【課題】より少ない製造工程で製造可能であり、かつ一定の方向について、結晶の配列のずれに対して非常に強く、ずれがあったとしても直交オフセットを最小限にできる共鳴構造を備えたマイクロメカニカルデバイス、共鳴構造、およびマイクロメカニカルデバイスの励起方法を提供すること。
【解決手段】共鳴構造１０を有するマイクロメカニカルデバイス２０であって、共鳴構造１０は、結晶シリコンからなるビーム３と、ビーム３に取り付けられた、少なくとも１つの質量要素４とを備える。共鳴構造１０は、共鳴構造１０の励起運動の大部分が行われる励起面を有し、ビーム３の結晶軸はいずれもビーム３の長手方向に一致しないよう、または、結晶軸のいずれも該励起面の法線に平行とならないように配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微小電子機械システムにおける位置合わせ不良誤差を低減する。
【解決手段】方法は、直交するように向けられた１対の加速度計１２０−１、１２０−２および直交するように向けられた１対のジャイロスコープ１２５−１、１２０−２の一方または両方を備える、少なくとも１対の慣性センサ１２０−１，２、１２５−１，２を有する第１のシリコンウェハセグメント１１０を製作するステップと、加速度計１２０−３およびジャイロスコープ１２５−３の一方または両方を備える、少なくとも１つの慣性センサ１２０−３、１２５−３を有する第２のシリコンウェハセグメント１１５を製作するステップと、少なくとも１対の慣性センサおよび前記少なくとも１つの慣性センサが互いに直交して向けられるように、第１のシリコンウェハセグメントと第２のシリコンウェハセグメントを組み合わせるステップと、第２のシリコンウェハセグメントに第１のシリコンウェハセグメントを接着するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】振動型の角速度検出素子を、配線部材を介して基板に取り付けてなる角速度センサにおいて、配線部材を防振部材として機能させるうえで、小型化と高信頼性との両立を可能にする。
【解決手段】角速度検出素子２０と基板１０とは、金属よりも可撓性が大きく且つ電気絶縁性を有するテープ状の基部３１に複数本の配線３２を設けてなる配線部材としてのフレキシブルプリント基板３０を介して電気的に接続されており、このフレキシブルプリント基板３０における両端部３３が、基板１０に固定され、フレキシブルプリント基板３０における両端部３３の間に位置する部位が基板１０からドーム形状となって離れており、角速度検出素子２０は、フレキシブルプリント基板３０における基板１０から離れている部位に搭載されて、配線３２と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】
ジャイロセンサに電界により移動するイオンを有する伝導体又は電界により移動するイオンの濃度分布変化に伴い形状変形する可動要素を有する伝導体を採用することに着目し、半導体プロセス及びＭＥＭＳプロセスを用いた薄膜体積技術によりジャイロセンサを製作することにより、超小型、安価なジャイロセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】
基板上に電界により移動するイオンを有する固体電解質１２を形成し、固体電解質１２の上面に交流電界印可用電極１４ａ、１４ｂを設け、角速度変化に対応したコリオリ力による固体電解質１２のイオンの移動経路変化を抵抗値の変化として検出する検出手段を備え、抵抗変化値に基づいて角速度を算出する。 （もっと読む）

【課題】ウエーハなどのマザーボードから音叉型ジャイロセンサなどのチップ部品を製造する際に、チップ部品の基板の表面または裏面に設けられる電極に対する引き回し配線を容易にし、電極や配線の設計の自由度を向上させること。
【解決手段】ウエーハに対しカッティングを行って複数の音叉型ジャイロセンサ分の領域を含む所定の形状の複数の部片を形成する第１のカッティング工程、部片に対して音叉の振動に影響を与えない部分に貫通穴を形成する貫通穴形成工程、部片に対してスパッタリングを行い、表面、裏面、および端面に金属膜を形成するスパッタリング工程、部片に対し、貫通穴を二分する位置を含めてカッティングを行って縁に凹部を形成するとともに音叉型ジャイロセンサの外形を形成する第２のカッティング工程、パターニングを行って、凹部においてその端面、表面、および裏面にわたって接続された配線電極を含む所定の電極を形成するパターニング工程からなる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板とシリコン基板との間の接合面に対して十分な電流を均一に流して、接合強度を確保しながら反りをなくした状態で陽極接合された力学量センサを製造すること。
【解決手段】シリコン基板２１に形成された凹部３０内に検出部２３を形成する検出部形成工程と、シリコン基板にスクライブラインに沿った溝部５０を形成する溝部形成工程と、溝部内に収納されると共に溝部の深さより厚さの薄い接合用配線５１を形成する配線形成工程と、接合用配線に電気的に接続された電圧印加領域を接合用配線が形成された同じ基板に形成する領域形成工程と、接合用配線を利用してシリコン基板とガラス基板２０とを陽極接合して接合基板５３を作製する基板接合工程と、接合基板を溝部に沿って切断し、個々の力学量センサに切り分ける切断工程とを備え、基板接合工程の際、電圧印加領域に所定の電圧を印加することで陽極接合を行う力学量センサの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】振動子の材質や形状にかかわらず、また電極のみならず配線の引き回しをも含めたすべての電気的結合を除去するようにして、角速度信号の誤差を低減した。
【解決手段】振動子１と発振器２とで構成された自励発振部３と、この自励発振部３の励振信号に基づく信号を参照信号とした同期検波器６と、自励発振部３の発振をオンオフする第１信号切替部１０と角速度信号生成部４の出力信号をオンオフする第２信号切替部１１と、第１信号切替部１０と第２信号切替部１１とのオンオフを相互に逆相かつ周期的に制御する切替制御部１２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 一つの圧電ジャイロセンサモジュールで２軸または３軸方向の回転角速度の測定が可能な圧電ジャイロセンサモジュールを提供する。
【解決手段】 圧電ジャイロセンサモジュール１００は、回転角速度を検出する振動片１０を内蔵する少なくとも２個または３個の圧電ジャイロセンサ１，２及び３と、圧電ジャイロセンサ１，２，３の姿勢を規定する直方体からなる機枠４０と、圧電ジャイロセンサ１，２、及び３の全てと外部回路との接続を行う回路基板５０、フレキシブル基板６０、端子基板７０と、が備えられ、圧電ジャイロセンサ１，２，３のそれぞれの主面が、前記機枠４０の垂直な２面または３面それぞれに平行になるように配設されている。 （もっと読む）

