【課題】しきい値を用いることなく、ＣＴ装置による断層像上のエッジ位置の抽出を正確に行うことができ、しかも、その空間分解能を画素ピッチよりも向上させることができ、被撮像物の内部の寸法を高精度で計測することのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】断層像上で指定された２つのエッジＥ１，Ｅ２間の寸法を計測する画像処理手段９と、その計測された断層像上での寸法を、あらかじめ算出されているピクセル等量を用いて実寸法に換算する演算手段１０を備え、画像処理手段９によるエッジＥ１，Ｅ２の位置情報の抽出を、当該エッジＥ１，Ｅ２間を結ぶ方向へのＣＴ値のラインプロファイルの微分値から求めることで、しきい値を不要とし、また、微分値のピーク位置を法文線近似等で求めることで空間分解能を画素ピッチよりも細かくすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】スループット良く且つ高精度で試料の欠陥の検出が可能な基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１は、真空状態のワーキングチャンバ３０と、Ｌ_aＢ_６電子源を備えた電子光学装置７０と、ワーキングチャンバへウェーハを搬出入するローダハウジング４０と、ワーキングチャンバに接続され、内部が雰囲気制御されているミニエンバイロメント装置２０と、を備える。ローダハウジング４０は、ミニエンバイロメント装置２０に接続する第１のローディングチャンバと、ワーキングチャンバに接続する第２のローディングチャンバと、第１及び第２のローディングチャンバの間の連通を選択的に阻止する第１のシャッタ装置２７と、第２のローディングチャンバとワーキングチャンバとの間の連通を選択的に阻止する第２のシャッタ装置４５と、を備え、第１及び第２のローディングチャンバには各々真空排気配管と不活性ガス用のベント配管とが接続される。 （もっと読む）

【課題】ノッチ形状誤差等によるノッチ位置決め誤差が補正でき、半径方向結晶方位の測定の精度が高い結晶方位測定装置を提供する。
【解決手段】円筒状結晶２をその円筒軸に対し回転させる回転部１１と、円筒状結晶２を回転し、円筒状結晶２の周側面に設けられたノッチ２ａを基準に円筒状結晶２を位置決めする位置決め部１２と、円筒状結晶２が位置決めされると、回転軸に対するノッチ２の位置を測定するノッチ測定部１２と、周側面にＸ線を照射して半径方向の結晶方位を測定する結晶方位測定部１３と、結晶方位測定部１３で測定した結晶方位をノッチ測定部１２で測定したノッチの位置で補正して半径方向の結晶方位を求める補正部１４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】SAXSおよび／またはSAXS−WAXSに適したX線散乱チャンバを提供する。
【解決手段】X線散乱チャンバ12は、X線回折機器内に設置されたハウジング14を有し、このハウジングは、X線源2とX線検出器4の間に配置され、例えばゴニオメータアーム6上に配置される。ハウジング14は、サンプルホルダ16と、ビーム調整光学素子22、24とを有する。このシステムでは、ハウジングの外側に、一次光学素子10が使用されても良い。本機器は、SAXSおよび／またはSAXS−WAXSに適している。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線又は中性子線の反射率曲線の測定時間を大幅に短縮することができ、外的刺激により物性などが時間的に変化していく様子を実時間で追跡すること。
【解決手段】白色Ｘ線または中性子線を透過型ポリクロメータ１に背面から入射させて扇型に収束後発散し進行方向に依存してＸ線または中性子線の波長がその下限値から当該下限値の３倍から１０倍の範囲で連続的に変化するＸ線束または中性子線束を作成する。Ｘ線束または中性子線束の収束点に試料Ｓを配置して当該Ｘ線束を一定の照射角で試料表面に照射し、前記試料表面で反射した反射Ｘ線または中性子線の強度分布を一次元検出器２で測定し、その一次元強度分布から試料表面に垂直な方向の散乱ベクトルの関数として変化するＸ線または中性子線反射率曲線を求める。 （もっと読む）

