【課題】複数の色成分の透過像を出力する放射線検出器を用いて、ダイナミックレンジの広い断面像を得る。
【解決手段】放射線を検出してカラーの可視光像に変換するカラーＸ線ＩＩ３ａとカラーの可視光像を撮影して色成分ごとの透過像データを出力するカラーカメラ３ｂより成るＸ線検出器３と、複数の走査位置でカラーＸ線ＩＩ３ａにより得た色成分ごとの透過像データを画像合成部９ｅにより互いに加算した単色透過像データを用いて被検体５の断面像を再構成するＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】コンテナの内容物の画像を再構築して、分割する方法及びシステムが提供される。
【解決手段】実際の走査データを前記コンテナの走査から受信することと、実際のデータを再構築して、再構築された画像を取得することと、再構築された画像を分割して、分割された画像を取得するステップと、分割された画像に対応するシミュレートされた走査データを導出することと、シミュレートされた走査データと実際の走査データとの間の差異に基づいて、エラー項を導出することと、基準が満足されるか否かを判定することと、基準が満足されない場合には、エラー項を用いて修正済みの再構築された画像を生成し、前記再構築された画像と置き換えられた修正済みの再構築された画像を用いて、前段階を繰り返すことと、基準が満足される場合には、分割された画像から情報を出力することを含む方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線マイクロアナライザに関し、スペクトル同士の比較が容易に行なえるＸ線マイクロアナライザを提供することを目的としている。
【解決手段】細かく絞った電子線を試料１９に照射し、該試料１９から放射される特性Ｘ線を分光結晶９に入射し、その分光された特性Ｘ線を検出器１１で検出し、試料中に含まれる元素を横軸波長と縦軸Ｘ線強度のスペクトルとして定性又は定量するＸ線マイクロアナライザにおいて、電子線の照射電流と特性Ｘ線の計数時間とスペクトルを表示するスケールを予め条件として決めておく設定手段２９と、前記照射電流と計数時間が変化した場合には、前記予め決めてある条件に正規化して表示するようにした演算表示手段２９と、を具備して構成される。 （もっと読む）

【課題】複数の近似形状の画像パターン同士から欠陥パターンを抽出するパターン検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のパターン検査方法は、画像中に含まれる複数の画像パターン同士を各々すべて比較し、相関値マトリックスを生成して合計相関値を比較する。これにより、複数の近似形状の画像パターン同士から欠陥パターンを自動的に抽出することが可能となり、欠陥パターンの測定を効率良く、高精度に実施することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線受光面の大きさの互いに異なる複数のＸ線検出器を設け、被検査物の全体像の把握を可能とし、かつ、拡大断層像を高分解能のもとに得ることのできるＸ線ＣＴ装置でありながら、ＣＴ撮影範囲の設定を容易化することのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】一つのＸ線検出器２ａでＣＴ撮影した基準画像を表示するとともに、そのときの回転テーブル３，ｘｙテーブル５の位置を記憶しておき、他のＸ線検出器２ｂを選択した状態では、回転テーブル３，ｘｙテーブル５の位置と、基準画像の撮影時における回転テーブル３，ｘｙテーブル５の位置情報とから、当該他のＸ線検出器２ｂによる視野の位置と大きさに係る情報を、基準画像上に重畳表示することで、例えばＸ線受光面の小さいＸ線検出器２ｂを用いて被検査物Ｗの局部を高拡大率でＣＴ撮影する際に、被検査物Ｗ上のどの部位を撮影しようとしているのかを直感的に把握することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】対象物の検査を短時間で精度よく行なえる装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線検出器２３．１〜２３．Ｎと、画像取得制御機構３０と、演算部７０と、メモリ９０とを備える。走査型Ｘ線源１０は、検査対象２０に向けてＸ線を出力する。Ｘ線検出器２３．１〜２３．Ｎは、検査対象２０を透過したＸ線を検出する。画像取得制御機構３０は、Ｘ線検出器２３．１〜２３．Ｎが検出した画像データ９８をメモリ９０に格納する。演算部７０に含まれる再構成部７６は、画像データ９８に基づいて、解析法を用いて水平断面の再構成画像を生成し、反復法を用いて垂直断面の再構成画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】 波長分散型Ｘ線分光器とエネルギー分散型Ｘ線分光器とを同時に搭載したＸ線分析装置において、分析モードも考慮して分析を正しく行なえる状態であるか否かを判断し、判断の結果を操作者に分かりやすく通知する。
【解決手段】
点分析と線分析と面分析のうちのどの分析モードによって分析を行なうかを操作者が任意に指定する。プログラム２６は、予め決めてあるＸ線分析装置の確認項目についての設定状態を収集し、指定されている分析モードに対して、波長分散型Ｘ線分光器とエネルギー分散型Ｘ線分光器とによる分析が適切に行なえるために満たすべき設定条件をデータベース２５から読出し、収集された設定状態が設定条件を満たしているかを判定し、その判定結果を表示装置２４に表示する。 （もっと読む）

