【課題】 電磁駆動型角速度センサにおいて、駆動信号が生成する磁場に起因して回転検出用電極に誘導されるノイズを低減する。
【解決手段】
十字型の重り１０２上に、一対の駆動用電極２０１ａおよび２０１ｂを、この重りの中心点１０を通過するＹ軸に対して線対称な位置に配置する。そして、駆動用電極２０１ａと２０１ｂに同位相の駆動信号を供給することで、この駆動信号が両駆動用電極間に生成する磁場の影響を互いキャンセルさせる。これにより、回転検出用電極２０２ａ、２０２ｂ、２０３ａおよび２０３ｂに誘導される電磁誘導ノイズ（駆動信号が生成する磁場によって誘導されるノイズ）を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】横方向の大きな変位を生成できる圧電アクチュエータを備えた半導体装置を提供することを目的としている。
【解決手段】半導体装置は、一端が支持部１３で固定された状態で第１の方向に延設され、残留応力によって上記支持部を起点として反った梁部１１と、上記梁部の他端に接続されて上記第１の方向と交差する第２の方向に延設され、バイアス電圧の印加によって、上記基板と水平で且つ上記第１の方向及び上記第１の方向と逆方向に移動する圧電部１２とを備える。 （もっと読む）

本発明は、周期的な駆動電圧が静電的に印加される振動駆動部（ＫＡ_１，ＫＩ_１，ＫＡ_２，ＫＩ_２）によって、永続的な、周期的な振動（γ（ｔ））を励振する片持ちばね部材（１，２）に加わる偏向を検出することができるマイクロメカニカルモーションセンサに関する。片持ちばね部材（１，２）の共振周波数特性の生起した非直線性を補償するために、既存のカム駆動部（ＫＡ_１，ＫＩ_１，ＫＡ_２，ＫＩ_２）に、通常の駆動電圧信号と補償駆動信号との和（Ｕ_{ＰＫＡ，Ｇｅｓ}，Ｕ_{ＰＫＩ，Ｇｅｓ}）を印加することができる。択一的な実施例では、振動駆動のために使用されるカム駆動ユニット（ＫＡ_１，ＫＩ_１，ＫＡ_２，ＫＩ_２）に対して付加的に、別個の補償カム駆動ユニットを設けることができ、この補償カム駆動ユニットに、非直線性を補償する補償電圧信号が印加される（図３）。
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【課題】 振動子に与えられた角速度を駆動信号と検出信号の位相差に基づいて検出する振動型ジャイロセンサであって、振動子と検出素子とが正しい位置関係になっていない場合でも検出素子の正しい出力を得ることができ、したがって駆動素子と検出素子との位置合わせに高い精度を要さない振動型ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】 複数の検出素子１６を振動子１２と離間して配置するとともに、角速度を求めるに当たり、振動子と複数の検出素子とが見かけ上で予め設定した所定の位置関係になるように、複数の検出素子の検出信号の演算処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 振動子に与えられた角速度を駆動信号と検出信号の位相差に基づいて検出する振動型ジャイロセンサを用い、コイルによりパルス電流によって振動子に振動を与え、この振動子の振動をＭＲセンサなどの電流磁気効果を利用する検出素子で検出して角速度を求める場合に、角速度を精度良く求めることができる技術を提供する。
【解決手段】 振動子３０として永久磁石からなるものを使用し、駆動素子としてコイル４６を使用し、検出素子としてＭＲセンサ４８などの電流磁気効果を利用するものを使用する。また、駆動素子によりパルス電流によって振動子に振動を与え、パルス電流がオフのときの駆動素子の駆動信号の位相と検出素子の検出信号の位相との位相差に基づいて振動子に与えられた角速度を求める。 （もっと読む）

【課題】 振動体装置が備える水晶振動体等の振動体において、入力端子と出力端子間での浮遊容量による出力信号への影響を低減し、出力信号のＳ／Ｎの低下を防止する。
【解決手段】 振動体装置１は振動体ユニット２と回路ユニット３を備える。振動体ユニット２は少なくとも一方が開放した振動体用実装基材2bと、外部の直流固定電位１０と接続される金属体４を備える。この振動体用実装基材2bには振動体2aが実装され、振動体に駆動信号を印加する入力端子2c、振動体2aから出力信号を取り出す出力端子2dを有する。金属体４を外部の直流固定電位１０に接続することによって、入力端子から出力端子へのノイズの侵入を低減する。 （もっと読む）

