【課題】Ｘ線ＣＴデータのような空間離散データによる内部欠陥検査について、より高精度な検査を行えるようにする。
【解決手段】空間離散的な要素で対象物の空間的な形状・構造を記述する空間離散データに基づいて対象物における内部欠陥を検査する内部欠陥検査方法について、要素を複数の含むサイズの第１の検出領域を空間離散データに設定する処理１０２、欠陥検出対象とする第１の検出領域を抽出する処理１０４、抽出された欠陥検出対象の第１の検出領域の特徴量を計測する処理１０５、欠陥検出対象の第１の検出領域を細分化した第２の検出領域を第１の検出領域に設定する処理１０６、第２の検出領域の特徴量を計測する処理１０７、第１、第２の各検出領域の特徴量を用いて実際の欠陥と擬似的な欠陥を判別するための欠陥判別基準を設定する処理１９８、および欠陥判別基準に基づいて欠陥を検出する処理１０９を含むものとしている。 （もっと読む）

【課題】 複数種類の検査結果を同時に見易く表示することのできる物品検査システムを提供する。
【解決手段】 ワークＷに対応する所定の物理量を特定してその物理量を表わす測定信号を出力する物理量測定部１３と、ワークＷについての所定の品質検査を実行してその品質検査の結果を表わす検査結果信号を出力する品質検査部１５とを備えた物品検査システムであり、更に、測定信号および検査結果信号に基づいて、測定信号で表わされる物理量および検査結果信号で表わされる品質検査結果を含む検査結果情報を、表示画面上の時間軸方向に各ワークＷの測定順に並べて表示する表示部２１を備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明はエネルギー損失分光装置の分析方法及びエネルギー損失分光装置を備えた透過電子顕微鏡に関し、処理速度を向上させることができるエネルギー損失分光装置の分析方法及びエネルギー損失分光装置を備えた透過電子顕微鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】 複数のスペクトルを一つの光電変換素子画像として記録する画像記録手段１０と、その後該画像記録手段１０からの画像を一括読み込みしてからピクセルの位置変換処理を行なって複数スペクトルに分割する画像処理手段１２とを具備して構成される。この結果、エネルギー損失分光装置の処理速度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線回折装置において、複数の異なる測定軸を用いて得られた複数のデータを表示することに関して、それら複数のデータを有効に活用できるようにする。
【解決手段】 Ｘ線源から発生したＸ線を試料に照射すると共にその試料で回折したＸ線をＸ線検出器によって検出する測定装置２を備えたＸ線回折装置１である。測定装置２は測定の基準となる測定軸を複数有する。Ｘ線回折装置１は、画像を表示する表示装置４と、その表示装置４に供給する画像データを生成する画像データ生成部７，１１，１３とを有する。この画像データ生成部は、複数の測定軸の個々に関する測定データをＴＡＢ表示と共に個別に表示するための画像データを生成し、さらに、複数のＴＡＢ表示のうちの１つが指示されたときにそのＴＡＢ表示に対応する測定データを画面上に表示するための画像データを生成する。 （もっと読む）

【課題】 蓄積した検査データを識別子情報の判読の難易に関わらず確実に抽出することができるＸ線検査方法、システムおよび装置を提供する。
【解決手段】 被検査物Ｗの各部Ｘ線透過量に基づいてその被検査物の状態を判定するとともにＸ線画像を作成するＸ線検査方法であって、外観識別可能でＸ線画像上に識別可能に写し出される識別子情報を各被検査物Ｗに付加する識別情報付加工程と、識別子情報が付加された各被検査物ＷにＸ線を照射し、被検査物の各部Ｘ線透過量を検出する検出工程と、被検査物Ｗの各部Ｘ線透過量に基づいて被検査物Ｗ中における異物の有無を判定する状態判定工程と、被検査物Ｗの各部Ｘ線透過量に基づいて識別子情報の表示内容を含むＸ線画像を生成するＸ線画像生成工程とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線を用いることにより被検体の寸法や形状によらず内部構造の観察や内部欠陥等を検出することができ、被検体を回転させる簡素な構造で装置を小型化することができる汎用性、取扱い性に優れるＸ線ステレオ透視装置の提供。
【解決手段】Ｘ線源と、被検体を回動自在に保持する角度設定機構と、被検体を挟んでＸ線源に対向配置され被検体の透過画像を検出する平面状のイメージセンサと、イメージセンサで検出した透過画像をステレオ表示する表示器と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ノイズの多い微細ラインパターンのSEM観察像からエッジラフネスの程度を精確かつ迅速に評価するために、計測されるエッジラフネスの指標のうち、装置のランダムノイズの寄与を1枚の画像データをもとに計算する。またエッジラフネス指標の計測値から装置起因のラフネスを差し引いて、パターンに実際に存在するラフネスの程度を計算する。
【解決手段】エッジ位置のゆらぎのうち、ランダムなノイズに起因する量（分散値）は統計的にみて、エッジ位置データをN個平均したときに１／Ｎに減少する。この性質を利用し、１枚の画像に対してさまざまなパラメータＳの値で画像を縦方向に平均化したのち、エッジラフネス指標を求める。エッジラフネス指標のＳ依存性を分析し、分散値が１／Ｓに比例する項をノイズ起因とする。 （もっと読む）

