【課題】本発明は、角速度センサの感度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部１１と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動しコリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子１２と、前記回路部１１と前記検出素子１２とを電気的に接続する導体１３とを備え、前記検出素子１２が基部１２Ａと、前記基部１２Ａに接続されたアーム１２Ｂ、１２Ｃと、前記導体１３に接続された導体接続部１２Ｄと、前記導体接続部１２Ｄと前記基部１２Ａとを接続する梁１２Ｅと、を有する角速度センサを有する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】シールリングを用いてパッケージに蓋体を溶接する際に、金属成分がキャビティー内に飛散することを防止し、信頼性の高い物理量検出デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る物理量検出デバイス１００は、振動子７０が実装されたパッケージ１０と、パッケージ１０の開口部１１の周囲の上面１６に形成されたシールリング２０と、パッケージ１０の開口部１１の周囲の上面１６であって、シールリング２０の内側に、シールリング２０と離間して形成されたリング状部材３０と、シールリング２０の上面に溶接された蓋体４０と、を含み、リング状部材３０の上面の少なくとも一部は、蓋体４０の下面と離間している。 （もっと読む）

【課題】各センサーの特性を発揮でき、長期的に特性の変動を抑え、小型化および低コスト化を実現する複合センサーを提供すること。
【解決手段】振動型角速度センサー素子７００，８００，９００が減圧封止されているため、振動型角速度センサー素子７００，８００，９００のＱ値を大きくでき、バイアスドリフト特性の優れた角速度を検出できる。また、加速度センサー素子１００は、ダンピング用構造体７６によるダンピング効果により、低いＱ値にでき、過渡応答性に優れた加速度を検出できる。また、パッケージ１３００内を複数の空間に区分する必要がない。したがって、各センサーの特性を発揮でき、長期的に特性の変動が抑えられた、小型化および低コスト化を実現する複合センサー１０００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】角速度の検出精度を高める。
【解決手段】錘と、前記錘を支持する弾性体と、ｙ軸においてはｙ軸の固有振動数に応じた第一振動数で前記ｙ軸に直交するｚ軸においてはｚ軸の固有振動数に応じた前記第一振動数と異なる第二振動数で前記錘を２軸同時に励振する励振手段と、前記ｙ軸において前記錘の変位を検出するｙ軸変位検出手段と、前記ｙ軸と前記ｚ軸とに直交するｘ軸において前記錘の変位を検出するｘ軸変位検出手段と、前記錘の前記ｘ軸の変位から前記第一振動数の成分と前記第二振動数の成分とを離散フーリエ変換によって導出するとともに前記錘のｙ軸の変位から前記第二振動数の成分を離散フーリエ変換によって導出する軸分離手段と、を備える振動型角速度センサ。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】
ｘ軸及び／又はｙ軸及びｚ軸に関する回転運動を測定する、特に３−Ｄセンサとしてのマイクロジャイロスコープであって、基板と、複数の振動マス（４，５）と、前記基板に対して前記振動マス（４，５）を結合するためのスプリングと、前記基板が回転した時にコリオリ力を発生するために、ｘ−ｙ平面上における少なくとも個々の前記マス（４，５）を振動的に往復運動させる駆動要素と、発生したコリオリ力に起因する前記マス（４，５）の変位を検出するためのセンサ要素とを有し、少なくとも個々の前記マス（４，５）は２つのグループに配置されており、両方の前記グループの前記マス（４，５）は、前記駆動要素によって、ｘ／ｙ軸の平面における振動的一次運動を行うように結合的に誘導され、第１のグループの前記マス（４）は、前記ｘ／ｙ平面の外に動くことができるように、前記基板に対して配置されており、第２のグループの前記マス（５）は、前記ｘ／ｙ軸の平面における前記振動的一次運動に垂直な運動を可能にするように、前記基板に対して配置されていることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスが容易で小型化可能、かつ、高精度な慣性センサおよび慣性測定装置を提供する。
【解決手段】基板と、基板上方の圧電膜をパターニングして形成され、基板上に固定されるアンカー部と、圧電膜をパターニングして形成された重錘と、圧電膜をパターニングして形成され、圧電膜上面の櫛型電極を含む第１の弾性表面波共振子を有し、一端がアンカー部に固定され他端が重錘に固定される第１の梁と、圧電膜をパターニングして形成され、圧電膜上面の櫛型電極と同一形状の櫛型電極を含む第２の弾性表面波共振子を有し、一端がアンカー部に固定される第２の梁とを備え、第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子の共振周波数の差を検出することで重錘に加わる加速度を測定可能とすることを特徴とする慣性センサおよびこれを用いた慣性測定装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センサ装置の信頼性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、処理回路部１４Ａ、１４Ｂからのセンス信号を出力する第１の出力端子１５Ａ、１５Ｂと、駆動回路部１１Ａ、１１Ｂ、検知素子１２Ａ、１２Ｂ、検出回路部１３Ａ、１３Ｂ、及び処理回路部１４Ａ、１４Ｂの内少なくともいずれか１つを被故障診断部とし、被故障診断部が正常か異常かを判断するとともに異常と判断した場合には故障検知信号を第２の出力端子１６Ａから出力する故障診断回路１６と、を備え、被故障診断部からの故障検知信号に関する出力が第２の出力端子１６Ａにたどり着くまでの時間が、被故障診断部からのセンス信号に関する出力が第１の出力端子１５Ａ、１５Ｂにたどり着くまでの時間よりも短いセンサ装置としたものである。 （もっと読む）

