【課題】露光前に基板の裏面洗浄を行う機能を備えた基板処理システムにおいて、基板処理の歩留まりを向上させる。
【解決手段】露光装置で露光処理を行う前に、露光装置における基板のフォーカスの状態を検査する検査ユニット１００であって、ウェハＷを、露光装置で露光処理される際と同じ条件で裏面から吸着保持するウェハ保持台１４１と、ウェハ保持台１４１に吸着保持されたウェハＷにおける厚み方向の高さを測定する高さ測定機構１５０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】基板とマスクとの隙間を高精度に制御することのできる有機ＥＬデバイス製造装置を提供する。
【解決手段】真空処理室内に設けられたシャドウマスクと、基板を載置する基板ホルダーと、基板とシャドウマスクとの間を、接近させ又は離間させる基板密着手段と、基板ホルダーの四隅に設けられた距離計測機構とを備え、距離計測機構は、基板ホルダーを貫通するように設けられた距離計測用空間と、基板ホルダーの表面上に設けられた透明ガラス板と、距離計測用空間に配置された距離計測部とを備え、距離計測部は、光を発射し反射光を受光して距離を計測する距離計と、距離計を真空処理室内の雰囲気から隔離する距離計筐体と、距離計筐体の一部に設けられた透明ガラス窓とを備え、距離計が、透明ガラス窓を介して透明ガラス板とシャドウマスクとの間の距離を計測するよう、有機ＥＬデバイス製造装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】試料の表面形状を正確に測定して高い精度で描画することのできる荷電粒子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】高さ測定部４０において、光源４１から照射される光Ｌｉをマスク２上で投光レンズ４２によって収束させた後、マスク２上で反射した光Ｌｒを受光レンズ４３を介して受光素子４４に入射させる。受光素子４４で光の位置が検出されると、信号処理部６０を経て、高さデータ処理部７０で高さデータＨｒが作成される。光Ｌｒの光量が閾値以上であれば、高さデータＨｒを偏向制御部３０へ送る。一方、光Ｌｒの光量が閾値より小さい場合には、描画前に取得した高さデータマップＨｍから、対応する座標の高さデータを偏向制御部３０へ送る。偏向制御部３０は、高さデータ処理部７０から送られた高さデータに基づいて、電子ビーム光学系１０の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】段差候補となる期間を検出してから、ベルトコンベア等の搬送装置の振動等による変位量の変動、時間方向の変位量の変動の影響を低減し、より確実に段差を検出することができる光学式変位センサ及び該光学式変位センサにおける段差検出方法を提供する。
【解決手段】受光器の出力に基づいて検出対象物の変位量を算出し、所定のタイミングでサンプリングする。前回サンプリングした変位量と今回サンプリングした変位量との差分値を算出し、算出した差分値に基づいて段差期間と非段差期間とを判別する。段差期間と判別された期間における差分値の積算値を算出し、段差期間と判別された期間ごとに算出した積算値の最大値と第一の閾値とを比較して段差であるか否かを判別する。 （もっと読む）

【課題】液面の位置を正確に検出して、高品質な塗膜を形成することができるスリットコート式の塗布方法及び塗布装置を提供する。
【解決手段】液槽に貯留された塗布液をノズルから流出させると共に当該ノズルと基板を前記基板の塗布面の面方向に相対移動させて塗布液を基板に塗布する塗布方法において、前記液槽の液面７７に対して鉛直方向下方から検査光７６を照射して液面７７からの反射光７８を受光して反射光７８の受光位置から液面７７の位置を検出する際に、前記検査光７６が透過する第１透過部７４及び前記反射光７８が透過する第２透過部７５の少なくとも何れか一方を前記液面７７に対して傾斜させて液面７７の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】被測定物が反りや撓みなどによって傾斜している場合であっても、被測定物の厚さ寸法を正確に計測することができる距離計測装置および距離計測方法を提供すること。
【解決手段】距離計測手段１１ａ，１１ｂと、距離計測手段１１ａ，１１ｂによる計測結果に基づく前記被測定物の表面プロフィールを記憶するプロフィール記憶手段１０４と、被測定物６の表面プロフィールに基づいて被測定物６の表面の傾斜角度を算出する傾斜演算手段１０３と、距離計測手段１１ａ，１１ｂと距離計測手段１１ａ，１１ｂに対向する被測定物６の表面との傾斜角度に応じて発生する距離計測手段１１ａ，１１ｂの出力値の変化を補正する補正係数Ｃを記憶する補正計数記憶手段１０２と、距離計測手段１１ａ，１１ｂの計測結果に基づく被測定物までの距離に補正係数Ｃと被測定物６の表面の傾斜角度の積を加算する演算手段１０５とを備える。 （もっと読む）