【課題】レシピ作成及び欠陥確認の使い勝手がよく、かつ迅速に行うことのできるパターンの検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥確認画面は、ウェハマップを表示する「マップ表示部」６１、欠陥画像を一覧表示する「画像表示部」６２、欠陥の詳細情報を表示及び設定する「リスト表示部」６３、選択された欠陥項目についてグラフ表示する「グラフ表示部」６４を有する。それぞれの表示部は連動して動作し、選択されたマップ情報に対応して欠陥画像、欠陥情報リスト、欠陥グラフが変化する。これら情報を利用して入力された分類コード及びクラスタリング条件及び表示フィルタはレシピに登録される。 （もっと読む）

【課題】 隣接する元素マッピング像のオーバーラップ部分に濃淡のパターンが存在しない場合でも精度の高い合成を可能とする。
【解決手段】 隣接する２枚のマッピング像のオーバーラップ部分に属する画素のＸ線スペクトルの形状を所定の判定条件の下で比較し、形状が一致しているとみなせる場合には両マッピング像上にそれぞれその画素位置像を投影する。位置ずれの最大範囲を考慮して１画素ずつスペクトル形状を比較してゆき、最終的に両マッピング像上に形成された投影像を重ね合わせるように両マッピング像を合成する。これにより、オーバーラップ部分に濃淡パターンが存在するか否かに拘わらず、任意の元素のマッピング像の合成が高い精度で行える。 （もっと読む）

【課題】積層薄膜の極微小領域での測長を高精度に行う。
【解決手段】本発明は、測定条件を入力するステップ、電子線源から電子線を発生し、収束レンズにより電子線を試料に収束するステップ、結像レンズ系により試料を透過した電子線を拡大して試料の拡大像を結像するステップ、元素分析器により上記試料の元素分布像を取得し、取得した元素分布像を表示するステップ、元素分布像を測長するステップ、及び上記測定条件を補正するステップを含む薄膜評価方法に関する。更に、この評価方法を実施するための評価装置を開示する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ＣＴデータのような空間離散データによる内部欠陥検査について、より高精度な検査を行えるようにする。
【解決手段】空間離散的な要素で対象物の空間的な形状・構造を記述する空間離散データに基づいて対象物における内部欠陥を検査する内部欠陥検査方法について、空間離散データ１から内部欠陥抽出手段２により内部欠陥を抽出するステップ、抽出された内部欠陥の周囲に所定の広がりで設定される近傍範囲に含まれる要素を関連要素として関連要素収集手段３により空間離散データから収集するステップ、および関連要素収集手段で収集された関連要素に基づいて内部欠陥の大きさや重心位置などの特徴量を特徴量計測手段４で計測するステップを含むものとしている。 （もっと読む）

【課題】シャッター関連の複数の確認ランプを一箇所にまとめて配置することで，シャッターの開閉指令の内容と実際のシャッター開閉状態とを容易に確認できるようにする。
【解決手段】Ｘ線管２２のＸ線取り出し窓はシャッター２４で開閉される。シャッター開閉スイッチ１８による開閉指令は開閉駆動機構３４に送られ，その開閉指令の内容は第１のシャッター指令ランプ２０と第２のシャッター指令ランプ３０で表示される。シャッター２４の開閉状態は開閉検出装置３６で検出され，その検出内容は第１のシャッター検出ランプ２６と第２のシャッター検出ランプ３２で表示される。第２のシャッター指令ランプ３０と第２のシャッター検出ランプ３２は作業テーブル１２上のシャッター表示ユニット２８にまとめて配置されていて，オペレータは両者を容易にかつ同時に確認できる。 （もっと読む）

【課題】 高い分解能のもとに広い視野の断層像を得ることのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 意図する視野を複数回に分けて部分的にＣＴ撮像を行うとともに、その各部分ＣＴ撮像により得られるＸ線透過データからそれぞれ被写体の部分断層像を再構成し、その各部分断層像を相互に繋ぎ合わせることによって、高い分解能で広い視野の断層像を得る。 （もっと読む）

【課題】 試料を支持する試料板からの回折Ｘ線の影響を排除して、試料に関する正確なＸ線回折測定をできるようにする。
【解決手段】 単結晶試料板２１によって支持する試料ＳにＸ線を照射し、試料Ｓから発生する回折Ｘ線を２次元Ｘ線検出器２によって検出し、検出された回折Ｘ線の座標及び強度をＸ線読取り装置によって読み取り、そしてその読取り結果に基づいて演算を行って回折Ｘ線強度分布を求めるＸ線測定装置である。単結晶試料板２１から出る回折Ｘ線が２次元Ｘ線検出器２によって検出される座標位置を、回折Ｘ線強度分布の演算に寄与させないブランク領域として認識する。単結晶試料板２１からの回折Ｘ線がＸ線強度の演算に算入されないので、試料Ｓからの回折Ｘ線だけに関して正確にＸ線強度分布を求めることができる。 （もっと読む）