【課題】本発明は、慣性センサの小型化を実現することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力する駆動回路部１１Ａと、駆動回路部１１Ａからの駆動信号が入力される検知素子１２と、検知素子１２から応答信号を取り出す検出回路部１３Ａと、検出回路部１３Ａからの応答信号が入力されるとともにこの応答信号をモニタ信号とセンス信号に分離する処理回路部１４Ａとを備え、駆動回路部１１Ａが前記モニタ信号に基づき前記駆動信号の振動振幅を調整し、駆動回路部１１Ａ、検出回路部１３Ａ、及び処理回路部１４Ａの内少なくとも１つに電気的に接続される故障診断回路１５と、故障診断回路１５からの故障検知信号と処理回路部１４Ａからのセンス信号とを時分割方式にてデジタル出力する出力回路部１６とを設けたものである。 （もっと読む）

【課題】加速度を検出するにあたり、検出誤差の発生を抑制し、検出精度の向上を図ったセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】検出素子１は、第１検出用素子１ａと、第１検出用素子１ａを挟んで、互いに対向する第２検出用素子１ｂおよび第３検出用素子１ｃとを有し、Ｘ軸方向において、その一部が対向しないようにずらして配置するとともに、Ｘ軸断面を方形状としＹ軸断面を凹凸形状とした第１Ｘ対向電極〜第４Ｘ対向電極１４ａ、１６ａ、１８ａ、２０ａを設け、加速度検出部は、第１、第２検出用素子１ａ、１ｂの対向電極間の静電容量変化と、第１、第３検出用素子１ａ、１ｃの対向電極間の静電容量変化に基づいて加速度を検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳ組立体が受けるモールド樹脂で発生する応力を少なくし半導体センサ
ー装置の特性を安定化させ、キャップクラックや樹脂クラックが入り難く、また、孔付キ
ャップチップの孔詰まりが起こり難い、小型軽量な半導体センサー装置およびその製造方
法を提供する。
【解決手段】 ＭＥＭＳ組立体の上キャップチップ上面を露出させて樹脂面と同一にする
か凹ませることで、ＭＥＭＳ組立体が受けるモールド樹脂で発生する応力を少なくし半導
体センサー装置の特性を安定化させ、キャップクラックや樹脂クラックが入り難く、また
、孔付キャップチップの孔詰まりが起こり難い、小型軽量な半導体センサー装置を提供す
ることができた。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の変動にともなう基準電圧の変動に関わらず、検出精度が高く、安定した角速度検出装置の出力を得られる角速度検出装置を提供する。
【課題の解決手段】角速度検出装置は、振動子１０１に接続され、この振動子１０１を駆動するとともに振動子１０１に加わる角速度を検出してアナログ検出信号を出力するジャイロセンサ検出回路１０２と、出力されたアナログ検出信号をデジタル信号に変換するA／Ｄ変換器２と、変換されたデジタル信号に基づいて演算処理するデジタル演算処理装置３とを、少なくとも備えてなり、ジャイロセンサ検出回路１０２に対する基準電圧とＡ／Ｄ変換器２に対する基準電圧とを同一の基準電圧生成回路４から供給するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】外部から突発的な振動が与えられた場合であっても、その振動を吸収して、素子部への振動の伝達を防止することができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子１は、駆動系及び検出系の振動腕を備えたセンサユニット１０ａ〜１０ｃと、センサユニット１０ａ〜１０ｃを連結する基部４と、基部４及びセンサユニット１０ａ〜１０ｃを包囲する枠状の第１固定部６と、基部４及び第１固定部６を連結する第１連結腕５ａ〜５ｃと、第１固定部６の周囲の少なくとも一部に配置された第２固定部８と、第１固定部６及び第２固定部８を連結する第２連結腕７ａ〜７ｃとを有する。 （もっと読む）

【課題】消費電流の増大や装置のコスト上昇を招くことなく、信号源が出力する周期信号との同期を適切にとりながら当該信号を処理できる周期信号処理装置を提供する。
【解決手段】ＣＰＵ２に対してタスク切替え信号を出力するタスク切替えタイマ８を備え、ＣＰＵ２は、信号処理タスクにおいてセンサ１０の発振動作に伴い出力される駆動矩形波信号のエッジ検出を行い、そのエッジを検出するとタスク切替えタイマ８にカウントデータをセットし、自身に与えられる割込みの禁止状態を解除してからセンサ信号処理を開始する。タスク切替えタイマ８は、カウントデータに基づく計時を終了する直前にＣＰＵ２に対する割込みを禁止するように設定し、計時を終了するとＣＰＵ２に信号処理タスクを実行させるためにタスク切替え信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】1系統の検出手段で2軸回りの角速度を検出でき、システムの簡素化を図ることを可能にした角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサは、支持基板と、検出用構造体101と、変位検出手段と、第1の駆動部102と、第2の駆動部103とを有する。検出用構造体は、支持基板に少なくとも一次元の自由度をもって可動に支持される。変位検出手段は、検出用構造体の一次元の自由度の方向への変位を検出する。第1の駆動部は、第1の軸回りの角速度155に対して、一次元の自由度の方向へ第1のコリオリ力153を発生せしめる第1の参照振動151を、検出用構造体の全体または一部分に励起する。第2の駆動部は、第2の軸回りの角速度156に対して、一次元の自由度の方向へ第2のコリオリ力154を発生せしめる第2の参照振動152を、検出用構造体の全体または一部分に励起する。 （もっと読む）

