【課題】 優れた高周波特性を備えるとともにメンテナンスが容易な平衡信号伝送用プローブと、それを備えるプローブカード並びにプローブ装置を提供すること。
【解決手段】 第一の溝が設けられた導電性のベース部材と；誘電体被覆を有し、前記第一の溝内にその誘電体被覆を密着させて互いに平行に配置された２本一対の信号用プローブ材と；前記ベース部材と接触するグランド用プローブ材とを備え、前記信号用プローブ材の前記ベース部材よりも被測定デバイス側に突出した先端部は前記誘電体被覆を有さず信号用プローブ針を形成し、前記グランド用プローブ材の前記ベース部材よりも被測定デバイス側に突出した先端部はグランド用プローブ針を形成しているプローブブロック、及びそれを備えるプローブカード並びにプローブ装置を提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】差動伝送方式を採用した半導体装置の試験で行われるＴＤＲタイミング測定の校正精度の低減を抑制すること。
【解決手段】複数のプローブ針を有し、プローブ針を半導体装置の電極パッドと接続させて所定の試験を行うためのプローブカードであって、互いに異なる電極パッドＰ１及びＰ２に接続するよう配置され、対となっている差動信号入力用の第１及び第２のプローブ針１ａ及び２ａと、互いに異なる電極パッドＰ１及びＰ２に接続するよう配置された第３及び第４のプローブ針１ｂ乃至２ｂ´と、第３及び第４のプローブ針１ｂ乃至２ｂ´各々と接続して、第３及び第４のプローブ針１ｂ乃至２ｂ´を導通させる配線３及び抵抗部材ＲＴと、を有し、第３及び第４のプローブ針１ｂ乃至２ｂ´、配線３及び抵抗部材ＲＴは電気的にフローティングな状態となっている。 （もっと読む）

【課題】 十分な耐久性を確保することができ、薄膜化ひいては高周波特性の向上を図ることが可能な異方導電性膜、およびそれを用いた導電性コネクタを提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明にかかる異方導電性膜の代表的な構成は、弾性高分子材料１１０中に導電性粒子１２０が分散され、厚み方向に異方導電性を示すシート状の異方導電性膜１００において、導電性粒子の粒度累積分布の累積１０％の粒径であるｄ１０（小粒径導電性粒子１２４の粒径）は、累積９０％の粒径であるｄ９０（大粒径導電性粒子１２２の粒径）の半分以下であって、導電性粒子のｄ９０は弾性高分子材料の平均厚さの７０％〜９０％であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 弾性変形時における針圧や高周波特性を確保しつつ、耐電流性能を向上させることができる電気的接触子を提供する。
【解決手段】 コンタクトプローブ１００は、弾性変形部１とコンタクト部２とからなり、弾性変形部１が、長尺方向の力によって弾性変形する細長い板状体１０Ａ，１０Ｂと、板状体１０Ａ，１０Ｂの長尺方向と交差するワーク対向面１２ｗ上にコンタクト部２が配置され、空隙１０Ｓを介して主面を対向させた状態で板状体１０Ａ，１０Ｂの一端を互いに結合させる針先結合部１２と、板状体１０Ａ，１０Ｂの他端を互いに結合させる針元結合部１１とからなる。板状体１０Ａ，１０Ｂは、第１の導電性金属からなる応力層１０１，１０３と、第１の導電性金属よりも比抵抗が小さい第２の導電性金属からなる電導層１０２とから形成され、第１の導電性金属の機械的強度が第２の導電性金属よりも高い。 （もっと読む）

【課題】高周波信号を正確に測定すること。
【解決手段】測定対象から信号を取得し、接続ケーブルを介して測定装置に供給するプローブ１０において、測定対象と接続ケーブルの間に設けられたＬＣ直列共振回路（導体板１２）を有し、かつ、測定対象のグランド配線と、接続ケーブルの外側導体とを接続するための接地機構を有し、当該ＬＣ直列共振回路の共振周波数は、測定対象となる信号の周波数とは異なる周波数であって、信号の周波数におけるＬＣ直列共振回路のインピーダンスと測定装置の入力インピーダンスとの比が、当該プローブの所望の減衰比と等しくなるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】低抵抗で耐久性が高く、電極間の狭ピッチ化に対応可能な高周波デバイス検査用のコンタクトプローブを提供する。
【解決手段】電極に接触する第１のプランジャーと、第１のプランジャーと連結する第２のプランジャーとからなり、第１のプランジャーは、電極に接触する先端部と、先端部から延設され、第２のプランジャーと連結する連結部と、フランジ部と、連結部から延出する胴体部とを備え、第２のプランジャーは、一端が開放した有底円筒状の鞘部であって、開放端側筒部と、底側筒部と、底側筒部と開放端側筒との間に配置されるコイル状のバネ部とを含み、長手方向に収縮可能な収縮鞘部と、収縮鞘部と一体に形成され、先端が前記端子に接触する接触部とからなり、第１のプランジャーと第２のプランジャーとは、胴体部を収縮鞘部に収容させつつ連結し、バネ部が収縮した際に、前記胴体部の端部外周が前記底側筒部の内周に接触する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置をソケットに装着した際のインピーダンス整合をとり、信号品質を大幅に向上させる。
【解決手段】ソケットピン４ｂは、半導体装置５の信号ピンとなる外部接続端子５ａが接続される。信号用導体筒１１ａの外周面には誘電体からなる誘電体被膜１１ｂが形成されている。グランド用導体筒１１ｃは、下部接触ピン９が、テスト用配線基板６の信号用ランド１２と接触した際に、該グランド用導体筒１１ｃがテスト用配線基板６のグランドパターン配線６ａに接触する。ソケットピン４ｂは、下部ベース３のスルーホール１４に挿入固定されており、該スルーホール１４は、下部ベース３に形成されたグランド配線１３と接続されている。このグランド配線１３は、たとえば、グランドプレーン状に形成されており、ソケットピン４ａと接続される構成からなる。 （もっと読む）

