【課題】物理量センサにおいて、参照信号の信号レベル変動に対するセンサ出力の出力レベル変動を低減し、感度を一定とする。
【解決手段】物理用センサ１は、参照信号９に基づいて駆動する駆動回路４と、この駆動回路４によって駆動されることで外部から印加された物理量を電気信号に変換するセンサ素子３と、このセンサ素子３の出力信号を増幅する増幅回路７とを有する。駆動回路４は、参照信号に基づいてセンサ素子の駆動信号を一定レベルとなるように制御し、増幅回路７、参照信号の変動、又は、駆動回路の駆動信号の変動に対して、出力信号を逆方向に増幅する増幅率特性を備える。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
【解決手段】角速度を検出する角速度検出素子１０と、加速度を検出する加速度検出素子１２と、加速度検出素子１２または角速度検出素子１０から出力される信号を処理するＩＣ１４と、角速度検出素子１０および加速度検出素子１２およびＩＣ１４とを収納するとともに、ＩＣ１４を固定配置したパッケージ１６とを備え、角速度検出素子１０の上方に加速度検出素子１２を配置し、角速度検出素子１０とパッケージ１６とを角速度検出素子１０に設けた連結部１７を介して接続するとともに連結部１７は弾性手段とした構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
【解決手段】角速度を検出する角速度検出素子１０と、加速度を検出する加速度検出素子１２と、加速度検出素子１２または角速度検出素子１０から出力される信号を処理するＩＣ１４と、角速度検出素子１０および加速度検出素子１２およびＩＣ１４とを収納するとともに、ＩＣ１４を固定配置したパッケージ１６とを備え、ＩＣ１４の上方に角速度検出素子１０を配置し、角速度検出素子１０の上方に加速度検出素子１２を配置した構成である。 （もっと読む）

２軸音叉ジャイロスコープは、反対に位置する２つの対を成して同一平面上に配置される４つの開放端音叉を含み、第１の対の開放端音叉は第１の軸に沿って互いに反対の位置に配置され、第２の対の開放端音叉は第２の軸に沿って互いに反対の位置に配置され、第１の軸及び第２の軸は互いに対して垂直である。４つの開放端音叉は、４つの開放端音叉が全て周波数及び位相に関して同じように振動するように、機械的に互いに結合される。 （もっと読む）

【課題】慣性センサのＳＮ比を高めるとともに小型化を可能とする。
【解決手段】ＸＹ面内で一つの基準振動をする駆動構造体１１と、前記駆動構造体１１のＸ軸上およびＹ軸上のそれぞれの原点に対して対称な位置に一組ずつ配置された複数の検出軸を持つ力検出構造体１２（１２−１〜１２−４）とを備え、前記力検出構造体１２が少なくとも一つの基準振動に直交する方向の検出軸を含む複数の検出軸を有することで３軸の角速度および３軸の加速度を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 構造が単純な多軸角速度センサを実現する。
【解決手段】 磁石２６０上に支持部材２５０、台座２４０、板状構造体２３０を配置する。板状構造体２３０は、中央部２３１、可撓部２３２、周囲部２３３からなり、周囲部２３３は台座２４０上に固定される。可撓部２３２は可撓性を有し、中央部２３１はＸＹＺ軸方向に移動可能な状態で懸架される。磁気ヘッド２５１，２２１間に、Ｚ軸方向を向いた磁束が形成される。中央部２３１の上面（ＸＹ平面）には、Ｘ方向およびＹ方向を向いた導電路が形成される。Ｘ方向導電路に電流を流すと、Ｙ方向にローレンツ力が作用し、中央部２３１がＹ軸方向に運動する。このとき、Ｚ軸まわりの角速度ωｚが作用すると、Ｘ軸方向にコリオリ力Ｆｘが作用し、中央部２３１はＸ軸方向に変位し、Ｙ方向導電路にωｚに応じた起電力が発生する。 （もっと読む）