【課題】 評価や実装等が容易で生産性が良く、出力ドリフトが小さく、安定した出力が得られ、さらに外部からの衝撃に対しても堅牢で、且つ２軸の角速度および２軸の加速度の検出が可能である安価な角速度および加速度検出装置を提供すること。
【解決手段】 平面的に形成された付加質量部（４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ）を、それぞれ、同じ平面内に形成されたビーム（３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ）で支え、ビーム（３ａ）とビーム（３ｄ）の接続部をビーム（３ｅ）の一端で支え、ビーム（３ｂ）とビーム（３ｃ）の接続部をビーム（３ｆ）の一端で支え、さらに、ビーム（３ｅ）およびビーム（３ｆ）の他端を接続した振動子（１）を、ビーム（３ｇ、３ｈ）を介して外周部の枠体（２）で支持し、励振部および検出部として機能させる振動子を用い、１つの駆動モードを励振し、４つの検出モードを検出することで、２軸の角速度出力および２軸の加速度出力を得る。 （もっと読む）

本発明は、自動利得制御ループを使用した力平衡制御システム及び制御方法に関するもので、質量体の速度信号を制御する自動利得制御ループを使用して振動型角速度計の力平衡フィードバック制御を遂行するように構成され、複雑で雑音に敏感な従来のデジタル回路を簡単なアナログ回路で具現することができ、マイクロ角速度計に適用可能であるのみならず、汎用振動型角速度計または慣性センサー、圧力センサー、温度センサーなどの多様なセンサーに拡張可能な効果がある。
さらに、本発明の自動利得制御ループを使用した力平衡制御システムを多様なセンサーに適用することで、センサーの動的領域、帯域幅、線形性などの性能向上をはかることができる。
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【課題】衝撃印加に強く、信頼性も高い回転率センサおよび多軸検出型回転率センサを提供することを目的とする。
【解決手段】検知素子と回路部が収納され、かつ、検知素子と回路部とが電気的に接続されると同時に、回路部への入出力信号を伝達するための配線が施されたセラミックス製の気密容器２と、この気密容器２の外側表面の一平面に連接され、気密容器２に施された配線と電気的に接続するためのパッド電極３と、さらに気密容器２に貼着されたシリコンゴム４とを備えた構成からなる。 （もっと読む）

【課題】摂動錘の中心と定在波の腹の位置とを一致させることができる角速度センサを提供する。
【解決手段】励振用ＩＤＴ７、８および摂動錘６の間と励振用ＩＤＴ９、１０および摂動錘６の間に調整用電極１７、１８を配置する。そして、調整用電極１７、１８に対して調整電圧を印加することにより、定在波の腹の位置を調整する。これにより、定在波の腹の位置を摂動錘６の中心位置とを一致させることが可能となる。したがって、角速度センサ１の感度低下を防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 複数の励振方向を備えた角速度センサにおいて、励振モードの安定化と小型化を同時に実現する技術を提供すること。
【解決手段】 角速度センサ１１０は、３つ以上の角速度検出ユニット１０１，１０２，１０３を備えている。連結部１２０は、各角速度検出ユニット１０１，１０２，１０３のマス部４０を連結している。角速度検出ユニット１０１は、水平方向（ｙ軸方向）のマス部４０の振動を検出する水平方向検出手段６０を備えている。角速度検出ユニット１０２，１０３は、垂直方向（ｚ軸方向）のマス部４０の振動を検出する垂直方向検出手段８０を備えている。 （もっと読む）

【課題】ＮＥＭＳに適合可能な装置、マイクロコンポーネントまたはナノコンポーネントを提案することである。
【解決手段】測定される作動力の影響が与えられる試験体と、少なくとも１つの吊るされたピエゾ抵抗のひずみゲージを有し、前記作動力の動作の下で試験体によって影響を与えられるひずみを検出する手段と、少なくとも２つのリジッドアームの端部の第１のレベルにおいて少なくとも１つの連結素子によって互いに機械的に連結された少なくとも２つのリジッドアームを有するひずみ増幅セルであって、前記２つのリジッドアームのうちの第１のリジッドアームの第２の端部が、試験体に機械的に連結され、前記２つのリジッドアームのうちの第２のリジッドアームの第２の端部が、基板に固定され、前記連結素子が、前記吊るされたピエゾ抵抗のひずみゲージの第１の端部に機械的に連結されるひずみ増幅セルと、を有する、ピエゾ抵抗検出器を備えた装置。 （もっと読む）

