【課題】
試料の欠陥を検査する装置において、装置が小型化できて省スペース，コストダウン，振動抑止と高速化，検査の信頼性が得られ、特に大口径化したウエハの場合に効果が大きい荷電ビーム検査装置を得る。
【解決手段】
少なくとも一つ以上の検査を荷電ビーム機構で行う複数の検査機構を具備し、各検査機構を概略一軸に配する共通の真空容器内に設けられた各検査機構間を一軸移動する一軸移動機構と、試料を載置し一軸移動機構上に回転軸を有した回転ステージと、試料を各検査機構間で一軸移動機構により移動させ、次に回転ステージで試料の検査位置を検査機構へ調整して合わせ、検査機構により試料の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】回路パターンの微細化に対応して検査時の画素サイズを小さくする必要がある場合にもスループットの低下を抑制する手段の提供。
【解決手段】回路パターンを有する被検査試料９に荷電粒子線を照射し、発生した信号から画像を取得し、この画像から回路パターンの欠陥を検出する検査方法及び検査装置において、被検査試料９に対して荷電粒子線を走査する方向の検査画素サイズと、被検査試料を載置して移動するステージ３１，３２，３３の移動方向の検査画素サイズをそれぞれ別個に設定して検査する構成とする。 （もっと読む）

【課題】迅速性に優れたＸ線透視による検査装置でありながら、被検査物に存在する欠陥等の特異点の深さを、オペレータに対して有効に報知することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物ＷのＸ線透視像上で、あらかじめ設定されている特異点を抽出し、被検査物Ｗの透視視野の移動もしくは透視方向の変更の前後で抽出された特異点像の位置情報から、当該特異点像の透視方向への深さを算出し、その算出された特異点の深さに応じて、Ｘ線透視像上の特異点像を色分けする等、その表示態様を相違させることで、特異点像の深さをオペレータに感覚的に素早く報せることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】１回の撮影で巻き込み巣と引け巣とを判別することができる成形支援装置を提供する。
【解決手段】鋳造支援装置２は、鋳型５１内に供給された溶湯が凝固して形成された鋳造品１２の撮影により得られた連続断面像の３次元データを記憶する主メモリ２４と、主メモリ２４上の３次元データから鋳造品１２の複数の巣を抽出する鋳巣抽出部４１と、抽出された複数の巣をそれぞれの形状に基づいて巻き込み巣と引け巣に分別する鋳巣分別部４２とを有する。 （もっと読む）

【課題】迅速性に優れたＸ線透視による検査装置でありながら、簡単な動作によって検査対象物の欠陥等の特異点の深さを正確に求めて表示することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２を結ぶＸ線光軸に直交する軸を中心として、Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の対に対して検査対象物Ｗを回転させ、その回転前後のＸ線透視像上の特異点の像を抽出し、その回転前後の特異点像の位置から、特異点の透視方向への深さを実寸法で算出し、その算出結果を表示器２３に数値表示することにより、検査対象物ＷのＸ線透視像上に存在する欠陥等の特異点の像の深さを報せることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】 γ線を効果的に遮蔽して円滑に検査を行うことができる爆発物検査装置を提供する。
【解決手段】 手荷物３に対して中性子を照射する中性子発生管１１と、照射された中性子によって発生するγ線を検出するγ線検出器１３と、γ線検出器１３の検出結果から爆発物の有無を判定する爆発物判定部とを備えた爆発物検査装置である。手荷物を設置する際には開位置に位置するとともに検査時には閉位置にて密閉空間を形成する開閉蓋９と周壁部７によって、手荷物３から発生するγ線を遮蔽する。手荷物３が載置されるとともに、手荷物を設置位置から検査位置まで移動させるテーブルを備えている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ＣＴ装置を用いることなく、Ｘ線透視を行うことにより、アルミダイキャスト部品のボイド等の欠陥をはじめとして、透視対象物内部の特異部位の３次元位置情報を正確に知ることができ、加えて３次元の概略形状を知ることのできるＸ線透視を用いた３次元観測方法と、その方法を用いたＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１とＸ線検出器２の対と透視対象物Ｗとの相対位置を変化させ張ることにより、透視方向を少なくとも３方向に相違させた透視対象物Ｗの透視像を取得し、その各透視像上で特異部位の像を抽出し、各透視方向の透視像上で抽出された特異部位の像対応付けした後、各透視方向の透視像上の特異部位の像と、これらの各透視像を得たときのＸ線源１とＸ線検出器２の透視対象物Ｗに対する相対的な３次元位置情報を用いて、特異部位の３次元位置および／または３次元形状を算出し、表示する。 （もっと読む）