【課題】 テーブル位置に連動して現時点における被写体の位置で得られる断層像の領域を把握することができるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線測定光学系１３と、テーブル１４を回転移動および並進移動させるテーブル駆動機構１６と、入力装置２２と、ＣＴ撮影を実行するＣＴ撮影実行部３４と、ＣＴ撮影により得られた被写体のＸ線透過データを記憶する透過データ記憶部４１と、Ｘ線透過データから被写体の断層画像を再構成する再構成演算部３５と、表示装置２３とを備え、再構成により作成された少なくとも二面の断層画像を試し撮り画像として画像表示を行う試し撮り画像表示部３７と、ＣＴ撮像可能領域を算出し、試し撮り画像に重畳して画像表示を行うＣＴ撮像領域演算部３８とを備える。 （もっと読む）

【課題】ビードコアのタイヤ半径方向外側に配置されている金属製部材がビードコアの周面に対し所定の方向に延びているか否かを正確かつ短時間で判定する。
【解決手段】Ｘ線発生器５から放射されるＸ線の照射位置がビードコア５１の外周面５１ａに平行になるように設定する。Ｘ線検出器９の検出信号レベルが所定の閾値以下か否かに基づいて、その検出信号が検出されたときにＸ線発生器５及びＸ線検出器９が対向しているタイヤＴｙの周方向位置において、カーカスプライ５２の巻き返し部分５３がビードコア５１の外周面５１ａに沿って配置されているか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は非破壊で測定対象内部部品の寸法を透過画像から短時間で高精度に計測する透視撮像装置を提供する。
【解決手段】本発明の透視撮像装置は、複数の回転位置にて測定対象内部部品を透過した放射線ビームの検出センサの検出信号に基いて測定対象内部部品の断面形状の画像を複数形成する画像再構成演算装置と、画像再構成演算装置で形成した測定対象内部部品の画像をピクセル値で表した複数の二次元画像を作成する二次元画像演算装置と、この二次元画像上での測定対象内部部品の形状計測結果を三次元仮座標系に変換して三次元画像を形成する三次元画像演算装置と、この三次元画像と測定対象内部部品の形状に関する既知の設計データとを照合してフィッティングさせる形状フィッティング装置と、フィッティングさせた測定対象内部部品の三次元仮座標系上での形状情報から測定対象内部部品の位相を演算する位相算出装置を備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ＣＴ装置による断層像から被撮像物の所要部位の寸法を計測するに際して、ＣＴ撮影時における積算時間を長くする等の対策を講じることなく、任意のスライス面に沿った断層像のＳＮを向上させて、寸法計測精度を向上させることのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】ＣＴ撮影時における回転軸Ｒに対して任意の角度のスライス面の設定に際し、そのスライス厚の設定を可能とし、そのスライス面・スライス厚に基づく断層像を構築して表示器５ｂに表示することで、寸法計測に供される断層像のＳＮを向上させ、寸法計測精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】タイヤの不良箇所を特定するまでの手間及び時間を大幅に減少することができるタイヤ検査方法を提供する。
【解決手段】先ず、Ｘ線カメラ１５によって撮影されたタイヤ１２の画像を用いて、不良箇所１６を検出する。次いで、タイヤ１２がｂ方向に回転することによって識別部１１が不良箇所１６の検出位置に到達したことを、識別部検出部１４によって検出する。次いで、不良箇所１６を検出してから識別部１１が不良箇所１６の検出位置に到達するまでの時間を計測し、時間を、角速度を用いて距離に変換する。このように角速度から距離を算出することによって、識別部１１を基準としてどの位置に不良箇所１６が存在するかを容易に特定することができ、不良箇所１６を特定するまでの時間を大幅に減少することができる。 （もっと読む）

【課題】 水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴ、回転Ｘ線ＣＴ、垂直Ｘ線透視、傾斜Ｘ線透視の諸機能を実現できる多機能Ｘ線検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の装置は、Ｘ線を照射するＸ線管と、対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、対象物を挟んでＸ線管とＸ線検出器をＸ線管の焦点とＸ線検出器の中心を同一線上に位置するように支持するアームと、３次元方向に移動制御可能な架台と、架台上に設置される回転ステージと、架台又は回転ステージに支持されて対象物を設置する手段と、アームをＸ線管の焦点とＸ線検出器の中心を結ぶ光軸上の点を回転中心として、対象物がセットされる水平面に対して回転させる手段とを有する。回転Ｘ線ＣＴの場合、少なくとも360°一様なスピードで回転させる。水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴ、垂直Ｘ線透視、傾斜Ｘ線透視では、０から９０°の範囲で回転させ、その角度で撮像する。 （もっと読む）

