【課題】 ＥＤＳスペクトルをまとめて１度測定することを可能とする測定データの管理方法を提供する。
【解決手段】 波高分析器２６は、ＥＤＳ検出器２１で感知したエネルギーをエネルギーに相対した高さのパルスに変換し、このパルスの高さの高さ分布をマルチチャンネルに振り分けてそのチャンネル毎のパルス数を測定する。データ処理回路２７は、Ｘ線２０のエネルギーデータであることを示すタグとエネルギー値を組み合わせたデータブロックとをＣＰＵ２８に送る。ＣＰＵ２８では送られてきたデータブロックをハードディスク２９に連続的に保存していく。 （もっと読む）

【目的】本発明は、検査対象から取得した画像をもとに欠陥を検査する検査方法および検査装置に関し、検査領域を分割して当該分割領域毎に欠陥の有無を検査する際に、検出された欠陥が周囲のパターンに影響するか否かを迅速かつ精度良好に判定することを目的とする。
【構成】 検査対象を分割した各分割領域から画像を取得するステップと、取得した分割画像と、分割した領域に対応する設計データとを照合して欠陥を検出するステップと、領域毎の検査で欠陥が見つかった場合に、見つかった欠陥をほぼ中央に配置した画像を表示するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】加速電圧を下げたＳＴＥＭ観察での電子ビームの試料透過能力の低下やイオンビームの照射により生じるダメージ層の悪影響を防ぎ、試料の所望の領域への損傷を最小限にしてダメージ層を効果的に除去すること、および薄膜試料の厚さがより薄くなっても最適な加工終了時点を検出して加工失敗を防ぐ。
【解決手段】仕上げ加工に使用するイオンビームのエネルギーを低くすると共に、試料への入射角度を試料形状に合わせて最適化し、ＳＴＥＭ像の着目する要素の変化をモニタして加工の終了時点を検出する。 （もっと読む）

【課題】新規なエッチング深さ推定方法、特に、従来法より精度の高いエッチング深さ推定方法および、このエッチング深さ推定方法を使用した、深さ方向における元素濃度分布評価方法を提供する。
【解決手段】イオンビーム照射によるスパッタエッチングのスパッタリング時間またはドーズ量とそのときのエッチング深さとの二以上の組から、エッチング深さとスパッタリング時間またはドーズ量との比としてのエッチングレートを求め、このエッチングレートから任意のスパッタリング時間またはドーズ量におけるエッチング深さを決めるエッチング深さ推定方法において、あるスパッタリング時間またはドーズ量におけるエッチング深さを定数として扱い、その後のスパッタリング時間またはドーズ量について、前記エッチングレートを求める。 （もっと読む）

【課題】
試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し
、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 （もっと読む）

【課題】頻繁に試料を回転させることなく、また正確な試料の面合わせを必要とせず、高精度に結晶材料の構造あるいはひずみを測定できるイオン分光分析装置を提供する。
【解決手段】散乱角１８０°（観察角０°）を取り囲む方向と散乱角１３５°（観察角４５°）を取り囲む方向に二次元位置敏感・時間分析型検出器１４，１５を配置する。 （もっと読む）

【課題】ＥＲＣＳ法により得られたＥＲＣＳスペクトルから、試料中に見出される水素の質量面密度、水素質量密度や、試料中に見出される包有物の大きさおよび密度を得る方法、さらには、ＥＲＣＳスペクトル歪みを補正する方法を提供する。
【解決手段】高エネルギーの陽子ビームを試料に照射して、前記試料の組成を分析する陽子−陽子弾性散乱同時計数法において、前記試料に入射した前記陽子ビームの入射陽子が、前記試料中で弾性散乱されることにより生じる、散乱陽子と反跳陽子とを、測定して得られる、前記散乱陽子と前記反跳陽子とのエネルギー値の和であるサムエネルギーを示すＥＲＣＳスペクトルであって、該ＥＲＣＳスペクトルの前記サムエネルギーを示すエネルギー単位を、下記式１により、質量面密度の単位に関連づけることを特徴とする、ＥＲＣＳスペクトルの単位変換方法である。
【数１】
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【課題】荷電粒子線装置が備えるプローブが試料ホルダの構造物や試料の凹凸の干渉を受けずに試料表面に接触可能かどうか直感的に確認できるようにする。
【解決手段】プローブ１０１の接触が不可能な領域１０４を計算し、荷電粒子線を用いて取得した観察像にオーバーレイ表示させる。 （もっと読む）

