【課題】本発明は、試料表面の粒子の蛍光Ｘ線スペクトルに基づいて粒子径を測定する粒子径測定装置、粒子径測定方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線源１３からウェハ３表面にＸ線ビームが照射され、ウェハ３表面が走査されてウェハ３表面の各粒子の蛍光Ｘ線スペクトルが測定される。測定された蛍光Ｘ線スペクトル及び標準スペクトルデータベース２８１に格納されている標準スペクトルデータに基づいて粒子に含まれる元素が同定される。測定された蛍光Ｘ線スペクトルから、同定元素の蛍光Ｘ線スペクトルが抽出され、面積分強度が算出される。検量線データベース２８２から同定元素に対応する検量線を読み出して面積分強度と対応する粒子径が特定される。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ撮影から対象物の３次元画像情報を得るまでの所要時間を大幅に短縮化することのできるコーンビームＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】ＣＴ撮影により得られるＸ線投影データを収集して、そのデータを用いた逆投影処理によって、対象物Ｗの３次元画像情報を得るコンピュータを主体とする演算装置を備えたコーンビームＸ線ＣＴ装置において、演算装置のコンピュータを並列処理機能を有したものとし、Ｘ線検出器２からのＸ線投影データを記憶するデータ収集処理と、収集したＸ線投影データを用いた逆投影処理により対象物の３次元画像情報を得る数値計算処理とを並列に実行することにより、ＣＴ撮影の開始から断層像を得るまでの所要時間を大幅に短縮化する。 （もっと読む）

【課題】拡大率を満足させつつ、高分解能高品位で広い範囲の３次元画像を得る。
【解決手段】Ｘ線ビーム２を照射するＸ線源３と、被検体１からの透過Ｘ線ビームを検出するＸ線検出器４と、Ｘ線ビームが９０度より小なるラミノ角で交差する回転軸ＲＡに対して、被検体を支持する支持台５とＸ線ビームとを相対回転させる回転手段７と、Ｘ線検出器から収集した透過像から３次元画像を得る制御処理部１２と、回転軸に直交する面内で、支持台またはＸ線源，Ｘ線検出器及び回転軸を一体に移動する移動機構６とを有し、前記制御処理部１２は、所定の送り量で移動機構６を移動制御させてスキャン位置を設定する設定手段と、各スキャン位置のもとにスキャンを実施し、透過像を収集するスキャン制御部１２ａと、各スキャン位置の透過像から３次元画像を再構成する再構成部１２ｃと、各３次元画像を合成する画像合成部１２ｄとを備えた円錐軌道断層撮影装置である。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線投影データの取りこぼしがなく、光束に画像処理ができ、また、ＭＰＲ表示やＶＲ表示などの３次元表示の指令操作等が付与されたときに素早く応答することができ、オペレータにとって操作性が良好で体感的な処理速度を短縮化することのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】ＣＴ撮影時にＸ線検出器２から出力されるＸ線投影データをＲＡＭディスク４１ａに取り込むとともに、再構成演算により得られる対象物Ｗの３次元画像情報を一旦ＲＡＭディスク４１ａに格納し、ＭＰＲ表示やＶＲ表示の指令に対してはそのＲＡＭディスク４１ａのアクセスにより表示すべき画像を読み出す一方、ＲＡＭディスク４１ａ内のデータを自動的にハードディスク４４に退避させることで、体感的な処理速度の短縮化を実現する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線照射に代表される電子線照射によって得られた転動装置の断層データによって内部の状態を把握することに適した転動装置を提供する。
【解決手段】内側軌道部材３と、外側軌道部材２と、前記内側軌道部材及び前記外側軌道部材との間で転動する転動体４と、前記内側軌道部材及び前記外側軌道部材の間に充填した潤滑剤６とを転動装置構成部材とし、これら転動装置構成部材にＸ線を照射することで当該転動装置構成部材の断面についてのＸ線吸収率データを得るとともに、このＸ線吸収率データに基いて、前記断面内でのＸ線吸収率を所定の階調でもって表すデータを取得し、当該データに基づいて画像表示装置で表示することにより前記内側軌道部材と前記外側軌道部材の間の内部状態を観察することが可能な転動装置１において、前記内側軌道部材、前記外側軌道部材、前記転動体及び前記潤滑剤のＸ線吸収係数を異なるものとした。 （もっと読む）

