【課題】試料のセット時に生じる試料表面の傾斜を補正する方法を提供すること。
【解決手段】斜出射電子線プローブマイクロＸ線分析方法は、試料ステージに載置された試料に電子線を照射し、試料内部から発せられる特性Ｘ線が試料表面での全反射現象により検出されない角度以下に試料ステージを傾斜させて特性Ｘ線の取出角度を設定することにより試料の表層から発せられる特性Ｘ線のみをＸ線検出器で選択的に検出する斜出射電子線プローブマイクロＸ線分析方法において、所定の基準面に対する試料表面の傾斜角度を求める工程と、求められた傾斜角度が相殺されるように試料ステージを傾斜させて特性Ｘ線の取出角度を設定する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴアレイ基板の種々の欠陥検出に要する時間を短縮する。エネルギーフィルタの電圧条件を最適化することで検出信号の検出効率を向上させる。
【解決手段】ＴＦＴアレイ基板に駆動信号を供給して駆動し、これによって駆動されたＴＦＴアレイ基板のピクセルに電子線を照射して得られる二次電子をエネルギー選別して検出し、得られた二次電子信号強度によってＴＦＴアレイ基板の欠陥を検出するＴＦＴアレイ検査装置であり、エネルギー選別を行うエネルギーフィルタと、エネルギーフィルタを通過した２次電子を検出する２次電子検出器とを備える。エネルギーフィルタの電位を駆動信号の信号波形に同期して切り換える。エネルギーフィルタの電位と駆動信号の信号波形と同期させることによって、二次電子検出の検出条件を駆動パターンに応じて最適なものに設定することができ、検出効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】パルスモータが通常有している原点センサを利用して簡便に脱調を検出できるパルスモータの制御装置などを提供する。
【解決手段】原点センサ付きのパルスモータ２の制御装置２５であって、まず、パルスモータ２の回転位置において現在位置Ｐｓから最終目的位置Ｐｔまでの間で原点センサが原点を検出すべき位置のうち最後の位置を中間目標位置Ｐｉとし、現在位置Ｐｓから中間目標位置Ｐｉに到達するだけのパルスをパルスモータ２に与えて実際に到達した位置を脱調検出位置Ｐｄとする。そして、その脱調検出位置Ｐｄで原点センサが原点を検出するか否かを調べ、脱調検出位置Ｐｄで原点センサが原点を検出しない場合には、パルスモータ２が脱調したと判断し、脱調検出位置Ｐｄで原点センサが原点を検出した場合には、中間目標位置Ｐｉから最終目的位置Ｐｔに到達するだけのパルスをパルスモータ２に与える。 （もっと読む）

【課題】非破壊検査の際の半導体素子や電子部品等の被検体の破壊、機能や外観の損傷の発生が防止された透視検査装置を提供する。
【解決手段】放射線を発生し被検体に向けて放出する放射線源１と、被検体１０１を透過した放射線を検出する放射線検出器４と、被検体１０１に照射される放射線量を制限する放射線量制限手段８，９，１０とを備え、放射線量制限手段８，９，１０は、予め測定されている被検体１０１の放射線照射許容量に基づいて、被検体１０１に照射される放射線量を制限する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折法に基づいて硬組織を評価する際に、硬組織を破壊することなく測定を行うことができるようにし、もって、硬組織の評価を簡単且つ短時間で行えるようにする。
【解決手段】Ｘ線源１から出射したＸ線を硬組織４に入射させ、硬組織４で回折して硬組織４の透過側に出射したＸ線をＸ線検出器５で検出する硬組織の評価方法である。Ｘ線源１はＭｏＫα線以上のエネルギを有する特性Ｘ線を発生し、硬組織４は自身の長手方向にｃ軸配向した性質を有し、硬組織４は自身の長手方向がＸ線の光軸と交差するように配置され、Ｘ線検出器５はｃ軸に対応する格子面である（００２）面で回折した回折線の子午線Ａ−Ａ方向の強度を検出し、さらにＸ線検出器５は参照面である（３１０）面で回折した回折線の子午線Ａ−Ａ方向の強度を検出し、参照面と（００２）面の回折線強度との比較に基づいて硬組織を評価する。 （もっと読む）

