【課題】 ポインティングデバイスを用いた簡単な操作で所望の測定位置、測定角度に視野調整することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 被測定物の外観画像を表示してポインティングデバイス２３によるステージの並進移動の指示を促す外観画像表示領域２４ｂ、２４ｃと、回転角およびＸ線光軸の傾動角の指定が可能な観察方位図を表示してポインティングデバイス２３によるステージの回転移動とＸ線測定光学系の光軸の傾動との指示を促す観察方位図表示領域２４ｄとの表示を行う操作画面表示制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】 マウスを用いて移動方向と移動速度を同時に制御することができるようにしたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１１とＸ線検出器１２との間において被測定物を載置するステージ１４と、ステージ上の被測定物とＸ線測定光学系１３との位置関係を調整する駆動部１５と、モニタ画面２４ａと、Ｘ線検出器１２により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線画像を作成するＸ線画像作成部３１と、モニタ画面に透視Ｘ線画像の画像表示を行うＸ線画像表示制御部３２と、モニタ画面の任意の位置にポインタを表示するとともにクリック操作によりポインタの位置を指定するマウス２３と、モニタ画面２４ａに表示した透視Ｘ線画像２４ｂ上でマウスのクリック操作による位置指定が行われたときに、指定位置に応じて駆動部１６に対する駆動信号を発生する駆動信号発生部３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ポインティングデバイスを用いた簡単な操作で所望の測定位置に視野調整することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被測定物を載置するステージと、Ｘ線測定光学系に対する位置が関係付けられ被測定物全体の外観画像を撮影する光学カメラと、ステージ上の被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整する駆動部と、モニタ画面と、透視Ｘ線像の画像表示を行うＸ線画像表示制御部と、光学カメラで撮影された外観画像を表示する外観画像表示制御部と、入力操作に基づいて指定した測定位置をＸ線測定光学系の測定視野に移動させるための駆動部制御信号を発生するＸ線検査装置であって、外観画像上でポインタにより指定した測定位置を予め操作ボタンに登録し、登録後に操作ボタンを指定する入力によりその操作ボタンに登録された測定位置を外観画像上で指定する入力操作を代行する制御を行う操作ボタン登録制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】高精度の試料ステージ機構を用いることなく、メモリーセルをカウントし、特定のセルの位置を検出する。
【解決手段】本発明の荷電粒子ビーム装置では、試料が繰り返しセルを有するとき、セルに対応したスケールパターンを生成し、それを試料の繰り返しセルの画像に重畳させることにより、目的セルを特定する。更に、試料の繰り返しセルの少なくとも３つの端の位置に基づいてセルの配列を求め、このセルの配列から目的セルの位置を特定する。ビーム偏向機能によるズームとソフトウエアによるズームを組み合わせてズーム画像を生成し、試料ステージを移動させることなく、ソフトウエアによって画像シフトを行う。 （もっと読む）

【課題】基底基準吸収回折法による定量法において基底板から正確な回折線強度情報を得ることを可能にすることにより、極めて正確な検量を行うことができるＸ線回折定量装置を提供する。
【解決手段】物質Ｓの重量をＸ線を用いて測定するＸ線回折定量装置において、物質Ｓを物質保持領域Ａｓ内に保持するフィルタ３３と、物質Ｓに照射するＸ線を発生するＸ線源Ｆと、物質Ｓで回折した回折Ｘ線を検出するＸ線検出器２０と、フィルタ３３におけるＸ線照射面の反対側に設けられ物質保持領域Ａｓよりも小さい基底板３１と、Ｘ線源Ｆから見てフィルタ３３の背面側であって基底板３１の外周側面の周りに設けられた非晶質部材３０とを有するＸ線回折定量装置である。非晶質部材３０からは強いピーク波形を持った回折線が出ないので、基底板３１からの回折線に誤差変動が生じることがなくなる。 （もっと読む）

本発明の１つの態様によれば、基板処理システムが提供される。このシステムは、チャバを囲むチャンバ壁と、基板を支持するようにチャンバ内に位置付けられた基板支持体と、基板上の材料から光電子を放出させる電磁放射線を基板支持体上の基板に放出させる電磁放射線源と、基板から放出された光電子を捕らえるアナライザと、チャンバ内に磁場を発生させ基板からアナライザに光電子を誘導する磁場発生器と、を含む。
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【課題】 ステージ移動の際の被測定物とＸ線測定光学系との衝突危険性を判断し、衝突防止を図る。
【解決手段】 Ｘ線源１１とＸ線検出器１２との間に被測定物が位置するように被測定物を載置するためのステージ１４と、ステージを並進および回転するステージ駆動機構１５と、ステージ上に載置された被測定物を撮影する光学カメラ１６と、ステージを回転しつつ被測定物を光学カメラで撮影したときの画像データに含まれる被測定物の軌跡データに基づいて被測定物とＸ線測定光学系との衝突危険領域を設定する衝突危険領域設定部３２と、設定した衝突危険領域に基づいてステージを移動する際の衝突危険性を判定する衝突判定部３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】
マイクロチップを用いて複数元素を同時に高感度に分析できるようにする。
【解決手段】
マイクロチップ１は、基板３０と、基板３０の内部に形成された流路２３と、基板３０の平坦な表面の一部からなり、流路２３の出口が開口９ｃとして形成され、その開口９ｃから溢れ出た測定対象液が基板３０の平坦な表面にとどまって分析試料となる分析部１０とを備えている。このマイクロチップ１を使用して、分析部１０に測定対象液を分析試料として溢れ出させ、好ましくは分析試料を乾燥させた後、１次Ｘ線を全反射の条件で入射させて蛍光Ｘ線を検出する。 （もっと読む）

