【課題】オープンコードの有無を正確に判定することができ、しかも検査に要する時間を短縮できるタイヤの検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】画像からカーカスコードＣＣが撮像された領域を抽出するとともに、抽出画像を二値化処理し、二値化処理された画像中にカーカスコードＣＣと略直交する方向に延びる複数の検査用線ＳＬを追加し、カーカスコードＣＣと交差する範囲が差分された各検査用線ＳＬの画像を得るとともに、カーカスコードＣＣと交差する範囲が差分されることにより各検査用線ＳＬが分割されて成る複数の分割検査用線ＳＬ１の長さの平均値を算出し、その平均値に対して所定倍率以上の長さの分割検査用線ＳＬ１の有無を判定する。即ち、撮像された画像中に前記平均値よりも間隔が広くなるオープンコードがある場合は、平均値に対して所定倍率以上の長さの分割検査用線ＳＬ１が有ると判定される。 （もっと読む）

【課題】ベルトエッジオーバーラップの有無を正確に判定することができ、しかも検査に要する時間の短縮を図ることのできるタイヤの検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】撮像された画像から各ベルトコードＢＣが撮像されたベルトコード領域のうちベルト部材幅方向の両端部側の領域を抽出するとともに、その抽出画像中において第２ベルト部材ＢＥ２の各ベルトコードＢＣ延設方向と等しい方向に延在する成分が集合している特定成分領域を確定することから、特定成分領域は第２ベルト部材ＢＥ２のみが存在する領域となる。また、特定成分領域がタイヤ周方向に不連続である場合に、その透過Ｘ線像を撮像したタイヤＴにベルトエッジオーバーラップが生じていると判定される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線等の被検体を透過する放射線を用いることにより被検体の寸法や形状によらず内部構造の観察や内部欠陥等を検出することができ、被検体を回転させる簡素な構造で装置を小型化することができる汎用性、取扱い性に優れるステレオ透視装置の提供。
【解決手段】Ｘ線源５と、被検体２０を移動自在に保持する位置設定機構６と、前記被検体２０を挟んで前記Ｘ線源５に対向配置され前記被検体の透過画像を検出する平面状のイメージセンサ１０と、前記位置設定機構６により少なくとも二種類の回動角度で保持されたときに前記イメージセンサ１０で得られる前記被検体２０の透過画像に基づいて、当該被検体２０の三次元構造を表す三次元座標データを生成する座標データ生成部（制御部３）とを備えたことを特徴とするステレオ透視装置。 （もっと読む）

【課題】透過法のＸ線回折測定を容易としうるＸ線回折測定方法の提供。
【解決手段】本発明のＸ線回折測定方法は、所定の回転軸線Ｚｓまわりに試料４８を回転させながらこの回転軸線Ｚｓに略沿った方向の入射Ｘ線を試料４８に透過させることにより、Ｘ線回折が測定される。好ましい測定方法では、貫通孔４６を有する試料ホルダー３４と、この試料ホルダー３４が取り付けられた状態で回転軸線Ｚｓまわりに回転しうる回転体２５とが用いられる。この回転体２５は、Ｘ線を通過させるためのＸ線通過孔３２を有している。Ｘ線通過孔３２は、上記回転軸線Ｚｓを通過させるように上記回転体２５を貫通している。試料ホルダー３４の貫通孔４６とＸ線通過孔３２とが連通した連通孔が形成されるように試料ホルダー３４が取り付けられている。試料４８は、試料ホルダー３４の貫通孔４６の内側に配置される。 （もっと読む）