【課題】マイクロフォーカスＸ線管のＸ線焦点の経時的なずれを低減した画像品質の高いＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】真空状態の容器内に収容された電子銃１１４と容器内にあって電子銃１１４から発生した電子の進行方向側の端部に配置されたターゲット１１５とを備え電子銃１１４及びターゲット１１５に高電圧が印加されることでターゲット１１５のＸ線焦点ＦからＸ線３を発生させるＸ線管１１ａと、このＸ線管１１ａから照射され、被検体２を透過したＸ線を検出するＸ線検出器１３と、ターゲット１１５近傍の容器外周に設けられた突片１１７と、Ｘ線焦点Ｆを一端とする方向にＸ線管１１ａを摺動可能に支持するレール１６と、レール１６よりターゲット１１５に近い位置で突片１１７を係止する係止部１４１を備えてＸ線管１１ａを所定位置に支持する支持台１４とを備える。
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【課題】被検査物の表面と裏面との温度差を無くしリフロー特性に応じた加熱が可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源と観察エリアとの間の微小間隙部側方から観察エリア上の被検査物上部に熱風を噴出して被検査物を上面側から加熱する第１加熱手段と、観察エリアとＸ線検出器との間に加熱源が配設され、各加熱源から観察エリアに向けて熱を放射して被検査物を下面側から加熱する第２加熱手段と、被検査物の上面側の温度及び下面側の温度を検出する温度検出手段と、温度プロファイルのデータを記憶する記憶手段と、被検査物の上面側と下面側との検出温度差が無くなるように第１及び第２加熱手段による各加熱量を協調制御しながら温度プロファイルに従って被検査物を昇温させる温度制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】迅速性に優れたＸ線透視像を表示する検査装置でありながら、注目点の深さ方向（透視方向）への位置情報を得ることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検出器２と検査対象物Ｗとを相対的に傾動、回転もしくは移動させる前後で、Ｘ線透視像上で注目点Ｖを指示することにより、その注目点Ｖの透視方向への深さを算出する演算手段３０を備えるとともに、テーブル８に保持されている検査対象物Ｗを少なくとも透視方向に直交する方向から撮影する光学カメラ１０を設け、その光学カメラ１０により撮影された検査対象物Ｗの透視方向に直交する方向への外観像上に、演算手段３０で求められた注目点Ｖの透視方向への深さに対応する位置を重畳して表示することにより、Ｘ線透視像上の注目点Ｖの深さ情報をオペレータに知らせる。 （もっと読む）

【課題】干渉計デバイス及び干渉法を開示する。
【解決手段】一実施形態において、デバイスは、第１の平均波長λ_LEの放射線を放射する電磁放射線源と、第１のアスペクト比を持つ位相格子と、第２のアスペクト比を持つ吸収格子と、検出器と、を備えている。電磁放射線源、位相格子、吸収格子、及び検出器は、放射線に関して互いに連結されている。吸収格子は、検出器と位相格子との間に配置されており、電磁放射線源は線源格子の前方に配置されており、位相格子は、放射された放射線において、Πよりも小さい位相シフトを生じさせるよう設けられている。 （もっと読む）

【課題】オペレータに負担をかけることなく、また、複雑な処理を必要とすることなく、被検査物とＸ線発生装置等の装置側の構造物との衝突を確実に防止することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の間に配置されて被検査物Ｗを搭載する回転テーブル３ａには、取り付け用治具５０を介して被検査物Ｗを搭載するように構成するとともに、その取り付け用治具５０は被検査物Ｗの大きさに応じて複数種が用意され、回転テーブル３ａには、その取り付け用治具５０の種類を検知するためのセンサ６０ａ〜６０ｃを設け、その検知結果に基づき、テーブル３ａとＸ線発生装置１およびＸ線検出器２の対との相対位置を変化させる移動ステージ３ｂの動作の範囲に制限を加えることで、被検査物Ｗの装置側の構造物に対する衝突を防止する。 （もっと読む）

【課題】有機素材のような軽い元素で構成された材料をナノ単位のレベルで立体観察が行なえるようにする。
【解決手段】真空ポンプ１３によって内部が真空状態となる真空室３内に少なくともＸ線を照射するＸ線照射部２３が臨むと共に１〜１０ｋｅＶの低エネルギーＸ線をコーン状に照射するＸ線照射装置５と、前記Ｘ線照射装置５から照射されるＸ線の中心線Ｃ−１上の適宜位置に試料のセットを可能とした試料セット台３５を有する回転可能な試料ステーション７と、前記試料ステーション７の試料セット台３５にセットされた試料１５を挟んで前記Ｘ線照射装置５と対向し合うと共に冷却手段によって冷却される検出面９ａを有する二次元Ｘ線検出器９とを配置し、真空室３内に照射されるコーン状のＸ線によって試料１５を検出面９ａに拡大投影する。 （もっと読む）

【課題】電子加速器を用いたレーザーコンプトン散乱によって準単色の扇形Ｘ線ビームを簡単に発生する方法及び装置を実現する。
【解決手段】磁場の向きを高速で切り替えることが出来る偏向磁石７を用いて、電子軌道に上下又は左右の偏向を与えることで軌道変形を行い、この偏向を与えることで、偏向を与えた電子軌道における点の下流において、任意の位置にノードを形成し、この位置にレーザーを集光することでレーザーコンプトン散乱によって扇型レーザーコンプトンＸ線ビーム１を発生させるとともに、偏向磁石７の磁場の向きを切り替え又は変調し、電子軌道の角度のみを切り替え又は変調することにより、レーザーコンプトンＸ線の発生方向を切り替え又は変調可能とする。 （もっと読む）

