【課題】 優れた高周波特性を備えるとともにメンテナンスが容易な平衡信号伝送用プローブと、それを備えるプローブカード並びにプローブ装置を提供すること。
【解決手段】 第一の溝が設けられた導電性のベース部材と；誘電体被覆を有し、前記第一の溝内にその誘電体被覆を密着させて互いに平行に配置された２本一対の信号用プローブ材と；前記ベース部材と接触するグランド用プローブ材とを備え、前記信号用プローブ材の前記ベース部材よりも被測定デバイス側に突出した先端部は前記誘電体被覆を有さず信号用プローブ針を形成し、前記グランド用プローブ材の前記ベース部材よりも被測定デバイス側に突出した先端部はグランド用プローブ針を形成しているプローブブロック、及びそれを備えるプローブカード並びにプローブ装置を提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体チップの耐圧測定を大気放電を発生させずに安価に行うことが可能な半導体テスト治具およびそれを用いた耐圧測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明による半導体テスト治具は、プローブピン３と、プローブピン３を平面視で囲むように設けられた絶縁物２とが配設されたサセプタ１と、サセプタ１のプローブピン３および絶縁物２が配設された側の面に対向して配置され、サセプタ１側の面上に半導体チップ４を載置することが可能な下電極ステージ７とを備え、下電極ステージ７に半導体チップ４を載置してサセプタ１と下電極ステージ７とが接近する方向に移動する際、プローブピン３が半導体チップ４に形成された表面電極５と接触するとともに、絶縁物２が半導体チップ４および下電極ステージ７の両方に接触することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、かつ小型で精密な電気特性検査が可能なパワー半導体測定用コンタクトプローブを提供する。
【解決手段】パワー半導体測定用コンタクトプローブ１は、円筒状のスリーブ２と、スリーブ２内を摺動自在に嵌合するプランジャーコンタクト３と、プランジャーコンタクト３をパワー半導体の外部接続用端子へ向けて付勢するコイルスプリング４とを備え、プランジャーコンタクト４のコンタクト側を可動軸受け５に圧入して固定し、非コンタクト側を固定軸受け６に摺動自在に挿通し、可動軸受け５と、固定軸受け６とで、スリーブ２内にプランジャーコンタクト３を摺動自在とし、可動軸受け５と、固定軸受け６との間にコイルスプリング４をプランジャーコンタクト３に装着して配置し、コイルスプリング４を、スリーブ２、プランジャーコンタクト３、可動軸受け５、固定軸受け６に対して電気的に絶縁した。 （もっと読む）

【課題】 比較的大なる電流を流し得る接触端子を提供すること。
【解決手段】 本体ケース（１１）に設けられた非貫通長穴（１３）に挿入したプランジャーピン（２０）の本体ケース（１１）からの突出端部（２１ａ）を対象部位に接触させて電気的接続を得るための接触端子（１０）である。プランジャーピン（２０）は突出端部（２１ａ）を含む小径部（２１）及び非貫通長穴（１３）の内面に摺動しながらその長手方向に沿って移動自在の大径部（２２）を有する段付き丸棒であり、大径部（２２）の端部からその長手方向に沿って大径部（２２）の少なくとも側面部の一部を残すように切削部を与えて切削部内に少なくとも絶縁表面を有する絶縁球（３０）を収容し、非貫通長穴（１３）と絶縁球（３０）との間にコイルバネ（３１）を介在させてプランジャーピンの突出端部（２１ａ）を本体ケース（１１）から突出するように付勢していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電界プローブ及び電界測定装置に関し、電界の測定精度を向上させる。
【解決手段】中心導体２と、誘電体材料からなり中心導体２の外周に設けられた第一誘電体部３と、第一誘電体部３の外周に設けられた外導体４とを備えた電界プローブ１において、外導体４の先端側の外周面４ｂ上に誘電体材料を被覆してなる第二誘電体部５を設ける。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で複数のチップに対して異なる試験を実施することはできるプローブカードを提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係るプローブカードは、複数のチャネル１１〜１４から第１の試験を実行するための試験信号を伝送する第１の伝送路１７が略集約され、半導体ウェハのチップ３に第１の試験を実行する第１の試験部２１と、複数のチャネル１１〜１４から第２の試験を実行するための試験信号を伝送する第２の伝送路１８が略集約され、半導体ウェハ３のチップ３ａに第２の試験を実行する第２の試験部２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】短時間で容易に且つ高い精度で、基板の周辺部の残膜の検査ができる。
【解決手段】絶縁測定用プローブユニットは、基板表面の内側部と周辺部との間での絶縁状態を測定する。上記基板表面の周辺部と同じ形状に形成されて周辺部全体に面状に接触して全面導通する面プローブと、上記基板表面の内側部に接触するコンタクトプローブとを備え、上記面プローブが接触した上記基板表面の周辺部と、上記コンタクトプローブが接触した上記基板表面の内側部との間の絶縁状態を測定する。搬送機構、検査ステージ、測定回路ユニット、昇降機構等を備えた絶縁測定装置に、上記絶縁測定用プローブユニットを組み込んだ。 （もっと読む）