【課題】気体イオンビーム装置とＦＩＢとＳＥＭを用いて、効率よくTEM試料作製ができる複合荷電粒子ビーム装置としての構成方法を提供する。
【解決手段】ＦＩＢ鏡筒１と、ＳＥＭ鏡筒２と、気体イオンビーム鏡筒３と、ユーセントリックチルト機構とユーセントリックチルト軸８と直交する回転軸１０とを持つ回転試料ステージ９と、を含む複合荷電粒子ビーム装置であり、集束イオンビーム４と電子ビーム５と気体イオンビーム６とは、１点で交わり、かつＦＩＢ鏡筒１の軸とＳＥＭ鏡筒２の軸はそれぞれユーセントリックチルト軸８と直交し、かつＦＩＢ鏡筒１の軸と気体イオンビーム鏡筒３の軸とユーセントリックチルト軸８とは一つの平面内にあるように配置する。 （もっと読む）

【課題】特定の散乱イオンのみを通過させる散乱イオンの弁別性能を確保しつつ、測定室内において圧力差を生じさせないイオン弁別手段（アパーチャ）を具備する平行磁場型ラザフォード後方散乱イオン測定装置を提供すること。
【解決手段】特定の散乱イオンを通過させるイオン通過用開口部Ｚａの周りに形成された散乱イオンの遮断部Ｚｂに、イオンビームＨの軸を中心とする放射線に沿って伸びる複数のスリットＺｃが設けられ、このスリットＺｃは、板状の遮断部ＺｂにイオンビームＨの軸方向に対して斜め方向Ｒ１に測定室２０内の試料側２０ａとイオン検出器側２０ｂとを連通させるよう形成されており、イオンビームＨの軸方向から見て相互に重なり合う部分５１、５２を有することにより、イオンビームＨの軸方向から見て隙間が形成されない状態となってアパーチャＺ１が構成されている。 （もっと読む）

【課題】放射線画像の撮像において、線源移動に対する高精度の補正を容易に実現する。
【解決手段】所定の撮像対象物の放射線画像を撮像部に撮像する際に、放射線を発生させるＸ線放射部１の少なくとも１方向の、所定位置からの物理的変位量を測定するレーザ変位計９ａ〜９ｂと、測定した物理的変位量に基づき、Ｘ線放射部１が所定位置にあったときのＸ線放射部１、テーブル２上に配置された撮像対象物、及び検出器３撮像対象物及び撮像部の相対的な位置関係を維持するように、テーブル２上に配置された撮像対象物及び検出器３をそれぞれ移動する補正を行うテーブル移動機構６、検出器移動機構７を備えた、放射線画像撮像条件の補正装置。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビームの軌道の調整作業を容易化して調整精度を向上させることができる軌道位置ずれ検出装置，組成分析装置及び荷電粒子ビームの軌道調整方法を提供すること。また，エネルギー分解能や散乱粒子の取得効率を容易に変更することができる組成分析装置を提供すること。
【解決手段】絞り部３１と超音波モータ３２と駆動軸３３とを備えて構成された開口状態変更装置３０により，基準ビーム軸上の所定の位置に配置され荷電粒子ビームを通過させる開口部３１ａの開口径（開口状態）を変更可能とする。
また，上記開口部３１ａを通過した或いは該開口部３１ａから外れた上記荷電粒子ビームの強度を測定し，該荷電粒子ビームの強度に基づいて上記荷電粒子ビームの軌道と上記基準ビーム軸との位置ずれの有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】不良位置の特定が容易なナビゲーションシステムを提供する。
【解決手段】不良位置へＣＡＤナビゲーションするとき、回路設計を示す物理情報のＣＡＤデータの代わりに不良位置を示す目的の論理情報をＣＡＤフォーマットで作成する。具体的には電子顕微鏡の画像上にてソフトウェアにより矩形、文字、線等のマークを付けることにより、必要最小限の情報にて迅速なナビゲーションを行う。作成したＣＡＤデータを使って同一装置への再ナビゲーション、異種装置へのＣＡＤナビゲーションを行う。 （もっと読む）

【課題】試料へのダメージを最小化し高精度の加工位置決めを行うことができる集束イオンビーム装置を提供する。
【解決手段】集束イオンビーム装置は、検出器からの二次粒子信号によって生成された原画像を画素補間により拡大し表示する。ズーム率が大きい場合には、ビーム偏向分解能の範囲内で一度画像の再取得を実施し、それを原画像として画素補間を行い、高いズーム率の画像を得る。 （もっと読む）

