【課題】角速度の計測値が高い応答性と安定性とを有する角速度計測装置を安価に提供する。
【解決手段】角速度計測装置１は、第１のセンサ２（振動ジャイロ）と第２のセンサ３（ガスレートジャイロ）とを備える。第１のセンサ２の検出出力はハイパスフィルタ４に入力され、このフィルタ４の出力がメモリ１０に時系列的に記憶保持される。減算処理手段１１は、フィルタ４の出力ωv'(t)から所定時間ｔsd前のフィルタ４の出力ωv'(t−tsd)を減算する処理を逐次実行し、それにより求められた値を、加算処理手段１２によって第２のセンサ３の出力ωg(t)に逐次加えることにより角速度の計測値が得られる。 （もっと読む）

振動式ジャイロスコープは第１の入力側および第１の出力側を以て１次調整回路の部分であり、該１次調整回路は固有周波数を有する励振信号を該第１の入力側に供給することによって振動式ジャイロスコープを励振し、振動式ジャイロスコープは更に第２の入力側および第２の出力側を以て２次調整回路の部分であり、前記第２の出力側から出力信号が取り出し可能であり、該出力信号は増幅およびＡ／Ｄ変換後に同相成分および直交成分において復調され、該両成分はフィルタリング後に再び復調されかつドライバ信号にまとめられ、該ドライバ信号は前記第２の入力側に供給され、かつ前記同相成分から回転速度信号が導出されるという形式の振動式ジャイロスコープを用いた回転速度センサの監視方法において、前記同相成分および直交成分にテスト信号を付け加え、該テスト信号の周波数はドライバ信号において第２の調整回路の通過領域の外側にある側帯波が生じるようにし、調整ループの通過後の同相成分および直交成分にそれぞれ存在するテスト信号を監視しかつ振幅が前以て決められているしきい値を下回っているときに、エラーメッセージを送出するようにする。
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振動構造（Ｒ）と、該振動構造を共振させるための駆動手段（１、１３）と、該振動構造の振動を検出するためのピックオフ手段（２、６）と、直角位相構成要素ループ（ＱＣＬ）システム（７）および実成分ループ（ＲＣＬ）システム（８）と、自動利得制御（ＡＧＣ）システム（５）および位相ロックループ（ＰＬＬ）システム（２２）と、該ピックオフ手段から信号を受信するため、およびＱＣＬ、ＲＣＬ、ＡＧＣ、およびＰＬＬのシステムに信号を出力するための正弦／余弦ピックオフレゾルバ（３８）と、ＱＣＬ、ＲＣＬ、ＡＧＣおよびＰＬＬのシステムから出力信号を受信するため、および駆動手段に制御信号を供給するための正弦／余弦駆動レゾルバ（３７）と、既知の速度での振動構造の周りで傾斜する、分解された搬送波モードと応答モードの駆動軸とピックオフ軸の均一な変位を制御するために正弦／余弦駆動レゾルバとピックオフレゾルバにＡＤＣ信号を供給するための角変位制御（ＡＤＣ）４０とを有するジャイロスコープのスケール係数変動を測定するための装置。
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振動ジャイロスコープを有する回転レートセンサであって、この振動ジャイロスコープは少なくとも１つの閉ループ制御回路の部分であり、この閉ループ制御回路は振動ジャイロスコープをその固有周波数を有する励振信号を供給することによって励振し、振動ジャイロスコープから出力信号が取り出すことができ、この出力信号から雑音の付随した回転レート信号が導出される、振動ジャイロスコープを有する回転レートセンサにおいて、雑音の付随した回転レート信号は開ループ制御可能な帯域幅を有するローパスフィルタ及びバンドパスフィルタの入力側に供給され、このバンドパスフィルタの出力側は閾値回路を介してローパスフィルタの制御入力側に接続されている。
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【課題】３次元的に可動な可動部を備える加速度センサやジャイロなどの慣性センサについても耐衝撃性を向上させることを可能とし、同時に小型・低背化を実現出来る構成を有する慣性センサを提供する。
【解決手段】固定部と、前記固定部より所定の大きさ分の高さの低い錘部と、前記錘部と前記固定部とを繋ぐ梁部を有するセンサ部と、前記錘部を覆い、前記錘部と所定の大きさの空隙を有して、前記固定部に固着された板状の第１のストッパ部と、前記第１のストッパ部と反対側面に、所定の高さのバンプを介して前記固定部と接続された平面板状の第２のストッパ部を有する。 （もっと読む）