【課題】対象物を適当な姿勢のもとに回転テーブル上に載せてＣＴ撮影を行っても、得られるＭＰＲ画像などの直交する３断層像上で比較的簡単な操作を行うことにより、対象物の基準面とＣＴ装置の直交３軸とを沿わせることができ、高精度の寸法・形状計測が可能なＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】ＣＴデータを用いた直交３断層像上で、対象物Ｗの基準面ＳＲ１とすべき面に相当する境界を含む互いに異なる位置の３つ以上の３次元参照領域を設定することにより、その各３次元参照領域中で像の境界を求め、その境界上の代表点Ａ〜Ｃを決定し、これらの各代表点を通る平面を対象物Ｗの基準面を表す平面とし、その基準面の方向とＣＴ装置の直交３軸のうちの２軸の方向とが一致するように、ＣＴデータの配列方向もしくは直交３軸側をシフトすることで、基準面に直交する断層像などの表示を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 サンプルの大型化に伴うＸ線防御箱の大型化を可能な限り避けることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生器１３とＸ線検出器１５とを対向させた状態で直方体のＸ線防御箱２５内部に配置され、Ｘ線発生器１３とＸ線検出器１５との間にサンプルＡを置くための回転テーブル１６がＸ−Ｙ移動ステージ１７に保持されているＸ線検査装置において、Ｘ線発生器１３のＸ線焦点とＸ線検出器１５の中心点を結んだ光軸Ｂが、平面視においてＸ線防御箱２５の対角線あるいはその近傍に沿って配置されていることを特徴とする構造。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、検査対象となる回路パターンの画像をモニタ画面を通して検査する際に、その画面の正確な情報により迅速に処理できると共に、製品全体に及ぶ欠陥又は特定領域における欠陥を迅速に検知することができる回路パターンの検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、ウェーハの回路パターンが形成された基板表面に電磁波又は荷電粒子線を照射し、該照射によって前記基板から発生する信号に基づいて得られる検査画像から前記回路パターン上の欠陥を検出する回路パターンの検査装置において、前記検査画像を取得する前後において、前記検査画像の対応部分に電子線を照射し前記ウェーハの帯電状態を変化させる手順が設定される検査条件設定部を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明では、組み立て強度を保持したまま、厚さを薄くした半導体放射線検出器を実現することを目的とする。
【解決手段】
本発明は、フレキシブル基板と、該フレキシブル基板に相対する遮蔽板と、一対の前記フレキシブル基板と前記遮蔽板の間に、半導体結晶と、該半導体結晶の側面側に設けられたベース板を備えることを特徴とする。
【効果】
本発明によれば、組み立て強度を保持したまま、厚さを薄くした半導体放射線検出器を実現できる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ビームを形成する小型かつ軽量のＸ線ビーム源を得る。
【解決手段】Ｘ線ビーム源１３は、絶縁材１に挿入され電圧を印加する導入線２と、導入線２の一端に設けられた陰極と、陰極と対面して設けられ発生した電子ビームを衝突させてＸ線を発生させる陽極であるターゲット６と、導入線２、陰極及びターゲット６を収納しＸ線が通過するＸ線透過窓５を有する真空容器７と、Ｘ線透過窓５の外側に設けられＸ線から特性Ｘ線を選択的に取り出すフィルタ８と、真空容器７及びフィルタ８を収納するハウジング１０と、ハウジング１０に設けられ特性Ｘ線を収束するＸ線集光素子であるフレネルゾーンプレート（ＦＺＰ）９と、を有する。 （もっと読む）

【課題】しきい値とベースラインとの関係による影響を受けることなく、対象物の境界面を常に正確に表すことのできる３次元画像化方法と、その方法を利用したＸ線断層雑像装置を提供する。
【解決手段】対象物Ｗのボリュームデータを構成するボクセルから、あらかじめ設定されているしきい値を用いて一定濃度の境界を表現するポリゴンデータを生成した後、その各ポリゴンの各頂点について、当該頂点を通り、かつ、その近傍の物体境界面の法線方向への軸に沿って、その軸の両側所定領域の濃度値を積算して得られるプロファイルを微分することによって得られるピーク値の座標を求め、その座標を当該頂点の座標として、各ポリゴンの各頂点座標を補正することで、しきい値に依存することなく正確に対象物の３次元画像を得る。 （もっと読む）

【課題】内容物と不活性ガスとが充填され缶内に負圧又は正圧がかかった状態において缶の巻き締め部の検査を精度良く行うことの出来る缶の巻き締め検査装置並びに巻き締め検査方法を提供することにある。
【解決手段】互いに対向配置されたＸ線源１とＸ線検出器２の検出面中心とを結ぶＸ線照射軸線Ｃ１が水平に配置され、前記Ｘ線源１と前記Ｘ線検出器２との間の撮影空間に缶Ｗを配置し、鉛直な回転軸線Ｃ２を中心とする回転をこの缶Ｗに与えつつＸ線を照射し、所定の回転角度毎に取り込んだＸ線透過データを用いて断層像を構築する断層像演算手段により巻き締め部ＲＡを検査する缶の巻き締め検査装置において、前記缶Ｗを前記撮影空間に保持するチャック３が、缶Ｗの軸線Ｃ３を鉛直線に対し傾斜させ、且つ前記巻き締め部ＲＡを前記Ｘ線照射軸線Ｃ１と前記回転軸線Ｃ２との交差部に重ねるよう配置する。 （もっと読む）

