ３０は、パッケージ１０の凹部の凹底部分となる第１層基板１１上に設けられたダイパッド１５上に、ろう材２９によって接着・固定されている。また、ＩＣチップ３０に設けられた複数の電極パッド３５と、パッケージ１０の対応するＩＣ接続端子１６とが、ボンディングワイヤー２７により接続されている。ＩＣチップ３０の４つの側面のうち、図中（＋）Ｘ軸側の側面には、ジャイロ振動片２０が、その主面をＩＣチップ３０のＸ軸側の側面と平行に向かせた態様で中継基板４０を介して絶縁性の接着剤３９により接着・固定されている。また、ジャイロ振動片２０は、導電性の銀ペースト４９などにより接着・固定されている。このとき、ジャイロ振動片２０の検出軸は、図中（＋）Ｘ軸方向を向いている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、自己診断機能を有する回路の小型化を実現することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、ＡＤ変換器１３のサンプリン
グ周波数を変化させる周波数可変回路１５と、ＡＤ変換器１３の出力信号に通過帯域を制限するフィルタ１６と、フィルタ１６を通過したＡＤ変換器１３の出力信号におけるノイズレベルの積分値を算出する出力電圧判定回路１７と、を備え、ＡＤ変換器１３のサンプリング周波数を前記フィルタ１６における通過帯域外まで変化させることにより、ＡＤ変換器１３の量子化ノイズレベルを変化させ、当該量子化ノイズレベルの積分値が所定の範囲内にあるか否かを前記出力電圧判定回路１７において判定することにより自己診断を行う電子機器としたものである。 （もっと読む）

【課題】振動子の基部における検出振動アーム用配線における静電結合の寄与による零点温度ドリフトを低減する。
【解決手段】振動型ジャイロスコープ用測定素子は、Ｙ軸検出振動アームに設けられているＹ軸検出側信号電極３０、Ｙ軸検出振動アームに設けられているＹ軸検出側接地電極３１、Ｚ軸検出振動アームに設けられているＺ軸検出側信号電極、Ｚ軸検出振動アームに設けられているＺ軸検出側接地電極、Ｙ軸検出側信号電極に対応して基部に形成されているＹ軸検出側信号配線４０Ｅ、Ｙ軸検出側接地電極に対応して基部に形成されているＹ軸検出側接地配線、Ｚ軸検出側信号電極に対応して基部に形成されているＺ軸検出側信号配線４２Ｅ、およびＺ軸検出側接地電極に対応して基部に形成されているＺ軸検出側接地配線４３Ｅを備えており、Ｙ軸検出側接地配線とＺ軸検出側接地配線とを共通とする。 （もっと読む）

【課題】安定した振動特性と耐衝撃性とを兼ね備えたジャイロ振動片などを提供する。
【解決手段】ジャイロ振動片１０搭載時の中心点Ｇに対して、点対称となる３つの対を成すＴＡＢ基板４の電極リード６ａと６ｂ、６ｃと６ｆ、６ｄと６ｅのそれぞれの幅を、中心点Ｇを通り開口穴７を長辺方向に二等分する中心線Ｐ１、および開口穴７の短辺方向に二等分する中心線Ｐ２の両方に対して線対称の位置関係にあるリード対を同じにして、太い電極リード６ａ，６ｂと細い電極リード６ｃ〜６ｆを混在させて形成した。この各電極リード６ａ〜６ｆの各先端部上面に、ジャイロ振動片１０の略中央部裏面に形成された端子接続部を接合して、ジャイロ振動片１０が接合部以外の部位においてＴＡＢ基板４と接触しないように空隙Ｔを形成しながら支持される構造とした。 （もっと読む）

【課題】低コストでＳ／Ｎ比を向上させる検出装置、物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】発振ループ内の振動子に励振される駆動振動及び測定すべき物理量に対応した検出信号を検出する検出装置は、前記駆動振動及び前記物理量に対応した信号を増幅する増幅回路と、発振ループ内の発振信号に同期して増幅回路の増幅信号を検波する同期検波回路と、同期検波回路の出力インピーダンスを変換するインピーダンス変換回路と、インピーダンス変換回路の出力信号が供給され、第１の検出信号及び第２の検出信号を出力する第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦとを含み、第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦの各々は、スイッチトキャパシターフィルター回路により構成され、第１のＬＰＦのゲインと第２のＬＰＦのゲインとが異なる。 （もっと読む）

【課題】出力負荷容量を揃え、且つ、低コストでＳ／Ｎ比を向上させる検出装置、物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】発振ループ内の振動子に励振される駆動振動及び測定すべき物理量に対応した検出信号を検出する検出装置は、前記駆動振動及び前記物理量に対応した信号を増幅する増幅回路と、発振ループ内の発振信号に同期して増幅回路の増幅信号を検波する同期検波回路と、同期検波回路の出力インピーダンスを変換するインピーダンス変換回路と、インピーダンス変換回路の出力信号が供給され、第１の検出信号及び第２の検出信号を出力する第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦとを含み、第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦの各々は、スイッチトキャパシターフィルター回路により構成され、第１のＬＰＦと第２のＬＰＦは、互いにゲインが異なり、且つ、出力負荷容量とが同一に設定されている。 （もっと読む）