【課題】小型車両を検査するための車載移動式検査システム、いわゆる走査車を提供する。
【解決手段】移動手段と、走査検査の間に前記移動手段を駆動する駆動手段と、放射線を放射するための放射線ソースと、移動手段に枢軸回転可能に設けられた回転台と、回転台に取り付けられた立柱と、検出器アレイが設けられるとともに立柱の前端に接続された横方向検出器ビームと、検出器アレイが設けられるとともに前記横方向検出器ビームに接続されて前記横方向検出器ビームと略垂直な縦方向検出器ビームとを備え、前記立柱、横方向検出器ビーム及び縦方向検出器ビームが略逆Ｕ字状のフレームを構成した移動式車両検査システムにおいて、横方向検出器ビームと縦方向検出器ビームは、立柱の枢軸回転により、移動手段の上方に引き戻された引き戻し位置と前記移動手段から伸び出された伸び出し位置との間で揺れる可能である移動式車両検査システムを提供する。 （もっと読む）

Ｓ／ＴＥＭサンプルの調製および分析用の改良された方法および装置である。本発明の好ましい実施形態により、ＴＥＭサンプル作成用、特に小さい形状（厚さ１００ｎｍ未満）のＴＥＭラメラ用の改良された方法が提供される。本発明の好ましい実施形態は、ＴＥＭサンプルの作成および分析のプロセスの労力を低減し、ＴＥＭ分析のスループットおよび再現性を高めるために、ＴＥＭサンプル作成を一部または全部自動化する方法を提供することにより半導体ウェハ上に製造される集積回路または他の構造などの対象に対するＳ／ＴＥＭベースの計測用のインライン・プロセスも提供する。 （もっと読む）

【課題】１つの装置体系で、廃棄体が処分基準を満たしているか否かの確認に必要な情報を得るための様々な測定を選択実行でき、多くの構成機器を無駄なく利用することで、廃棄体品質保証を、合理的に且つ経済的に行なえるようにする。
【解決手段】測定に必要なＸ線エネルギーに応じた電子線を発生させるエネルギー可変型電子線加速器１０と、その電子線を透過させることで所要特性の放射線を発生させる放射線コンバータ１２と、被測定物である廃棄体１４を載せる試料台１６と、放射線が廃棄体を透過あるいは反射することで発生する放射線の線種および強度を測定する放射線検出装置１８を具備し、バックグラウンド測定、パッシブ中性子・γ線測定、Ｘ線ＣＴスキャン測定、光核反応による難測定核種の測定、光中性子混合線による核分裂性物質・非核分裂性物質の弁別測定及び中性子放射化分析が選択測定可能になっている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの大口径化に対応して、縦方向における発散角の拡大と共に、横方向の視野の拡大可能な２結晶法Ｘ線トポグラフィ装置を提供する。
【解決手段】回折Ｘ線を、試料である第２結晶２の表面を走査しながら所定の角度で入射し、試料である第２結晶の表面から得られる回折Ｘ線をＸ線フィルム４上に記録して、Ｘ線トポグラフィを得る２結晶法Ｘ線トポグラフィ装置において、Ｘ線源５と、コリメータ１０と、所定の幅でＸ線を入射するスリット６とによってＸ線発生部を構成し、第１結晶１と第２結晶２、Ｘ線フィルム４上を含めてトポゴニオ部を構成し、トポゴニオ部を定盤３上に搭載すると共に、Ｘ線発生部を、定盤に対して移動可能な走査台７上に搭載し、もって、Ｘ線源５からのＸ線から第１結晶１を介して得られる回折Ｘ線を第２結晶２の表面上で走査する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い検査を極めて高速に実行する装置の開発が望まれていた。
【解決手段】放射線発生器によって放射線を検査対象に照射し、前記検査対象を前記放射線の照射範囲に配置し、前記検査対象を透過した透過放射線の透過放射線画像を放射線検出器によって取得する構成において、前記放射線発生器および前記放射線検出器からなる撮像系に対して前記検査対象を相対的に回転させる回転させ、この回転における回転角度が異なる複数の透過放射線画像を取得し、これらの透過放射線画像に含まれる欠陥の像の変動に基づいて、前記回転の軸を中心とした特定の範囲内に欠陥が存在するか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】明らかに異なるサイズの対象物の検査に対して、従来に比べて機械的に簡素化され、コンパクト且つ迅速なＸ線ＣＴ検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、焦点２から所定距離に置かれた検出器４の全体が扇状ビーム３又は円錐ビームのＸ線を生成する焦点２を有するＸ線管１を備えるとともに、検査される対象物を支持するための、扇状ビーム３の平面に対して又は円錐ビームの中心軸６に対して垂直に回転可能な回転軸５を有する検査台車を備えたＸ線ＣＴ検査装置に関する。本発明に従い、検査台車は少なくとも１つの測定点１５に固定可能であり、焦点２から広がり且つ扇状ビーム３又は円錐ビームの中心軸６に対して傾斜角αを含む測定線９上に回転軸５があるように、これら各測定点１５が配置される。また、特に異なるサイズの対象物を本発明に従うＸ線ＣＴ検査装置によって検査するＣＴ方法にも関連する。 （もっと読む）