【課題】寄生容量の低減が図れ、生産工程の増加及び得られる製品コストの上昇の抑制を図ることができ、かつ得られる製品についてその設計自由度を大きくできる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】配線部55ｂ2等の配線部が所定の空間80を空けて配置される３条の分離配線７2で構成されるようにマスクが配置されて、単結晶シリコン層76がエッチングされ、さらに、シリコン酸化膜75がＨＦを用いた等方的エッチングによりエッチングされる。このため、分離配線７2と基板10との間には、空気層81が適切に形成され、これに伴い、寄生容量を低減できる。エアブリッジ構造の配線膜を有する従来技術に比して、配線膜形成工程等の実行が不要となるため、工程の複雑化を回避でき、これに伴い、製品の低廉化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】振れ検出手段の励振周波数の選定、振動波モータの共振周波数の選定の自由度を高めると共に、偽信号の影響を受けることなく振れ補正動作を行える像振れ補正装置とする。
【解決手段】振れを検出する振れ検出手段１１０と、振れに起因する像ぶれを補正する像振れ補正手段１００，１０２，１０７，１０８と、振れ検出手段の振動に干渉を与えるおそれのある振動波モータ１０９の駆動タイミングと振れ検出手段の検出タイミングとが重ならないようにしている。 （もっと読む）

【課題】温度および電源電圧の変動に対しても安定した出力信号を提供する。
【解決手段】振動ジャイロセンサ１は、振動子１００と、モニタ回路１１０と、振幅調整回路１１４と、駆動回路１１２と、振動子の検出電極から得られる信号を増幅し検出信号を出力する増幅回路２０２、２０４と、２つ以上の検出信号を差動増幅し差動増幅信号を出力する差動増幅回路２０６と、差動増幅信号をモニタ信号で同期検波し検波信号を出力する同期検波回路２０８と、検波信号のノイズを取りフィルタ信号を出力するフィルタ回路２１６と、環境温度に依存した温度信号を出力する温度センサ２１４と、感度信号に対して、温度補正と電源電圧の変動に対して比例に変動する温度補償型レシオメトリック回路３００と、からなり、振動ジャイロセンサ内のオフセット電圧を調整するオフセット調整回路を有し、静止時電圧とオフセット電圧がレシオメトリック特性となるようにした。 （もっと読む）

【課題】出力用揮発性メモリが故障している場合には、故障状態を認識することにより、常に正確な出力信号を出力可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】電源立ち上げ直後に前記不揮発性メモリ７７から読み出し用揮発性メモリ７８および比較回路７９を介して出力用揮発性メモリ８０に移送された初期データの最初の２ビットが所定のデータであることを確認することにより、出力用揮発性メモリ８０の故障診断をする構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】故障時の角速度センサの出力信号を即座に認識可能な信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】検出回路４６からのアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器６０と、このＡ／Ｄ変換器６０により変換されたデジタル信号を記憶する記憶手段６２と、外部に設けたマスタコンピュータ６８とチップセレクト端子６４、クロック端子６７、入力端子６５および出力端子６６を介して電気的に接続された通信制御回路６３とを備え、前記Ａ／Ｄ変換器６０から出力されるデジタル信号からなる角速度情報に故障情報を付加させる構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】揮発性メモリの故障を検知することにより、常に、正確に揮発性メモリによる補正データの比較をすることが可能な信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】電源立ち上げ時に前記読み出し用揮発性メモリ７８および比較回路７９の初期化動作完了後に前記読み出し用揮発性メモリの初期データを比較回路７９を介して比較することにより、この読み出し用揮発性メモリ７８および比較回路７９の故障診断をする構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】センサ基板とパッケージ用基板との接合工程の歩留まりの向上を図れ、且つ、センサ基板においてＩＣ部のパッドと電気接続用金属層とを電気的に接続する引き出し配線の断線を防止できるセンサ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】センサ基板１と第１のパッケージ用基板２とは、封止用金属層１８，２８同士および電気接続用金属層１９，２９同士が直接接合されている。センサ基板１は、保護絶縁層４０においてＩＣ部Ｅ２のパッド４２が形成された第１の領域と第１の電気接続用金属層１９および第１の封止用金属層１８が形成された第２の領域との間に段差が形成されている。ＩＣ部Ｅ２のパッド４２と第１の電気接続用金属層１９とを電気的に接続するように保護絶縁層４０の表面に沿って形成された引き出し配線４３の膜厚と第１の封止用金属層１８および第１の電気接続用金属層１９の膜厚とが独立して設定されている。 （もっと読む）