【課題】 結晶粒の方位分布測定を短時間で実行可能としてインライン又はオンラインで検査可能な方位分布測定方法及びそのための装置を提供する。
【解決手段】 測定試料における結晶粒の方位分布測定を行なう結晶粒の方位分布測定方法であって、単色化したＸ線をＸ線ビームに形成し、当該形成したＸ線ビームを前記測定試料の表面に対し、所定の入射角を中心にした所定の角度幅で入射し、当該所定の角度幅で入射したＸ線の回折像を、ＴＤＩ読み出しモードで動作するＣＣＤ３４により構成した二次元検出器で検出して、その回折方向において積分して極点図を取得し、当該得られた極点図から結晶粒の方位分布測定を行なう。 （もっと読む）

【課題】 被測定物との位置関係を目視で確認したり、複数個の接触センサを取り付けたりすることなく、Ｘ線源と被測定物との衝突による破損を防止しつつ、テーブルを移動させることにより、様々な位置の被測定物を拡大した透視Ｘ線像を撮影できるＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】 前方に透視用Ｘ線を出射するＸ線源６１と、Ｘ線源６１を、前左右下方向に設定間隔で覆うように、前面板７１と下面板７２と右側面板７３と左側面板とを有する衝突防止カバー７０とを備えるＸ線発生装置５０であって、下面板７２の上面には、上方向に突出する半球形状を有する凸部７２ａが形成されているとともに、Ｘ線源６１の下面には、凸部７２ａを、前後左右上方向に小間隔で覆う凹部６２ｂが形成されており、さらに、凸部７２ａと凹部６２ｂとが接触したことを検知する検知部を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

透過する放射線を使った計測対象の三次元画像の生成方法であって、特に多数の二次元投影画像を考慮した逆投影による方法において、計測対象は、計測装置の計測スペースにおいて透過する放射線により貫通され、その際透過する放射線は計測装置の放射源から発し、計測対象の投影画像の最初のセットが、計測装置の検出装置によって撮影され、その際投影画像は、放射源に対して相対的におよび／または検出装置に対して相対的に様々な計測対象の向きで撮影され、投影画像の最初のセットから、計測対象の最初の三次元画像が再構築され、最初の三次元画像は評価され、場合によっては評価の結果によって、計測対象の位置および／または向きが、放射源に対して相対的におよび／または検出装置に対して相対的に変更され、および／または評価の結果により計測装置の運転方法が、あとに続く計測対象の投影画像の撮影のために調節され、最初の三次元画像の評価の後に、計測対象の投影画像の第二のセットが計測装置の検出装置により撮影される方法に関する。
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【課題】スペース部の底面からの脱出電子を遮断してライン部の分析が可能な光電子分光分析法を提供する。
【解決手段】 Ｌ／Ｓパターンのライン部１２の延在方向に直交する方向に沿った断面において、特定のライン部１２の側面２の基板１０表面での位置から特定のライン部１２に隣接する他のライン部の側面２に対向する側面の上面６の位置を結ぶ線が底面４となす第１角度を算出し、断面において、底面４から第１角度より小さく、０度より大きい第１検出角を設定し、断面に投影した角度の余角が第１検出角度となり、検出領域の側面２側の一端から他端までの通過距離が、基板１０中での光電子の非弾性平均自由行程で規定される脱出深度より小さくなる第２角度を算出し、第２角度を底面４に投影した角度の余角を第２検出角と決定する。Ｌ／Ｓパターンはスペース部１４を挟んで、脱出深度より小さい幅のライン部１２を一定の間隔で配列している。 （もっと読む）