【課題】直感的に撮像パラメータを決定することができ、オペレータにとって使いやすい放射線断層撮像装置を提供する。
【解決手段】互いに異なる画像を表示する独立した複数のモニタ１５ａ〜１５ｄを備え、その各モニタの表示画面にはそれぞれパラメータ設定部Ｄが設けられ、その各モニタ１５ａ〜１５ｄのうちのいずれかのパラメータ設定部Ｄによる設定内容が、全モニタ１５ａ〜１５ｄのパラメータ設定部Ｄの設定内容に反映されて表示されるとともに、各モニタ１５ａ〜１５ｄにより表示される画像は、その設定内容に従って内容となるように構成することで、オペレータは所要の画像が表示されているモニタを見ながら、そのモニタに設けられているパラメータ設定部Ｄを操作して各種パラメータを設定することが可能となり、条件設定のために多くの画像を表示しても、良好な作業性のもとに直感的に条件設定を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】アーチファクトを減少させた断面像を撮影するＴＲ方式のコンピュータ断層撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線源１０と、被検体を透過した放射線を検出する放射線検出器１１と、放射線のファン面に沿って、放射線と交差する方向に複数回の直線移動するように放射線源及び被検体２１を相対的に制御するとともに、各直線移動と次の直線移動との間に、回転の停止位置が互いに１８０°を成す位置からずれるように予め設定して同一方向にステップ回転するように放射線源１０及び被検体２１を相対的に制御する機構部１２と、それぞれの直線移動の移動中に放射線を検出した放射線検出器１１が出力する被検体２１の透過データを入力し、該透過データから被検体の断面像を生成するデータ処理部１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】オフセットスキャンと通常スキャンが可能でありながら、再構成方法を同じ再構成法（１種）とすることが可能なコンピュータ断層撮影装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線源１と回転テーブル５とＸ線検出器３とを有し、多数の回転位置でそれぞれＸ線検出器で検出した透過データから断面像を得るコンピュータ断層撮影装置において、実測された透過データに対応する元のサイノグラム部分に対して、元のサイノグラム部分を回転中心に対して折り返した実測されていない部分を含む再計算部分を設定し、再計算部分の各点に、Ｘ線経路が逆向きの実測された透過データを割り当て、再計算部分と元のサイノグラム部分とを重複部分の重み付け加算を伴って合成して、回転中心に対して対称な拡張サイノグラムを発生し、拡張サイノグラムのデータから断面像を再構成する再構成部２４を有する。 （もっと読む）