【課題】遮蔽手段の異常状態を安価な構成で且つ確実に検知することができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】検査空間２２内の被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生器９と、被検査物Ｗを透過するＸ線を検出して透過量に応じた濃度データを出力するＸ線検出器１０と、Ｘ線発生器９が発生するＸ線が検査空間２２の外部に漏えいすることを防止する遮蔽カーテン１６と、を備え、Ｘ線検出器１０から出力される濃度データに基づいて被検査物Ｗの検査を行うＸ線検査装置１において、遮蔽カーテン１６を通して検査空間２２内に侵入した光の照度を測定する照度センサ１３と、照度センサ１３が、予め定めた値以上の照度を予め定めた時間以上連続して測定したとき、遮蔽カーテン１６が異常状態であると判定する判定部１７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】絶縁コンポーネントの部分放電テストにおいて、部分放電の開始電圧を低く抑えることのできる方法及びシステムを提供する。
【解決手段】フラッシュＸ線源６により少なくとも一つのＸ線パルス７が、絶縁コンポーネント２に照射され、交流電圧源５により絶縁コンポーネント２に加えられた交流電圧を電圧センサー９により測定する。また、前記少なくとも一つのＸ線パルス７により引き起こされる部分放電が部分放電センサー８で測定され、部分放電検出装置１０で評価される。コントロール・ユニット１１が設けられ、交流電圧源５、フラッシュＸ線源６、および／または、部分放電検出装置１０が、コントロールされ、特に加えられる交流電圧に依存して、コントロールされる。ここで、前記少なくとも一つのＸ線パルス７の線量は、少なくとも１０^-2Ｇｒａｙ／ｓとする。 （もっと読む）

【課題】 元素マッピング像などの分布画面の数の制限やサイズが小さくなることなく、元素マッピング像の元素分布状態の差異の見栄えが大いに向上させ、元素の分布状態を正しく把握できるようにする。
【解決手段】 ディスプレイ部７の親ウインドウ１１内に表示されている元素マッピング像である分布画面１２を、表示元素画面１３や画面切替ボタン１４を表示したい特定の元素や分析線をキーボードまたはマウスなどの選択するなどにより切り替えるようにして、複数の分布画面１２を大きな同一サイズで上書きするように重ねて表示するようにする。 （もっと読む）

【課題】円錐傾斜断層撮影装置で生じるリング状アーチファクトを低減化する。
【解決手段】Ｘ線３を照射するＸ線源４と、被検体１からのＸ線透過像を検出する検出器５と、被検体を相対的に回転軸ＲＡに対して回転させる回転手段２，６と、３次元画像を作成する制御処理部１２とを備えた装置であって、回転軸ＲＡは、Ｘ線中心線の方向に対し９０度より小さなラミノ角で交差し、制御処理部１２は、３次元サイノグラムＰ０に対し回転方向にローパスフィルタ処理してサイノグラムＰ１を得、サイノグラムＰ１に対し透過像に沿った２次元ローパスフィルタ処理してサイノグラムＰ２を得、サイノグラムＰ１からＰ２を減算してリング成分を抽出し、サイノグラムＰ０からリング成分を減算したサイノグラムＰ^＊を得るリング補正処理部１２ｃと、得られたサイノグラムＰ^＊から３次元画像を再構成する再構成部１２ｄとを有する断層撮影装置である。 （もっと読む）

