【課題】従来の三元散布図では表現できなかった３元素の強度の絶対値情報を併せて表示することにより、相解析の効率化や精度向上を図る。
【解決手段】
３元素の強度を強度和で規格化した相対値を表す軸（Ａ軸、Ｂ軸、Ｃ軸）を正三角形の三辺に割り当て、その三角形が載る平面に直交する方向に３元素の強度の和を表す軸（Ｄ軸）を追加した、三角柱状の３次元空間を、マッピング分析において１箇所の微小領域で得られたデータ点をプロットする空間として設定する。そして、この３次元的なグラフを平面化して表示部の画面上に描画する。３次元的なグラフを見る方向を任意に変化可能とすることにより、従来の三元散布図上でのデータ点の位置も把握可能であるとともに、三元素の強度の絶対値も容易に知ることができる。 （もっと読む）

【課題】多様な試料を扱う二次イオン質量分析においても、装置周囲に付着した不純物の影響を排除し、精度のよい分析を行うことができる二次イオン質量分析方法を提供する。
【解決手段】電子線、放射線及び一次イオンから選ばれる１種以上を固体試料に照射し、該固体試料から発生する、電子、放射線及び二次イオンから選ばれる１種以上を検出して固体試料の分析を行う分析装置に用いられる試料ホルダーにおいて、封入された相変化材料が装着されている。 （もっと読む）

【課題】 １ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線のエネルギー弁別ができ、かつ高エネルギーＸ線がパルスで発生しても、パイルアップが生じにくい高エネルギーＸ線のエネルギー弁別検査装置と検出方法を提供する。
【解決手段】 被検査物６に向けて１ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線１ａを照射するＸ線発生装置１１と、被検査物を透過して入射する入射Ｘ線１をコンプトン散乱させる散乱体１２と、コンプトン散乱された散乱Ｘ線２の入射Ｘ線に対する散乱角を所定の範囲に制限する遮蔽体１３と、遮蔽体で制限された散乱Ｘ線のエネルギースペクトルを検出する散乱Ｘ線検出器１４と、散乱Ｘ線のエネルギースペクトルから入射Ｘ線のエネルギースペクトルを演算する入射Ｘ線解析器１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 １ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線のエネルギーを検出することができる高エネルギーＸ線の検出装置と検出方法を提供する。
【解決手段】 所定の方向から入射する入射Ｘ線１の照射によりこれをコンプトン散乱する散乱体１２と、入射Ｘ線に対し特定の方向θにコンプトン散乱された散乱Ｘ線２のエネルギースペクトルを検出する散乱Ｘ線検出器１４と、散乱Ｘ線のエネルギースペクトルから入射Ｘ線のエネルギースペクトルを演算する入射Ｘ線解析器１６と、コンプトン散乱の断面積から入射Ｘ線１のエネルギースペクトルを補正する入射Ｘ線補正器１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 難燃剤などの由来の無機成分に含まれる微量な成分であっても、その組成分析を迅速かつ高精度に定量分析することによって、金型成形用のハロゲン系難燃剤含有樹脂を選択する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 ハロゲン系難燃剤を含有する樹脂を凍結粉砕して微粒化する工程と、前記微粒化された樹脂に対して、加圧成形して無機成分の定性分析、および純水と混合して得られる抽出液のイオン成分の濃度の測定を行う工程とを含んでなり、前記無機成分の定性分析および前記イオン成分の濃度の測定結果に基づき、前記無機成分および／または前記イオン成分の濃度が低い樹脂を選択する、金型成形用のハロゲン系難燃剤含有樹脂を選択する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】材料の二次電子放出特性についての正確な評価を容易に行うことが可能な評価方法を提供する。
【解決手段】真空雰囲気中に設置された材料にイオンビームを照射した際に発生する二次電子スペクトルを用いた材料の評価方法であって、被測定試料および基準試料のそれぞれにイオンビームを照射することにより放出される二次電子を測定することにより得られた各電子スペクトルに基づき、電子スペクトルの各々を所定の二次電子エネルギーの範囲で積分して、被測定試料積分強度および基準試料積分強度を測定する積分強度測定工程と、被測定試料積分強度の基準試料積分強度に対する相対比を求める積分強度相対比算出工程と、相対比により被測定試料における二次電子放出性能を評価する評価工程とを有している材料の評価方法。 （もっと読む）