【課題】 基板に振動体を設けてなり当該基板と垂直な軸回りの角速度を検出するようにした角速度検出素子を、回路基板上に接着剤を介して積層してなる角速度検出装置において、接着剤の接着面積を小さくし構造体の共振周波数を低下させるとともに、ワイヤボンディングを容易に可能にする。
【解決手段】 基板１０に当該基板１０と水平な面内にて振動可能な振動体を設け、当該振動体の振動に基づいて基板１０と垂直な軸回りの角速度を検出するようにした角速度検出素子１００を備え、角速度検出素子１００が、回路基板２００上に接着剤３００を介して積層されている角速度検出装置Ｓ１において、角速度検出素子１００の基板１０の上面と回路基板２００とをボンディングワイヤ７０により結線し、接着剤３００を、角速度検出素子１００の基板１０におけるボンディングワイヤ７０の接続部の下方に、部分的に配置する。 （もっと読む）

コリオリの角速度計（１’）において、読み取り振動の周波数を、励起振動の周波数に、電子的に同調させる本発明の方法では、コリオリの角速度計（１’）の共振器（２）に外乱力を以下のように入力する。すなわち、励起振動には基本的に影響を及ぼさず、読み取り振動を、出し振動を表す読み取り信号が対応する外乱成分を含むように変更するように入力する。ここでは、外乱力を、信号ノイズによって読み取り信号に引き起こされる力と定義する。読み取り振動の周波数は、読み取り信号に含まれる外乱成分の強度が最小であるように制御されている。
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本発明は、慣性センサによって供給された、誤っているかまたは紛らわしいデータの識別を支援することにより信頼性改善を支援する、あるレベルの組込み試験を有するＭＥＭＳ振動型慣性センサを提供する。試験信号がＭＥＭＳ振動型慣性センサの１つまたは複数の入力に注入され、この試験信号は、１つまたは複数のＭＥＭＳ振動型慣性センサ出力で試験信号成分を生成する。次いで、この試験信号成分が１つまたは複数の出力で観測される。この試験信号成分が、元の試験信号の少なくとも所定の特性と一致するなら、ＭＥＭＳ振動型慣性センサが適正に動作しており、誤っているかまたは紛らわしいデータを生成していないことがより有望である。実施形態には、試験信号が通常の機能動作中に供給され観測されるものがある。本発明は、慣性センサによって供給された、誤っているかまたは紛らわしいデータの識別を支援することにより信頼性改善を支援する、あるレベルの組込み試験を有するＭＥＭＳ振動型慣性センサを提供する。例示の一実施形態では、試験信号がＭＥＭＳ振動型慣性センサの１つまたは複数の入力に注入され、この試験信号は、１つまたは複数のＭＥＭＳ振動型慣性センサ出力で試験信号成分を生成する。次いで、この試験信号成分が１つまたは複数の出力で観測される。この試験信号成分が、元の試験信号の少なくとも所定の特性と一致するなら、ＭＥＭＳ振動型慣性センサが適正に動作しており、誤っているかまたは紛らわしいデータを生成していないことがより有望である。実施形態には、ＭＥＭＳ振動型慣性センサの通常の機能動作中に試験信号が与えられて観測され、それによってセンサ稼動中の組込み試験を提供するものがある。
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カップリング装置は、平行な軸に沿った慣性センサエレメントフレームの逆位相の運動を許すが、フレームの同位相の運動を実質的に妨げる。カップリング装置は、第一と第二のセンサエレメントフレームとの間に結合されたバーおよびバーを支持する少なくとも１つの支持構造を含む。少なくとも１つの構造は、フレームの下にある基板に結合される。構造は、フレームが実質的に平行な軸に沿って互いに逆位相で動くときには、バーがピボットポイントで回転することを許すが、フレームの同位相の動きを実質的に妨げる。
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振動回転レートジャイロスコープは、つる巻バネの配列により外部の振動から隔離された宙吊り部品を有する。この隔離された部品は、回転レートジャイロスコープの能動部品及びデジタル処理回路の両方を有する。デジタル処理回路は、外部で決定された及び内部で決定された装置固有の較正値の両方のためのデジタル記憶装置を有する。これらの値は、起動時間を向上する起動処理のためのシード値を提供し、及び装置固有の電子的較正のための値を提供する。デジタル処理回路は、全ての出て行くデータをデジタル形式に更に変換する。デジタル通信プロトコルが利用され、較正情報及び出て行くデータを隔離された部品と２つの導体だけを介して送受信する。宙吊り較正で利用される４個のつる巻バネは、これら導体として利用されるので、如何なる追加の線も必要ない。

