【課題】非破壊で試料内部の情報を高解像度で取得し良／不良の判断を行うことができ、検査時間を短縮する装置の提供。
【解決手段】電子線またはＸ線を試料（１０３）に照射し、試料からの蛍光Ｘ線をゾーンプレート（１１０）を用いて集め検出器（１０５）で検出し、検出器（１０５）からの電気信号をＡ／Ｄコンバータ（１０６）でデジタル信号に変換し、不良判断部（１０７）で良／不良を判断し、不良の場合、画像処理部（１０７）で画像処理し、画像表示部（１０９）に表示する。 （もっと読む）

【課題】各種材料、製品、部品よりなる被検体に、ＲｏＨＳ指令で規制対象となっている六価クロムが検出される可能性があるクロメート膜が存在する可能性の有無を、非破壊で迅速に検査・判定することが可能となる有害材料判定方法および装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線で励起した特性Ｘ線を用いてクロムの有無を検査し、クロムを検出した場合に、クロムがある特性値以下であり、アルミニウムがある特性値以上、銅がある特性値以上、亜鉛がある特性値以上、およびニッケルがある特性値以上の少なくともいずれか一つの条件が充足された場合に、クロメート膜が存在する可能性があると判定する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線源から放出するＸ線を効率よく利用して、Ｘ線源の強度および波長特性不安定性に影響されることなく良好なスペクトルを取得する。
【解決手段】Ｘ線集光素子３により、Ｘ線源１から放出された広帯域Ｘ線２を集光してその一部を試料４へ照射し、Ｘ線結像素子６により、試料４を透過した透過光５Ａと試料４を透過せずＸ線集光素子３から直接届いた直接光５Ｂの像を同時に転送し、波長分散素子７により、一次元空間情報を保ったままその転送像を波長分解し、二次元Ｘ線検出器９により、信号Ｘ線８Ａと参照Ｘ線８Ｂのスペクトルを吸収スペクトルおよび参照スペクトルとして同時に取得する。 （もっと読む）

【課題】建材中に石綿が含まれているか否かを極めて簡易かつ高い精度で分析することが可能な建材簡易分析方法、及び、その含有される石綿の種類を極めて簡易かつ高い精度で分析することが可能な建材簡易分析方法を提供すること。
【解決手段】建物から採取した建材を、粉砕することなく、そのまま又は所定形状に切断若しくは破断して建材試料とし、該建材試料の切断又は破断面を走査型電子顕微鏡により観察後、繊維が確認された場合、繊維の径の測定及び組成分析を行う建材簡易分析方法である。 （もっと読む）

本発明は、次のような校正用の標準セットに関する。すなわちこの標準セットは、少なくとも３つの校正標準を含み、これらの校正標準は、元素Ｃｄ、Ｃｒ、Ｐｂ、ＨｇおよびＢｒを含む熱可塑性ポリマーからなる成形体から構成される。この場合、これら３つの校正標準のいずれにおいても、ＣｒとＰｂとＨｇとＢｒとＣｄの比が異なる。本発明は、これら校正標準を製造する方法と、Ｘ線蛍光分析のためにこれら校正標準を使用することにも関する。 （もっと読む）

基材を識別するために、Ｘ線蛍光分光法を用いて試料を分析し、電子部品および電子組立品における６価クロムを測定する。確認された基材に基づき、様々な抽出および分析の手順から手順を選択し、選択した手順を用いて６価クロムを試料から抽出する。抽出された６価クロムを１，５−ジフェニルカルバジドと反応させ、各種類の識別された基材に対し独自の校正曲線を用いて、紫外分光法を用いて測定する。測定された６価クロムの量に基づき、試料の単位面積の関数として６価クロムの濃度を算出する。
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【課題】
本発明の目的は、記憶容量が大きく、また記録が書き込まれた記録媒体を記録読み取り装置から分離することができる可換性のある記録読み取り装置を実現することである。
【解決手段】
Ｘ線源とＸ線検出器アレイの間に円盤状媒体を配置し、媒体を回転することによってＸ線投影像のスキャンをおこない、媒体のＸ線吸収率の３次元分布を測定する事により、データ読み取りをおこなう記録再生装置。 （もっと読む）