【課題】ＣＡ線の製造工程におけるＣｕ被覆とＡｌ線の密着性を正確に予測できる比較的簡単な評価方法を提供し、伸線加工によって目的とするＣＡ線を製造する際のＣｕ被覆の剥離やＡｌ線の露出、さらには断線の可能性等を事前に推測できるようにすることにある。
【解決手段】Ａｌ線上にＣｕテープをフォーミングし、ついで前記Ｃｕテープの突合せ部分を溶接した後、縮径することによってＡｌ線とＣｕテープ被覆を密着させてＣＡ母材とし、ついで前記ＣＡ母材を伸線加工するＣＡ線の製造方法において、前記伸線加工工程における特定の段階で、Ｃｕ被覆剥離面の新生面比率を測定することによって、Ａｌ線とＣｕ被覆の密着性を評価するＣＡ線の評価方法である。 （もっと読む）

【課題】 異物起因のコントラストのみを明確に判別して過検出及び誤検出を防ぐことができるＸ線透過検査装置及びＸ線透過検査方法を提供すること。
【解決手段】 測定対象の元素のＸ線吸収端より低いエネルギーの第１の特性Ｘ線を試料Ｓに照射する第１のＸ線管球１１と、元素のＸ線吸収端より高いエネルギーの第２の特性Ｘ線を試料Ｓに照射する第２のＸ線管球１２と、第１の特性Ｘ線が試料Ｓを透過した際の第１の透過Ｘ線を受けてその強度を検出する第１のＸ線検出器１３と、第２の特性Ｘ線が試料Ｓを透過した際の第２の透過Ｘ線を受けてその強度を検出する第２のＸ線検出器１４と、検出された第１の透過Ｘ線の強度の分布を示す第１の透過像と検出された第２の透過Ｘ線の強度の分布を示す第２の透過像とを作成し、第１の透過像と第２の透過像との差分からコントラスト像を得る演算部１５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】試料ホルダの形状や搭載状態を、ステージマップ上に表示できる表面分析装置を提供する。
【解決手段】複数の試料ホルダを搭載可能な試料ステージ１９、試料ステージ１９を駆動するステージ駆動手段１１、複数の試料ホルダにそれぞれ収納された試料に対して、逐次測定をする測定手段１２を有する測定ユニット１と、ホルダベース、複数の試料ホルダの装着位置座標及び複数の試料ホルダの形状に関する表示情報を生成するマップ表示情報生成手段２３１、複数の試料ホルダの装着位置及び複数の試料ホルダの種類の情報を含む配置情報を生成するホルダ配置情報生成手段２２２、配置情報からホルダ配置図を生成するホルダ配置図生成手段２２３、ホルダ配置図をステージマップ図に合成するステージマップ表示手段２２６を有する演算処理装置２２ａと、ステージマップ図を表示する表示装置２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送されている検査対象物の異物等の欠陥を精度良く検出することが可能な欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】搬送経路に沿って所定の搬送方向に搬送されるアルミニウムシート１の欠陥を検査する欠陥検査装置１００に、アルミニウムシート１にＸ線を照射するＸ線源１１０と、Ｘ線源１１０により照射されてアルミニウムシート１を透過したＸ線を検出するＸ線用ＴＤＩカメラ１２０と、Ｘ線用ＴＤＩカメラ１２０により検出されたＸ線の強度に基づいてアルミニウムシート１の透過画像を生成する画像生成装置１３０と、を具備し、Ｘ線源１１０から照射されてＸ線用ＴＤＩカメラ１２０に検出されるＸ線の照射方向を搬送経路の搬送面に垂直な方向に対して搬送方向の正または負の方向に所定角度だけ傾斜させた。 （もっと読む）