【課題】特性に大きな影響を与える鉄基粉末の表層に付着する結合剤、副原料、潤滑剤や流動性改善粒子の被覆率、特に、結合剤、副原料および潤滑剤等としてカーボンブラック以外の炭素含有物を用いる場合や、流動性改善粒子としてカーボンブラックを用いる場合に好適な、鉄基粉末の被覆率を定量的に測定する方法を提供すること。
【解決手段】鉄基粉末の表層に０．１〜５ｋＶのなかから選ばれる加速電圧で加速された電子線を照射し、鉄基粉末の表層から放出される二次電子量を測定し、該二次電子量から鉄基粉末の表層における炭素含有物の被覆率を求めることを特徴とする、鉄基粉末の被覆率の測定方法を用いる。または、鉄基粉末の表層に０．１〜２ｋＶのなかから選ばれる加速電圧で加速された電子線を照射し、同様に鉄基粉末の表層に被覆している炭素含有物に対するカーボンブラックの被覆率を求めることを特徴とする、鉄基粉末の被覆率の測定方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】起動から検出器が安定状態になるまでの無駄な待機時間を短縮するとともに、検出器が不安定である状態での無駄なデータ収集を防止する。
【解決手段】起動時には検出器３でノイズが多く発生するためプリアンプ４で生成される階段状の電圧パルス信号の傾斜は急でリセットパルスＲＳＴの時間間隔ｔは狭いが、検出器３が安定状態になってノイズが減ると時間間隔ｔは広がる。そこで、リセットパルスＲＳＴの発生の間隔をパルス間隔測定部１１により計測し、判定部１２はその計測された時間間隔ｔが所定の閾値ｔ１を超えたならば表示部１３に指示を与え、分析可能状態になったことを知らせる表示を行う。これにより、無駄な待機時間がなくなり、確実に検出器が安定状態となった後に分析を実行することができる。 （もっと読む）

【課題】断層像の座標変換を伴うことなくリングアーチファクトを除去することを可能とし、断層像の精度を低下させることなく確実にリングアーチファクトを除去した断層像を得ることのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】互いに対向配置されたＸ線発生装置１とＸ線検出器２の対と、これらの間に配置された試料ステージ３とを相対回転させることにより、複数の角度での対象物ＷのＸ線投影データを収集し、その投影データを用いて回転軸Ｒに直交する面に沿った断層像を構築するＸ線ＣＴ装置において、断層像を構成する各画素について、当該断層像上で回転軸Ｒに相当する位置を中心とした扇形状のコンボリューションフィルタカーネルを用いてフィルタ処理を施すことにより、断層像に現れるリングアーチファクトを抽出し、その抽出した画像をフィルタ処理を施す前の画像から減算することにより、リングアーチファクトを実空間において除去または低減することを可能とし、当初の断層像の精度を維持したままリングアーチファクトの除去を実現する。 （もっと読む）

【課題】 ＥＤＳを利用した元素分布分析において、分析目的に見合った空間分解能で効率よくデータ処理を行ない、分析パラメータの表示を高速に行なう。
【解決手段】 横６点、縦４点の格子状に円で囲んだ領域を指定する。円のかかる画素に対応するＥＤＳのスペクトルを記憶部から全て読み出し、積算してひとつのスペクトルを作る。そのスペクトルに基づいてＲＯＩ 積算値やフィッティングによる定量補正計算等のデータ処理を行ない、求められたＸ線強度や組成情報等の分析パラメータの面分布を表示する。 （もっと読む）