【課題】インピーダンス整合が崩れることを抑制できる検査用同軸コネクタ及びプローブを提供することである。
【解決手段】第１の外部導体及び第１の中心導体を有する同軸ケーブルに接続されて用いられると共に、第２の外部導体及び第２の中心導体を有する相手方レセプタクルに着脱自在な検査用同軸コネクタ１。ハウジング２５は、上端及び下端のそれぞれにおいて第１の外部導体及び第２の外部導体に接続される。プローブ１０は、ハウジング２５内を上下方向に延在している棒状部材であって、第１の中心導体及び第２の中心導体に接続される。プローブ１０は、第１の中心導体を保持するソケット１４と、ソケット１４と共に一直線に並ぶように、上端においてソケット１４を螺子構造により保持する先端部１５であって、下端において第２の中心導体に接触する棒状の先端部１５と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の電極密度が高密度化された場合であっても、コンタクト端子の配列における狭ピッチ化に容易に対応しインピーダンス整合を図ることができ、しかも、大幅な設計変更することなくコンタクト端子ごとの配置の変更も容易にできること。
【解決手段】信号ラインに対応した金属製アッパハウジング１０のセル１０ａｉにおいて、電気絶縁性を有するアダプタ２４の端部と電気絶縁性を有するロアハウジング１２の内面との間には、環状の空気層Ａｉが互いに同一の構成を有するコンタクト端子２０ａｉのスリーブ２０Ｓの周囲に形成され、また、接地ラインに対応したセル１０ａｉにおいては、コンタクト端子２０ａｉの接点部２０ＣＴ２がロアハウジング１２の透孔１２ａｉに挿入され、その接点部２０ＣＴ１がセル１０ａｉの内面に当接する導電性のカラー２２の小径孔２２ｂに挿入されるもの。 （もっと読む）

【課題】広範囲の周波数を計測対象とし、測定中に表示される電圧領域を迅速、柔軟に拡大及び／または縮小することができるプローブを提供し、一つのプローブで周波数及び電圧の双方とも広範囲に渡って計測可能なプローブを提供する。
【解決手段】プローブ１に接続されている切替装置２に配置された少なくとも２つのプローブ先端３を有し、これらプローブ先端がプローブ内に延設された電気導波管４と選択自在に接続可能であるプローブを作成する。 （もっと読む）

【課題】膜懸垂プローブを針型プローブヘッドのプローブアセンブリの部品として使用できるようにする。
【解決手段】第一表面及びその反対側に第二表面を有し、該第一及び該第二表面のいずれか一方が歪んだ場合に、復元力を作用させることができる弾性膜１７０と、第一端部及び第二端部を有するビーム１６４、該ビーム１６４の該第一端部近傍にある検査対象のデバイスと接触するプローブ先端部１６８、並びに、該ビーム１６４の該第二端部の近傍にあり、該弾性膜１７０の該第一表面から露出しているビーム接触部を具える膜懸垂プローブ１０４とを具え、該ビーム１６４は該弾性膜１７０の該第二表面を変形させるために移動することができることを特徴とするプローブヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】高帯域幅アプリケーションで使用されるスプリングプローブブロックアセンブリを提供する。
【解決手段】スプリングプローブブロックアセンブリは、絶縁性ハウジングを有する。ハウジング内には、信号プローブと、絶縁性層と、導電性シェルと、を有するプローブコネクタが配置される。ハウジング内には、少なくとも１つの接地プローブも配置される。接地プローブとプローブコネクタの導電性シェルとは、接地部によって電気的に接続される。接地部は、接地プローブにスプリングエネルギをもたらすような方法で接地プローブを弾力的に変形するように構成される。スプリングエネルギは、接地プローブと接地部との間に垂直力を発生させ、それが接地プローブをその位置で保持する。 （もっと読む）

【課題】基材外縁領域における信号伝送特性の変化を補償する構成を備えた接触子ホルダを提供する。
【解決手段】基材２１は、その表面２１２、２１３上又は該表面の上方であって、信号伝送用接触子３ｂのプランジャ近傍に、接地用導体層２９１、２９２を有する。各接地用導体層は、基材２１の表面２１２、２１３上において、各接地用接触子に電気的に接続された導体部分２４１に電気的に接続されており、また信号伝送用接触子とは電気的に接続されないようになっている。 （もっと読む）