【課題】それ自体の平面に位置する軸の周りにおける検出を遂行することを可能にする、新規なタイプのジャイロメータータイプの装置を提案することを目的とする。
【解決手段】本発明は、基板に含まれ、−使用されていない平面を画定する少なくとも１つの塊（３、３’、３１、３２、３３）であって、この平面に含まれる回転の第２の軸（Ｚ、Ｈ、Ｈ’）から所定の距離に配置され、前記回転の軸（Ｚ）に垂直なこの平面において振動することが引き起こされることができる塊と、−前記回転の軸に前記塊を接続するための少なくとも２つの接続アームと、−前記アームの少なくとも１つのために、前記回転の軸の周りにおける回転のための前記基板との少なくとも１つの接続部を形成する手段と、−前記回転運動を検出するための少なくとも１つの歪みゲージと、を含むことを特徴とするジャイロメータータイプの装置である。 （もっと読む）

【課題】半導体層に対して良好にトレンチエッチングを行うことができる半導体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体層に複数の方向のパターン１，２のトレンチが交差して形成されている半導体素子を製造する際に、複数の方向のパターン１，２のうち少なくとも１つの方向のパターン１に角度の変化点を１つ以上設けて、少なくとも１つの方向のパターン１を延長した箇所から複数の方向のパターン１，２の交差部をずらす（パターン３，４）ように、半導体層上にマスクパターンを形成する工程と、このマスクパターンを使用して、エッチングにより半導体層にトレンチを形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】共振マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）初期化成功を補償するシステム及び方法、特にＥＳＤによるＤＣオフセットを克服する方法を提供する。
【解決手段】システム２０は、共振センサ２４、駆動デバイス２６、チャージアンプおよび電圧利得回路２８を含む。スタートアップ時に、チャージアンプ及び電圧利得回路は、共振センサから信号を受信し、ＤＣオフセットに関するこの信号を補償するために、駆動に関するクロック信号を生成し、これを用いて、安定した状態の動作モードにおける共振センサを実現する。回路は、受信された信号に関する信号にグリッチを生成するようにトグル切り替えされた複数の利得スイッチを含む。グリッチは、ＤＣオフセットを補償する。受信された信号に関する信号が、リファレンス信号を越えている場合、比較器は、駆動デバイスに関するクロック信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】 基板に垂直な軸周りの角加速度を高感度に検出する。
【解決手段】 回転質量部３は、基板２の表面と隙間をもって対向した状態で配置する。回転質量部３と固定支持部５Ａ，５Ｂの間は回転支持梁４を用いて連結し、回転支持梁４は回転質量部３を回転可能に支持する。また、回転質量部３の中心部３Ａと固定支持部５Ａ，５Ｂとの間には、検出梁６Ａ〜６Ｄを設ける。これにより、角加速度αによって回転質量部３が回転変位したときには、検出梁６Ａ〜６Ｄのピエゾ抵抗Ｒa〜Ｒdが変化するから、ピエゾ抵抗Ｒa〜Ｒdに応じて角加速度αを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】物理量センサが正常に動作するかを簡単な構成で確かめる。
【解決手段】駆動腕部１１Ａ，１１Ｂと検出腕部１２とを備えた振動素子１０と、駆動腕部１１Ａ，１１Ｂを駆動するための駆動信号を第１駆動線Ｄ１及び第２駆動線Ｄ２を介して発生させる駆動回路２３１と、検出腕部１２から検出信号を第１検出線Ｓ１及び第２検出線Ｓ２を介して検出する検出回路２３２と、を含む物理量センサ１であって、第１駆動線Ｄ１と第２駆動線Ｄ２との少なくとも一方を第１検出線Ｓ１及び第２検出線Ｓ２に対して静電結合を発生するように配線した。 （もっと読む）

