【課題】磁性多層膜中の磁気特性を乱すことなくＸ線磁気円２色性を測定し、層界面近傍の磁気特性又は膜厚方向の磁気特性分布を観測する。
【解決手段】磁性多層膜１の積層構造に基づく干渉により反射Ｘ線強度が強くなる入射角θで入射したＸ線５により、磁性多層膜１中に励起される定在波の電界強度Ｅ（イ）、Ｅ（ロ）が、磁性多層膜１中の層１ａ、１ｂの界面で最大強度を有するように入射角θを制御し、入射Ｘ線５を進行方向に対して右廻り円偏光及び左廻り円偏光に切換え、切換え前後のＸ線吸収の差分を測定して、磁性多層膜１のＸ線磁気円２色性を測定する。定在波の腹及び節の位置を入射角θにより制御し、最大電界強度の位置を測定すべき界面に合わせることで、界面近傍の磁気特性が選択的に測定される。 （もっと読む）

【課題】筋引きの少ない良好な観察用断面を作製することができるとともに、スループットを向上させることが可能な集束イオンビーム装置、及び、良好な観察用断面を作製して、正確な観察像を得ることができる試料の断面加工・観察方法を提供する。
【解決手段】集束イオンビーム装置１は、試料Ｓを載置する試料台２と、試料台２を水平面上の二軸及び鉛直軸の三方向に移動させることが可能な三軸ステージ３と、試料Ｓに対して集束イオンビームＩ１、Ｉ２を照射する第一の集束イオンビーム鏡筒１１及び第二の集束イオンビーム鏡筒１２とを備え、第一の集束イオンビーム鏡筒１１及び第二の集束イオンビーム鏡筒１２は、互いの集束イオンビームＩ１、Ｉ２の照射方向が、平面視略対向するとともに、側方視鉛直軸に対して略線対称に傾斜するように配置されている （もっと読む）