【課題】 熱膨張係数が小さくかつ誘電正接の小さいムライト質焼結体とこれを絶縁層とする多層配線基板ならびにプローブカードを提供する。
【解決手段】 ムライト質焼結体がムライトを主結晶相とし、チタン酸アルミニウムマグネシウムを含有してなるものであり、また、このムライト質焼結体を多層配線基板やプローブカードの絶縁層として適用する。 （もっと読む）

【課題】トランスアクスルの焼損を防止できる電力供給装置を提供する。
【解決手段】電力供給装置１０であって、プローブ２０は、端子１０１に接触させるプローブ本体３０と、電気抵抗計２１と、を具備し、プローブ本体３０は、端子１０１に電力を供給する電力供給用プローブ３１と、電力供給用プローブ３１とは絶縁された接触抵抗用プローブ３２と、を具備し、電気抵抗計２１は、プローブ本体２０を端子１０１に接触させた状態で、電力供給用プローブ３１から端子１０１を経由して接触抵抗用プローブ３２に至るまでの電気抵抗を検出し、コントローラ５０は、電気抵抗計２１によって検出された電気抵抗Ｒが所定電気抵抗Ｒ１より小さい場合には、インバータ電源１１からの電力を、電力供給用プローブ３１を通じてトランスアクスル１００に供給する。 （もっと読む）

【課題】突入電流自体を軽減し、突入電流により機器の動作に悪影響を与える不具合を解決した電源接続端子を提供する。
【解決手段】被接続機器の電極に接触して通電状態とするための電源接続端子１であり、導電性プランジャ４が被接続機器の電極に完全に接触した通電状態とするために、導電性プランジャ４を、ばね手段１０の付勢力に抗して第１の位置から第２の位置へと移動させるに従って、接触支持部５の導電性段階抵抗値バレル２０に対する接触位置が導電性段階抵抗値バレル２０の高抵抗領域から低抵抗領域へと移動する。 （もっと読む）

【課題】簡易な部品で、その内部のインダクタンスを改善し、導電接触を確実にすることができ、製作及び保守を容易に行なうことができる検査治具と接触子を提供する。
【解決手段】プリント配線板などの電気検査のための検査治具１において、電極部４０は電極４１を電極板４２の表面に配設されてなり、接触子１０は導電性の接触針１１、圧縮コイルばね１２、中継部材１３からなり、同軸に配置して使用される。接触針１１は先端１１１、突出部１１２、大径部１１３、中継部１１４を有し、中継部材１３は円筒の中継端１３１、案内部１３２、電極端１３３からなる。電極端１３３は斜め角度の断面であり、曲げられて中心近傍に基端１３３ａがあり、接触子保持体３０に保持されて初期荷重を有する。電極４１の径は接触子１０の径より小さい。それにより、簡易な部品で、その内部のインダクタンスを改善し、導電接触を確実にすることができ、製作及び保守を容易に行なうことができる検査治具と接触子が実現する。 （もっと読む）

【課題】テストリード自体に装置本体が有する複数の機能に対するスイッチング機能（起動、停止）を持たせ、しかも、テストリードの大型化及び重量化を回避した、操作性に優れたテストリード、及び、斯かるテストリードを有する測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置本体１に接続ケーブル５０を介して接続され、測定対象物に接触して、測定信号を測定装置本体１に送信するためのテストリード１０において、長手軸線Ｏｘ−Ｏｘに沿って所定長さとされ、テストリード１０の握り部を構成し、一端部に測定対象物に接触するテスト棒１３を保持したホルダー本体１２を備え、ホルダー本体１２に加速度センサ２２を設置し、加速度センサ２２は、ホルダー本体１２を空間上で動かすことにより、複数種類の異なる信号を出力することができる。 （もっと読む）