【課題】 低温初段増幅器で発生する熱の影響による超電導放射線検出器やそれらを接続する超電導配線の温度上昇を抑え、超電導放射線検出器や低温初段増幅器に対して液体ヘリウムシールド層など外部からの輻射熱の影響を低減しつつ磁気ノイズの影響を減少させることなど、外部からの熱や磁場環境の影響によるノイズを低減して高精度の放射線検出測定が可能な超電導放射線検出装置とそれを用いた放射線分析装置を提供するものである。
【解決手段】 放射線を検出する超電導放射線検出器１と、超電導放射線検出器1で検出した信号を増幅する低温初段増幅器２とを、冷却ヘッド１０４に固定し、超電導放射線検出器１及び低温初段増幅器２の上方に熱シールド板６が配し、少なくとも低温初段増幅器２と熱シールド板６の間に熱シールド板６の温度による冷却効果により超電導状態となる材料からなる超電導シールド膜７を備えた。 （もっと読む）

【課題】高精度の試料ステージ機構を用いることなく、メモリーセルをカウントし、特定のセルの位置を検出する。
【解決手段】本発明の荷電粒子ビーム装置では、試料が繰り返しセルを有するとき、セルに対応したスケールパターンを生成し、それを試料の繰り返しセルの画像に重畳させることにより、目的セルを特定する。更に、試料の繰り返しセルの少なくとも３つの端の位置に基づいてセルの配列を求め、このセルの配列から目的セルの位置を特定する。ビーム偏向機能によるズームとソフトウエアによるズームを組み合わせてズーム画像を生成し、試料ステージを移動させることなく、ソフトウエアによって画像シフトを行う。 （もっと読む）

【課題】 水質の評価において、被測定水中に含まれる含有物が通水量や時間に対して、評価基板への付着依存性があっても、付着成分や量を正確に評価できる評価方法を提供することを目的としたものである。
【解決手段】 複数の評価基板に被測定水をそれぞれ所定の量、所定の時間接触させて、上記評価基板に付着した付着物を分析することにより、上記被測定水中の含有物の評価基板への付着依存性があっても、精度よく被測定水の水質を評価できるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】
従来は方向を示すものが無い材料では、試料加工または観察を繰り返し行い、視覚を頼りに水平度調整を行っていた。本発明の目的は、上記問題点を解消し、試料の水平度調整を簡便に行う方法、及び装置を提供することにある。
【解決手段】
上記目的を達成するために、本発明では、荷電粒子源側から見て、試料の手前部分と、奥行き部分に跨って形成される構造体、或いは試料の手前部分と、奥行き部分との間に、所定の関係を持って形成されている構造体が、所定の関係となるように、試料を傾斜、或いは回転する試料観察方法、及び荷電粒子線装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】
試料表面にパルス状の一次イオンを照射し、飛行時間型の質量分析計を用いて前記試料表面の質量スペクトルを得る飛行時間型二次イオン質量分析法において、５００を超えるような試料表面由来のピークについてその精密質量を正確に求めることを目的とする。
【解決手段】
ＴＯＦ−ＳＩＭＳ測定において、試料表面に質量軸校正物質を表面に配し測定時に試料表面由来の信号と質量軸校正物質由来の信号を同時に検出すること、質量軸校正物質をネプライザーを用いて試料表面に配すること、質量軸校正物質にイオン性物質を用いることにより質量数５００を超える未知ピークについて、その精密質量をより精度良く求めることができるようになった。 （もっと読む）

【課題】
半導体ウエハの高速で高分解能な外観検査と、異物や欠陥の存在部位からＴＥＭ観察や各種分析のための試料を高い位置精度で一貫して作製することのできる検査装置を提供すること。
【解決手段】
同一検査装置内に、ウエハ検査用の走査型電子顕微鏡部（ＳＥＭ部）１と試料作製加工用のイオンビーム部１０１とを併設し、ＳＥＭ部１によるウエハ７の外観検査と、この検査結果に基づいての、ウエハ７上の欠陥（異物やパターン欠陥）の存在部位からのＴＥＭ観察や各種分析のための試料の摘出加工作業とを、同一ステージ８上で一貫して行なえるようにした。 （もっと読む）