【課題】ＳＩＭＳ装置にＦＩＢ装置を設置させること無く、試料表面の大気汚染と帯電を低減し、かつ残存元素のスパッタを抑制する。
【解決手段】分析対象物１０の表面における所定領域１４から発生する二次イオン２５に基づいて所定領域１４における深さ方向の分析を行う質量分析法において、所定領域１４の周囲に、質量分析を行う深さよりも深く、一次イオンビームの照射範囲２３よりも広い凹部１５を形成する凹部形成工程と、所定領域１４および凹部１５を含む分析対象物１０の表面に導電膜１３を形成する導電膜形成工程により質量分析用の試料１６を作製する。 （もっと読む）

【課題】試料分析装置において、観察しようとする試料に形成されたデバイスに含まれるプラグや配線構造をはじめとする試料特定箇所に、単一または多数系統の外部電圧を印加し、デバイスをオン・オフさせたときの構造、組成、電子状態の変化を分析できるものにおいて、試料を自由に回転・傾斜させることを可能にする。
【解決手段】試料傾斜機構を備えた試料ホルダ本体を有する試料分析装置において、サンプルキャリアは、第一の固定部材と、第二の固定部材と、前記第一の固定部材と前記第二の固定部材とを接続する変型可能な接続部と、当該接続部上に形成され前記第一の固定部材と第二の固定部材とを導通させる単一または多数の配線構造と、を備える。前記試料傾斜機構を操作して傾斜角を調整し、試料ホルダ本体先端に設けた回転ピボットを中心に試料ホルダ本体を回して回転角を調整する。 （もっと読む）

【課題】極微量の元素検出を可能とし、被射体内部の特定元素分布をＣＴで得られるのと同様に断層像として、高空間分解能を有する機能画像の作成を行う蛍光エックス線分析装置を提供すること。
【解決手段】単色エックス線をシートビーム状に照射する光源部と、分析試料を支持する試料支持部と、分析試料に含まれる被検元素から発生する蛍光エックス線を検出する検出部と、データ処理用コンピューターを備え、検出部がエックス線照射方向と直交するシートビーム面に配設され、検出素子からエックス線照射方向へおろした垂線上に存在する被検元素から発生する蛍光エックス線を検出し、且つ、試料支持部がシートビーム面を垂直に貫通する線を中心軸としてシートビーム面を光源部及びエックス線検出部に対して相対的に回転し、分析試料を単色エックス線で回転走査して分析試料内部の画像を得ることができる蛍光エックス線検出装置として構成する。 （もっと読む）

【課題】撮影系の機器の強度不足や、温度変化などによる部材の変形、あるいはＸ線焦点位置の移動等があっても、良好な画質の断層像を得ることのできるＸ線断層像撮影装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の対と試料ステージ３とを相対回転させる回転機構を３６０°以上にわたって回転させてＸ線投影データをデータ記憶手段１４に収集し、その投影データのうち、所定の角度の投影データとその角度から３６０°回転して同じ回転角度になった状態でのＸ線投影データを比較し、これら両データ間の投影位置のずれ量を求め、そのずれ量に基づいてデータ記憶手段１４に記憶した各Ｘ線投影データを補正して再構成演算することにより、回転機構による回転の軌道の変化に起因する画質の低下の発生を防止する。 （もっと読む）