【課題】被検体（特に、被検体に含まれるＳｎ）との低付着性を実現するとともに、長期間に亘って安定な接触抵抗を保つことのできるコンタクトプローブおよびそれを有する接続装置を提供する。
【解決手段】本発明のコンタクトプローブは、電極に繰返し接触するコンタクトプローブであって、電極と接触する前記コンタクトプローブ表面に、金属元素を含有する炭素被膜が形成されており、前記金属元素の炭素被膜表面での濃度が被膜全体の平均濃度よりも低く、且つ前記炭素被膜表面における前記金属元素の濃度が２０原子％以下であることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】ＬＳＩ試験において測定対象のチップの有無に応じて、機械的な動作で放電ギャップ長を制御して、コンタクトプローブ間の放電をより確実に回避することができる高電圧検査装置を提供する。
【解決手段】先端が突出したコンタクトプローブ２，３と、コンタクトプローブ２に導通して一方放電球４ａが配設された放電ギャップの他方放電球４ｂがコンタクトプローブ３に導通するように配設された除電用プローブ５と、ウェハを搭載するウェハステージを動作させて、コンタクトプローブ２，３をウェハの各端子にそれぞれ接続させるチップコンタクト時のオーバドライブ動作に連動したコンタクトプローブ３の移動により、オーバドライブ動作の変位量を放電ギャップの放電ギャップ長に変換する放電ギャップ長変換機構とを有している。 （もっと読む）

【課題】プローブ装置−測定部間の高い絶縁性による安全性と、広い周波数帯域に渡って同相信号除去比を確保するための低い対接地容量を確保しつつ、連続動作時間の制約を受けない、または連続動作時間を延ばしたプローブ装置およびこれを用いた信号測定装置を実現する。
【解決手段】入力信号が変調された変調信号を光信号に変換して出力するプローブ装置において、外部から入射される入射光を変調信号に応じて光変調し出射光として出射する光変調部を備える。 （もっと読む）

【課題】被検体（特に、被検体に含まれるＳｎ）との低付着性を実現するとともに、長期間に亘って安定な接触抵抗を保つことのできるコンタクトプローブおよびそれを有する接続装置を提供する。
【解決手段】本発明のコンタクトプローブは、電極に繰返し接触するコンタクトプローブであって、電極と接触する前記コンタクトプローブ表面に、金属元素を含有する炭素被膜が形成されており、前記金属元素の炭素被膜表面での濃度が被膜全体の平均濃度よりも低いことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】短時間で且つ高い信頼性でプローブ針を検査できる検査方法及び検査システムを提供する。
【解決手段】検査システム１は、共通の導電部における複数の被接触領域にそれぞれ複数のプローブ針の先端部を接触させる駆動機構２９と、複数のプローブ針２２の中からプローブ針の対を複数個構成し、各対をなすプローブ針間に電位差を与えて電気的特性を測定する計測部３２Ａと、測定された電気的特性に基づいて各プローブ針の良否判定を行う探針検査部３２Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】電界感知プローブを交換したり、高空間分解能の電界感知プローブと高感度の電界感知プローブとを隣接して配置する必要がなく、簡素なプローブ構成により高感度で探知範囲の広い電界検知と、高空間分解能で詳細な電界検知とを適宜行うことを可能とし、短時間で容易に所期の電界検知を実現する。
【解決手段】電界感知プローブ１０では、同軸ケーブル１を、第１の導体１１、第１の絶縁層１２、第２の導体１３、第２の絶縁層１４、及び第３の導体１５を備えた多層同軸構造とし、切り替えスイッチ２の選択により、第１の導体１１及び第２の導体１３（グランド電位）で高空間分解能の第１のプローブが、第２の導体１３及び第３の導体１５（グランド電位）で高感度の第２のプローブが構成される。 （もっと読む）

【課題】プローブの位置を補正して、プローブを正確に且つ迅速に当接させる。
【解決手段】基板検査装置は、検査点と導通接触する検査端子と、接地点と導通接触する接地端子を備えるプローブと、検査端子及び接地端子をそれぞれ基板の検査点及び接地点に当接するための駆動手段と、駆動手段を基板の検査に応じて駆動制御するための制御手段と、基板の検査点及び接地点とプローブの検査端子及び接地端子とを撮像する撮像手段と、撮像手段が撮像する撮像情報から、検査対象となる検査点及び接地点の目標位置情報と、検査端子及び接地端子の先端の端子位置情報とを検出する検出手段と、検出手段が検出する目標位置情報及び端子位置情報を基に、目標ベクトル情報及び端子ベクトル情報を算出する算出手段と、算出手段の目標ベクトル情報及び端子ベクトル情報を基に、検査点及び接地点に検査端子及び接地端子を接触させるための補正情報を算出する補正手段とを備える。 （もっと読む）