【課題】より高精度に変位量を検出する角速度検出装置を提供する。
【解決手段】角速度を検出する角速度検出装置であって、光源部から射出された光が入射する第１の振動子を備える振動部材と、前記第１の振動子を介した前記光のうち分岐された第１の光と第２の光とを干渉させる光学部材と、前記第１の光および前記第２の光に基づく干渉光を受光する受光部と、前記第１の振動子の回転運動によって生じる前記干渉光の干渉縞の変化をもとに、前記第１の振動子の変位を検出する検出部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの耐衝撃性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力する駆動回路１１と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動する検出素子１２と、前記駆動回路１１と前記検出素子１２とを電気的に接続する導体１３とを備え、前記検出素子１２が基部１２Ａと、前記基部１２Ａに対し水平方向に形成されたアーム１２Ｂと、を有し、前記導体１３が前記検出素子１２における前記基部１２Ａ下面に電気的に接続されており、前記基部１２Ａの周囲には、前記基部１２Ａの水平方向の移動を抑制する緩衝材１４を設けた角速度センサとしたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの耐衝撃性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力する駆動回路（図示せず）と、前記駆動信号が入力されることにより慣性力が検出可能となる検出素子と１１を備え、前記検出素子１１は、基部１２と、前記基部１２にその一端が接続されるとともに前記駆動信号により振動するアーム１３と、前記アーム１３の他端に接続されるとともに前記アーム１３の振動に伴い振動する錘１４と、を有し、前記錘１４の振動方向には前記錘１４と空隙を介して第１の振幅上限部１６が設けられた角速度センサとしたものである。 （もっと読む）

【課題】ずれによってもたらされる直交（振動）成分を低減する。
【解決手段】
駆動軸を有する駆動コンポーネント１０４と、重心を有するぶら下がりセンサコンポーネント１０２と、回転軸をゆうし、これらを連結するヒンジコンポーネント１０６とを備えている。駆動コンポーネントは、駆動方向の決定を行う際に、ぶら下がり軸がぶら下がりセンサコンポーネントの重心及びヒンジコンポーネントの回転軸と交差するように、駆動コンポーネントの駆動軸に対するぶら下がり軸の配置を決定する。ヒンジコンポーネントの位置は、ぶら下がり軸を駆動コンポーネントの駆動方向と平行となるように決定する。 （もっと読む）

【課題】感度の高いジャイロスコープおよび回転検出方法を提供する。
【解決手段】ジャイロスコープ１０は、駆動軸１０２の周りを動くよう駆動されるように構成された構造体１００を含む。構造体はさらに、駆動軸の周りを動きつつ、回転軸の周りの構造体の回転によって生じるコリオリの力に応じて検知軸１０４の周りを動くように構成される。ジャイロスコープはさらに、検知軸の周りの構造体の移動を光学的に測定するように構成された光センサシステムを含む。いくつかの実施例では、ジャイロスコープはＭＥＭＳ（microelectromechanical system）ジャイロスコープである。 （もっと読む）

【課題】補正対象の装置の各機能の駆動条件を制約することなく、メカノイズ等に起因した誤ったレンズ補正動作の防止を可能とする、ぶれ補正装置を提供する。
【解決手段】
ぶれ補正装置は、補正信号ｃに応じて被写体からの光の光軸を補正する補正手段２４、２４ａと、検出対象のぶれを検出し、検出したぶれの量に応じた検出信号を出力する、ぶれ検出手段１００と、ぶれ検出手段が出力する検出信号に基づいて補正信号を生成する補正信号生成手段３０３と、検出信号において所定の周波数帯域の周波数成分を検出する固有振動検出手段３０２と、固有振動検出手段の検出結果に応じて補正信号を生成するように補正信号生成手段を制御する制御手段３２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】プロセスの簡略化および静電引力の対策をともに行って、安価でありかつ高性能な半導体センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１１の三層の半導体層の中央を分断する溝を設けて第１，第２の半導体層１３，１４を形成するという簡易プロセスで製造可能な構造を採用した。さらに空間部１７の底方向隙間１７ｆを確保し、可動ゲート電極１５に対する底方向への静電引力の影響を受けにくくしている。また、可動ゲート電極１５に対する側壁間方向の静電引力も相殺している。従って、可動ゲート電極１５への不要な力を除去して感度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの感度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部１１と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動しコリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子１２と、前記検出素子１２と前記回路部とを電気的に接続する可撓性導体１３と、を備え、前記検出素子１２が基部１２Ａと、この基部１２Ａに接続されたアーム１２Ｂ、１２Ｃと、前記基部１２Ａの裏面に設けられた裏面電極（図示せず）とを有し、前記可撓性導体１３と前記検出素子１２との間には集中接続板１４が介在し、前記集中接続板１４が、その裏面には前記可撓性導体と接続される裏面端子１４Ａを有し、その表面には前記検出素子の裏面電極と接続される表面端子１４Ｂを有する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】角速度センサにおいて、その小型化を図る。
【解決手段】検出素子１１は、基部１２と駆動信号が入力される駆動用電極１３を有し基部１２に接続された駆動用アーム１４Ａ、１４Ｂと、基部１２に接続され検出信号を出力する第１、第２の検出用アーム１５Ａ、１５Ｂとを有し、第１、第２の検出用アーム１５Ａ、１５Ｂは互いに並走するよう形成され、第１の検出用アーム１５Ａには第１、第２の検出電極１７Ａ、１７Ｂが、第２の検出用アーム１５Ｂには第３、第４の検出電極１７Ｃ、１７Ｄが形成され、第１の検出用アーム１５Ａにおいて、第１の検出電極１７Ａは第２の検出用アーム１５Ｂと反対側に形成され、第２の検出電極１７Ｂは第２の検出用アーム１５Ｂ側に形成され、第２の検出用アーム１５Ｂにおいて、第３の検出電極１７Ｃは第１の検出用アーム１５Ａ側に形成され、第４の検出電極１７Ｄは第１の検出用アーム１５Ａと反対側に形成された構成とする。 （もっと読む）