【課題】 オフセット電圧の異常を検出する際に遅延が生じることを防止できるセンサ回路を提供する。
【解決手段】 交流成分抽出回路４１と第１、第２加算回路４２、４３、言い換えると第１、第２ハイパスフィルタ４５、４６を備え、入力電圧ＶＩＮの交流成分に対して上限しきい値ＶＲＨまたは下限しきい値ＶＲＬを加算することで形成される上限電圧ＶＨＰＦＨおよび下限電圧ＶＨＰＦＬによって正常電圧範囲を規定する。そして、この正常電圧範囲内に反転増幅回路４９の出力電圧ＶＩＮＶ（ｔ）が入っているか否かにより、オフセット電圧の異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】自律移動体用の小型、低出力ナビゲーション級慣性システム用に小型、低出力、低コストのＭＥＭＳ加速度計またはジャイロを提供する。
【解決手段】円筒状リング共振器を用いた振動ジャイロスコープは、円筒状リング共振器を支持する折り曲げられた円筒サスペンションを備えている。折り曲げられた円筒サスペンションは、内筒、外筒及び環帯を備えている。内筒、外筒及び環帯は、同心円的である。内筒の上縁は、環帯の内側の縁に結合されている。外筒の上縁は、環帯の外側の縁に結合されている。これらの構造は、ＳＯＩウェーハ上に駆動、検出電極を含めて半導体製造技術を用いて製造される。 （もっと読む）

【課題】駆動エネルギーを低くする振動ジャイロスコープを提供する。
【解決手段】一実施形態の方法及び装置は、２つの主弾性軸と２つの主減衰軸を含む梁を有する２次元軸対称発振器を設けるステップと、梁の側面に対して約４５度に梁の角を交差して振動させるように、フィードバックを行うための駆動部品及びピックオフ部品として機能する強制部品を有する駆動部品で梁を駆動するステップと、梁を通常モード及び反転モードで振動させるステップを備える。 （もっと読む）

【課題】小型、低コスト低出力のナビゲーション級慣性システムにおいて、不確実さ及び角度の振れが小さいジャイロバイアスが必要である。センサのバイアス及び倍率の不安定さ、熱的モデルの非再現性、又は誤差を引き起こすヒステリシス及び温度勾配等の問題の解決が望まれる。
【解決手段】リング共振器ジャイロスコープは、円筒状リングサスペンションを備えている。円筒状リングサスペンションは、円筒状リング共振器を支持する。円筒状リング共振器は、リングサスペンションの外周に結合されている。 （もっと読む）

【課題】ジャイロバイアスと直角位相の抑制を図る。
【解決手段】一実施形態の方法及び装置は、２つの主弾性軸と２つの主減衰軸を含む梁を有する２次元軸対称発振器を設けるステップと、発振させるように駆動部品で梁を駆動するステップと、第１の期間において、梁の一対の面に垂直な方向において、梁の駆動軸に沿って梁を駆動し、コリオリ力と対をなす振動を、梁の直交する一対の面に垂直な梁の検出軸に沿って検出するステップと、第２の期間中、梁を駆動する駆動軸と検出軸を反転させるステップと、梁のバイアスを零に減少させるステップと、梁の直角位相を零に減少させるステップを備える。 （もっと読む）

【課題】取り付け台に対する振動エネルギーの結合を小さくする必要あり。
【解決手段】一実施形態の装置は、動作可能なように第１及び第２の撓み部にそれぞれ結合された少なくとも第１及び第２の取り付け点を有する梁を備え、その梁は第１及び第２の節点を有し、またその梁は中央領域を有し、中央領域の近傍における質量が改変され、改変された質量は、第１及び第２の節点が第１及び第２の撓み部とほぼ一列に並べられるようになっている。それゆえ、この梁は、振動の基本モードに対して節点で支持される。 （もっと読む）