【課題】小型かつ低コストにして制御演算部の負担が小さく、加速度・角速度及び磁気方位を高精度に検出可能なセンサ及びこれを用いた検出装置を提供する。
【解決手段】基体２と、下部封止板３及び上部封止板４と、一端が基体２の内面に連結された弾性梁部５と、弾性梁部５の中心部に取り付けられた重錘部６と、重錘部６の下面に形成された励磁コイル７と、下部封止板３の上面の重錘部６と対向する部分に配置された磁気検出素子８と、重錘部６の上面と上部封止板４の下面とに対向に形成された一対の加振機構９とから複合センサ１を構成する。励磁コイル７への励磁電流の供給及び加振機構９への加振電流の供給を制御し、磁気検出素子８の出力から、互いに直交する３方向についての加速度と角速度と磁気方位を検出する。 （もっと読む）

【課題】加速度センサや角速度センサのようにバルクマイクロマシニング技術により形成したＭＥＭＳセンサとＬＳＩ回路からなる半導体装置の小型化や薄型化と、高感度化を両立しつつ、ＭＥＭＳセンサとＬＳＩ回路からなる半導体装置の実装構造を簡易化する。
【解決手段】ＳＯＩ基板のシリコン層１０２上にＭＩＳＦＥＴや配線を有する集積回路を形成し、ＳＯＩ基板の基板層１００を加工して、構造体１２５を含むＭＥＭＳセンサを形成している。すなわち、ＳＯＩ基板の両面を使用して、１つのＳＯＩ基板に集積回路とＭＥＭＳセンサを搭載する。そして、集積回路とＭＥＭＳセンサとは、ＳＯＩ基板の内部に設けられている貫通電極１２１によって電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】高感度なモーションセンサーとして三軸検知可能であり、また磁界センサーとして使用可能で、簡便な構成で、小型で、かつ低消費電力の複合センサーを提供すること。
【解決手段】傾斜面を有する基板の前記傾斜面に設けられた磁気検知素子と、前記基板上に梁により支持され３軸方向の自由度を有する錘を有する磁界発生部とを備えた複合センサーであって、
前記磁気検知素子により第１の物理量の外部磁界を検知可能であると共に、
前記錘を有する磁界発生部の位置変動による前記磁気検知素子の出力の差に基づいて第２の物理量を検知することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ジャイロ素子の姿勢を反転させた場合と同等に、反転姿勢の角速度を検出できると共に、構成が単純で、重量及び製造コストが小さく、メンテナンス性が良い角速度センサ、及び、該角速度センサを備えた電子機器を提供すること。
【解決手段】面状のエレメント部３と、エレメント部３の中心周りの方向に配置された複数の電極４ａ〜４ｄと、所定の電極に交流電圧を印加してエレメント部３を一次振動させる交流電源１１と、所定の電極に発生する電気信号を検出する検出手段１３と、交流電源１１及び検出手段１３の電極４ａ〜４ｄに対する接続状態を切り替える切替手段１５と、検出手段１３が検出する電気信号の大きさの変化に基づいて角速度を検出する演算手段１６とを備えた角速度センサを提供する。 （もっと読む）

本発明は、マイクロマシニング型の装置であって、少なくとも１つの駆動フレーム（１０，１５，１７）及び少なくとも１つの振動子（２０，２５，２７）を備え、前記振動子（２０，２５，２７）が、前記駆動フレーム（１０，１５，１７）によって包囲される領域（５０）内に配置されており、前記振動子（２０，２５，２７）が、前記駆動フレーム（１０，１５，１７）に機械的に連結されている形式のものに関する。本発明の核心は、前記駆動フレーム（１０，１５，１７）が曲げ振動（１００）するように励振可能である点にある。
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【課題】本発明は、外乱振動を抑制しつつ、角速度検出素子とＩＣとの実装面積を低減させることができ、かつ信号の入出力のための電極パッドの配置数も低減して小型化が図れる慣性力センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の慣性力センサは、振動型の角速度検出素子３２と、この角速度検出素子３２から出力される出力信号を処理するＩＣ３４と、前記角速度検出素子３２およびＩＣ３４を防振手段を介して収納するパッケージ３８とを備え、前記防振手段を、角速度検出素子３２を積層したＩＣ３４を載置する載置部４０と、この載置部４０の外方に分離して配置され、かつ配線パターン４２を介して接続された外方部４４とにより構成するとともに、前記載置部４０を中空保持しつつ前記外方部４４によって前記パッケージ３８に取り付けたものである。 （もっと読む）

【課題】効率よく正確に検査ができる振動型の物理量センサの検査装置及び振動型の物理量センサを提供すること。
【解決手段】振動部を振動させながら振動部に作用する外力に基づいた検出信号を出力する振動型のジャイロセンサの検査装置であって、検査ボード２０に搭載された複数のジャイロセンサ（センサＡ〜センサＤ）に対して電源を供給し、複数のジャイロセンサ（センサＡ〜センサＤ）が搭載された検査ボード２０を回転駆動することによって、複数のジャイロセンサにおける振動子１に外力を与え、動作中の検査ボード２０に搭載され、電源が供給されている状態の複数のジャイロセンサ（センサＡ〜センサＤ）に対して、一つずつ順番に振動子１を振動させて検出信号を出力させ、検出信号に基づいて検査を行う。 （もっと読む）