【課題】高い放射線エネルギを必要とせず、鋳物などの検査対象物の表面近傍の有無を、後方散乱放射線を利用して確実に反省することのできる装置を提供する。
【解決手段】放射線発生源１からの放射線照射方向前方に、、検査対象物Ｗを保持して回転を与える回転テーブル２を設けるとともに、その回転テーブル２上の検査対象物Ｗからの後方散乱放射線をコリメータ３を介して検出する放射線検出器４、およびその放射線検出器４の出力を用いてＣＴ画像を構築する再構成演算装置６を備え、検査対象物Ｗを、その検査領域Ａの中心がコリメータ３の集光点に略一致し、かつ、その検査領域Ａ内を回転テーブル２の回転軸Ｒが通るように当該回転テーブル２上に配置した状態で、その回転テーブル２を１８０°の角度範囲内で回転させて後方散乱放射線データを収集して断層像の構築に供することで、検査対象物Ｗを透過せずにその表面近傍の検査領域Ａに到達する程度のエネルギの放射線を用いて表面近傍の欠陥の有無の検査を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 被検体の着目点高さが未知であっても、確実に視野ずれをなくすことにある。
【解決手段】 Ｘ線源１と、テーブル２に載置された被検体３の着目点の透過像を検出するＸ線検出器４と、Ｘ線検出器４を移動させる移動機構６と、テーブル２を平行移動させる移動機構８と、データ処理部５とを備え、このデータ処理部５は、着目点までの推定高さを入力する推定高さ入力手段１７と、Ｘ線源とＸ線検出器との距離とＸ線源と着目点との距離との比である透過像の拡大率を設定する拡大率設定手段１１，１５ａと、Ｘ線の光軸が所要傾斜角度となるようにＸ線検出器を制御する移動制御手段１８と、拡大率と傾斜角度と推定高さをパラメータとし、テーブル２の移動位置を計算し、テーブルを移動制御する視野ずれ補正手段１１，１５ｂと、透過像上の着目点のずれ量に基づき、着目点の真の高さを求める高さ修正手段１１，１５ｃとを設けたＸ線透視検査装置である。 （もっと読む）

【課題】試料の回転軸とＸ線光軸とが直交しない傾斜型のＸ線ＣＴ装置において、試料の回転軸方向の再構成中心および再構成領域を容易に設定することのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】試料ステージ３上の試料Ｗを回転させつつ取り込んだＸ線透過データを用いて再構成演算手段５３で再構成した複数の断層像を用いて、その各断層像に直交する平面に沿った縦断層像を構築して表示器に表示する縦断層像再構成演算手段５４を備えるとともに、その縦断層像上で、表示すべき断層像の回転軸方向への位置または領域を指定する指定手段７を設け、断層像再構成演算手段５３では、その指定された位置または領域に対応する断層像を表示器６に表示することで、回転軸に直交する方向からの透視像を得ることのできない傾斜型Ｘ線ＣＴ装置であっても、縦断層像上で試料の回転軸方向への位置乃至は領域を容易に設定することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】
パッケージに封入された結晶試料の形状を非破壊で評価できる技術を提供する。
【解決手段】
結晶試料の形状評価方法は、（ａ）仮想ｘｙｚ直交座標系を有する空間の、ｘｙ面上に結晶試料を配置し、ｘｚ面に平行にＸ線を結晶試料上に照射し、結晶試料の所定結晶面からｘｚ面に平行に回折されるＸ線を検出するように、Ｘ線ソース、Ｘ線検出器を配置し、ｙ軸回りのωスキャンを行なって回折Ｘ線強度が最大となる角度ωを、結晶試料面内の位置の関数として検出する工程と、（ｂ）回折Ｘ線強度が最大となる角度ωを結晶試料のｘ軸方向に積分し、結晶試料のｘ軸方向の形状を評価する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】はんだ接合状態の検査精度が向上する電子部品および電子部品の検査方法を提供する。
【解決手段】この検査方法は、回路基板５に対してＸ線が照射することにより得られた複数のＸ線透過画像に基づいて、プリント配線板６に略垂直な高さ方向における複数の断層画像３１ａ〜３１ｚが取得される工程Ｓ１と、複数の断層画像３１ａ〜３１ｚから、基準ランド３４の像を含む断層画像が基準断層画像Ｍ２として選択される工程Ｓ３、Ｓ４と、複数の断層画像のうち、基準断層画像Ｍ２に対応する基準位置から予め設定された距離Ｌだけ離れた検査領域に対応する断層画像が検査断層画像Ｎとして選択される工程Ｓ５と、検査断層画像Ｎに基づいてはんだボール３２の接合状態が判定される工程Ｓ６と、を備えている。 （もっと読む）