【課題】 重りを挟んで配置される一対の磁性体間のギャップのバラツキを抑えることにより、安定した検出特性を得ることのできる電磁駆動型角速度センサを提供する。
【解決手段】 センサチップ１の支持体１１を、重り１３よりも厚くして重り１３から上側ヨーク３側に突出させ、この突出端面を、上側ヨーク３の凸状部３１の平面３３に当接させて固着する。下側ヨーク４の凸状部４１の平面４３と支持体１１との間に、該支持体１１の下面に固着したスペーサ９を介在させる。上下のヨーク３，４の凸状部３１，４１の平面３３，４３間に、センサチップ１の支持体１１およびスペーサ９を介在させて、ヨーク３，４間のギャップを一定以上に確保するとともに、重り１３が上下のヨーク３，４に接触することを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 検出部と回路基板とにより挟まれる磁性体に形成される導体貫通用の接続用孔に貫通させた導体によって検出信号等を外部に取り出す構造において、接続用孔による磁気効率の損失を抑えて性能の向上が図られる電磁駆動型角速度センサを提供する。
【解決手段】 センサチップ１の電極と回路基板５とを、これらの間に配された上側ヨーク３に形成した接続用孔３４を貫通する導線５２で接続する構造において、接続用孔３４を、センサチップ１の支持梁１２に対する対向領域か、もしくはこの対向領域から重り１３とは反対側に広がる領域か、もしくはこれら双方の領域にわたって位置する領域のうちの、いずれかの領域に形成し、さらに、回路基板５に一体成形された樹脂製ホルダ部５１に複数の導線５２を埋め込み、このホルダ部５１ごと導線５２を接続用孔３４に貫通させた。 （もっと読む）

振動エレメントならびにこの振動エレメントに設けられたコリオリエレメントを有する角速度センサの駆動及び同時評価のための方法を記述し、この方法は、次の方法ステップを含む、すなわち、振動エレメントの共振周波数に相応する励振周波数によってデジタル駆動信号を発生し、デジタル駆動信号をデジタルアナログ変換し、振動エレメントをアナログ駆動信号によって駆動し、角速度センサの回転によって２つの振動軸に対して垂直に経過する回転軸の周りに生じるコリオリエレメントのコリオリ速度を検出し、このコリオリ速度に比例するアナログコリオリ信号を発生し、このアナログコリオリ信号をアナログデジタル変換し、中間信号を形成するためにデジタルコリオリ信号をデジタル駆動信号と同相で乗算し、角速度センサの角速度に比例する閉ループ制御信号を中間信号に基づいて発生し、閉ループ制御信号をデジタル駆動信号と乗算してこのデジタル駆動信号と同相のデジタル補償信号を算出し、デジタル補償信号をデジタルアナログ変換してアナログ駆動信号と同相のアナログ補償信号を算出し、コリオリエレメントにアナログ補償信号を印加しならびに閉ループ制御信号を出力する。
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【課題】 圧電デバイスの周波数調整の高精度化、及び圧電デバイスの小型化・薄型化を図った圧電デバイス、圧電デバイスの製造方法、及び電子機器を提供する。
【解決手段】 パッケージ３内に圧電素子２が収容された圧電デバイス２０であって、圧電素子２が実装され、電気的に接続されたＴＡＢ基板５と、ＴＡＢ基板５と電気的に接続された駆動用ＩＣ２６と、圧電素子２０を収容する透明材料からなる蓋体１２と、を備え、蓋体１２と駆動用ＩＣ２６とが陽極接合により接合され、圧電素子２が蓋体１２と駆動用ＩＣ２６とで封止されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 電磁駆動型角速度センサにおいて、静電誘導により、駆動電極の電位変動の影響が回転検出用電極に及ぶことで発生する静電誘導ノイズを低減する。
【解決手段】
駆動電極１０１の両端に互いに逆位相の駆動信号を供給し、また回転検出用電極１０２の両端からの誘導起電力の検出を差動アンプ１０４によって差動検出する。さらに振動体である重り１００をＮまたはＰ型のシリコンで構成し、それをアース電位に接続する。これにより、駆動電極１０１の電位変動に起因して、静電誘導効果によって回転検出電極１０２に現れるノイズを抑制する。 （もっと読む）

【課題】 振動型角速度センサにおいて、振動する重りを支持する支持梁の加工精度の誤差に起因して、離調率にばらつきが発生し、それにより角速度の感度にばらつきが発生することを抑える。
【解決手段】 重り３０２を枠構造体３０１に支持する８個の支持梁３０３ａ〜ｄおよび３０４ａ〜ｄにおいて、各支持梁に調整部３０５および３０６を設け、この延出長を調整することで、支持梁３０３ａ〜ｄおよび３０４ａ〜ｄのそれぞれにおけるＸ方向の剛性とＹ方向の剛性との比と、支持梁による支持構造全体におけるＸ方向の剛性とＹ方向の剛性との比とを一致させる。これにより、部分的に支持梁の加工精度に誤差が生じても、それが離調率に及ぶ影響を小さく抑えることができる。 （もっと読む）