【課題】１台のカメラで同時に撮像した被写体の２次元画像群を基にして被写体の３次元情報を検出することを図る。
【解決手段】空間的又は時間的に強度変調された強度変調光を発生する距離検出用光源部１０と、被写体で強度変調光が反射された反射光を透過する複数のレンズ１５が多眼的に配置されたレンズアレイ１４と、複数のレンズ１５の各々を透過した透過光を２次元撮像素子の結像面で各々結像させて、複数のレンズ１５の各々に対応する被写体画像群を撮像し、該被写体画像群に基づいて被写体の３次元情報を検出する３次元カメラ１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】温度環境が変動しても高精度に測定できる変位量検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】変位量検出手段によりワークの変位量を検出する方法において、非加熱状態で該変位量検出手段を作動させた後、該変位量検出手段の検出部の温度が所定温度に達するまでに、該ワークの見かけの変位量を検出すると共に、該検出部の温度を検知する動作を複数回行い、該見かけの変位量及び該検出部の温度から、温度変化に伴うワークの見かけの変位量の変化率を算出し、該温度が所定の温度に達した後、ワークの変位量を検出すると共に、該検出部の温度を検知し、該見かけの変位量の変化率から得た補正値を該ワークの該変位量から減算して補正した変位量を出力することを特徴とする。また、変位量検出手段によりワークの変位量を検出する変位量検出装置において、温度検知手段と、記憶手段と、変化率算出手段と、補正変位量出力手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、液晶表示装置のシーリング剤ディスペンサ用センサーに係り、シーリング剤の吐き出されるノズルと基板との間の高さを正確に測定できる変位測定センサーに関する。
【解決手段】
本発明による変位測定センサーは、レーザービームを基板に向けて出力する発光部と、前記発光部から出力されたレーザーの受信される受光部とを含むが、前記発光部及び受光部は、互いに離隔されて一体型とからなり、前記発光部と受光部との間には、ディスペンサのシリンジ下部が取り付けられる結合孔が形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

レンズを通す（ＴＴＬ）方式のレーザーレンジセンサプローブ用のアダプタおよび方法は、所定の射出瞳寸法のＴＴＬプローブを、共用の対物レンズ（この対物レンズの入射瞳寸法は、ＴＴＬプローブの射出瞳寸法とは異なる）と共に使用することを可能にする。
ガリレオ式構造のアダプタは、第一レンズと第二の解像レンズ等の光学系を含み、ＴＴＬレーザー光を拡大または縮小する。拡大か縮小かは、第一レンズが焦点距離が負の発散レンズであるか焦点距離が正の収束レンズであるか、第二レンズが収束レンズであるかまたは発散レンズであるかによって決まる。
本発明の実施例はケプラー式構造も提供しており、平行化されていない放射光に用いることができる。また、アダプタをよりコンパクトにするために鏡を含んでいてもよい。さらに、第一、第二レンズの間に少なくとも１つの調節可能なレンズ要素を含む実施例も加えられている。この少なくとも１つの調節可能レンズ要素は、光路に沿って移動できるよう、アクチュエータに接続されている。このアダプタは、鏡を用いて、よりコンパクトな「折り畳み」構造にすることも可能である。
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【課題】 ＡＦブロックのファインダー地板への取り付け構造において、パラ調整に必要な動きのみを許容する構造とし、調整を容易にする。
【解決手段】 ＡＦブロックとファインダー地板は、それぞれの球Ｒ凹部と球Ｒ凸部で当接。Ｚ軸回りの回転を許容しないための回転防止部分をＡＦブロックに設けた。回転防止部分はファインダー地板との当接部がエッジになっており、エッジと球Ｒ凹部の中心とはＹＺ座標が一致している。 （もっと読む）

本発明は、液体ジェット器具（１）に対して取り付けられ得るよう構成された光学的近接センサ（５）に関するものである。このセンサは、少なくとも１つの発光部材（１４）および少なくとも１つの受光部材（１５）が設置され、さらに、これら発光部材および受光部材により、センサと所定表面（８）との間の距離を測定し得るものとされた、プリント回路（１２）と；発光部材（１４）および受光部材（１５）を受領するための中間部分（１６）と；この中間部分をカバーする保護手段（１７）と；を具備している。プリント回路（１２）と中間部分（１６）とには、貫通穴（１８，１９）が形成され、これら貫通穴（１８，１９）は、スプレーヘッドからの液体の噴射を可能とする通路を形成し得るよう、互いに位置合わせされている。
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【課題】半導体光センサチップに温度センサを内蔵してレンズの温度をほぼ正確に測定可能とした半導体光センサデバイス、及びこのデバイスを用いた測距方法を実現する。
【解決手段】被写体からの光を集光するレンズと、このレンズを介して被写体が結像される半導体光センサチップと、前記レンズと前記光センサチップとの間に充填され、かつ熱伝導率が高い透明充填剤と、を備えた半導体光センサデバイスと、このデバイスを用いた測距方法に関する。光センサチップ７が半導体温度センサを備えており、この温度センサにより透明充填剤（シリコーンゲル９）を介してレンズ３ａの温度を測定可能とする。また、測定温度と基準温度との差を用いて光センサチップ上の受光位置を補正し、補正後の受光位置を、三角測量原理によるレンズから被写体までの距離の測定に用いる。 （もっと読む）