【課題】入射角に応じた反射Ｘ線強度を求めるＸ線反射率測定方法において，アナライザー結晶を用いて入射角の読み取り目盛りを高精度に修正することにより，入射角の測定精度と再現性を高める。
【解決手段】反射率測定の前に，入射角ωの読み取り目盛りの修正作業を実行する。その修正作業では，受光スリット１８の開口幅をＸ線反射率測定時よりも広くして，反射経路の途中にアナライザー結晶５８を配置して，試料１６の表面からの全反射Ｘ線２０を検出する。そのとき，試料表面に対する入射Ｘ線１０の入射角ωａを正確に決定でき，それに基づいて入射角の読み取り目盛りを修正する。その後，アナライザー結晶５８を反射経路から外して，試料表面のＸ線反射率測定を実施する。入射角を高精度に決定できるので，高精度の反射率測定が可能になる。 （もっと読む）

本発明は試料表面を検査する方法に関する。この方法は、試料表面に向けて誘導される複数の一次ビームを発生するステップと、複数の一次ビームを、試料表面上のそれぞれの位置に集束させるステップと、一次ビームが入射するとすぐ、試料表面から発生する荷電粒子の、複数の二次ビームを収集するステップと、収集された二次ビームの少なくとも１つを光学ビームに変換するステップと、光学ビームを検出するステップとを含む。
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【課題】原子番号の低い結晶材料或いはワークに用いられる短波長Ｘ線回折測定装置及びその方法を提供する。
【解決手段】その装置はＸ線管１と、入射絞り２と、テーブル４と、サンプルまたはワーク３の位置制限部分に用いられる位置制限受光スリット５、測角器７と、検出器６と、エネルギー分析器９とを備えており、Ｘ線管１と検出器６はサンプルまたはワーク３が置かれるテーブル４の両側に位置し、検出器６は回折透過Ｘ線の受光に用いられる。本発明の短波長Ｘ線回折透過方法によれば、サンプルまたはワーク３を破壊せずに、より厚い結晶材料サンプルまたはワーク３の異なる深さと異なる箇所のＸ線回折スペクトルを測定し、コンピュータ１０でデータ処理を行い、サンプル又はワーク３における各点の位相、残留応力等のパラメーター及びその分布を得ることができる。本発明は、操作が簡単で、測定時間が短いという利点を有し、正確で、かつ信頼できるＸ線回折スペクトルを得ることができる。 （もっと読む）

本発明は、広範囲にわたる高エネルギーＸ線を利用してＸ線透過像を測定する装置の空間分解能を測定するために用いる素子、前記素子の製造方法および前記素子を用いた空間分解能の評価方法を提供する。本発明は、Ｘ線透過像を測定する装置の空間分解能を評価する素子であって、角柱状基材上または細線状基材上にＸ線遮断層とＸ線透過層とを交互に積層した多層膜を有し、且つＸ線遮断層の吸光係数が、使用するＸ線の波長において、Ｘ線透過層の吸光係数の３倍以上である素子、前記素子の製造方法および前記素子を用いた空間分解能評価方法に関する。
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【課題】 核種を同定できると共に含有量を定量化できるようにする。
【解決手段】 分析対象試料１８に、外部中性子源からパルス中性子を照射し、透過する中性子のエネルギー分布を中性子検出器２２で検出し、飛行時間測定法によって核種毎に依存する中性子共鳴ピークの凹みを観測することにより、前記試料中に含まれる核種の同定と含有量の定量を行う。分析対象試料を１次元あるいは２次元の試料駆動台１６に載せて、試料を移動してコリメートされたパルス中性子を照射し、遮蔽体によりバックグラウンドを除去した状態で透過中性子を中性子検出器によって測定すると、試料中に含まれる核種の種類と含有量の位置依存性も求めることができる。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線の検出感度の向上及び装置の小型化を図ることができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 リング状に形成されかつ軸方向の一端部（端部）２ａからリング状の１次Ｘ線ａをその少なくとも一部が集束するように放射するＸ線発生器２と、このＸ線発生器２で包囲された内部空間１１に中心軸がＸ線発生器２の中心軸Ｄと一致するようにかつＸ線発生器２の中心軸Ｄ上の一端部２ａ近傍に配置した試料１０と対向するように挿入されると共に、１次Ｘ線ａの照射により試料１０から発生する蛍光Ｘ線ｂを検出するＸ線検出器３と、を備えた。 （もっと読む）

対象（５）の干渉性散乱撮像データを得る装置は、一重なりのライン検出器（６ａ_１−６ａ_ｎ−１，６ａ_ｎ＋１−６ａ_Ｎ）を具備する。各検出器は、対象（５）を通過する放射線ビーム（２ａ）の軌道（２ｂ）の小部分に向けられ、対象において干渉的に散乱される放射線ビームの光束（ｂ_１−ｂ_ｎ−１，ｂ_ｎ＋１−ｂ_Ｎ）がライン検出器に進入し、そこで検出できるようにする。各ライン検出器は、それぞれの散乱光束を進入させる細長開口（３０）と、該開口に平行に配置される検出器要素列（２７）とを有し、それぞれの散乱光束と検出媒体間の相互作用により生成されてそれぞれの散乱光束に垂直な方向に走る電荷または光子は、検出器要素により検出される。ライン検出器とそれらの各検出器要素は、複数の一次元画像を形成するのに十分な散乱データを同時に記録できる向きに配置される。各一次元画像は、それぞれの角度で対象において散乱される放射線から構成される。
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