【課題】 γ線を効果的に遮蔽して円滑に検査を行うことができる爆発物検査装置を提供する。
【解決手段】 手荷物３に対して中性子を照射する中性子発生管１１と、照射された中性子によって発生するγ線を検出するγ線検出器１３と、γ線検出器１３の検出結果から爆発物の有無を判定する爆発物判定部とを備えた爆発物検査装置である。手荷物を設置する際には開位置に位置するとともに検査時には閉位置にて密閉空間を形成する開閉蓋９と周壁部７によって、手荷物３から発生するγ線を遮蔽する。手荷物３が載置されるとともに、手荷物を設置位置から検査位置まで移動させるテーブルを備えている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ＣＴ装置を用いることなく、Ｘ線透視を行うことにより、アルミダイキャスト部品のボイド等の欠陥をはじめとして、透視対象物内部の特異部位の３次元位置情報を正確に知ることができ、加えて３次元の概略形状を知ることのできるＸ線透視を用いた３次元観測方法と、その方法を用いたＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１とＸ線検出器２の対と透視対象物Ｗとの相対位置を変化させ張ることにより、透視方向を少なくとも３方向に相違させた透視対象物Ｗの透視像を取得し、その各透視像上で特異部位の像を抽出し、各透視方向の透視像上で抽出された特異部位の像対応付けした後、各透視方向の透視像上の特異部位の像と、これらの各透視像を得たときのＸ線源１とＸ線検出器２の透視対象物Ｗに対する相対的な３次元位置情報を用いて、特異部位の３次元位置および／または３次元形状を算出し、表示する。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子ビームを用いた計測装置ないし検査装置において、検査の高感度と高安定性とを両立する。
【解決手段】
帯電制御電極A４２０の被計測試料ないし検査試料側に帯電制御電極B４２１を設置し，試料の帯電状態に応じて、帯電制御電極Bの帯電制御電極制御部４２３から一定の電圧を与えることにより、検査前に形成した試料表面の帯電状態と電位障壁の変動を抑制する。帯電制御電極制御部６６によりリターディング電位が印加され、試料と同電位に調整される帯電制御電極A４２０の更に下部に帯電制御電極B４２１が設けられることにより、一次電子ビーム19が照射されるウェハ９などの試料から放出された二次電子４０９の試料への戻り量を調整することが可能になり，高感度な検査条件を検査中安定的に維持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の所定の検査エリアを高速に検査することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線を出力する走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線検出器２３が取り付けられ、複数のＸ線検出器２３を独立に駆動可能なＸ線検出器駆動部２２と、Ｘ線検出器駆動部２２やＸ線検出器２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０を備える。走査型Ｘ線源１０は、各Ｘ線検出器２３について、Ｘ線が検査対象２０の所定の検査エリアを透過して各Ｘ線検出器２３に対して入射するように設定されたＸ線の放射の起点位置の各々に、Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させてＸ線を放射する。Ｘ線検出器２３の一部についての撮像と他の一部についての撮像位置への移動が並行して交互に実行される。画像制御取得機構３０はＸ線検出器２３が検出した画像データを取得し、演算部７０はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 （もっと読む）

【課題】
設計データを制約条件として用い単調なパターンでも精度の良い連結画像を生成することを目的とする。設計データと画像データとのマッチングで大まかに基準位置を求めて、設計データとのズレ量を検索範囲として、隣接画像間でのマッチングを行い高速で精度の良い連結画像を生成する。
【解決手段】
本発明の画像生成方法は、走査型電子顕微鏡を用いて電子デバイスパターンを検査する画像生成方法であって、電子デバイスパターンのレイアウト情報が記述された設計データを入力して記憶した設計データファイルと、撮像位置を変えて前記電子デバイスパターンを撮像して得た複数枚の分割画像データと、前記複数枚の分割画像データと前記設計データファイルの設計データとを用いて前記複数枚の分割画像データを１枚の画像に連結する画像連結手段とで構成される。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の所定の検査エリアを高速に検査することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線を出力する走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線検出器２３が取り付けられ、複数のＸ線検出器２３を独立に駆動可能なＸ線検出器駆動部２２と、Ｘ線検出器駆動部２２やＸ線検出器２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０を備える。走査型Ｘ線源１０は、各Ｘ線検出器２３について、Ｘ線が検査対象２０の所定の検査エリアを透過して各Ｘ線検出器２３に対して入射するように設定されたＸ線の放射の起点位置の各々に、Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させてＸ線を放射する。Ｘ線検出器２３の一部についての撮像と他の一部についての撮像位置への移動が並行して交互に実行される。画像制御取得機構３０はＸ線検出器２３が検出した画像データを取得し、演算部７０はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 （もっと読む）