デバイス・マイクロ構造体（２２）と、ハウジング（３０）と、微結晶粒ゲッタ層（４０）とを備えるマイクロデバイス組立体（２０）に関する。ハウジング（３０）は基体部分（３２）と、蓋（３４）とを有する。デバイス・マイクロ構造体（２２）は基体部分（３２）に取付けられ、蓋（３４）は基体部分（３２）に気密封止される。ハウジング（３０）は、デバイス・マイクロ構造体（２２）の周囲のキャビティ（３８）を区画形成する。微結晶粒ゲッタ層（４０）は、デバイス・マイクロ構造体（２２）の周囲のキャビティ（３８）における真空を維持するために蓋（３４）の内側面（４２）上にある。蓋（３４）は金属で作製されてもよく、少なくとも微結晶粒ゲッタ層（４０）が付着される領域には金属表面を有してもよい。微結晶粒ゲッタ層（４０）は、サブミクロンの結晶粒度を有する。マイクロデバイス組立体（２０）を作製する方法も提供する。
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【課題】所望の特性を有する振動子を容易に得ることができる振動子の共振周波数の調整方法および振動子を提供すること。
【解決手段】除去可能な突起４７Ａが設けられた振動可能な可動部４を振動させることにより駆動する振動子（マイクロレゾネータ１）を用意し、突起４７Ａの少なくとも一部を除去することにより、可動部４の共振周波数を調整する。この調整において、突起４７Ａを除去することにより、可動部４の振動に寄与する質量および／またはバネ定数を調整するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】角速度センサの実装面積と加速度センサの実装面積とを必要とせず、角速度センサと加速度センサとを複合して実装面積を低減し、実装基板の小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
【解決手段】角速度センサと加速度センサを有する複合センサであって、固定基部４に連結した２つの錘部８と、一方の錘部８に一端を連結するとともに、他方の錘部８に他端を連結した第１振動素子１０と、錘部８に一端を連結した第２振動素子１２とを設け、第１振動素子１０および第２振動素子１２を互いに駆動振動させ、錘部８の可動に起因して変化する第１振動素子１０の駆動振動を検知して加速度を検出するとともに、コリオリ力に起因して変化する第２振動素子１２の屈曲振動を検知して角速度を検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】 磁歪素子の寸法変化の阻害、特性低下を招くことなく、高温、高圧に対する耐性、防錆性を確保することのできるコーティングを、容易かつ確実に施すことのできる、磁歪素子の製造方法等を提供することを目的とする。
【解決手段】 電着塗装法によりエポキシ樹脂を磁歪素子本体１１の表面に付着させることで樹脂コーティング層１２を形成し、磁歪素子本体１１に多数形成された空隙に確実にエポキシ樹脂を入り込ませて、磁歪素子本体１１全体を確実にコーティングする。これにより、樹脂コーティング層１２は、２０μｍ程度以内の厚さでありながら、高い耐久性を有し、磁歪素子本体１１の外周縁部においても均一な膜厚とする。 （もっと読む）

【課題】振動子の温度変化に応じて変動するバイアスを精度よく補償した角速度信号ωaを生成し、かつ信頼性の高い簡単な構造の振動ジャイロの提供。
【解決手段】検出信号101bは、振動子1が受ける角速度ωを表す。振動子1の共振周波数は振動子1の温度の関数である。自励発振部2は振動子1の共振周波数で自励振動をする。この自励振動による信号102は、周波数の情報を保持したまま波形整形信号103となり、信号103の周波数は周波数計測部81で計測される。周波数計測部81の出力181は、周波数データであるが、振動子1の温度に対応しているので、温度信号181として出力される。バイアス補償量演算部82は、温度信号181で表される温度データに基づき、バイアス補償量信号108を生成する。アナログ加算器9は、角速度信号107にバイアス補償量信号108を加え、バイアスの補償された角速度信号ωaを生成する。 （もっと読む）

【課題】 一面に可動部を有するセンサチップとしての角速度検出素子と回路チップとが積層され、これら両チップが電気的に接続されてなる角速度センサ装置において、衝撃等により、両チップの電気的接続部の寄生容量が変化するのを極力抑制する。
【解決手段】 一面に可動部としての振動体２０を有するセンサチップとしての角速度検出素子１００と回路チップ２００とが積層されてなる角速度センサ装置Ｓ１において、角速度検出素子１００は、振動体２０を回路チップ２００に対向させた状態でバンプ８０を介して回路チップ２００に積層されており、両チップ１００、２００はバンプ８０によって電気的に接続され、バンプ８０によって振動体２０と回路チップ２００とは離間しており、さらに両チップ１００、２００は電気絶縁性の接着部材４００により接着され、機械的強度が確保されている。 （もっと読む）

【課題】 オフセット電圧の異常を検出する際に遅延が生じることを防止できるセンサ回路を提供する。
【解決手段】 ＨＰＦ４１を用いて入力信号における交流成分の位相が反転したものを抽出し、入力信号とＨＰＦ４１の出力信号とを足し合わせるようにする。これにより、入力信号の交流成分とＨＰＦ４１の出力信号の交流成分とが互いに打ち消しあい、入力信号における直流成分のみを残すことが可能となる。したがって、オフセット電圧の異常の検出に用いられる入力信号の直流成分を抽出することが可能となり、オフセット電圧の異常を検出することが可能となる。そして、このような構成によれば、従来のようにＬＰＦの時定数を大きくしなければならない等の制約を受けないため、オフセット電圧の異常を検出する際に遅延が生じることを防止でき、また、時定数以内で収束するような一時的なオフセット電圧の異常を検出できるセンサ回路となる。 （もっと読む）