【課題】２次電子像による半導体装置の不具合解析の効率化。
【解決手段】半導体装置の解析装置は、半導体装置の設計データに基いて、解析対象となる半導体装置を観察した場合の電位濃度分布をシミュレートし、電位濃度シミュレート像を生成する手段と、解析対象の半導体装置に荷電粒子ビームを照射して得られる２次電子像を入力する手段と、前記解析対象の半導体装置の２次電子像に対してデコンボリューション処理を行って原画像を復元する画像復元処理、又は、前記電位濃度シミュレート像に対してコンボリューション処理を行って前記２次電子像相当の劣化画像を得る画像劣化処理のいずれかを実行する手段と、前記画像復元処理又は画像劣化処理をした像と、他方の像とを、表示する手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】透視観察作業の後でも、内部欠陥等の被検査物中での３次元位置情報等を容易に把握することを可能とし、検査後の検証作業等の容易化を達成することのできるＸ線透視検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の間に設けられた試料ステージ７に配置された被検査物Ｗを撮影する光学カメラ１０と、その光学カメラによる被検査物Ｗの外観像を用いて、被検査物ＷのＸ線透視像と併せてその刻々の透視観察位置および方向を表示器２５に表示する観察位置・方向表示手段を備え、表示器２５に表示されている被検査物ＷのＸ線透視像を経時的に連続もしくは断続して記録し、かつ、その刻々のＸ線透視像に対応して表示される観察位置・方向表示手段による表示内容を併せて記録する記録手段２９を設け、その記録内容を再生することで、透視観察時と同等の表示を随意に再現可能とし、被検査物Ｗ中の欠陥等の位置や構造等を立体的に把握する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の重なり等により、被検査物の透過Ｘ線データ濃度が異物の透過Ｘ線データ濃度のほぼ同一になったとしても、確実に異物を検出するＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】被検査物Ｐを透過した複数の異なるネルギー帯の透過量を検出するＸ線検出手段１０によって得られる検出信号を異なるネルギー帯毎の透過画像として記憶する透過画像記憶手段２１と、透過画像記憶手段２１に記憶された複数の異なるエネルギー帯の透過画像から独立成分として異物画像を含む複数の分離画像を分離抽出する独立成分分析手段２４を有する画像処理手段２３を備え、独立成分分析手段２４によって分離抽出された異物画像に基づいて被検査物Ｐの中に異物が含まれているか否かを判定する。
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【課題】被検査物から検出された異物に関する各種情報を容易に把握できる。
【解決手段】Ｘ線異物検出装置１は、搬送される被検査物ＷにＸ線を照射し、被検査物Ｗを透過したＸ線の透過量に基づく被検査物ＷのＸ線透過画像から異物を抽出するための画像処理を行って異物抽出処理画像を作成し、異物抽出処理画像から被検査物Ｗ中に異物が含まれているか否かによって良品又は不良品であるかを判定部３３で判定する。そして、異物が存在すると判定（不良品判定）されると、異物情報特定手段３２ｂにおいて不良品判定された異物抽出処理画像から異物に関する異物情報を特定し、この特定された異物情報を表示部４０に表示する。 （もっと読む）

【課題】３次元的にスキャン領域を広げて被検体の３次元画像を再構成する。
【解決手段】 放射線源１と、被検体２を透過してくる放射線ビームを検出する放射線検出器４と、放射線ビームと端部付近で交差する回転軸に対し、被検体を、前記放射線ビームに対して相対的に回転させ、かつ、回転軸の方向に相対移動させるヘリカルスキャン手段５，７と、このヘリカルスキャンの間に検出された多数の透過画像から、回転軸を中心として片側が放射線ビームに包含される半径の円柱領域をスキャン領域とし、当該スキャン領域内の被検体の３次元画像を再構成処理する再構成処理手段８ｅとを設けたコンピュータ断層撮影装置である。 （もっと読む）