【課題】オペレータに負担をかけることなく、また、複雑な処理を必要とすることなく、被検査物とＸ線発生装置等の装置側の構造物との衝突を確実に防止することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の間に配置されて被検査物Ｗを搭載する回転テーブル３ａには、取り付け用治具５０を介して被検査物Ｗを搭載するように構成するとともに、その取り付け用治具５０は被検査物Ｗの大きさに応じて複数種が用意され、回転テーブル３ａには、その取り付け用治具５０の種類を検知するためのセンサ６０ａ〜６０ｃを設け、その検知結果に基づき、テーブル３ａとＸ線発生装置１およびＸ線検出器２の対との相対位置を変化させる移動ステージ３ｂの動作の範囲に制限を加えることで、被検査物Ｗの装置側の構造物に対する衝突を防止する。 （もっと読む）

【課題】積層板の色調を問わず、目視によらないでボイドや金属異物の有無を自動的に検査することができる積層板の検査装置を提供する。
【解決手段】積層板の検査装置に関する。積層板１にＸ線を照射するＸ線発生部２と、受光Ｘ線量に応じた濃淡値を持つ原画像を得る撮像部３と、原画像を平滑化処理して平滑化画像を得ると共に、原画像と平滑化画像との間で画素単位で差分を取る減算処理を行って差分画像を得た後、この差分画像を２値化処理して２値化画像を得る画像処理部４と、この２値化画像を基に積層板１中の欠陥６の有無を判定する判定部５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は包含される物品が開梱されていない条件下において放射線撮像原理を使用してトレーラー上に載置された物品を査察するためのトレーラーセキュリティー調査システムを提供することにある。
【解決手段】 トレーラーセキュリティー調査システムはトレーラーが通過するための調査路を形成する保護壁と、通路を通過するトレーラーのセキュリティー調査を実施する放射線撮像システムと、トレーラーを牽引するための牽引手段とを備える。システムはトレーラーを調査することに好適な特別な装置であり、手荷物のセキュリティー調査のための信頼性を有する技術的手段を提供し、非常に好適にして、且つ経済的である。 （もっと読む）

【課題】検査対象物のＸ線透視方向を最適に変更することにより、検査対象物を良好に検査および観察することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物が載置されるテーブルを有するベース部材と、検査対象物に対してＸ線を放射するＸ線発生点と、検査対象物を透過したＸ線を検出するＸ線画像検出手段と、ベース部材の前方両側に左右対称に配され、第１可動支点を介してベース部材を支持し、第１固定支点を介してフレームに固定される第１リンクバー部材と、ベース部材の後方両側に左右対称に配され、一端部で支持バー部材を介してＸ線画像検出手段を支持し、中間部で第２可動支点を介してベース部材を支持し、他端部で第２固定支点を介してフレームに固定される第２リンクバー部材と、テーブルの鉛直方向位置を調整する観察中心点調整手段と、ベース部材を揺動させる旋回駆動手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】微細に加工された半導体デバイス内の所望の箇所の３次元的構造を観察するための電子顕微鏡用試料作製装置、電子顕微鏡及びその方法を提供する。
【解決手段】試料片１０の加工にダイサーを用い、試料片上の観察対象となる部分を突起状に削り出す加工に集束イオンビーム加工を用い、試料片１０を１軸全方向傾斜試料ホルダに、突起１１の中心軸と試料傾斜軸Ｚを一致させて固定し、高角に散乱された電子で結像したＴＥＭ像を投影像として用い、再構成を行う。 （もっと読む）

【課題】迅速に３次元的な位置情報を得ることで効率的に精度の高い検査を行うことができるＸ線検査装置およびＸ線検査方法を提供する。
【解決手段】被検査体ＳにＸ線を照射するＸ線源１１０と、被検査体ＳのＸ線透過像を、それぞれ異なる照射角度範囲で検出する複数の検出領域を有するＸ線検出器１４０と、被検査体を移動可能に支持する移動用ステージ１２０と、を備え、移動用ステージ１２０は、一つの被検査体Ｓに対し複数の照射角度範囲のＸ線透過像を検出できるように被検査体Ｓを移動させて、検査を行う。これにより、一つの被検査体Ｓについて、異なる照射角度範囲のＸ線透過像が得られ、複数のＸ線透過像から３次元的な位置情報を得ることができる。また、一回の検出で複数の検出領域についてＸ線透過像のデータを得て、効率的に精度の高い検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】単結晶試料の菊池パターンの面指数付けの精度を向上し、広範囲の結晶方位分布を測定する。
【解決手段】本発明の単結晶試料の結晶方位測定方法は、六方晶系単結晶試料の結晶方位を後方散乱電子回折法によって測定するために、試料座標系におけるＴＤ軸を前記六方晶系単結晶試料の［０００１］方向と平行に配置して後方散乱電子回折パターンを取得するステップと、前記取得した後方散乱電子回折パターンをコンピュータ解析して面指数付けを行うステップと、前記指数付けされた面指数分布に基づいて前記試料の結晶方位を決定するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】
外乱等の影響に依らず、焦点等の調整が行われた高画質画像に基づく測定が可能な試料
の検査，測定方法を提供すること。
【解決手段】
焦点調整が行われた電子ビームを走査して、前記パターンを測定するための画像、或いは測定のための位置合わせを行うための画像を形成し、当該画像の評価値と、予め取得された参照画像の画像評価値を比較し、当該参照画像との比較によって、前記形成された画像が所定の条件を満たさないと判断される場合に、前記電子ビームの焦点調整を再度実行する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】
半導体装置等をはじめとする回路パターンを有する基板面に白色光、レーザ光、電子線を照射して検査し、検出された表面の凹凸や形状不良、異物、さらに電気的餡欠陥等を短時間に高精度に同一の装置で観察・検査し、区別する検査装置および検査方法を提供する。また、被観察位置への移動、画像取得、分類を自動的にできるようにする。
【解決手段】
他の検査装置で検査され、検出された欠陥の位置情報をもとに、試料上の被観察位置を特定し、電子線を照射し画像を形成する際に、観察すべき欠陥の種類に応じて電子ビーム照射条件および検出器、検出条件等を指定することにより、電位コントラストで観察可能な電気的欠陥が可能になる。取得した画像は、画像処理部で自動的に分類され、結果を欠陥ファイルに追加して出力される。 （もっと読む）