【課題】 平面型ジャイロのようなエネルギーの漏洩を防ぎつつ、弾性表面波を利用した小型のジャイロを実現する。
【解決手段】 球状部材１１の表面に弾性表面波を励起し、球状部材１１の回転運動に応じて伝搬方向を変化させた弾性表面波を検出する構成により、従来の平面型の弾性表面波ジャイロとは異なり、反射器を備える必要が無いので、弾性表面波を利用した小型のジャイロを実現できる。また、球状弾性表面波素子により実現するので、平面型ジャイロのようなエネルギーの漏洩を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】電力消費を抑えつつ、可動部の挙動を検出することができる振動子、および、かかる振動子を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動子は、振動する可動部を有し、可動部の振動により駆動するものであって、可動部の挙動を検出する挙動読取手段６を有し、挙動読取手段６は、可動部の電極指４２１に形成され、磁化された磁性体膜４２１Ａと、磁性体膜４２１Ａの近傍に設けられた導体６１と、導体６１に流れる電流を検出する電流検出手段６２とを有し、可動部の振動に伴って導体６１に流れる誘導電流を電流検出手段６２によって検出することにより、可動部の挙動を検出するように構成されている。 （もっと読む）

本発明は主請求項の上位概念の構成を有する回転数センサから出発する。本発明の回転数センサは力伝達手段を有する。本発明の要点は、この手段により伝達される力作用が、X軸に対して平行な駆動素子の振動周波数の整数倍である周波数を有することである。
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【課題】 チャージアンプ回路において、自励発振が始まるまでに要する時間を短縮すると共に、特性の悪化を防止する。
【解決手段】 本発明のチャージアンプ回路１は、ジャイロセンサ２から出力された信号をＣＶ変換する機能を有し、オペアンプ３とフィードバックＭＯＳ抵抗１３とを備えてなるものにおいて、電源投入時には、前記フィードバックＭＯＳ抵抗１３を低抵抗とし、その後、前記フィードバックＭＯＳ抵抗１３を高抵抗とするように構成したものである。この構成の場合、電源投入時には、フィードバックＭＯＳ抵抗１３が低抵抗であるから、自励発振が始まるまでに要する時間を短縮できる。そして、その後、フィードバックＭＯＳ抵抗１３が高抵抗になるから、出力が安定し、特性の悪化を防止することができる。 （もっと読む）

本発明は、振動式ジャイロスコープを備えたヨーレートセンサに関する。この振動式ジャイロスコープは１次閉ループ制御回路と２次閉ループ制御回路の一部分であり、これらの閉ループ制御回路はそれぞれ振動式ジャイロスコープの出力信号を増幅、復調、再変調し、励起信号として振動式ジャイロスコープへ再び供給する。その際、振動を維持するエネルギーの大部分は１次閉ループ制御回路によってもたらされる。この場合、復調および再変調に用いられる搬送波を生成するため、搬送波相互間の位相を調整する手段を備えた周波数シンセサイザが設けられており、この周波数シンセサイザは位相比較回路とともに位相制御ループを成しており、この位相比較回路へ、１次閉ループ制御回路における増幅された出力信号と、前記周波数シンセサイザにより生成された比較搬送波が供給される。
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【課題】従来、特にセンサ感度の補正が必要な物理量センサでは、幅広い範囲でセンサ感度補正と出力零点ドリフト補正とをするためには高精度な回路が必要であった。
【解決手段】検波手段２０の出力信号に対する増幅率を調整することで物理量センサの感度補正を行う可変ゲイン増幅手段６０と、補正信号生成手段３０の出力を可変ゲイン増幅手段６０の増幅率に応じてレベル調整する補正信号調整手段４０とを備え、検波手段２０の出力信号に補正信号調整手段４０の出力信号を加算した信号を可変ゲイン増幅手段６０で増幅する構成とした。この構成により、出力零点ドリフト補正の分解能は、可変ゲイン増幅手段６０の増幅率によらず一定にでき、補正信号生成手段３０に比較的精度の要らない回路を用いても、幅広い範囲の感度およびドリフト補正が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 支持基板とは離間した状態で支持基板上に支持された可動部を有する角速度センサにおいて、作動時における可動部と支持基板とのスティッキングを極力抑制する。
【解決手段】 支持基板１ａと、支持基板１ａ上において支持基板１ａから離れて配置された状態で支持基板１ａに支持され、角速度Ωが印加されたときに支持基板１ａの基板面と水平方向Ｘ、Ｙに変位可能になっている可動部２０、３０と、支持基板１ａ上において可動部２０、３０の周囲に配置され、支持基板１ａに固定されて支持された周辺固定部１０と、を備え、角速度が印加されたときの可動部２０、３０の変位状態に基づいて印加角速度を検出するようにした角速度センサにおいて、作動時には、周辺固定部１０の電位がセンサの各部の中で最高電位となるものである。 （もっと読む）