【課題】 被測定物の全ての測定点の位置を容易に把握することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 被測定物Ｓを配置するステージ１４と、被測定物Ｓの所定の領域の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器１２とＸ線検出器１２に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源１１とを有するＸ線測定光学系１３と、ステージ１４を移動させるステージ駆動機構１６と、透視Ｘ線像に基づいて作成されたＸ線画像と被測定物Ｓの所定の領域を含むマスター画像との画像表示が行われる表示装置２３とを備えるＸ線検査装置１であって、マスター画像の特定の位置に測定点情報の画像表示を行うティーチング情報記憶制御手段３５を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度変化によって膨張、収縮したとしても保持している試料の位置を変化させること無く、正確に位置決め、保持することが可能な試料保持機構、及び、この試料保持機構を備えた試料加工・観察装置に提供する。
【解決手段】試料加工・加工観察装置１は、試料保持機構２０を備えている。試料保持機構２０は、試料Ｓを保持する試料ホルダ２１と、試料ホルダ２１を着脱可能に支持するベース２２とを備える。これらの間には、回転可能に支持する回転支持部２７と、回転中心２７ａからＸ方向に向って摺動可能に支持するスライド支持部２８と、Ｘ方向及びＹ方向に摺動可能に支持する当接支持部とが、着脱可能に設けられている。上面２１ａには、回転中心２７ａからＹ方向及びＸ方向に沿って配置され、試料Ｓの一辺Ｓ１及び他辺Ｓ２に当接するＸ方向位置決めピン３１及びＹ方向位置決めピン３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線測定光学系と被測定物との破損を防止しつつ、Ｘ線検出器又はステージを移動させることにより、様々な位置の被測定物の透視Ｘ線像を撮影できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検出器１２とＸ線源１１との間で被測定物を配置するステージ１４と、ステージ駆動機構とを備えるＸ線検査装置１であって、可視光像を撮影する光学カメラ１６と、ステージ１４を回転移動させつつ撮影された可視光像に基づいて、被測定物とＸ線測定光学系１３とが接触する可能性がある衝突危険領域を設定する衝突危険領域設定手段３２と、Ｘ線測定光学系１３の一部が衝突危険領域に入っているか否かを判定する衝突判定手段３３と、Ｘ線測定光学系１３の一部が衝突危険領域に入っていると判定したときに、Ｘ線測定光学系１３の全部が衝突危険領域に入っていないときの移動速度より遅い所定の移動速度にする移動速度制御手段５２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 透視Ｘ線像を印刷出力する際に、後で、どの部分の透視Ｘ線像であるかが容易に把握できるように出力するＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線測定光学系１３と、光学カメラ１６と、Ｘ線画像を作成するＸ線画像作成部３１と、光学カメラ画像を作成する光学カメラ画像作成部３２と、同時に撮影された一対のＸ線画像と光学カメラ画像との関係付けを行い、光学カメラとＸ線検出器との位置関係に基づいて、光学カメラ画像中における該当位置にマーカを付したマーカ付き光学カメラ画像を作成するマーカ付き光学カメラ画像作成部３３と、Ｘ線画像およびマーカ付き光学カメラ画像を蓄積する画像記憶部３４と、プリンタ２６と、Ｘ線画像を印刷する際にマーカ付き光学カメラ画像も印刷する画像印刷制御部３７とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料を傾斜させることによって生じた分析対象領域の位置ずれを容易かつ簡便に補正できる元素分析方法を提供すること。
【解決手段】元素分析方法は、任意の角度に傾斜でき、かつ、任意の方向に移動可能な試料ステージ上に試料を載置する工程と、試料をステージ上に保持しつつ試料表面に電子線を走査し試料の電子顕微鏡画像を得る工程と、試料を移動させながら電子顕微鏡画像を用いて試料の分析対象領域の中心点を所定の測定位置に一致させる工程と、試料を所定の角度に傾斜させる工程と、傾斜後の前記領域の中心点が前記測定位置に一致するように試料の位置ずれを補正する工程と、試料に電子線を照射し分析対象領域から放出される特性Ｘ線を検出し前記領域の表面近傍に存在する物質の元素を分析する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】加速電圧を下げたＳＴＥＭ観察での電子ビームの試料透過能力の低下やイオンビームの照射により生じるダメージ層の悪影響を防ぎ、試料の所望の領域への損傷を最小限にしてダメージ層を効果的に除去すること、および薄膜試料の厚さがより薄くなっても最適な加工終了時点を検出して加工失敗を防ぐ。
【解決手段】仕上げ加工に使用するイオンビームのエネルギーを低くすると共に、試料への入射角度を試料形状に合わせて最適化し、ＳＴＥＭ像の着目する要素の変化をモニタして加工の終了時点を検出する。 （もっと読む）

【課題】 入力操作を行う際に、駆動機構の現在位置を把握できるようにし、また、リミット位置に達したことを把握できるようにして、操作性を向上させたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 ステージ１４と、Ｘ線測定光学系１３と、ステージ１４やＸ線検出器１２を移動する駆動機構部１６、１７と、ステージ１４やＸ線検出器１２の現在位置を検出する位置検出手段１８と、検出された現在位置と移動限界位置との位置関係を判定する位置判定部３５と、ステージ１４またはＸ線検出器１２を移動するためのスイッチ手段２４ｅ〜２４ｇを含む操作画面２４ｃを表示装置のモニタ画面２４ａに表示する操作画面表示制御部３３と、現在位置と移動限界位置との位置関係の判定結果に基づいて操作画面中のスイッチ手段の表示内容を変更するスイッチ手段表示変更部３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 動画表示の透視Ｘ線画像に対応する外観画像上の位置の確認が容易に行えるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検出器１２の受光面近傍に固定されＸ線検出器による透視Ｘ線像より広い視野での被測定物の光学像を撮影する光学カメラ１６と、被測定物を載置するステージ１４と、Ｘ線測定光学系とステージとの相対位置を調整する駆動機構１５と、Ｘ線画像作成部３１と、光学カメラ画像作成部３２と、同時に撮影された透視Ｘ線像および光学像のＸ線画像、光学カメラ画像を同期画像として関係付けを行う同期画像関連付け部３３と、Ｘ線撮影位置マーカを付したマーカ付き光学カメラ画像を作成するマーカ付き光学カメラ画像作成部３４と、マーカ付き光学カメラ画像および関連付けがなされたＸ線画像を関連付けて記憶する同期画像記憶部３５と、マーカ付き光学カメラ画像とＸ線画像とを表示装置に同時に表示する表示制御部３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】結晶サイズの異なる各種の試料に対しても精度の高い測定が可能となるＸ線結晶構造解析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線結晶構造解析装置は、発生するＸ線を所定の位置において点状に絞り込む集光ミラー１１を備えており、Ｘ線発生装置１０から発生したＸ線を、ゴニオメータ２０に備えた試料ホルダ上に保持された試料Ｓに照射してその結晶構造を解析するが、更に、Ｘ線発生装置１０とゴニオメータ２０との間の相対的な距離を可変するための手段として、距離可変手段を移動用レール（ガイド）１５，２４を、その一方又は双方に設け、低分子の大きな結晶を含む各種の試料に対しても精度の高い測定を可能にした。 （もっと読む）