【課題】 冷却部材を透過するＸ線の透過距離の差により生じる，Ｘ線画像の明暗のコントラストを小さくし，ボイドの有無を識別できるようにしたボイド検査方法を提供すること。
【解決手段】 冷却部材５０に半導体素子６０を半田接合した検査対象物を検査するときに，検査対象物の板面に垂直な方向１２とＸ線１０の照射方向１１とが撮像角θをなすように傾斜させて，検査対象物にＸ線１０を入射する。これにより，冷却部材５０のリブ部におけるＸ線１０の透過距離が短くなる。このため，半田接合部７０におけるボイド８０の有無が判別できる。 （もっと読む）

【課題】有機材料中の個々の結晶粒の分布状態を詳細に解析する。
【解決手段】始めに、樹脂材料１の表面上に結晶粒を分散させた有機材料２を蒸着法やスピンコート法等を用いて成膜する。次に、樹脂材料３により有機材料２表面を包埋する。次に、試料を厚みが３０ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内になるまで薄片化する。次に目的とする観察部位Ａの近傍領域Ｂにおいて透過電子顕微鏡を用いた観察のための試料高さ調整，電圧軸調整，非点収差補正調整，及びフォーカス調整を行った後、目的とする観察部位Ａを光軸中心に移動してフォーカス調整を行うことにより、透過電子顕微鏡を用いて薄片化された結晶粒分散有機材料を観察し、結晶粒分散有機材料中の結晶粒の分布状態や原子配列構造を解析する。 （もっと読む）

【課題】一次電子ビームと二次電子ビームとの重複領域で二次電子ビームの空間電荷効果による収差増大を抑制する。
【解決手段】電子ビームを生成して試料である基板Ｓに一次電子ビームＢｐとして照射する電子銃１１と、一次電子ビームＢｐの照射を受けて基板Ｓから放出される二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出して基板Ｓの状態を表わす信号を出力する電子検出部３０と、上記二次電子、上記反射電子および上記後方散乱電子の少なくともいずれかを導いて二次電子ビームＢｓとして拡大投影し、電子検出部３０のＭＣＰ検出器３１の検出面に結像させる二次光学系２０と、を備える基板検査装置１に、一次電子ビームＢｐの軌道と二次電子ビームＢｓの軌道との重複領域が縮小するように一次電子ビームＢｐを偏向する偏向器６８をさらに設ける。 （もっと読む）

【課題】二次イオン質量分析法において、二次イオン強度の変化を簡便に抑制できる技術を提供する。
【解決手段】一次イオンの試料表面への照射中に、試料電流値の変化に応じて、一次イオンの入射方向に対する試料ステージの角度を変更することにより、一次イオンの試料表面への入射角度を補正する。 （もっと読む）

【課題】３次元的にスキャン領域を広げて被検体の３次元画像を再構成する。
【解決手段】 放射線源１と、被検体２を透過してくる放射線ビームを検出する放射線検出器４と、放射線ビームと端部付近で交差する回転軸に対し、被検体を、前記放射線ビームに対して相対的に回転させ、かつ、回転軸の方向に相対移動させるヘリカルスキャン手段５，７と、このヘリカルスキャンの間に検出された多数の透過画像から、回転軸を中心として片側が放射線ビームに包含される半径の円柱領域をスキャン領域とし、当該スキャン領域内の被検体の３次元画像を再構成処理する再構成処理手段８ｅとを設けたコンピュータ断層撮影装置である。 （もっと読む）