【課題】廃棄物における特定の材質部分を迅速かつ分かり易く表示することにより、密閉装置内で行わなければならない有害廃棄物の弁別処理を迅速かつ正確に行うことができるようにする。
【解決手段】被検体に放射線を照射し、透視画像データを撮影する工程と、被検体容器の個体ナンバーと撮影方向とを特定する工程と、前記被検体から除去すべき材質部分を透視画像データより自動的に認識する工程と、前記被検体の撮影方向と測定結果とを同時に保存する工程と、前記被検体の個体ナンバーに対応する測定結果を適宜呼び出し、参照しながら前記被検体を分解処理する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体物品のパッケージを開けないままその液体物品に麻薬が隠れているかを判断することができる、液体物品に隠れている麻薬を検査する方法及び装置を開示している。
【解決手段】前記方法は、放射線ビームを発生して前記液体物品を透過させるステップと、前記液体物品を透過した放射線ビームを受け取って多角度投影データを形成するステップと、前記液体物品の均一性に基づき、前記多角度投影データに対して逆演算を行うことにより、被検液体物品の属性値を計算して取得するステップと、前記液体物品の識別情報を索引として、予め作成したデータベースから参照属性値を検索し、計算した属性値と参照属性値との差分値を算出するステップと、前記差分値が所定の閾値より大きいかを判断するステップと、を含み、前記差分値が所定の閾値より大きい場合には、前記液体物品に麻薬が隠れていると認める。 （もっと読む）

【課題】 被写体の関心領域の断層像を得るためにＣＴ撮像するべき位置を、三次元的に把握することができるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線測定光学系１３と、テーブル１４と、テーブル駆動機構１６と、入力装置２２と、表示装置２３と、ＣＴ撮影を実行するＣＴ撮影実行部３４と、ＣＴ撮影された透視Ｘ線画像データを用いて、被写体の断層画像を再構成する再構成演算部３５とを備えるＸ線ＣＴ装置１であって、被写体の第一の透視Ｘ線画像２４ａと第一の透視Ｘ線画像２４ａと異なる方向の第二の透視Ｘ線画像２４ｂとを含む少なくとも二面の透視Ｘ線画像である試し撮り透視Ｘ線画像２４の一部の領域が、目的撮像領域２７として入力装置２２で指定されることにより、目的撮像領域２７を示す目的撮像領域データを記憶部２５に記憶させるデータ記憶制御部３０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】屈折コントラストＸ線撮像法と同じ密度分解能及びダイナミックレンジで、測定時間が短く、経時的な観察が可能で、かつ入射Ｘ線強度が時間的に変動している場合でも高い感度で試料を観察できるＸ線撮像装置及び撮像方法を提供する。
【解決手段】試料によって生じたＸ線ビームの屈折角を、複数のアナライザー結晶１１，１２による複数回のＸ線回折を利用してＸ線検出器１８で同時に検出する。 （もっと読む）

【課題】小角Ｘ線散乱と広角Ｘ線散乱とを同時に測定できると共に、広角Ｘ線散乱の測定精度を向上できる小角広角Ｘ線測定装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源Ｆから出たＸ線を試料Ｓに照射し試料Ｓから発生する散乱線を小角度領域内で検出器２６によって検出する小角Ｘ線光学系と、試料Ｓと検出器２６との間に設けられており試料Ｓから発生する散乱線を広角度領域内で検出する広角Ｘ線光学系７とを有する小角広角Ｘ線測定装置である。広角Ｘ線光学系７は、試料Ｓと検出器７との間のＸ線光路上に設けられており、Ｘ線像を可視光像に変換する蛍光体３８と、蛍光板３８上に形成された可視光像を反射する光反射体４２と、光反射体４２で反射した可視光像を検出する光検出器４７とを有する。Ｘ線光路と交わる部分の蛍光体３８及び光反射体４２のそれぞれにＸ線用開口３９，４２が設けられ、その開口３９，４２は小角度領域の最大角度値を見込む開口径を有する。 （もっと読む）