【課題】 湾曲分光結晶を用いるＸ線分光器において、分光結晶の有効回折領域のみを使用するようにして、分析に用いる特性Ｘ線の波長分解能、特性Ｘ線対バックグランド比の向上を図る。
【解決手段】 湾曲分光結晶３の表面位置からローランド円の内側方向に起立するＸ線遮蔽板Ａを設け、Ｘ線発生点Ｓから湾曲分光結晶３に向かう入射Ｘ線及び湾曲分光結晶３によって回折されＸ線検出器に向かう回折Ｘ線の一部をＸ線遮蔽板Ａにより遮蔽する。遮蔽される領域は入射Ｘ線の入射角θに応じて変化し、常に最適又はそれに近い湾曲分光結晶３上の有効回折領域を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】基底基準吸収回折法による定量法において基底板から正確な回折線強度情報を得ることを可能にすることにより、極めて正確な検量を行うことができるＸ線回折定量装置を提供する。
【解決手段】物質Ｓの重量をＸ線を用いて測定するＸ線回折定量装置において、物質Ｓを物質保持領域Ａｓ内に保持するフィルタ３３と、物質Ｓに照射するＸ線を発生するＸ線源Ｆと、物質Ｓで回折した回折Ｘ線を検出するＸ線検出器２０と、フィルタ３３におけるＸ線照射面の反対側に設けられ物質保持領域Ａｓよりも小さい基底板３１と、Ｘ線源Ｆから見てフィルタ３３の背面側であって基底板３１の外周側面の周りに設けられた非晶質部材３０とを有するＸ線回折定量装置である。非晶質部材３０からは強いピーク波形を持った回折線が出ないので、基底板３１からの回折線に誤差変動が生じることがなくなる。 （もっと読む）

Ｘ線レンズアセンブリを含む装置であるＸ線レンズアセンブリとＸ線レンズアセンブリの製造方法とが記載される。Ｘ線アセンブリは、Ｘ線の導入開口部（９０）とＸ線の導出開口部（９４）とを含む管部材（５０）を有する。加えてアセンブリは、管部材（５０）の内部に取り付けられるキャピラリＸ線レンズ（２８）を有する。安定化材により、および／または一つ以上の分離した取り付け構造（９６Ａ，９６Ｂ）により、Ｘ線レンズ（２８）が管部材（５０）の内部に取り付けられる。

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Ｘ線遮蔽装置（４０）及び係る装置を備えるＸ線装置が記載される。装置（４０）は、孔を有する固定部材（９４）と、固定部材（９４）に対して移動可能であるとともに、Ｘ線遮蔽材料から製作された一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）とを備える。一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）は、孔より小さいＸ線通路（９０）を孔の中に画定する。一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）の移動は、固定部材（９４）に対する各位置において、少なくともＸ線通路（９０）の外側の領域で孔を被覆するように制限される。
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【課題】 ペロブスカイト型酸化物の結晶性薄膜の内部構造を評価することのできる結晶評価方法および結晶評価装置を提供する。
【解決手段】 試料台に載置されているペロブスカイト型酸化物の結晶を含む試料に、Ｘ線を照射し、前記試料から発生した特性Ｘ線を検出する測定部１１０と、前記測定部が検出した特性Ｘ線の強度に基づいて、特定の結晶サイトに位置する元素の種類を決定する処理部５０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 高額・大型の設備が必要なく、小型、低コストの設備で絶縁された導電体試料の分析・評価を高感度・高精度に行うことができる新規な元素分析・評価方法とその装置を提供する。
【解決手段】 ２から１００ｋｅＶの低エネルギーを有する正イオンを、軽元素及び重元素の少なくともいずれかの元素を含む絶縁された導電体試料３へ照射することにより、導電体試料３中に含まれる軽元素又は重元素から４ｋｅＶ以下の低エネルギー特性Ｘ線を発生させ、発生した特性Ｘ線を検出することにより導電体試料３中に含まれる軽元素又は重元素の分析・評価を行うこととする。 （もっと読む）

【課題】 薄膜化した試料に電子線を照射して観察、特にX線検出による元素分析を、背景雑音を低減して高精度、高分解能で行える試料観察装置および試料観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】 薄膜試料の直後に孔部を有する軽元素材料からなる部材５６を配置して、電子線８で該試料２２の特定部位を観察する。
【効果】 本発明により、薄膜試料に電子線を照射して観察する際に、該試料以外の部分から発生するX線、および、該試料以外の箇所で散乱されて再び該試料に入射する電子線を低減できる。これにより高精度、高感度な２次電子像観察および元素分析が可能となり、一段と微細化が進むＬＳＩデバイス等の内部観察等を、高精度、高分解能で実施できる試料観察装置および試料観察方法を提供できる。 （もっと読む）