【課題】急速充電が可能で、デジタルカメラ等に用いた場合は起動直後から手振れ補正を可能にする慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】ハイパスフィルタ３８のコンデンサ５６を急速充電する急速充電手段を設けており、この急速充電手段は、ローパスフィルタ３６とハイパスフィルタ３８の両方の抵抗４８、５４に各々にスイッチ６４、６６を並列接続するとともに、このスイッチ６４、６６をオンして抵抗４８、５４を介さずにハイパスフィルタ３８のコンデンサ５６を急速充電する手段を設けている。 （もっと読む）

本発明は、微小機械回転速度センサであって、基板（９）、少なくとも１つのばね素子（１１，１１’）により基板（９）に懸架されかつ少なくとも１つの地震質量（３）を含む基礎素子（１）、励振手段（６）及び読取り装置（１５）を持っているものに関する。本発明によれば、ばね素子（１１，１１’）が基礎素子（１）の運動方向に対して運動可能である。 （もっと読む）

【課題】振動型の角速度検出素子を有する構造体をケースに支持してなる角速度センサ装置において、金属バネを用いることなく、金属バネよりもＱ値の低減が可能な防振構造を実現する。
【解決手段】ケース２００を樹脂よりなるものとし、ケース２００の一部を、ケース２００を構成する液晶ポリマーなどの樹脂により形成され構造体１００を支持する支持部２２０とし、この支持部２２０にバネ部２２２を持たせることで検出振動の方向Ｙに沿った方向にバネ性によって振動可能なものとし、支持部２２０の振動により、外部振動に対する振動体２１の防振を行うようにしている。 （もっと読む）

【課題】 ポスト内における断線をなくし、確実に導通をとることができることおよびポストを小型化し、小型で高性能な力学量センサおよびその製造方法を提供することである。
【解決手段】 ジャイロセンサ１は、導電性の材料を用いて、SOI基板２０と同様の厚さからなるポスト４１を形成することで、ポスト４１内の導通を容易にとることができる。また、ジャイロセンサ１は、導電性の材料を用いてポスト４１を形成することにより、SOI基板を用いてポストを形成する場合に必要であったポスト４１内の導通をとるためのV溝を形成することが不要となり、ポストのサイズを小さくすることができるため、ジャイロセンサ１の小型化が可能である。 （もっと読む）

本発明は、慣性センサ装置（２）、特に自動車に組み付けられる慣性センサ装置であって、保持体（６）にセンサモジュール（８）が取り付けられており、該センサモジュールが、マイクロメカニカルに製造された慣性センサと評価回路とを有している形式のものに関する。このような形式の慣性センサ装置において本発明の構成では、センサモジュール（８）が弾性的な連結エレメント（１４）によって、保持体（６）と結合されている。
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【課題】本発明は、消費電力を低減した振動型慣性力検知センサを提供することを目的としている。
【解決手段】振動子４と、この振動子４を振動させるための駆動回路６と、コリオリ力（慣性力）に起因して振動子４に生じる歪を検知するための検知回路８と、駆動回路６および検知回路８に電力を供給するための電力供給回路１０とを備え、コリオリ力を受けていない時、駆動回路６には電力が供給されるが検知回路８には電力が供給されない節電状態に移行するスリープ機能を設けるとともに、節電状態から復帰する復帰回路１２を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】ＤＶＤやＣＤ等のディスクドライブ装置を備えた構成において、ジャイロセンサを削減して、構成を簡単化する。
【解決手段】本発明のカーナビゲーション装置は、地図を表示する機能や、車両の現在位置を検出する機能等を備えたものにおいて、ＤＶＤやＣＤ等のディスクをドライブして該ディスクに記録されている情報を読み取る機能を少なくとも有するディスクドライブ装置を備え、前記ディスクに加わるコリオリ力を検出し、この検出信号をジャイロセンサ信号として利用するように構成したところに特徴を有する。 （もっと読む）