【課題】煙塵に対する測定の精度を高め、水分が煙塵の測定を妨げないようにしたβ線煙塵濃度測定装置およびそれに用いられる試料の有効性確認方法を提供する。
【解決手段】煙塵収集部と、煙塵質量検査部を備え、前記煙塵収集部は、採取管、ピトー管、保護管を有する煙塵サンプルガンと、濾紙と、濾紙送紙手段とから構成され、前記煙塵質量検査部は、β線源とβ線検知ガイガーミュラー計数管を備えるβ線計数検査装置と、データ処理装置とから構成され、前記煙塵収集部が煙塵検査試料を採取し、前記煙塵質量検査部が煙塵濃度を測定するβ線煙塵濃度測定装置であって、前記煙塵サンプルガンが備える前記採取管の端部に上部筐体が配設され、前記上部筐体に対応する下部筐体が、前記上部筐体と間隙を有して配設され、前記下部筐体は、格子状濾紙台と、排気口を備え、前記濾紙は前記上部筐体と前記下部筐体との間の前記間隙を通って送紙され、前記上部筐体が煙塵を採取する試料採取面積は、前記濾紙の実際の検査面積の２倍以上とされることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】対象サンプルに関するX線エネルギースペクトルの放射線量子の背景補正された計数を正確かつ速く決定する方法。
【解決手段】本発明の方法は、対象サンプルから蛍光X線ビームを発生させるステップであって、前記X線ビームは、解析結晶及び検出器に入射されるステップと、前記解析結晶を、前記蛍光X線ビームに対して角度θが得られるように回転させ、前記検出器を、前記蛍光X線ビームに対して角度２θが得られるように回転させるステップと、一定の検出器角度２θで、前記検出器を用いて、パルス高分布エネルギースペクトルを測定するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】ビューポイントがＸ線画像中から逸脱することのないようにする。
【解決手段】透視Ｘ線像をＸ線光軸を中心として撮影するＸ線検出器１２とを有するＸ線測定光学系１３と、少なくともＸＹＺ方向に移動させるステージ駆動機構１６とを備えるＸ線検査装置１であって、ステージ位置データを記憶させる駆動信号発生部３６と、第一基準点画像６１ｂ及び第二基準点画像６２ｂがポインタ６３で指定されることにより、第一基準点画像６１ｂ及び第二基準点画像６２ｂの位置を含む基準点画像位置データを記憶させる基準点画像指定部３７と、異なるステージ１４の位置で記憶された２つの基準点画像位置データとステージ位置データとを用いて、Ｘ線光軸方向とステージ１４のＺ方向とのズレ量を算出する算出部３８と、軸補正を行う補正信号を駆動信号発生部３６に出力する補正信号作成部３９とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線検査装置におけるＸ軸方向移動ステージやＹ軸方向移動ステージが移動する際に変形が生じることを未然に防止して、スムーズに移動させることができる機構を、ロープによる簡単な構造で提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生器ＡとＸ線検出器Ｂとが対向した状態で垂直に配置され、これらの間に検査すべきサンプルＣを載置するテーブル１が水平面上で直角に交わるＸ軸並びにＹ軸方向に移動可能なＸ−Ｙ移動ステージ上に組み付けられているＸ線検査装置において、前記Ｘ−Ｙ移動ステージのＸ軸方向移動ステージまたはＹ軸方向移動ステージ若しくはその両方が、移動方向と直交する左右側部で少なくとも1本の有端状ロープ１１によってステージ移動時に同期的に移動方向に引っ張られるように形成されている構造。 （もっと読む）

