【課題】特定の方向にだけ検出軸を設定した既存のセンサを利用して、容易に前記検出軸の方向を任意の方向に設定して、基板や機器に実装することができるようにしたセンサ用ソケットを提供すること。
【解決手段】 外部端子を有し、特定の検出軸Ｋに関して変化する物理量を検出するセンサ３０を、収容できるケース体１１でなり、隣接する外面が互いに直交する面でなる６面体のソケット１０であって、前記ケース体１１に設けられ、前記センサ３０を収容するための収容部１５と、収容部１５内に露出するように設けられた複数の接続端子２０と、前記ケース体の少なくとも２つの側面２５，２６にそれぞれ露出するように形成した実装端子とを備えており、前記ケース体の収容部の接続端子２０について、その各接続端子が、少なくとも二つの系統に分岐されて、前記ケース体１１外面の前記互いに異なる２つの側面に形成された前記実装端子に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 複数のジャイロをＰＣＢにより構成される検査ボードに載せて検査する際に、ジャイロ単独で検査したのと同等の特性で検査することができる試験方法を提供すること。
【解決手段】 複数のジャイロを検査できるようにそれぞれのジャイロに信号を供給する配線を設けた配線ボードと、前記ボード上の少なくとも前記ジャイロを搭載する位置に設けられた弾性樹脂層と、前記樹脂層上に設けられた前記配線と電気的に接続された接続部とにより構成された検査ボード上に複数のジャイロを載置する工程と、前記複数のジャイロに前記配線を介して駆動信号を供給することにより駆動振動を与えて出力電圧を検出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】互いに垂直な方向に入力される加速度量および角速度量を測定することが可能な一体型加速度計・角速度計システムを提供する。
【解決手段】駆動電圧を用いて質量体が一定の振幅を保つようにし、加速度軸および角速度軸方向の振動信号を検出する一体型加速度計・角速度計と、加速度軸方向の振動信号を取得する加速度軸振動信号取得部と、前記加速度軸振動信号取得部からの受信信号を用いて、一定の振動幅を持たせる加速度軸振動維持制御信号を出力する振幅維持制御部と、前記振幅維持制御部からの電圧信号を受け取り、一体型加速度計・角速度計に印加する加速度軸駆動入力部と、前記一体型加速度計・角速度計から検出された角速度軸方向の振動信号を取得する角速度軸振動信号取得部と、前記角速度軸振動信号取得部からの信号を用いて、一定の振動幅を持たせる信号を出力し前記一体型加速度計・角速度計に印加する力平衡制御部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】回転を抑制する静電気力を低減してより駆動効率の良いアクチュエータ等の、より細かい制御を可能とする揺動体装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、回転軸の回りに揺動可能に支持された可動体１０３を含む。可動体１０３が、厚さ方向に複数の導電性領域２０１、２０３に電気的に分離されており、厚さ方向に電気的に分離された複数の導電性領域の少なくとも１つが、更に電気的に分離された複数の導電性領域１２１、１２２を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明はバルク上に表面技術を用いて作られたピエゾ抵抗平面内での検出を有する共鳴素子に関する。
【解決手段】前記共鳴素子は、少なくとも一つの組み込み部（１２）により前記バルクに接続された共鳴器（１０）と、この共鳴器を励起する媒体（１４）と、ピエゾ抵抗物質（１１）から作られた少なくとも一つの懸架ビーム型歪みゲージを備えている検出媒体と、を備え、各歪みゲージは共鳴器と共に共通平面を有し、前記歪みゲージにより測定される応力を増大させるために少なくとも一つの組み込み部（１２）の外側に置かれた位置で前記ゲージは前記共鳴器（１０）に接続される。 （もっと読む）

本発明は、基材（５、２２、２４、２６）と、少なくとも２つの個体構造体（６１、６２、６３、６４、５００、６００、７００、８００）と、ばね要素（例えば１、２、３、２１、２３、２５）とから構成され、上記ばね要素（例えば１、２、３、２１、２３、２５）によって、上記個体構造体（６１、６２、６３、６４、５００、６００、７００、８００）は上記基材（５、２２、２４、２６）に連結すると共に互いにも連結しており、さらに、力伝播体（例えば５１４、６１４、７１４、８１４）とタップ（例えば５３４、６３４、７３４、８３４）とを備え、上記構成は、上記力伝播体（例えば５１４、６１４、７１４、８１４）によって励起できる少なくとも１つの励起モード（７）と、上記タップ（例えば５３４、６３４、７３４、８３４）によって測定できる少なくとも１つの検知モード（８）とを含むコリオリジャイロであって、上記励起モード（７）及び上記検知モード（８）は閉鎖型であり、これによって、製作公差を考慮する必要がない場合、加速度及び／または振動によって上記励起モード及び上記検知モードにおける外乱励起が引き起こされることがないコリオリジャイロに関する。
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【課題】同期検波回路に入力される変調されたセンサ出力信号波と同期用信号波の位相を一致させることにより、感度を向上させる。
【解決手段】振動センサと、前記振動センサに電気信号を供給する発振回路と、前記発振回路が出力した励振クロック信号を入力し前記振動センサの出力信号との位相差をデジタル信号処理により算出するマイコン内タイミング処理部と、前記振動センサが出力した信号と、前記発振回路が出力し前記マイコン内タイミング処理部で算出した位相遅れで励振クロック信号とを入力し、前記発振回路が出力した信号に同期させて検波する同期検波回路用スイッチとを備えて構成される。発振回路の励振クロックをマイコンに取り込んで前記出力信号波と同期タイミング調整してから前記同期用信号波として前記同期検波回路に入力させて検波する。 （もっと読む）