【課題】外観からは表裏判別が困難または不可能な元素組成が表裏で異なる積層体の表裏を容易に判別できる方法を提供すること。
【解決手段】シート状非金属基材の片面上に第１の層を、その反対面上に第２の層を有する積層体の表裏を判別する方法であって、第１の層と第２の層は元素組成が相違しており、第１の層側と第２の層側とからそれぞれＸ線を少なくとも１回照射する蛍光Ｘ線分析（ＸＲＦ）を実施するに際し、第１の層と第２の層のいずれか一方にのみ含まれる元素に由来するＸ線スペクトル強度に、第１の層側からＸ線を照射して測定した場合と第２の層側からＸ線を照射して測定した場合とで有意差が生じるようなエネルギーレベルのＸ線を照射することを特徴とする、積層体の表裏を判別する方法。 （もっと読む）

【課題】コヒーレント性を有するＸ線を、結晶性のある測定試料に照射することによって得られるスペックル状の回折光を用いて、該測定試料の結晶の不均一構造の分布を、容易に得ることができる方法を提供する。
【解決手段】コヒーレントなＸ線光を２分岐し、一方を、結晶性を有する測定試料に照射して得られたスペックル状の回折光と、他方のＸ線光を単結晶の参照結晶に照射して得られた回折光とを、二次元の検出器上で干渉させてホログラムパターンを取得し、このホログラムパターンに対してフーリエ変換を行って、該測定試料の結晶性の不均一性などの結晶構造に関する空間分布情報を得るようにする。こうすることで、スペックル状の回折光から直接、オーバーサンプリング法を用いた演算処理に比べ、容易に上記情報を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】Ｈｅよりも重い入射イオンを用いて、１ＭｅＶ以下の低い入射イオンエネルギーで、軽元素を対象として被測定物深さ方向の濃度分布を、高感度かつ高精度で計測できるイオンエネルギーの分光方法と装置を提供することである。
【解決手段】イオンビームを被測定物に照射して散乱または反跳されるイオンのエネルギースペクトルを偏向電磁石およびイオン検出器を用いて計測するイオンエネルギーの分光方法で、イオンビームが、分光対象とする元素よりも質量が大きい元素のイオンであり、偏向電磁石の出側に偏向電極を設けて、散乱または反跳されたイオンの軌道を曲げて分離し、かつイオン検出器の前面にイオン分離用薄膜を設けて、イオン検出器に入射するイオンを分離して選別するようにした。それにより、１ＭｅＶ以下の低い入射イオンエネルギーの領域で、軽元素の濃度分布を高感度かつ高精度で計測することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】特性Ｘ線の検出結果に基づいて、試料中の粒子を適切に区分・識別表示することができる粒子解析装置、データ解析装置、Ｘ線分析装置、粒子解析方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置では、試料ＳのＳＥＭ画像をＳＥＭ画像処理部１４で生成し、試料Ｓに含まれる複数の粒子をＳＥＭ画像に基づいて検出し、各粒子に電子銃１１から電子線（放射線ビーム）を照射し、各粒子から発生する特性Ｘ線をＸ線検出器２１で検出する。更にＸ線データ解析部２３は、特性Ｘ線の検出結果から各粒子に含有される複数の元素の含有量を求め、粒子解析装置３は、各粒子に係る複数の元素の含有量に対して主成分分析を行い、主成分分析により得られた各粒子に係る複数の主成分得点を用いて階層型クラスター分析を行うことにより、試料Ｓに含まれる多数の粒子を組成に応じた複数のグループに分類する。 （もっと読む）