【課題】
校正用測定以降、特に検査実行中に帯電状態の変化に起因する焦点オフセットの変化を補正することができるようにした写像投影型電子線式検査装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】
写像投影型電子線式検査装置において、合焦測度センサ部を有し、該合焦測度センサ部で変換された複数の画像信号から合焦測度を算出する合焦測度算出手段と、該合焦測度算出手段で算出された合焦測度を基に、電子結像光学系に関し対物レンズによる面状電子ビームの収束面と共役な共焦点面の高さを算出し、該算出された共焦点面の高さに基づいて検査領域の合焦検査画像を検査画像検出センサ部で検出するための対物レンズの焦点位置を算出する焦点位置算出手段と、該焦点位置算出手段によって算出された対物レンズの焦点位置に応じて対物レンズの焦点位置を補正する焦点位置補正手段とを有する合焦点制御部を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の電子線間のクロストークを防止し、放出される２次電子を効率良く検出器に導くことができ、スループットを向上した欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】２次電子の像面1005での開口角度と拡大倍率から、対物レンズから見た試料面1010での見掛けの角度を求め、該見掛けの角度と、２次電子の初期エネルギーと、対物レンズのビームポテンシャルから試料面での受け入れ角度を求め、該受け入れ角度を基に、２次電子の収率を求め、所要のＳ／Ｎ比と、開口角で決まる分解能に基づいて、隣接１次電子線の照射間隔をクロストークが問題にならないような距離以上に離す。 （もっと読む）

【課題】電子カラムに使用できる、構造が単純で使用が便利な低価の検出器と、電子カラムを用いて電子を簡単に検出する方法を提供する。
【解決手段】既存のＭＣＰ(micro-channel plate)、ＳＥ(secondary electron)検出器、または半導体検出器では、自体的な構造によって電子の数が増幅される。このような増幅のために、若干の電圧差を外部から加え或いは自体的な構造および材質によって発生させる。このような過程を経た電子の電流値は外部の増幅回路によって増幅される。本発明では、マイクロカラムによって発生した電子ビームの衝突から生ずる電子を周囲の導体配線によって検出する。検出された電子は既存の方式と同様に外部で増幅回路を用いて増幅される。 （もっと読む）

【課題】低倍率のＳＥＭ像で欠陥を検出し、高倍率のＳＥＭ画像で欠陥を観察する半導体デバイスの欠陥レビューにおいて、欠陥レビューの効率をあげて短時間に多数に欠陥をレビューできるようにする。
【解決手段】半導体デバイスの欠陥を観察する方法において、検査装置で検出した半導体デバイス上の欠陥を走査型電子顕微鏡を用いて第１の倍率で欠陥を含む画像を取得し、この取得した第１の倍率の欠陥を含む画像から参照画像を作成し、取得した第１の倍率の欠陥を含む画像とこの第１の倍率の欠陥を含む画像から作成した参照画像とを比較して欠陥を検出し、検出した欠陥を第１の倍率よりも大きい第２の倍率で撮像するようにした。 （もっと読む）

【課題】 プローブ先端の３次元的座標を迅速に把握する。
【解決手段】 第１の荷電粒子顕微鏡による顕微鏡画像３５及び第２の荷電粒子顕微鏡による顕微鏡画像３６を同時に又は切り替えて表示する画像表示手段と、第１の荷電粒子顕微鏡、第２の荷電粒子顕微鏡、ステージ制御系及びプローブ駆動機構を制御する計算処理部とを有し、計算処理部は、試料上の目標位置２３とプローブ６の先端とが入った第１の荷電粒子顕微鏡の顕微鏡画像と、試料上の目標位置とプローブの先端とが入った第２の荷電粒子顕微鏡の顕微鏡画像とから、目標位置に対するプローブの先端の３次元的な相対位置を求める。 （もっと読む）

【課題】 電線を備えた複数のステージ同士の組立て作業が簡単であり、ステージの移動に際して電線が邪魔にならない試料支持装置を提供する。
【解決手段】 ベースステージ７に重ねて配置される搭載ステージ８を有し、この搭載ステージ８によって試料Ｓを支持する試料支持装置である。ベースステージ７と搭載ステージ８はそれぞれの結合面を対向させた状態で互いに重ね合わされる。試料支持装置は、搭載ステージ８に設けられた駆動装置１８，１９と、搭載ステージ８の結合面内に設けられていて電線４４を介して駆動装置１８，１９に導通する搭載側端子３１ａと、ベースステージ７の結合面内に設けられていて搭載側端子３１ａと導電接続可能なベース側端子３１ｂとを有する。搭載ステージ８をベースステージ７上に重ねて配置した状態で、搭載側端子３１ａとベース側端子３１ｂとが導電接続する。 （もっと読む）