【課題】断層画像を利用して異常を表示する装置の価格が上昇してしまうという課題があった。
【解決手段】回路形成体２０３を保持する回路形成体回転機構２０２と、回路形成体２０３にＸ線を照射するＸ線発生手段２０１と、回路形成体２０３を透過してきたＸ線を検出するＸ線検出手段２０４と、Ｘ線を利用して、回路形成体２０３の透過画像を作成し、あらかじめ用意された、良品の透過画像と、回路形成体２０３の透過画像とを比較し、比較の結果に応じて、回路形成体２０３における異常の有無を判定し、良品の透過画像を含む、その枚数よりも多い枚数の作成された良品の透過画像のセットを利用して、良品の断層画像を作成する制御コンピュータ２０８と、異常が有ると判定された場合には、回路形成体２０３の異常が有る透過画像に対応する良品の透過画像に基づいて決まる断層画像の部位に、異常を表示する表示手段２０９とを備えた、Ｘ線ＣＴ装置３０１である。 （もっと読む）

【課題】気体イオンビーム装置とＦＩＢとＳＥＭを用いて、効率よくTEM試料作製ができる複合荷電粒子ビーム装置としての構成方法を提供する。
【解決手段】ＦＩＢ鏡筒１と、ＳＥＭ鏡筒２と、気体イオンビーム鏡筒３と、ユーセントリックチルト機構とユーセントリックチルト軸８と直交する回転軸１０とを持つ回転試料ステージ９と、を含む複合荷電粒子ビーム装置であり、集束イオンビーム４と電子ビーム５と気体イオンビーム６とは、１点で交わり、かつＦＩＢ鏡筒１の軸とＳＥＭ鏡筒２の軸はそれぞれユーセントリックチルト軸８と直交し、かつＦＩＢ鏡筒１の軸と気体イオンビーム鏡筒３の軸とユーセントリックチルト軸８とは一つの平面内にあるように配置する。 （もっと読む）

【課題】簡単な機構と制御で検査倍率を保ち、画像の明るさ変化の少ない透視角度可変のＸ線透視検査装置を提供する。
【解決手段】検査領域がＸ線のほぼ光軸上に位置すると共に、Ｘ線源と被検体テーブル１３間距離を調整し、被検体２１の検査倍率を設定するように、被検体テーブル１３を平行移動させて位置設定するテーブル移動手段１４と、Ｘ線の照射領域内において、Ｘ線検出器を被検体テーブルのテーブル面に対して傾斜した検出器移動方向に直線的に移動させて位置設定する検出器移動手段１５と、固定したＸ線源に対してＸ線検出器を位置設定させるように検出器移動手段１５を制御し、検査領域がＸ線のほぼ光軸上に位置するように被検体テーブルを位置設定させて検査領域のテーブル面法線から所定の傾斜角αで傾斜した方向の透過画像を検出させるようにテーブル移動手段１４を制御させる機構制御手段１６を有する。 （もっと読む）