【課題】試料１０の位置ずれを高い信頼性で検出可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】試料１０を載置するステージ２２と、このステージ２２を収納し、開閉可能なカバーが設けられた筐体を有し、試料１０にＸ線を照射して、試料１０からの蛍光Ｘ線を検出することにより測定を行う測定装置２と、カバーを開けた状態で試料１０をステージ２２上に載置した後であってカバーを閉める前後に、試料１０の同一箇所の画像をそれぞれ撮像し第１及び第２の画像データをそれぞれ取得する撮像装置３と、第１及び第２の画像データを用いて試料１０の位置ずれを検出する位置ずれ検出部１３と、位置ずれを通知する通知部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、検査対象となる回路パターンの画像をモニタ画面を通して検査する際に、その画面の正確な情報により迅速に処理できると共に、製品全体に及ぶ欠陥又は特定領域における欠陥を迅速に検知することができる回路パターンの検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、ウェーハの回路パターンが形成された基板表面に電磁波又は荷電粒子線を照射し、該照射によって前記基板から発生する信号に基づいて得られる検査画像から前記回路パターン上の欠陥を検出する回路パターンの検査装置において、前記検査画像を取得する前後において、前記検査画像の対応部分に電子線を照射し前記ウェーハの帯電状態を変化させる手順が設定される検査条件設定部を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、１次光学系にプレチャージの機能も持たせてプレチャージユニットの設置を省略できるとともに、試料に対するプレチャージの領域と量を制御し、試料に応じた最適なプレチャージを行うことができる電子線装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料Ｓを載置するステージ３０と、
所定の照射領域１５を有する電子ビーム生成し、該電子ビームを前記試料に向けて照射する１次光学系１０と、
前記電子ビームの前記試料への照射により発生した、前記試料の構造情報を得た電子を検出し、所定の視野領域２５について前記試料の像を取得する２次光学系２０と、
前記所定の照射領域の位置を、前記所定の視野領域に対して変更可能な照射領域変更手段１３、１４と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴ基板検査装置において、検査対象である基板のスループットを改善する。
【解決手段】ＴＦＴ基板検査装置は、導入したＴＦＴ基板の基板検査を行う検査室と、この検査室内にＴＦＴ基板を導入するロードロック室と、検査室内からＴＦＴ基板を導出するアンロードロック室とを備える。検査室はロードロック室とアンロードロック室との間で形成される基板の搬送経路上に複数の副検査室を順に連結して構成される。検査室を構成する各副検査室には、基板の搬送方向と走査方向とを一致させて電子銃および検出器を配置し、基板を搬送方向に搬送することで走査を行う。この各副検査室で行う走査は、基板上で行う全走査を複数回に分けて行う分割走査の一つであり、各副検査室で行う分割走査を合わせることで基板上の全走査を行う。 （もっと読む）

本発明は、分析平均面（analysis mean plane）（４）を画定する試料（１）の分析ゾーン（２）を放射する、一定の入射方向（３）で放出されるＸ線ビームの発生部（１０）と、前記放射された分析ゾーン（２）で回折したＸ線を少なくとも１次元座標上で検出する検出器（３０）と、を備えた試料（１）のＸ線解析装置において、更に、前記試料（１）と検出器（３０）の間に配置され、前記分析平均面（４）に含まれる回転軸（５）を中心に回転する周面の一部を切り取った面（partial
surface）からなるＸ線回折面（２１）を含むアナライザシステム（２０）を備え、前記回転軸（５）は前記Ｘ線の入射方向（３）とは異なる方向で前記分析ゾーン（２）の中心を通り、前記回折面（２１）を経て前記検出器（３０）に向かって回折されたＸ線を出射させるように前記回折面（２１）が配置されることを特徴とする。
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Ｘ線又は他の放射ビームを使用した物体の検査の技術、特に、符号化放射ビームを用いて物体を照明し、物体によって散乱された及び／又は物体を通して伝達された放射線を検出することによって物体を検査するための装置及び方法を提供する。物体を検査するための装置は、物体の被検査領域を照明するために扇ビーム又はフラッドビームを利用する。可動マスクの形態を取ることができる変調器は、被検査領域の各セグメントが所定の時間的シーケンスに従って変動する放射線量を受け取るようにビームを動的に符号化する。物体からの放射線を受け取る後方散乱検出器又は任意的な透過検出器によって生成され得られる信号は、被検査領域の画像を構成することができるように、空間情報を再生するために復号される。 （もっと読む）