【課題】 オペレータの勘や経験に頼ることなく、現在の透視位置を直感的に確実に把握することができ、また、一連の簡単な操作により透視位置の設定や倍率変更、加えて回転ないしは傾動を含むマニピュレータ制御を行うことのできるＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】 ステージ３上の被写体Ｗを撮影する光学カメラ３０を設け、その光学カメラ３０による被写体Ｗの外観像Ｗｏ上でマーカーＭを移動させ、かつ、その移動による指令内容を透視位置の変更／透視範囲（倍率）の変更、加えて回転角度および傾動角度の変更のいずれかに設定する入力手段２６を設け、その入力手段の操作によるマーカーの移動により指定された透視位置・透視範囲（倍率）・回転角度・傾動角度が得られるように、ステージ３等を自動的に駆動制御することで、現在の透視位置を直感的に把握し、簡単な操作により被写体Ｗ上の意図する位置の意図する倍率のＸ線透視像を得ることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡応用装置および試料検査方法において、試料の帯電を制御することができる技術を提供する。
【解決手段】光電子２を放出する帯電制御電極４を、ウェハ３（試料）の直上に平行に配置し、且つ、帯電制御電極４を通して紫外光をウェハ３に照射できるように、貫通する孔を持つ構造とした。具体的には、メッシュ形状もしくは１つあるいは複数の孔が開いた金属板を帯電制御電極４とする。帯電制御電極４を試料の直上に平行に設置することで、負電圧を印加した場合、ウェハ３に対してほぼ垂直に電界が発生する為、光電子２が効率良くウェハ３に吸着する。また、ウェハ３と同程度の大きさを持つ帯電制御電極４を使用する事で、ウェハ３全面の帯電を一括で均一に除去でき、処理にかかる時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】 化合物の結晶粒を確実に識別して、その構造解析を容易に行うことができる化合物の観察方法及び該方法に用いる着色溶液を提供すること。
【解決手段】 Ｘ線回折実験において、試料である化合物の結晶画像を撮影し、撮影した画像により結晶を観察しながら試料のＸ線照射位置決め作業を行うに際し、結晶を着色溶液６に入れた後、結晶を着色溶液６とともにすくい上げて固化し、結晶に透過光を照射して結晶画像を撮影するようにした。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程途中のウエハ検査で、高分解能を維持して浅い凹凸、微小異物のレビュー、分類を高精度に行う目的で、二次電子を検出系の中心軸を合わせると共に、検出系の穴による損失を避けて高収率な検出を実現する。
【解決手段】高分解能化可能な電磁界重畳型対物レンズにおいて、試料２０から発生する二次電子３８を加速して対物レンズ１０による回転作用の二次電子エネルギー依存性を抑制し、電子源８と対物レンズ１０の間に設けた環状検出器で二次電子の発生箇所から見た仰角の低角成分と、高角成分を選別、さらに方位角成分も選別して検出する際、加速によって細く収束された二次電子の中心軸を低仰角信号検出系の中心軸に合わせると共に、高仰角信号検出系の穴を避けるようにＥｘＢで二次電子を調整・偏向する。 （もっと読む）

【課題】粒子統計が著しく改善されたＸ線透過回折分析方法および装置の提供。
【解決手段】サンプルを基板に配置する段階、中心部分が平面に沿って延在する帯形Ｘ線ビームをＸ線放射線源により生成する段階、サンプルがビームの経路内となり、サンプルの薄片部がビームによって照射される初期位置に、基板およびサンプルを配置する段階、基板の初期位置に対する基板の以下の運動、すなわち、基板に垂直な回転軸線の周りの回転であって、所定の回転角にわたる基板およびサンプルの回転と、傾斜軸線の周りのビームの中心部分が延在する平面と回転軸線がなす角度として定義される傾斜角にわたる基およびサンプルの傾動であって、第１所定値と第２所定値の間で変化する傾斜角にわたる傾動とを実施する段階、及び基板の運動が実施される時間間隔の間にサンプルを透過し回折されたＸ線放射を前記検出器で検出する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】視野を移動させながら、目的の領域の画像を画像のぶれなどの劣化無く取得する。
【解決手段】視野を移動させながら目的の領域の前後で複数枚の画像を取得し、それらを数枚ごとのグループに分けて各グループの積算画像を作成し、積算画像同士を比較することで算出した像移動量と撮像枚数との関係式を算出する。その関係式より取得した複数枚の画像間の移動量を算出して、その移動量だけ画像を補正し積算することで、目的の領域の画像を再構成する。 （もっと読む）