ＣＳＣＴ物質識別装置において、物質識別のためにＣＴ情報及び微分散乱断面積が使用される。本発明の一態様に従って、微分散乱断面積と全散乱断面積との双方を使用する物質識別が提供される。これにより、改善された物質識別、すなわち、より良好な検出率と、より低い誤警報率とがもたらされる。

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【課題】 成膜製品の製造工程に組み込み、製品を製造ラインから抜き取ることなく、薄膜検査を実施可能とする。
【解決手段】 検査対象を配置する試料台１０と、試料台１０を移動する位置決め機構２０と、第１，第２の旋回アーム３２，３３を備えたゴニオメータ３０と、第１の旋回アーム３１に搭載され、かつシールドチューブ内にＸ線管およびＸ線光学素子を内蔵したＸ線照射ユニット４０と、第２の旋回アーム３３に搭載されたＸ線検出器５０と、試料台１０に配置された検査対象を画像認識するための光学カメラ７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、金属系材料及び非金属系材料の有害元素の定量分析において、分析作業の生産性及び信頼性を高めることが可能なインテリジェント化された分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 上記課題は、部品又は材料中の有害元素の検出を支援する分析装置において、前記分析装置での処理を制御する制御手段と、前記制御手段からの測定条件に従って蛍光Ｘ線測定装置に型蛍光Ｘ線分析法による定量測定を実行させた結果を取得する測定結果取得手段とを有し、前記制御手段は、前記部品又は材料の素材を判定する素材判定手段と、前記素材判定手段の結果に基づいて、前記素材の蛍光Ｘ線スペクトルに基づいて特定される測定条件に従って前記蛍光Ｘ線測定装置に定量測定を実行させ、その定量測定結果に基づいて、前記指定元素を含む物質の有無を判定する物質含有判定手段と更にを有する分析装置によって達成される。 （もっと読む）

【課題】フィルタで捕捉した微粒子をＸ線分析装置により元素分析する際、微粒子以外にフィルタのベース部材の元素も測定することになり、本来の測定対象の微粒子の元素を特定する上で障害となっていた。
【解決手段】分析用フィルタ１は、穴径１００ｎｍ〜１０００ｎｍのろ過穴３を複数有する樹脂からなるフィルタベース２と、フィルタベース２の片側の表面に金（Ａｕ）をイオンスパッタにて形成した金属被覆膜４とを有する。金属被覆膜４の膜厚は、Ｘ線分析装置の電子線が貫通しない程度で、ろ過穴３を塞がない程度が望ましく、４０ｎｍ〜１００ｎｍが好適である。 （もっと読む）

【課題】
検体試料中のＡｌ又はＣｕの測定を高精度で行うことができる二次イオン質量分析法を提供すること。
【解決手段】
本発明の二次イオン質量分析法は、イオンビーム調整用試料を用いてイオン光学系の調整を行う工程と、調整されたイオン光学系の下で検体試料中の検出対象元素の二次イオン強度を測定する工程を備える二次イオン質量分析法であって、検出対象元素がＡｌ又はＣｕであるとき、イオンビーム調整用試料が、実質的に検出対象元素と異なる元素のみからなる材料で形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 薄膜と薄膜が形成されている基板の材料とが同じ材料を含んでいても、薄膜の微小領域における被覆率の測定を行うことができる薄膜の被覆率評価方法を提供する。
【解決手段】 検量線作成用の、シランカップリング膜２を形成したシリコン基板５をＳ−ＳＩＭＳ測定法で測定し、シランカップリング膜２に含まれる有機系のＰＦＰＥイオン強度値と、シリコンイオン強度値との検量線用イオン強度比（ＰＦＰＥイオン強度値／シリコンイオン強度値）を取得する。検量線用イオン強度比を基にして被覆率を求めるための検量線を作成する。次に、実際のシランカップリング膜２が形成されたシリコン基板５をＳ−ＳＩＭＳ測定法で測定し、シランカップリング膜２に含まれるＰＦＰＥイオンの強度値とシリコンイオン強度値の試料イオン強度比を取得する。作成した検量線を用いて、試料イオン強度比から被覆率を評価する。 （もっと読む）