【課題】検出回路（センサ回路）における初段のＩ／Ｖアンプを高精度に評価（検査）し、かつ、正規の動作状態においても高精度の動作を保障し得る検出回路や物理量測定回路等を提供すること。
【解決手段】物理量トランスデューサ（１１０）からの交流の電流信号が入力される検出用端子（ＴＡ１）と、検出用端子を経由して入力される交流の電流信号を電圧信号に変換する検出用電流／電圧変換増幅回路（ＯＰＡ）と、評価用の電圧信号を前記検出用電流／電圧変換増幅回路に供給する評価用端子（ＴＡ２）と、帰還抵抗（Ｒｓ）との抵抗比が所定値になる抵抗値をもつ入力抵抗（Ｒｆ）と、評価用端子と検出用電流／電圧変換増幅回路の入力ノードとを結ぶ信号経路に設けられる検出回路用スイッチ回路（Ｓ１）と、を設ける。 （もっと読む）

【課題】ジャイロ振動子を固定的に支持している従来の支持機構では、駆動部の振動及び検出部の振動が規制又は阻害されていた。
【解決手段】自己の振動により、与えられた回転に応じて第１の方向にコリオリ力が作用する駆動部と、駆動部に作用するコリオリ力の大きさの検出のためにコリオリ力に応じて第１の方向と同一又は垂直な第２の方向に振動する検出部と、駆動部及び検出部を支持するための支持部とを含む振動子を支持部を介して支持すべく振動子を設置するための基板に設けられており、第１の方向及び第２の方向のうちの少なくとも一つの方向に沿った振動の固有共振周波数が、一つの方向以外の方向に沿った振動の固有共振周波数より低い構成を有する。 （もっと読む）

【課題】より小型化することが可能な角速度検出装置を提供する。
【解決手段】角速度検出装置１０であって、基板１２と、基板１２に固定されている第１基部５０ａ〜５０ｄと、第１基部５０ａ〜５０ｄから基板１２と平行な平面内を第１方向に伸びている第１梁２９ａ〜２９ｄと、第１梁２９ａ〜２９ｄの先端部に接続されている第１振動部２２ａと、第１振動部２２ａから基板１２と平行な平面内を第１方向と略直交する第２方向に伸びている第２梁２６ａと、第２梁２６ａの先端部に接続されている第２振動部２０と、第１振動部２２ａから第２方向に伸びている第３梁２６ｄと、第３梁２６ｄの先端部に接続されている第３振動部２１を有しており、第２振動部２０の第１方向における共振周波数が、第３振動部２１の第１方向における共振周波数より高いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】変位部がベース層に貼り付くことが防止されているとともに、検出感度が高い力学量検出装置を製造する方法を提供する。
【解決手段】力学量検出装置を製造する方法であって、積層基板の格子状に配列されている複数個の微小領域内の活性層を犠牲層に達するまでエッチングする活性層エッチング工程と、活性層を除去した部分から犠牲層を等方性エッチングする犠牲層エッチング工程を有しており、活性層エッチング工程では、４つの微小領域で囲まれる囲み部分の中心から微小領域までの最短距離が、一部の囲み部分において長く、他の囲み部分において短いという関係を満足しており、犠牲層エッチング工程では、拡大囲み部分の裏面ではベース層から突出するとともに活性層に達しない突出部が残存するとともに、拡大囲み部分以外の変位部と梁の裏面では犠牲層が除去されるエッチング時間で犠牲層をエッチングする。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波が摂動錘で反射・散乱されることを抑制し、信号／ノイズ比の高い弾性表面波式角速度センサを提供する。
【解決手段】摂動錘６を絶縁材料により構成することで、摂動錘６と圧電基板３との界面が等電位に固定されないようにする。これにより、電気的な不連続を減少させることが可能となり、音響インピーダンスの不連続を減少させること、好ましくは無くすことが可能となる。したがって、摂動錘６による弾性表面波の反射・散乱を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム８の一端が支持部１２にて支持され、２つの第１アーム８の他端が第１固定部４に連結され、第２アーム１０の先端部に錘部が連結され、第１固定部４は固定アーム７にて第２固定部６と連結され、第１アーム８をＸ軸方向に配置するとともに第１固定部４にはＸ軸方向のみに弾性変形する第１弾性部９を設け、第２連結部である固定アームをＹ軸方向に配置するとともに第２固定部６にはＹ軸方向のみに弾性変形する第２弾性部１１を設けた構成である。 （もっと読む）