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２軸振動回転レートセンサーの同期信号処理回路は、アナログ／デジタルのハイブリッド設計を利用し、デジタル化の前に、段階的な合成された補正信号をアナログ領域に追加することにより、寄生直角位相誤差の補正を提供する。誤差補正、振動復調及びデータ変換は、振動体の測定された運動に位相を固定された信号と同期する。同様に、交差軸誤差補正信号は、交差軸信号から直接に合成される。これら正確な位相基準の利用は、信号雑音及び誤差正号（追跡）において幅広い動作条件に亘って種々の利益を提供する。

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復元素子と結合され及び共振逆位相運動で駆動される２つの振動体を有する２軸回転レートセンサーを有し、前記２つの振動体は、等しくしかし単一の軸に沿って逆の振幅を有し振動する。振動構造はまた、振動軸と直交する平面内の振動体の運動を有する。この平面内の２軸での振動体の運動の測定は、２つの直交軸の周りのセンサーの回転に直接応答する信号を提供する。測定及び駆動は、磁性体の利用及び電磁気駆動及び検知トランスデューサーにより実現される。
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本発明は、固定支持材（６）に接続された固定端（５）と、進行波又は定在波が生成される振動構造（４）の振動壁（７）を形成する、好ましくは側壁（７）を有する円筒形の中空シェルと、を備える微細加工振動構造（４）に関する。中空シェルは、振動構造（４）に関する固定端（５）を形成する基部と、自由端（９）とを備える。自然分離領域が、中空シェルの固定端（５）と自由端（９）の間に配置される。
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本発明は、振動子を用いる物理量測定装置において、検出信号のゼロ点温度ドリフトを低減できるような振動子の支持構造を提供する。振動子１Ａをボンディングワイヤ２６によって支持する支持部材２２を提供する。支持部材２２は、振動子１Ａの直下に配置されるべき開口２５が形成されている支持板４０、および振動子１Ａに接合固定されるべき接合端部２９、支持板４０に固定された固定部２６ａ、および開口２５下に存在する折曲部２８を備えているボンディングワイヤ２６を備えている。ボンディングワイヤ２６の支持板４０からの突出開始位置３９と折曲部２８との間隔Ｌ１が、折曲部２８と接合端部２９との間隔Ｌ２の１０％以上である。 （もっと読む）

Ｘ−Ｙ面内に横方向に配置され、フレーム（３４）に間接的に連結されている２つの質量（２２，２４）を有する角速度センサ。２つの質量（２２，２４）は、これらの質量が、Ｚ方向に沿って必ず反対方向に移動するように、リンク装置（２８，５６，５８）により連結されている。Ｙ軸を中心にするセンサの角速度は、２つの質量（２２，２４）をＺ方向に反対位相で振動させ、それによりフレーム（３４）に加わる角振動の振幅を測定することにより感知することができる。好ましい実施形態では、角速度センサは、バルクＭＥＭＳジャイロスコープ・ウェハ（２０）、キャップ・ウェハ（４２）および基準ウェハ（４４）から製造される。他の好ましい実施形態では、ウェハのこのアセンブリは、質量（２２，２４）と周囲環境との間に密封バリアを形成する。
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振動式ジャイロスコープを備えるヨーレートセンサの監視方法であって、該ヨーレートセンサはバンドパスフィルタであり、かつ少なくとも1つの制御回路の一部であり、該制御回路はデジタルコンポーネントおよびアナログコンポーネントからなり、かつ前記振動式ジャイロスコープを、その固有周波数の励振信号の供給によって励振し、前記振動式ジャイロスコープから出力信号が取り出され、該出力信号からフィルタリングと増幅により励振信号とヨーレート信号が導出される形式のヨーレートセンサの監視方法において、冗長的アナログコンポーネントと少なくとも1つのA/D変換器によってアナログ信号を測定し、特徴値をデジタルコンポーネント内で読み出し、それぞれ限界値と比較する。
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本発明は、振動ジャイロスコープを作動するためおよび回転速度信号を導き出すために、可変のデータにアクセスをする複数の回路が設けられている、振動ジャイロスコープを有する回転速度センサに関し、ここでは上記データは、書きこみ可能な不揮発性記憶装置に格納されている。またここでは前記の回転速度センサをスイッチオンした後、不揮発性記憶装置からデータを読み出す手段（５）が設けられている。
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ダイ（１１０）とダイ用のハウジング（２０２）の間の接着強度を増やす方法が記述される。ダイの上にマイクロ電子機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスが形成される。この方法は、接点材料の複数のクラスタ（２２０）をハウジングの底面（２４０）上に堆積させる工程と、ダイをクラスタ上に配置する工程と、ハウジング、クラスタ化接点（２２８）及びダイに熱圧着加工を施す工程と、を含む。

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