本発明は、コリオリジャイロを特徴づける方法であって、力トランスミッタ、機械的共振子、及び、励起／リードアウト振動ピックオフを有する上記系の相互作用は、離散化された、微分方程式の連立方程式として表され、上記連立方程式の変数は、力トランスミッタによって機械的共振子に供給される力信号、および、励起／リードアウト振動ピックオフにより生成されるリードアウト信号を表し、上記連立方程式の係数は、リードアウト信号上に力信号をマッピングする一次変換に関連する情報を含んでおり、上記係数は、力信号値、及び、リードアウト信号値を異なる時に測定し、上記連立方程式にそれら力信号、および、リードアウト信号を代入することによって決定され、上記連立方程式は、上記係数に応じて数的に解かれ、上記係数は、コリオリジャイロの回転速度に悪影響を及ぼすコリオリジャイロの望まれないバイアス特性を推測するために用いられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センサ装置の小型化を実現することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、前記故障診断回路１５からの故障検知信号と前記処理回路部１４Ａ、１４Ｂからのセンス信号とを時分割方式にてデジタル出力する出力端子１６Ａを有する出力回路部１６を備え、被故障診断部からの前記故障検知信号に関する出力が前記故障診断回路１５経由で前記出力端子１６Ａにたどり着くまでの時間が、前記被故障診断部からの前記センス信号に関する出力が前記出力端子１６Ａにたどり着くまでの時間よりも短いセンサ装置としたものである。 （もっと読む）

【課題】専用トルク要素を必要とせずに複数の軸に沿って駆動するように構成された振動構造ジャイロスコープにおける同調誤差を補正する装置及び／又は方法。
【解決手段】１つ以上の駆動素子の駆動信号に他の駆動素子に対する位相オフセットを導入し、直角位相信号を最小化又は低減することによって補正を行う。同調は、ユーザの裁量で実行される手動調整として、閉ループ能動補正システムとして、又は１回限りの「設定後操作不要な」調整として行うことができる。本手法では、単に誤同調を補償するのではなく、共振器組立体の同調を改善する。それによって、本発明の様々な実施形態では、複数の駆動軸間の有害な干渉が低減される。従って、共振器に存在する振動エネルギの保存が強化され、支持構造へ伝達される振動エネルギが減少する。 （もっと読む）