本発明は、検知のためにセンサーが回転される、回転Ωを検知するための回転速度センサーであって、前記センサーは、基材、及び基材表面の上側のｘ−ｙ平面に、実質的に平面状に存在する駆動−及び検知構造を有し、駆動−及び検知構造は、駆動質量（４）と検知質量（３）を有し、これらは、検知構造の中心（Ｚ）から異なる間隔で、中心（Ｚ）の回りに対称的に配置され、そして、その振動モードは、部分的に相互に伝えられることが可能であり、及び部分的に分離され、回転Ωは、検知質量の、駆動−及び検知構造の平面からの傾きを検知することにより検知される回転速度センサーに関する。そして本発明は、両質量（３、４）の内、前記中心に対して、より大きな間隔を有する側のものは、コリオリの力の影響下に、前記平面からの傾斜が可能であり、及び結合手段（７）によって基材に結合され、これにより、前記傾きの戻り動作が、前記結合手段によって補助される、ことを特徴とする。本発明の結合手段により、センサーの、従属する環境作用に対する構成の強さが改良される。 （もっと読む）

【課題】ジャイロセンサの構造および回路を複雑にすることなく、振動子に与えられた角速度および振動子の回転方向を検出することができる振動型ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】駆動部の駆動信号の位相と検出部の検出信号の位相との位相差に基づいて振動子２０に与えられた角速度を求める振動型ジャイロセンサにおいて、検出部として４つの磁気センサ２２、２４、２６、２８を互いに離間させて２行２列に配列したものを使用し、４つの磁気センサの配列体の対角線に沿って振動子を振動させつつ、４つの磁気センサの差分信号を検出するとともに、４つの磁気センサの中間部における前記差分信号のゼロクロス点の、４つの磁気センサの間の中心時間点に対する正負に基づいて、振動子の回転方向を検出する。 （もっと読む）

【課題】振動センサをオン状態としたから時間の経過に伴って発生する時間変動ドリフト成分を補正することができるセンサドリフト補正装置を提供する。
【解決手段】発振部２２を含むセンサ本体と、該センサ本体の出力信号を検出する信号検出部７とを有する振動型センサ１と、前記発振部２２の駆動信号が入力され、少なくとも前記振動型センサ１で発生する時間の経過に伴う時間変動ドリフト成分を発生させるドリフト成分発生部３０と、前記時間変動ドリフト成分を前記信号検出部で検出される検出信号から除去するドリフト除去部５０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図った複合センサを提供することを目的とする。
【解決手段】コリオリ力に起因して撓む第２アーム４に形成した角速度検出部と、錘部１１の可動に起因して撓む第１アーム２に形成した加速度検出部とを有する検出素子１を備え、検出素子１は、相互作用を抑制する抑制層を介在させて積層した圧電層と歪抵抗層とを設け、角速度検出部は、コリオリ力に起因して撓む第２アーム４の状態変化を圧電層で検出して角速度を検出し、加速度検出部は、錘部１１の可動に起因して撓む第１アーム２の状態変化を歪抵抗素子３０で検出して加速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】センシング部の厚み程度の寸法で回路部も設けることにより小型かつ低背化することを可能にしたセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ基板１は、支持部１１に対して相対的に可動である可動部１２を備える。可動部１２は変位方向の一面側において撓み部１３を介して支持部１１と連結され、センサ基板１には可動部１２の変位を電気量に変換するセンシング部Ｄｓが設けられる。また、可動部１２の変位方向の他面側にはセンシング部Ｄｓと協働する回路部Ｄｃが集積回路として形成される。可動部１２には変位方向の両面間で貫通する貫通孔配線１５が形成され、貫通孔配線１５の一部が回路部Ｄｃに電気的に接続される。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの第１の電極（１００）および少なくとも１つの第２の電極（２００）を有する少なくとも１つの直交補償構造（２５）を備え、第２の電極は第１の電極面（２１０）および第２の電極面（２２０）を有し、第１の電極面（２１０）および第２の電極面（２２０）は相互に対向して配置されており、第１の電極（１００）は第１の電極面（２１０）と第２の電極面（２２０）との間の中間空間（３００）に配置されており、少なくとも１つの第１の電極面（２１０）および／または第２の電極面（２２０）は拡張部にわたり第１の電極（１００）に対して異なる間隔を有する、角速度センサに関する。本発明は、第２の電極（２００）の第１の電極面（２１０）および第２の電極面（２２０）は拡張部にわたり実質的に等しい間隔を相互に有することを特徴とする。
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【課題】構造を簡素化することができるセンサ装置を提供する。
【解決手段】ケース１０に備えられたコネクタピン１２およびターミナル１４によって回路基板２０がケース１０に固定される場合、回路基板２０の表面２３側の外縁部２０ａがケース１０の凹部１１の壁面に密接することで、ケース１０の凹部１１の壁面と回路基板２０の表面２３によって密閉された室内１５が構成されている。そして、回路基板２０の裏面２４全体および凹部１１の壁面のうち回路基板２０の裏面２４側にわたって絶縁性、接着性を有するコーティング部材５０が形成されている。 （もっと読む）