【課題】断層像の座標変換を伴うことなくリングアーチファクトを除去することを可能とし、断層像の精度を低下させることなく確実にリングアーチファクトを除去した断層像を得ることのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】互いに対向配置されたＸ線発生装置１とＸ線検出器２の対と、これらの間に配置された試料ステージ３とを相対回転させることにより、複数の角度での対象物ＷのＸ線投影データを収集し、その投影データを用いて回転軸Ｒに直交する面に沿った断層像を構築するＸ線ＣＴ装置において、断層像を構成する各画素について、当該断層像上で回転軸Ｒに相当する位置を中心とした扇形状のコンボリューションフィルタカーネルを用いてフィルタ処理を施すことにより、断層像に現れるリングアーチファクトを抽出し、その抽出した画像をフィルタ処理を施す前の画像から減算することにより、リングアーチファクトを実空間において除去または低減することを可能とし、当初の断層像の精度を維持したままリングアーチファクトの除去を実現する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の面取斜面の異物を発見することができる検査方法及び検査装置及びガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ステージ上に搭載したガラス基板の表面の欠陥に電子線を照射して検査する検査方法において、ガラス基板の面取斜面を検査する際の面取斜面と電子線との照射角度が、ガラス基板の磁性層形成面を検査する際の磁性層形成面と電子線との照射角度と同じとなるように、ステージを傾けることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】比較的短時間で断層像を確認することができ、これにより対象物の位置決めやＸ線条件などを変更すべき点があればいち早く適した条件に変更することができ、しかも必要とされる解像度（分解能）に過不足のない断層像を、最短時間のもとに得ることのできるＸ線断層像撮影装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の対と試料ステージ３とを相対的に回転させる回転機構を複数回転にわたって回転させ、その各回転ごとに、他の回転とは互いに異なる複数の角度でＸ線投影データを収集し、その所定回数の回転ごとに再構成演算を行って対象物Ｗの断層像を構築することで、回転数を増やすほどプロジェクション数を増大させ、得られる断層像の解像度を次第に向上させる。初期段階で他の条件の設定変更の要否を判断でき、無駄な撮影を抑制し、また、最終的には所要の解像度の断層像を得ることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】試料を交換する際に、複雑な機構を用いずに試料の位置ずれを抑制でき、且つ試料軸の正確な回転数を保つことができる試料交換機を提供する。
【解決手段】第１の回転軸の周りを回転可能な複数の試料台１０ａ，１０ｅを円周上に沿って配列した円板状の回転板４と、回転板４を回転させる試料位置逐次移動機構７と、複数の試料台１０ａ，１０ｅの回転軸に接続され極性の異なる複数の第１の磁石の作用極を回転軸を中心軸とする円周面上に交互に周期的に配列した複数の受動磁石配列ユニット１２ａ，１２ｅと、極性の異なる複数の第２の磁石の作用極を回転軸を中心軸とする円周面上に交互に周期的に配列して回転する駆動磁石配列ユニット８１と、測定位置の試料台１０ａに接続された受動磁石配列ユニット１２ａを、駆動磁石配列ユニット８１を回転させることにより第１及び第２の磁石間の磁力を介して回転させる試料台回転駆動部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の外周面に存在する不純物を簡易的に分析する方法を提供する。
【解決手段】測定対象となる半導体基板４を分割構造のステージ２で挟持し、半導体基板４の外周面とステージ２の外周面とで、半導体基板４の外周面を中心とする平坦部Ｆを形成する。半導体基板４の外周面とステージ２の外周面とで形成された平坦部ＦにＸ線を全反射条件で照射し、半導体基板４の外周面から発生した不純物の蛍光Ｘ線を検出する。蛍光Ｘ線の検出結果に基づいて半導体基板４の外周面の不純物による汚染状態を評価する。 （もっと読む）

【課題】対象物の断層像にアーチファクトがあっても、それに伴う誤差を生じることなく、正確にポリゴンデータを作成して対象物の３次元画像を正しく表示することのできる３次元画像化方法を提供する。
【解決手段】ＣＴ撮影等により得られた対象物の３次元濃度データを、あらかじめ設定されている一律のしきい値Ｓｔを用いてポリゴンデータを生成する前に、以下の修正を加えることで、アーチファクト等の影響をなくす。３次元濃度データから、仮のしきい値を用いて輪郭（境界）を抽出してその輪郭上の画素ａを順次選択し、その画素ａを通り対象物像の略法線方向の軸に沿い、その軸の周辺所定領域の画素の濃度値を積算して得られるプロファイルを作成して微分することによって当該プロファイルのピーク値を求め、そのピーク位置の濃度値Ｓｐと上記しきい値Ｓｔとの差を算出し、選択された画素ａと周辺の画素の濃度値を、しきい値Ｓｔに近づくように修正する。 （もっと読む）