【課題】等速ジョイントの内部潤滑グリースの移動状態を正確に調べることができる方法とし、グリースの移動性からみたグリースの当該等速ジョイントとの適合性、さらにはグリースの寿命や劣化状態、取替え時期などを判別できる等速自在継手内部グリースの適性検査方法とすることである。
【解決手段】潤滑グリースを内部に保持した等速自在継手の内輪の軸線を外輪の軸線に対して所定角度だけ傾け、その際に内輪と外輪のいずれか一方を他方に対して１回転以上回転させた後、内・外輪の軸線を同一線上に一致させてから等速自在継手の所定方向からＸ線透過像を撮影し、予め前記回転する以前に内・外輪の軸線が同一線上に一致させた状態で前記所定方向からの等速自在継手のＸ線透過像を撮影しておき、前記回転前後のＸ線透過像における濃色域の面積変化およびその位置変化を比較して潤滑グリースの移動量と存在位置を調べることにより潤滑グリースの適性を検査することからなる等速自在継手内の潤滑グリースの検査方法とする。 （もっと読む）

【課題】微小焦点Ｘ線管の陽極の温度上昇による焦点の移動量を制御可能とする。
【解決手段】Ｘ線管10には、微小焦点32を形成するための陰極12と陽極14を加熱するためにのみ用いられるエミッション陰極13の2つの陰極と、陽極14の2つの陰極12、13と対向する位置に第1のターゲット18と第2のターゲット19の2つのターゲットが設けられている。エミッション陰極13によって第2のターゲットに形成される焦点33の大きさは微小焦点32の大きさよりも大きくなっている。大きなエミッション陰極電流が得られるエミッション陰極13と微小焦点の陰極12を共用し、このエミッション陰極電流を制御することにより、従来の微小焦点Ｘ線管よりも大きなＸ線管電流を流して、陽極温度を素早く上昇し、また陽極温度を高温に維持する。その結果焦点移動量の変動を小さくできる。 （もっと読む）

【課題】被写体の断層像からその輪郭を抽出するために用いられるしきい値を従来に比してより論理的意味を持たせ、被写体の断層像の輪郭抽出に用いてその再現性と測定精度を大幅に向上させることのできるしきい値の決定方法を提供する。
【解決手段】放射線の投影データを用いて再構成演算して得られた断層像に対し、複数のしきい値Ｔｈ（ｉ）を用いてそれぞれ被写体像部分と空間像部分の境界を画定し、その各境界により区切られた空間像部分は放射線の吸収がないものと仮定して順投影処理を施して仮想的な投影データを作成し、その各仮想的投影データと実際の投影データの一致度を判定し、最も高い一致度が得られたしきい値Ｔｈ（ｉ）を最適なしきい値と決定し、被写体像の輪郭抽出のためのしきい値として採用する。 （もっと読む）

【課題】不均質な対象が検査される場合に、質を一定に維持しつつも測定時間の低減が達成され得るＣＴ方法を提供する。
【解決手段】検査対象の異なる角度位置での投影データが得られるＸ線によるノンメディカル応用分野における検査対象の投影データを読み取るためのＣＴ方法に関する。本発明によれば、各角度位置を読み取るための積分時間が検査対象のジオメトリ及び角度位置における検査対象の吸収特性によることが提供される。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線画像を用いた算術演算や論理演算を実行しようとする場合に、直感的に演算内容を把握することができる入力画面を表示するようにしたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線画像を用いてそのＸ線画像に対する算術演算や論理演算の画像処理を行う機能を備えたＸ線検査装置１であって、実行する演算の種類を入力する演算子入力部６２とその演算の対象となるＸ線画像を入力する項入力部６１とが演算式を構成するように表示される演算式入力画面２を表示するようにして演算の種類およびＸ線画像の入力を促す演算入力画面表示制御部３４を備える。 （もっと読む）

【課題】日常の使用に適するＸ線回折計を提供する。
【解決手段】
軸まわりに回転可能であり、試料を取り付ける試料ステージ、前記試料ステージにおける試料にＸ線放射を向ける二重ピンホールコリメーター、前記試料によって回折されるＸ線を検出する検出器、及び、前記試料ステージ及び前記検出器の間に配置され、前記試料によって回折されたＸ線を前記検出器上に向ける分析器結晶、を含むＸ線回折計であって、前記分析器結晶及び前記検出器は、前記試料ステージの回転の軸と同軸である軸まわりに回転可能であるＸ線回折計を提供する。 （もっと読む）