【課題】ジャイロスコープ・システムにおいて、倍率誤差及びバイアス誤差を最少に抑える。
【解決手段】相互に非平行配列の検知軸１３０ａ〜１３０ｄを有する複数のジャイロスコープ１１０ａ〜１１０ｄを用いる。ジャイロスコープの数は、ナビゲーションに必要な軸の数よりも少なくとも１つ多い。プロセッサが、モード逆転技法を用いて、選択したジャイロスコープについてのバイアス誤差の推定値を得、ランダム閉ループ倍率技法を用いて、選択したジャイロスコープについて倍率誤差の推定値を得る。モード逆転技法では、各ジャイロスコープは較正のために一時的にオフラインとし、その後通常動作に戻す。少なくとも１つの冗長なジャイロスコープが設けられているので、選択したジャイロスコープがオフラインになっているとき、残りの動作中のジャイロスコープからの速度情報を用いれば、オフラインのジャイロスコープの軸を中心とする基準速度を導き出すことができる。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡素で高精度の実用性の高い振動ジャイロセンサ振動体の提供を目的として、その駆動部と検出部をそれぞれ別の振動体に設け、これを接合或いは一体加工して構成する新しい考案を行うこと。
【解決手段】 弾性材料より成る実質的な真直ぐな板状棒を主体とし、該棒は駆動部と検出部に分離されて機能する様に配置・構成する。すなわち、駆動部は主にその長手方向の縦振動で励振され、検出部は屈曲振動（面垂直横振動も含む）で動作する様にした複合振動体として構成する。ここに両部の振動体は主に圧電的に動作することを考慮しているが、原理的に静電的、磁気的に動作させても良い。 （もっと読む）

振動構造ジャイロスコープは、リング構造体（５２）、外側フレーム（５８）及び可撓性支持体（５６ｅ）を有し、外側フレーム内にリング構造体を保持するように配置された１対の対称な従属脚（６０ａ、６０ｂ）を含む。金属トラック（８０）が、リング構造体、従属脚及び外側フレームの上面に、絶縁表面酸化層上に配置されている。各可撓性支持体（５６ｅ）は、単一の駆動又はピックオフトランスデューサと連結された金属トラックを支持するように配置されている。金属トラック（８０）は、８つの回路に対して繰り返され、１つの回路に対して各トランスデューサがある。トランスデューサと連結された金属トラック（８０）の各回路は、外側フレーム状の第１の結合パッド（８２）で始まり、第１の従属脚（６０ａ）に沿って延び、リング構造体の８分の１のセグメント（８４）を横切って、外側フレームに第２の結合パッドに第２の従属脚（６０ｂ）に沿って戻る。
（もっと読む）

【課題】振動型ジャイロスコープのノイズ信号のノイズレベルを低減する。
【解決手段】振動子２が、一対の主面と側面と振動子の周縁から突出する突出部２４とを
備えている。振動型ジャイロスコープが、振動子の少なくとも側面上に形成されている駆
動電極１１Ｊ−１１Ｑ、振動子の少なくとも側面上に形成されている検出電極１４Ｅ−１
４Ｈ、側面上に形成されており、駆動電極に接続されている第一の導電膜１８、２０、お
よび側面上に形成されており、検出電極に接続されている第二の導電膜１９、２１を備え
ている。突出部２４において、第一の導電膜１８、２０と第二の導電膜１９、２１とが絶
縁されている。 （もっと読む）

【課題】樹脂接着剤が流動しても、電気的な接続が損なわれずに低背化を図れるセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】 素子３２、ＩＣチップ３４は、入出力信号用として、各々、入出力電極４８、５０を有し、素子３２は、その表面に配置した入出力電極４８を介して電気的に接続し、ＩＣチップ３４は、その表面にのみ配置した入出力電極５０を介して電気的に接続し、基板３５は、その表面に配置した金属配線パターン４２を介して電気的に接続し、このＩＣチップ３４の入出力電極５０と基板３５の金属配線パターン４２とをワイヤ５４を介してワイヤボンディングにより電気的に接続するとともにＩＣチップ３４の入出力電極５０と素子３２の入出力電極４８とを金属バンプ５５により電気的に接続し、ＩＣチップ３４と素子３２と基板３５とは、互いに重畳するように、液状樹脂５６を介在させて硬化させるとともに金属バンプ５５を金属接合させて固定した。 （もっと読む）