【課題】２ＧＨｚ以上の高周波半導体素子の高周波測定に際して、インピーダンス整合を必要とする被測定物の評価を容易とし、かつ高周波においても高精度な測定を実現することのできる高周波測定用プローブを得る。
【解決手段】被測定物となる高周波半導体素子１の高周波信号をコプレナ伝送モードで通過させるための信号線電極２および接地電極３を有するコプレナ伝送線路と、コプレナ伝送線路内に形成されたチップキャパシタ４（インピーダンス整合回路）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 表面配線を小さくしても表面配線と表面ビア導体とを確実に接続することができ、浮遊容量を小さくすることで、より高速な素子の検査や、高速の検査ができる高信頼性の配線基板を提供する。
【解決手段】 セラミックスから成る複数の絶縁層１ａが積層された絶縁基体１と、絶縁基体１の下面に形成された外部電極２と、外部電極２に接続されて絶縁基体１の上面に導出された、ビア導体を含む内部配線３とを有し、内部配線３のうち最上層の絶縁層１ａを貫通して上端面が絶縁基体１の上面に露出した表面ビア導体３ａが上面視で配線基板４の中心からの放射線の方向に沿った形状である配線基板である。表面ビア導体３ａが位置ずれしても位置ずれ方向と反対方向に延在する部分が存在するので、表面配線５の大きさを小さくしても表面ビア導体３ａと確実に接続でき、表面配線５の浮遊容量を低下させることができる配線基板となる。 （もっと読む）

【課題】ロジック・アナライザ・プロービング装置で使用できる抵抗プロービング・チップ装置を提供する。
【解決手段】抵抗プロービング・チップ装置が１つ以上のキャリア１０及び１つ以上の電気コンタクト・アセンブリ２０を有する。各キャリアが対向面１２、１４を有し、複数の抵抗器１８がキャリアに係合する。複数の抵抗器の各々はキャリアの各対向面にて露出された対向電気コンタクトを有する。各電気コンタクト・アセンブリが対向面を有し、電気コンタクトが対向面にて露出し、一方の面で露出された各電気コンタクトが他方の対向面状の対応電気コンタクトに結合される。キャリア及び／又は電気コンタクト・アセンブリを回路基板又はプローブ・ヘッドのいずれかに選択的に固定できる。 （もっと読む）

【課題】 多電極半導体デバイスおよび高周波回路の電気的特性を測定するウエハプローバを構成するプローブであって、特に、ロジック回路やアナログ回路の高周波測定を可能とする中空配線構造を備えた高周波プローブを提供する。
【解決手段】 基板２上にメッキ析出させて並行して間隔が一定に設けられた信号線３ａとＧＮＤ線３ｂと、プローブ針３ｃと、コネクタ接点３ｄに接続されたコネクタ６と、信号線３ａの周囲を電気的に絶縁する中空構造５と、これらを覆うメタルボディ７とを備えて、信号線３ａとＧＮＤ線３ｂとの間の誘電率Ｅｒを小さくして一定のインピーダンスを保ちながら高周波電気信号の高速伝送を可能とし、プローブ針１を基板２がサポートするように２段構造で形成することで、基板２のバネ性とプローブ針３ｃのバネ性とが相俟って、プローブ針３ｃの先端３ｃａ、３ｃｂ、３ｃｃのオーバードライブ量を大きくすることができ、接触安定性が向上する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の電気特性を正確に測定することができ、製造容易であるプローブおよびその製造方法、ならびにこのプローブを用いた電気特性測定方法を実現する。
【解決手段】プローブ１の製造方法は、平板状フレキシブル基板からなる第１の部材１２の一方の面にプローブパッド２０を設け、第１の部材１２のもう一方の面にプローブパッド２０と外部回路との間で電気信号を伝送するための配線１３を設けるステップと、第１の部材１２の配線１３が設けられた面に、平板状リジット基板からなる２枚の第２の部材１０−１および１０−２を、第２の部材１０−１もしくは１０−２の厚さの略２倍の長さの空隙２１を空けてそれぞれ貼着するステップと、２枚の第２の部材１０−１および１０−２が貼着された第１の部材１２を、空隙２１の中心で内方に折り曲げ、２枚の第２の部材１０−１および１０−２同士を貼着するステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】接触不良を引き起こすことのない適度な弾性力を確保できるとともに、インダクタンス成分を低減して良好な高周波特性を発揮する接触子を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の接触子によれば、複数の基端部と、電子部品の電極が押し当てられる当接部と、この当接部と前記基端部との間を電気的に接続するとともにこれら当接部を支持する複数の信号経路部と、を有した接触子であって、それぞれの前記信号経路部は、電流値が同じで、流れる電流の向きが逆となり、発生する磁場が互いに相殺するように折り返されて隣接した隣接対向部を有し、それぞれの前記信号経路部が、電子部品の電極で前記当接部が押される方向に重ならないように形成されている。 （もっと読む）