【課題】半導体基板等の表面または内部において局所的に存在する金属不純物元素を現実的な時間内で検出、定量可能な元素分析方法を提供する。また、インラインで、できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】プロトンを、０°より大きく９０°より小さいプロトン入射角で分析対象の基板へ入射させる。このとき、プロトンの入射により励起され、分析対象の基板から放射される特性Ｘ線は、エネルギー分散型のＸ線検出器等により計測される。分析対象の基板内部に存在する不純物元素は、計測された特性Ｘ線から特定される。プロトンビームを走査することで基板面内の分布を取得でき、異なるプロトン入射角でプロトンを入射することで深さ方向の分布を取得することができる。また、当該元素分析方法を、半導体装置の製造工程に適用することで、金属汚染の分析や導電型決定不純物量の定量をインラインでかつ高精度に実施できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体試料の元素成分の分析方法として通常行われるＩＣＰ分析方法に比べ、多くの元素を対象に簡便な操作で液体試料中の元素成分を同時分析することが可能であり、検出された元素成分の価数等の化学状態についても解析することが可能な分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明よる分析方法は、液体試料を清浄な基材面に滴下して、乾燥させた後の基材面を表面分析することにより達成される。表面分析方法としては、ＸＰＳ分析法等が挙げられ、ＩＣＰ−ＡＥＳ分析と併用すれば、ＩＣＰ−ＡＥＳ分析では測定不可能だった結果を補足することも出来る。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その大きさと導電性との２つの観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した金属元素含有異物の有無を検査する方法であって、前記基板に付着した異物の大きさと位置とを検出する第１検査ステップと、第１検査ステップで検出された位置に位置合わせして、その異物が金属元素を含有するか否かについて検査する第２検査ステップとを備えることを特徴とする検査方法。 （もっと読む）

【課題】液体試料を前処理して含有成分を蛍光Ｘ線分析するために用いられる蛍光Ｘ線分析用試料保持具ならびにそれを用いる蛍光Ｘ線分析方法および装置において、蛍光Ｘ線分析用試料保持具からの不純線をなくし、バックグラウンドを抑制して検出限界を向上させるとともに分析精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１は、液体試料Ｓを前処理して含有成分Ｓ１を蛍光Ｘ線分析するために用いられる蛍光Ｘ線分析用試料保持具１であって、輪状の台座２と、台座２に所定の張力で保持される周辺部３ａおよびＸ線を透過させるための透過部３ｂを有する厚さ１２μｍ以下の熱収縮性フィルム３とを備え、透過部３ｂに窪み３ｃが形成されており、透過部の窪み３ｃに液体試料Ｓが滴下されて乾燥されることにより、透過部３ｂが平坦になるとともに、含有成分Ｓ１を保持する。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェーハ上に非検知元素よりなる疎水性膜２を設けた、液滴状分析試料の乾固を行う全反射蛍光Ｘ線分析用試料板の改良により、空実験でＳｉピークを確実に消滅させ、気相分解法と全反射蛍光Ｘ線分析を組み合わせる高感度化手法において、Ｓｉとエレルギー値の近いＰ，Ａｌ，Ｍｇ等も高感度化させる。
【解決手段】Ｓｉの特性Ｘ線が発生するのは、膜２の表面４で全反射するＸ線５が表面下８まで侵入し、この領域には微小欠陥群が存在してＸ線の散乱９が起こり膜界面のシリコンが励起する為と考え、試料板の試料乾固域の下方に十分の広さのシリコン欠如部分（凹部）を設けて、散乱Ｘ線９がシリコンと遭遇しないようにした。凹部の天井の乾固用膜は十分に薄く出来て不純物の絶対量が減るので、Ｓｉピークの消滅と同時に分析対象元素全般の空試験値も低減させ得る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、リアルタイムに材料を識別することを解決し、二重階調融合とカラー化などのアルゴリズムを利用して材料区分及び階調情報可視化することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る物質識別方法は、高エネルギー放射線と低エネルギー放射線とで被検体を透過させて、各画素の値が高エネルギー放射線の被検体の該当部分に対する高エネルギー透明度を示す被検体の高エネルギー透過画像と、各画素の値が低エネルギー放射線が被検体の該当部分に対する低エネルギー透明度を示す被検体の低エネルギー透過画像とを取得するステップと、各画素ごとに、高エネルギー透明度の第１の関数の値と高エネルギー透明度及び低エネルギー透明度の第２の関数の値を算出するステップと、第１の関数の値及び第2の関数の値によって特定される位置を、予め作成した分類曲線で分類し、各画素に対応する被検体の該当部分の物質のタイプを識別するステップとを含む。 （もっと読む）