【課題】検査対象物のＸ線透視方向を最適に変更することにより、検査対象物を良好に検査および観察することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物が載置されるテーブルを有するベース部材と、検査対象物に対してＸ線を放射するＸ線発生点と、検査対象物を透過したＸ線を検出するＸ線画像検出手段と、ベース部材の前方両側に左右対称に配され、第１可動支点を介してベース部材を支持し、第１固定支点を介してフレームに固定される第１リンクバー部材と、ベース部材の後方両側に左右対称に配され、一端部で支持バー部材を介してＸ線画像検出手段を支持し、中間部で第２可動支点を介してベース部材を支持し、他端部で第２固定支点を介してフレームに固定される第２リンクバー部材と、テーブルの鉛直方向位置を調整する観察中心点調整手段と、ベース部材を揺動させる旋回駆動手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】微細に加工された半導体デバイス内の所望の箇所の３次元的構造を観察するための電子顕微鏡用試料作製装置、電子顕微鏡及びその方法を提供する。
【解決手段】試料片１０の加工にダイサーを用い、試料片上の観察対象となる部分を突起状に削り出す加工に集束イオンビーム加工を用い、試料片１０を１軸全方向傾斜試料ホルダに、突起１１の中心軸と試料傾斜軸Ｚを一致させて固定し、高角に散乱された電子で結像したＴＥＭ像を投影像として用い、再構成を行う。 （もっと読む）

【課題】操作者の熟練度に頼ることなく、再構成演算により算出された浮動小数点フォーマットの画素の濃淡データを、整数フォーマットの輝度データに変換するための１次変換係数を常に最適に設定することができ、もって常に高いコントラストの見やすい断層像を表示することのできる放射線断層撮像装置を提供する。
【解決手段】再構成演算により算出された浮動小数点フォーマットからなる画素の濃淡データから、最大値と最小値等の特徴値を抽出し、その特徴値を用いて最適な１次変換係数を自動的に算出して設定する。例えば濃度データの最大値を最大輝度値またはその近傍、最小値を最小輝度値またはその近傍となるような１次変換係数を算出することで、常に高いコントラストの断層像の表示を可能とする。 （もっと読む）

【課題】試料面における応力の分布を、測定位置を限定することなく短時間で測定できるようにする。
【解決手段】本発明の試料分析装置１によれば、Ｘ線照射部１０が試料１２に対して平行Ｘ線束を照射する。そして、透過Ｘ線検出部１４は、試料１２を透過した透過Ｘ線を検出する。また、回折Ｘ線検出部１５は、試料１２で回折された回折Ｘ線を検出する。演算部１６は、透過Ｘ線検出部１４の検出結果から、試料１２における回折位置を特定すると共に、回折Ｘ線検出部１５の検出結果に基づいて、回折Ｘ線の回折角を判定する。さらに、演算部１６は、回折角から応力を計算し、計算した応力を特定した回折位置の応力と判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明はダブルエネルギーＣＴ結像により液体Ｓ物品を快速かつ安全的に検査する方法及び設備を提供する。
【解決手段】まず、ＣＴ走査とダブルエネルギー再構成方法を利用して、被検査液体の物理属性値の一層または多層ＣＴ画像を獲得する。次に、画像処理と分析方法によりＣＴ画像から各被検査液体の物理属性値を獲得する。最後に、物理属性値に基づいて被検査液体物品が危険物であるかどうかを判断する。その中に、ＣＴ走査方法としては、慣用の断層ＣＴ走査技術または螺旋ＣＴ走査技術を利用することができる。慣用の断層ＣＴ走査技術を利用する場合、一連の特定な位置で設定して走査したり、ＤＲ画像を利用して検査員によって走査位置を指定することができる。また、ＤＲ画像の自動分析により液体部分の位置を確定してＣＴ走査を誘導することもできる。 （もっと読む）

【課題】デュアルエネルギーＣＴにより液体物に対して素早く安全検査を行う方法及び装置を提供する。
【解決手段】ＣＴスキャンとデュアルエネルギー像再構成法により、検査される液体物の物理属性を含む一層か多層のＣＴ画像が取得され、そして、画像処理と解析方法により、ＣＴ画像から各々検査される液体物の物理属性の値が取得され、最後に、取得された物理属性の値をその液体物の物理属性の参考値と比較して、検査される液体物に麻薬が隠されているかどうかを判断する。なお、ＣＴスキャン方法として、通常の断層ＣＴスキャン技術を含むが、螺旋状ＣＴスキャン技術により実現してもよい。通常の断層ＣＴスキャン技術が利用される際に、一連の特定の位置を設定してスキャンしてもよいし、また、オペレータがＤＲ画像によりスキャン位置を指定してもよい。更に、ＤＲ画像に対する自動解析によって、液体部分の位置を確定してＣＴスキャンを進めてもよい。 （もっと読む）