【課題】最表面２〜３原子層における元素と原子層とを選別した磁気構造解析を行う方法とその装置を提供する。
【解決手段】試料から散乱した散乱イオン強度を入射イオン種のスピン別に計測し、その計測データにより試料表面の磁気構造を解析する。 スピン偏極イオンを発生させるスピン偏極イオン発生部と、前記スピン偏極イオン発生部からのスピン偏極イオンを所望のエネルギーで試料表面に入射させるスピン偏極イオンビームラインと、試料を保持する真空槽と、前記真空槽内に位置して、前記試料に照射されて散乱したスピン偏極イオンを計測する計測器よりなる。 （もっと読む）

【課題】透視観察作業の後でも、内部欠陥等の被検査物中での３次元位置情報等を容易に把握することを可能とし、検査後の検証作業等の容易化を達成することのできるＸ線透視検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の間に設けられた試料ステージ７に配置された被検査物Ｗを撮影する光学カメラ１０と、その光学カメラによる被検査物Ｗの外観像を用いて、被検査物ＷのＸ線透視像と併せてその刻々の透視観察位置および方向を表示器２５に表示する観察位置・方向表示手段を備え、表示器２５に表示されている被検査物ＷのＸ線透視像を経時的に連続もしくは断続して記録し、かつ、その刻々のＸ線透視像に対応して表示される観察位置・方向表示手段による表示内容を併せて記録する記録手段２９を設け、その記録内容を再生することで、透視観察時と同等の表示を随意に再現可能とし、被検査物Ｗ中の欠陥等の位置や構造等を立体的に把握する。 （もっと読む）

【課題】軽元素から成る微小な試料に対しても充分な高分解能、高コントラストを得ることができ、in-situの状態で試料を観察することができるＸ線顕微装置を提供する。
【解決手段】電子銃の電子源からの電子線をＸ線ターゲットに当ててＸ線を発生させるＸ線発生手段と、試料に照射されたＸ線の透過Ｘ線を撮像素子で撮像する撮像手段とを具備したＸ線顕微装置において、Ｘ線発生手段は波長０．１〜１．２ｎｍの長波長の特性Ｘ線を発生し、Ｘ線ターゲットを真空封止するＸ線透過窓基材はベリリウムで成り、Ｘ線透過窓基材の厚さが１０〜６０μｍであると共に、撮像手段の試料室が密封構成であり、試料室にガスを充填して試料の透過画像を撮像手段で得る。 （もっと読む）

【課題】１次Ｘ線によって全反射蛍光Ｘ線分析装置の内壁などから散乱Ｘ線や不純線が発生してもそれらが検出器に入射するのを防止して、正確な分析ができる全反射蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の装置１は、円板状の試料Ｓの表面に微小な入射角度で１次Ｘ線１４を入射させ、発生する蛍光Ｘ線１５の強度を検出器１６で測定する全反射蛍光Ｘ線分析装置１であって、試料Ｓを移動させることにより、試料Ｓの表面における任意の測定部位を検出器の視野Ｆ内に移動させるステージ２１と、試料Ｓの背面側に配置されており、ステージ２１に支持され、ステージ２１の移動にしたがって移動し、検出器の視野Ｆの一部分だけを試料Ｓが占める場合に、検出器の視野Ｆの残部を占めるＸ線遮蔽カバー６１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
試料の欠陥を検査する装置において、装置が小型化できて省スペース，コストダウン，振動抑止と高速化，検査の信頼性が得られ、特に大口径化したウエハの場合に効果が大きい荷電ビーム検査装置を得る。
【解決手段】
少なくとも一つ以上の検査を荷電ビーム機構で行う複数の検査機構を具備し、各検査機構を概略一軸に配する共通の真空容器内に設けられた各検査機構間を一軸移動する一軸移動機構と、試料を載置し一軸移動機構上に回転軸を有した回転ステージと、試料を各検査機構間で一軸移動機構により移動させ、次に回転ステージで試料の検査位置を検査機構へ調整して合わせ、検査機構により試料の検査を行う。 （もっと読む）